JPS58113332A - 温度の広範囲にわたり電気抵抗の変化の小さい合金およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 び鉄（Ｎ６　）からなり、少量の不純物を含み超高温で
安定な電気抵抗合金に関するもので、その目的とすると
ころはｕ９０″Ｃ以上／３４ｌＯ″Ｃ以下の広い温度範
囲において電気抵抗の変化が小さく、シかも常温にて鍛
造，圧延，伸線あるいは巻線成形加］二が容易な素材を
得るにある。

近年製鉄業，化学工架，原子力産業，宇由関連産業等の
業界においては非常に苛酷な条件下における各ｍｔｉｍ
が盛んに行われるようになってきた。

例えば高歩留まり、烏品位の鉄−を一員生蛇できる連続
鋳造プロセスにおいては、タンブツシュや鋳溜内湯面を
所望のレベルに保つため、常時湯面レベルを制御する心
安がある。湯面レベル計としては従来ｒｔｍやＸ！１等
の放ａｑ巌を用いる方式か採用されてきたが、装置が大
型となり危険性があ、る等欠点が多いため、近年小型で
取扱いの容易な堝電流式変位計（以下単に変位計と呼ぶ
）の使用が考えられるようになった。

ところで変位計の性能はセンサコイル材によって決まる
ためその電気的特性、使用環境性および安定性等は極め
て重要である。例えは前記連続鋳造における溶湯温度は
ｉｚｏｏ″Ｃ以上にも達するため、その真上に位置する
センサコイル材は１０００”Ｃ前後の温度に耐えるだけ
でなく、最も重要なことはその特性が優れしかも長期間
安定したものでなければならない。

従来高温型上ンサコイル材としては本発明者らにより発
明された公知のパラジウムと銀を主成分とした合金（特
開昭３３−／ココ１３９号）がある。この合金は高温に
おける耐食性や耐酸化性、加工性◆が良好であるばがり
でなく、第１（２）に示した比較合金の特性曲線からも
わがるようにーＳＯ〜４ｏ。

”Ｃの広い温度範囲にわたって電気抵抗の温度係数が＋
ｘ　ｐｐｖ″Ｃ以下と極めて小さい特長を有しているが
、さらに烏い温度ｔｏＯ　Ｎ１０００″ｃでは＋／ＪＪ
、ＰＰｍ／”Ｃと非常に大きな値を示すため、前述した
連続鋳造の如き非常に高い温度での使用においては高い
ドリア）が発生し、変位計の温度変化による精度が急激
に低下して正確な測定ができない。そのため４００℃以
上のより高い温度において高精度および良好な安定性を
有する新規性のある超高温型上ンサコイル材の開発が各
Ｉｌｌｉｍ業界から強く要望されるようになった。

そこで本発明者らはこれに応えるためさらに詳細な研兜
を進めた結果、パラジウムＪ９．Ｏ　Ｎ１１％、鉄参／
．Ｏ　Ｎ／Ｊ．０％と少量の不純物からなるλ元合金が
規則一不規則変Ｓ温度（ダｑｑ’ｃ）以上融点（　／Ｊ
参０°Ｃ）以下の広範囲な温度にわたって電気抵抗の変
化が極めて小さい特性を有し、高温における電気抵抗の
安定性が優れ、かつ加工性が良好な超高温蓋センサコイ
ル用電気抵抗合金であることを見出した。

すなわち亭発．明は重量比にてパラジウム！９．０〜ｒ
ｔ．ｏ％および鉄弘へＯＮｌコ，０％からなり少量の不
純物を含み、参デ０℃以上／Ｊ４ＬＯ　’Ｃ以下の広い
温度範囲において電気抵抗の温度係数が±αｐｐＶ″Ｃ
以下、好ましくはパラジウム７２．Ｏ〜ｒｔ、ｓ％およ
び鉄−ｒ、ｏ〜／３．５％からなり少量の不純物を含み
、３７０”Ｃ以上／３３ｊ″Ｃ以下の比較的広い温度範
囲において電気抵抗の温度係数か±５０　ｐｐｍ／’Ｃ
以下を有する超高温型センサコイル用１１気抵抗合金お
よびそのｉ！！遣方法に係わり、規則−不規則変態温度
以上融点以下の温度から急冷処理することにより鍛造、
圧延、伸線ならひに巻線成形加工を容易ならしめる超高
温型センサコイルの製造方法およびこれをさらに規則−
不規則変ｔｑ　温度以上融点以下の温度で光分な焼鉋を
施すことによつ゛て優れた安定性を有する厖気的符性を
発伸せしめる製造方法を虎供するものである。また仝発
明合金はこれを用いた超尚渦盛センサコイルはかＱでな
く、１７９０℃以上の超高温において本発明合金の特性
を発揮し得る各柚センサをはじめ＃！密計測機器の％気
抵抗体素子としても好適であるから、それらのデバイス
模合体としても応用が考えられる。

つぎに本発明合金の製造方法について詳細に説、明する
。

本発明の合金を造るにはまずパラジウムｓｑ、。

〜ｒｔ、ｏ％および鉄１ｔ／、０−　／Ｊ、０％の適量
を非酸化性雰囲気中あるいは真空中において適当な溶解
炉を用いて溶解し、充分攪拌し組成的に均一な浴融合金
を得る。つぎに溶融合金は適当な形および大きさの鉄蓋
に注入して健全な鋳塊を得た後、常温において鍛造その
他ｇ女の加工を施して適当な形状のもの、例えば俸ある
いは板を造る。さらにこれをスェージング、伸線、圧延
あるいは潰し等の方法によって冷間加工を施し目的の形
状のもの、例えば絹様あるいは薄板（する。蚊慢に細線
または薄板のままで電気抵抗合金菓子として使う場合に
はこれら冷間加工状態の成品を安定化するために非酸化
性雰囲気中あるいは真空中で規則−不規則変態温度以上
融点以下の温度において少なくとも測定温度以上、例：
えば成品の使用温度の上限か１０００℃であれば１０ｊ
Ｏ’Ｃ以上に加熱し、好ましくはλ秒以上α時間以下特
に好ましくはＳ分級上ｗ時［ｍｌ以下保持後、ｊ〜３Ｏ
Ｏ＝いて充分に焼鈍を行う必要がある。これらの製造工
程により優れた成品が得られる。

なお上記の製造工程中最も重要なことは、本発明合金は
空気または酸素との親和力が強いために、！＠２図から
も明らかなように空気との接触によって電気抵抗の着し
い劣化を生ずるのみならず、製造工程における冷間加工
性に悪影響をもたらす原因となるので光分に注意するこ
とが肝要である。

すなわち溶解作業においては出来るだけ空気または酸素
の接触を避けなければならないのは当然であるが、この
他にも溶解後の製造工程における各極熱処理ならびにセ
ンサデバイスとして応用する場合においても上記の点に
ついて充分注意を払わなければならない。

また本発明合金は上述したように酸化ばかりでなく、熱
処理の方法によっては金属間化合物の如く硬く、脆い性
質を有する規則状態（γ、相およびｒ２相）の合金に変
化して加工性を損うものもある。したがって加工性をさ
らに向上させるためには、加工の途中において規則−不
規則変態温度以上融点以下の温度から適当な方法、例え
ば非酸化性ガスを高速て吹付けるか、油中急冷するかあ
るいは石英管の中に真空封入したまま水塩水中に投入す
るなどの方法で急冷することによって、不規則状＊Ｃｒ
単相）の合金とし、常温において良好な加工性を付与す
る必要もある。この方法によると加工以前に急冷処理を
施した細騨あるいは薄板は非常に軟かくコイル状あるい
はスパイラル状に巻線成形加工が容易となる。

以上のように良好な加工性を具備する製造方法も本発明
の一つである。

つぎに上記合金の絶縁方法としては以下ｊ１１ｍｌ［の
工程が考えられる。

（１）本発明合金を鋳造、鍛造、圧延、線引き痔の加工
を施して線材あるいは板材等の所望の形状のものを、そ
のままの状態で耐熱性絶縁体、例えば高純度セラミック
ペースト中に埋め込むか、耐熱性絶縁体にアルミナ接着
剤で直接貼付するか、筒状セラミックに巻きつけるかあ
るいは２枚の絶縁板で挾むなどの方法により固定する。

ＣＢ）　　センサコイルの占積率を高める方法としては
、本発明合金を鋳造、鍛造、圧延、Ｎ引等により造った
成形体の表面に耐熱性の良好なシリカ。

アルミナ、マグネシア、フッ化物、ホウ化物あるいはチ
ツ化物寺の無ｅＩＡＪｊＭ絶縁被膜をｔＳ、蒸ｆ１．プ
レーテングあるいはスパッタリング等の適当な方法によ
り慮布あるいはコーテングした後、任意の形状に巻線成
形加工を施す。

（０）本発明合金の成形体の表面に耐熱性絶縁体の被膜
を電ｉ、ｉ着、プレーテングあるいはスパッタリング等
の適当な方法により形成した後、任意の形状にエラ十ッ
グ打抜きあるいはトリミング加工を施す。

以上のような工程により完成した成品をそのままで使用
してもよいが、必斐ならば合金素材の安定化のために、
さらに再び前述の方法により焼鈍処理を施せば′ＷＩＬ
気抵抗合金自体と同じ特性を発揮する優秀な超高温型セ
ンサコイルあるいは電気抵抗体素子の製造が可能である
。

つぎに本発明の実施例について述べる。

合金番号　合金ＦＰ−＃（組成　Ｐｄ　−、ｒ４Ｊ％、
　Ｆｅ　−／ＪＪ襲）の製造 原料としては純度９９．９％以上のパラジウムおよび純
度９９．？％以上の鉄を用いた。試料を造るには全重量
ｔｏｏｇの原料を高純度アルミナ坩堝に入れ、酸化を防
ぐため表面に高純度アルゴンガスな吹きつけながら高周
波誘導電気炉によって溶かし、よく攪拌して均質な溶融
合金とした後、内径７ａｓ。

高さ１ｌＯＩＩＩＩ＋の鉄型に鋳込んだ。鋳塊は表面の
疵を取った後、スェージングによって直径ｊｓｍまで冷
開加工した。つぎに真空中／／！Ｏ”Ｃで均買化処理を
施した後、規則−不規則変ＩＭＴＩｋｌ！ｔｌｃ６７０
″Ｃ）以上の１ｏｏｏ　’ｃから水焼入れした。つづい
てｔ中数回の水焼入れを繰り返しながらスェージングお
よび冷間伸線により直径（ｉｔ、ｊ　ａｓの細線とし、
それより長さ約ＩＯ’ｃ票のものを切りとり電気抵抗測
定用試料とした。電気抵抗は真空中、常温〜／３００℃
の温度範匪で測定した。第１図に示しであるように加工
状態（破ＩＩ）の電気抵抗の変化は組織が不安定なため
昇温途中の温度、例えばａ点（３５０″Ｃ）あるいはｂ
点（ＵＳＯ″Ｃ）から冷却するとａ→ａ′あるいはｂ→
ｂ′の如く°元の経路を辿らずヒステリシスを生ずる。

しかし規則−不規μｍ］変ｉＩＱ度（Ｔｏ−ｄ−７７７
°Ｃ）以上の湿度からの焼鈍状態（実、ｉりでは、Ｔｏ
−ｄ付近で小さなヒステリシスループを生ずる他は昇温
を繰り返しても同じ経路を辿る。そしてＴ。−６以上の
温度における１１気抵抗の変化はＴ。−ｄ以１下の湿度
における場合に比較して極めて小さいことがわかる。尚
試料の熱処理条件に対応した特性は第１表のとおりであ
る。

表中第１項、第２項および第３項はそれぞれ１００〜ｑ
ｏｏ℃、ｑｏｏ〜１０００”Ｃおよび１００〜１０００
℃の漏曳範囲におけるＩＩＥ気抵抗抵抗均の湿度係数が
示しである。第１項ないし第３項のそれぞれの値の差が
小さいｑよと２改係数か小さく電気抵抗は直線的に変化
する。そして／３００″Ｃまで昇温後冷却し、１０００
℃に５０日問および／１００″Ｃに〃日間保っても電気
機わＬの変化は全くみられなかった。

実施例　２ 合金番号　合金ＦＰ−２１７（組成Ｐｄ　−１０，２％
、Ｆ６−ｉｑ、ｒ％）の製造 原料は実施例１と同じ純度のパラジウムおよび鱈を用い
た。試料の製造方法は全厘駕／θすを尚純良アルミナ坩
堝（５ＳＡ−ｆｉ　、す２）に入れ、酸化を防ぐため金
属表圓に烏純度アルゴンガスを吹きつけなからタンマン
炉によって溶かし、′よく撹拌して均質なｆ８融合金と
した。つぎにこれを内径２．６〜λ、７　ｍの石英管に
吸い上げ、均質化処理のため、試料の直径より若干太い
内径を有するｍ−封止の石英管に挿入して１０００”Ｃ
の温度で／θ分間保持後冷関伸線によって直径ｏ、ｓ　
ｍの細線とした。これより長さ約１０ｃｍを切りとり試
料とした。試料の熱処理条件とそれに対応した特性は第
２表および第１図のとおりで実施例１と類似の傾向を示
す。

実施例　３ 合金番号　合金ｙｐ−ｒ（組成Ｐｄ　−７０，０％、Ｆ
ｐｗ−Ｊｏ、０％）の製造 原料および製造方法は実施例２と同じである・試料の熱
ＩＥｉ場条件とそれに対応した特性は第３表および第７
図のとおりで実施例１および実施倒起と類似の傾向を示
す。

第３図には実施例工ないし実施例３と同様の実験をパラ
ジウム−鉄コ元糸全域にわたって行い、温度範囲Ｉ　（
１００〜９００℃〕、温度範囲ｎ　（ｑｏ。

〜１０００　’Ｃ）および温度範囲、鳳（１００〜１０
００″Ｃ）ΔＲ における電気抵抗の平均の温度係数０ｆ−Ｒ，ＪＴと９
００℃における比電気抵抗ρ９００がＰｄ量に対して示
しである。図からＯｆが士１０ｏｐｐｒＶ′”ｃ以下の
特性はパラジウムｊデ、ｏ　Ｎｒｔ、ｏ％（ム〜Ｄ）に
おいて、またＯｆが±ｒ　ｐｐＶ’ｃ以下の特性はパラ
ジウム７１．０−１≦、５％（ＢＮ２）の組成において
得られることがわかる。温度範囲Ｉ、ｌおよび皿におけ
ル０ｆａＪ、０ｆ（１）およＵ　０ｆ（１）　ノ各値闇
の麦が大きいはど２次係数が大きく、逆にそれらの差が
小さいほど一次係数が小さいことを表わしている。例え
ば０ｆ（１）　、　０ｆ（１）およびｏｆ（１１が交叉
している点ムでは２次係数がＯのため、ｔｏＯＮｌｏｏ
ｏ″Ｃにおける電気抵抗はｍｓ的に変化する。

なおρ、。。は最高値／ＪＯＩＡＱ−ｃｍがらＰｄ　Ｉ
ＬＯ％におするデコμＱ−傭まで変化し、第２図におけ
る比較合金（特開＠３に一／λλＩＪ９＠）の常温にお
ける値（Ｊ９μΩ−ｅ−）より約３倍大きい。これは超
高温型変位計における感度の低下として障害となるが１
センサコイルの金Ｊ４ＩＩＩ表向に沿って数に〜数ＭＨ
２の高周波電流が流れるため、金属巌の線経を若干太く
して表面種を大きくすることによって解決できるので大
きな間−とはならない。

第参図は鉄−パラジウム糸状′ＩＯ図で、線形の部分は
バラジウ！　！；９．０−１１．０％および鉄ｉＩ／、
ｏ〜／２．Ｏ％からなる本発明合金が±ｍ　ｐｐｍｚ″
Ｃ以下および士ｓｏｐｐｍ／″Ｃ以下の電気抵抗の温度
係数Ｏｆを有することを示している。上記の特性はいず
れも規則−不規則変態温度と融点で挾まれた広い温度ａ
ＩＩ５、すなわち前者ではダ９０−Ｃ以上１３ダ０”Ｃ
以下よた後苔では１７０″Ｃ以上１３３ｓ″Ｃ以下にお
いて得られることかわかる。なお第１図において合金番
号ＦＰ　−２Ｗの場合、曲線上約参〇〇″Ｃ附近にも電
気抵抗の変化の小さい一分がみられるが、規則−不規則
度１ｄｉｌ温度において不連続に変化ししかも本発明の
目的である温度の広範囲にわたり電気抵抗の変化が小さ
い特性を具備していないので、第ｑ図には示していない
。

以上実施例１〜３に述べたように本発明合金はいずれの
場合にも温度に対する電気抵抗の変化が小さい。特に実
施例１の合金番号ＦＰ　−／Ｉは比電気抵抗ρ９００が
αμＱ−ｅｌｌで大きいか、３７０　Ｎ／３３１　℃の
広い温度範囲にわたって電％抵抗の変化が極めて小さく
、再現性があるため成品の安定性か良好であることを示
している。このように単一の素材で５７０℃以上／３３
！　”Ｃ以下の広い温度範囲にわたって士ｒ　ｐｐＴＪ
１／’ｃ以下の小さい温度係数を有する例は既知の合金
には全くなく超烏象型七ンサコイル合金の要求特性を充
分に満足しているとメえる。

つぎに本発明合金の組成においてパラジウムをｓｑ、ｏ
　−ｔｒ、ｏ％に限定した塩出は谷実り例、第１図、第
３図および第参図からも明らかなように、ダ９０″Ｃ以
上ｌＪ参〇℃以下の温度軸Ｈにおける電気抵抗の温度係
数が士１００ｐｐＷＶ″Ｃ以下の特性を示すが、組成が
この範囲をはずれると上記の愉より大きくなるため温度
の広範囲にわたり電気抵抗の変化の小さい合金としては
不過当となるからである〇また本発明合金の製造方法に
おいて焼鈍前の急冷処理を規則−不規則変ＩＩ＠温慢（
ダｑｏ”Ｃ）ｕ上融点（／３ＩＩＯ″Ｃ）以下の温度範
囲から行うことを限定した理由は、各実施例、第１図、
第３図および第ψ図からも明らかなように、上記温度範
囲から急冷するとγ重相（不規則状態）を誘起せしめる
ため常温においてより一層艮好な加工性を付与すること
ができるが、急冷温度が規則−不規則変態温度以下では
非常に脆くしかも硬くなるため常温において加工が困鯵
となるばかりでなく、巻線成形作業に支障を伴うので本
発明合金の製造方法としては不適当であるからである。

さらに急冷処理と焼鈍処理が１後相反する製造工程は、
焼鈍処理によって井富に脆くしかも硬くなり、その後の
巻Ｉｔ１１成形加工が圏絵となるため、本発明合金の製
造方法としては不過当である。

賛するに、本発明合金は規則−不規則変態温度（ＩＩｑ
ｏ″Ｃ）以上融点（／３ＩＩＯ’Ｃ）以下の広い温度範
囲における１１Ｌ気抵抗の変化が士旋Ｐｐｍ／”Ｃ以下
と極めて小さく、１ｌＯＯ″Ｃの如く超？ｔｈｍにおい
ても長期間極めて安定であり、規則−不規剛度Ｓ温度（
１１９０℃）以上融点（／ＪＩＩＯ″Ｃ）以下、好まし
くは５７０℃以上／ＪＪ１”Ｃ以下の湿度から急冷処堆
を施すことによって加工性がより一層向上するなど多く
の特長を有しており、超Ｉ％温センサコイルばかりでな
く　４ｎＯ℃以上１３ψＯ℃以下の広い温度領域で使用
する基準抵抗器をはじめ精密計量機盤等の電気抵抗体素
子としても好適である。また本発明合金を用いたセンサ
コイルあるいは電気抵抗体素子と他の機能素子とで構成
してなる位置センサ、三次元老ンサ、変位センサ、圧力
センサ。電皺七ンセン加速度センサ、振動センサ、トル
クセンサおよびレベルセンサ噂のセンサ複合体やフロー
トスイッチ、リミットスイッチおよび近接スイッチ等の
各種応用デバイスにおいても、本発明合金が有する優れ
た特性をより一層悼挿することかｇ１粍である。

【図面の簡単な説明】

第１図は加工状態および焼鈍状態における合金番号１１
’−ＩＩ　、　ＦＰ−２４１、ＦＰ　−１おヨヒパ５　
シｆｙ　Ａ−〆３％銀からなる比較合金について、温度
に対する電気抵抗の変化を示した特性曲線図、第２図は
合金番号ＦＰ　−、？／　（パラジウム−’／２．９％
−合金ンについて１０００″Ｃの一定温度でＳＯ日間以
下１、空気中および！４空中または非酸化性ガス中にお
ける熱エージング日数に対する電気抵抗の変化を比較し
て示した特性曲線図、第３図はパラジウム−鉄合金につ
いて、温度範囲Ｉ　（１００Ｎ９００℃）、温度範囲ｎ
　（９００Ｎ１０００℃）および渇度範曲鳳（１００〜
１０００″Ｃ）における電気抵抗の平均の温度係数０ｆ
（Ｉ）　、　０ｆ（ＩＩ）および０ｆ（Ｎ）と９００″
Ｃにおける比１に気抵仇ρ９００のパラジウム重に対す
る変化を示した待牲曲Ｉｌｌ！ｌＩ図、第ダ図はパラジ
ウム５９．Ｏ〜ｒｒ、ｏ％および欽ｔｉｉ、ｏ〜／コ、
Ｏ％からなる本発明合金について、″ＷＬ気抵仇の温度
係数Ｏｆか±ｉｏｏ　ｐｐｒｒｖ”ｃ以下および±ｓｏ
　ｐｐｒｒｖ℃以下を有する温度範囲を示した特性図で
ある。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 Ｌ　′ＩＬｊｉ比にてパラジウム３９．０−１１．０％
   および残部鉄と、少皺の不純物からなり、規則−不規則
   変態温度以上融点以下の温度範囲において電気抵抗の湿
   度係数が±Ｉ００ｐｐｍ／　”Ｃ以下を有することを特
   徴とする電気抵抗合金。 ２　重量比にてパラジウム７λ、ＯＮＩｔＪ％および残
   部鉄と、少皺の不純物からなり、規則−不規則変態ｍ度
   量上融点以下の温度範囲において＊Ｌ％抵抗の湿度係数
   が士＃　ｐｐｍ／”Ｃ以下を有する特許請求の範囲第１
   項記載の電気抵抗合金。 ４　重量比にてパラジウムｓｔｙ、ｏ　Ｎｔｔ、ｏ％お
   よび残部鉄と、少量の不純物からなる合金を鋳造後、規
   則−不規則変ｌＩｌ温度以上融点以下の温度から常温ま
   で急冷後、冷間加工により線材あるいは板材等の所望の
   形状となし、さらにこの素材を非酸化性雰囲気中あるい
   は真空中において規則−不規則変態温度以上融点以下の
   温度でλ秒以上α時間以下保持後、ｊ〜３００　”Ｃｙ
   への冷却速度で冷却し充分な焼鈍を行うことを特徴とす
   る電気抵抗合金の製造法。 本　重量比にてパラジウムｊ９．ＯＮｔｔ、０％および
   残部鉄と、少皺の不純物からなる合金を鋳造後、規則−
   不規則変１ｍ温度以上融点以下の温度から常温まで急冷
   後、冷間加工により得られた線材あるいは板材略の所望
   の形状のものを、そのままの状態で耐熱性絶縁体中に埋
   め込むか、耐熱性絶縁体に（ロ）定した後、さらにこれ
   らを非酸化性！１−気中あるいは真空中において規則−
   不規則変動温度以上融点以下の湿度でＪ秒置上α時間以
   下保持後、ｊ〜、３００″Ｑ／ｈの冷却速度で冷却し充
   分な焼鈍を行うことを特徴とするセンサコイルあるいは
   電気抵抗体素子の製造方法。 ４　重量比にてパラジウム５９．０−１１．０％および
   ＰＡ部鉄と、少量の不純物からなる合金を鋳造後、規１
   ｊｌＪ−不規則変態温度以上融点以下の温度から′Ｗｊ
   濡まで急冷して得られた合金表向に耐熱性絶縁体を被層
   、塗布あるいはコーテングした後、任意の形状に一４線
   成形加工を施し、さらに非酸化性８囲気中あるいは真空
   中において規則−不規則ｆ紬湿度以上融点以下の温度で
   ２秒置上α時間以下保持後、ｊ〜３００　’いの冷却速
   度で冷却し充分な焼鈍を行うことを特徴とするセンサコ
   イルあるいは電気抵抗体素子の製造方法。 ６　鳳童比にてパラジウムｓｑ、ｏ　Ｎｔｒｒ、ｏ％オ
   ヨび残部鉄と、少量の不れ物からなる合金を鋳造後、規
   −Ｉ」−不規則変転湿度以上融点以下の温度から常温ま
   で思冷後、冷間加工により得られた形成体の表１に耐熱
   性絶縁体の被膜を施した後、任意の形状に成形し、さら
   にこれらを非酸化性雰囲気中あるいは真空中において規
   則−不規則変態湿度以上融点以下の温度で２．８−以上
   α時間以下体持後、５〜．Ｎ０（１１’いの冷却速度で
   冷却し充分な焼鈍を行うことを特徴とするセンサフィル
   あるいは電気抵抗体素子の瓢造方法。