JPH1177473A

JPH1177473A - 送り装置

Info

Publication number: JPH1177473A
Application number: JP9252615A
Authority: JP
Inventors: Tamotsu Shioda; 保潮田
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1997-09-03
Filing date: 1997-09-03
Publication date: 1999-03-23

Abstract

(57)【要約】【課題】簡単な構成で、移動テーブルの位置決め精度を
向上させる。【解決手段】モータ３０により送りねじ４１を回転さ
せ、ナット保持部２２によって回転不能に保持されたナ
ット４２を左方に移動させる。この移動により、ナット
保持部２２と一体の移動テーブル２０を左方に移動させ
る。ナット４２とナット保持部２２との間には、間隙Ｓ
を設けてある。移動テーブル２０の位置決め部２３がス
トッパ５１に対して、間隙Ｓ以内に近接したときに、セ
ンサ６１でこれを検知し、モータ３０を停止させて移動
テーブル２０を停止させる。エアシリンダ５２のロッド
を短縮して、倒伏状態のアーム部５３ｂを起立させなが
ら左方に移動させ、アーム部５３ｂとストッパ５１との
間に位置決め部２３を挟持して、移動テーブル２０の位
置決め及びクランプを行う。位置決め精度は、主にスト
ッパ５１の位置精度に起因するため高精度にすることが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、加工装置や測定装
置において、加工対象又は測定対象となるワークを移動
させて精度よく位置決めするための送り装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図５に、加工装置や測定装置に使用され
る、従来の送り装置（以下「従来例１」という）の概略
構成を示す。

【０００３】ベース部材５１の上面に固定されたモータ
５２を回転させると、送りねじ５３が回転する。この送
りねじ５３には、移動テーブル５４に固定されたナット
５５が噛合されているため、移動テーブル５４は、送り
ねじ５３の回転により、直進ガイド５６に沿って同図中
の左方に移動する。そして、移動テーブル５４の左端下
面に突設された位置決め部５４ａが、位置決め部材５７
のストッパ５７ａに当接すると同時にモータ５２を停止
し、これにより、移動テーブル５４の位置決めが行われ
る。

【０００４】図６に、他の従来の送り装置（以下「従来
例２」という）の概略構成を示す。この従来例２では、
上述の従来例１が位置決め部材５７等によって位置決め
していたのとは異なり、センサ５８によって位置決めを
行っている。すなわち、ベース部材５１上のモータ５２
により送りねじ５３を回転させ、これによりナット５５
を介して移動テーブル５４を図６中の左方に移動させ
る。ここまでは、従来例１と同様であり、次からが異な
る。移動テーブル５４が所定の位置に到達すると、これ
をセンサ５８が検出する。そして、このセンサ５８から
の出力信号によってモータ５２を停止し、これにより、
移動テーブル５４の位置決めが終了する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図５に
示す従来例１によると、モータ５２の回転を停止した後
にストッパ５７ａの反力により移動テーブル５４が逆方
向（右方）に押し戻されたり、送りねじ５３とナット５
５との間にガタがあったりするために、位置決めが安定
しない、すなわち位置決め精度がよくないという問題が
あった。

【０００６】一方、図６に示す従来例２によると、制御
性が良好なモータ５２（駆動手段）や、高い精度に加工
された送りねじ５３及びナット５５（移動手段）や、検
知精度の高いセンサ（検知手段）が必要であるといった
問題があった。また、従来例２では、移動テーブル５４
を所定の位置に位置決めしておくには、モータ５２を通
電状態にしておく必要があり、モータ５２が昇温してし
まうという問題があった。

【０００７】そこで、本発明は、位置決め精度がよく、
かつ駆動手段、移動手段、検知手段を高精度にする必要
のない簡単な構成でありながら、しかも駆動手段の昇温
を防止することができる送り装置を提供することを目的
とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】以上目的を達成するため
の、請求項１に係る本発明は、ベース部材に対して移動
可能に配設された移動テーブルと、前記ベース部材側に
配設された駆動手段と、該駆動手段と前記移動テーブル
との間に介装され前記駆動手段の駆動により前記移動テ
ーブルを移動させる移動手段と、前記ベース部材側に配
設され前記移動テーブルを所定の位置に配置する位置決
め手段と、前記駆動手段及び前記位置決め手段の動作を
制御する制御手段と、を備えた送り装置において、前記
移動手段は、前記駆動手段によって回転駆動される送り
ねじと、該送りねじに噛合されたナットと、を有し、前
記移動テーブルは、前記ナットの回転を禁止しつつ該ナ
ットにおける前記送りねじに沿った方向の所定範囲内の
移動を許容するナット保持部を有し、前記位置決め手段
は、前記移動テーブルの一部が当接されるストッパと、
該ストッパに前記移動テーブルの一部を押し付ける押圧
手段と、を有し、前記制御手段は、前記ストッパに対し
前記移動テーブルの一部が前記所定範囲内に近接したこ
とを検知して出力信号を発生する検知手段を有するとと
もに、該検知手段の出力信号によって前記駆動手段を停
止させ、前記押圧手段を駆動して前記移動テーブルを該
移動テーブルの一部が前記ストッパに接触するまで移動
させ、さらに前記ストッパに押圧させる、ことを特徴と
する。

【０００９】上述の請求項１の発明によると、送りねじ
に噛合するとともにナット保持部によって回転が禁止さ
れているナットは、駆動手段によって送りねじが回転駆
動されると、送りねじの長手方向に移動する。このナッ
トの移動により、ナット保持部を介して移動テーブルが
送りねじに沿って移動する。移動テーブルが移動をつづ
け、その一部が位置決め手段のストッパに対して所定範
囲内に近接すると、このことを検知手段が検知し信号を
出力する。制御手段は、この出力信号によって駆動手段
を停止させ、これにより、移動テーブルが停止される。
この停止された移動テーブルに対して、制御手段は、押
圧手段を駆動し、移動テーブルの一部がストッパに接触
するまで移動させ、さらにストッパに押圧させる。この
押圧手段による移動テーブルの移動時の移動距離は、所
定範囲内のものである。

【００１０】ところで、ナット保持部は、ナットにおけ
る送りねじに沿った方向の所定範囲内の移動を許容す
る。言い換えると、ナットとナット保持部との間には、
所定範囲内のガタ（間隙）が設けてあるといえる。した
がって、上述の押圧手段による移動テーブルの移動距離
は、ガタの範囲内であり、この移動は、容易に行われる
とともに、ナットに対して不要な力を付与するようなこ
とはない。すなわち、押圧手段による移動テーブルの移
動及び押圧は、移動テーブルのフリーな状態で行われこ
とになる。

【００１１】上述のように、駆動手段、送りねじやナッ
ト（移動手段）、検知手段等は、移動テーブルをストッ
パに近接させるために使用されるものであり、位置決め
には直接的には関与しない。そして、移動テーブルの位
置決めは、もっぱら押圧手段によって移動テーブルをス
トッパに押圧することによって行われ、そのときの位置
決め精度は、主に、ストッパの位置精度に起因すること
になる。このため、移動テーブルの位置決め精度を高く
することができる。また、駆動手段、送りねじやナット
（移動手段）、検知手段については、必要以上の高精度
を要求する必要はなくなる。

【００１２】請求項２に係る本発明は、前記ベース部材
側に前記移動テーブルの移動をガイドするガイド部材を
設ける、ことを特徴とする。

【００１３】この請求項２の発明によると、ガイド部材
により、移動テーブルにおける移動方向と交差する方向
の位置精度を高めることができる。

【００１４】請求項３に係る本発明において、前記ナッ
ト保持部は、前記送りねじに沿った方向についての前記
ナットの両端面にそれぞれ対向する移動規制面を有し、
前記所定範囲は、これら移動規制面のうちの一方の移動
規制面に前記ナットの両端面のうちの一方の端面を接触
させた状態において、前記ナットの他方の端面と前記ナ
ット保持部の他方の移動規制面との間の形成される間隙
に相当する、ことを特徴とする。

【００１５】この請求項３の発明によると、ナット保持
部の２つの移動規制面間の距離を、ナットの両端面間の
距離よりも長く設定し、これら距離の差を上述の所定範
囲とすることができる。これにより、ナット保持部ひい
ては移動テーブルは、ナットに対して、所定範囲内で自
由に移動することが可能となる。

【００１６】請求項４に係る本発明において、前記移動
テーブルは、移動テーブル本体と、前記移動テーブルの
一部に相当し前記移動テーブル本体に突設された位置決
め部と、を有し、前記位置決め手段の押圧手段は、前記
ストッパとの間に前記位置決め部を挟持することで、前
記移動テーブルを位置決めし、さらにクランプするアク
チュエータを有する、ことを特徴とする。

【００１７】この請求項４の発明によると、移動テーブ
ルの位置決め部をアクチュエータによってストッパに押
し付けることにより、移動テーブルの位置決めを行うの
と並行して移動テーブルをクランプすることが可能であ
る。すなわち、アクチュエータが位置決めとクランプと
の双方を行うことになり、クランプのための特別な機構
や装置が不要となる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、図面に沿って、本発明の実
施の形態について説明する。

【００１９】〈実施の形態１〉図１に、本発明に係る送
り装置の概略構成を示す。なお、同図は正面図、すなわ
ち移動テーブルの移動方向に対して直角な方向から見た
図であり、同図においては、移動テーブルは左右方向に
移動するものである。

【００２０】同図に示す送り装置は、ベース部材１０
と、ベース部材１０に対して移動可能な移動テーブル２
０と、ベース部材１０上に配設された駆動手段３０と、
駆動手段３０と移動テーブル２０との間に介装された移
動手段４０と、ベース部材１０上に配設された位置決め
手段５０と、駆動手段３０及び位置決め手段５０の動作
を制御する制御手段６０とを、主要構成手段として構成
されている。

【００２１】以下、ベース部材１０から制御手段６０ま
で順に詳述する。

【００２２】ベース部材１０は、装置全体の基礎となる
もので、直方体状に形成されており、その上面１０ａは
平面状に形成されている。ベース部材１０の上面１０ａ
には、同図中の右方から順に取付け部１１、１２、１３
が突設されている。取付け部１１は、後述の駆動手段３
０が固定されるとともに、移動手段４０の主要構成部材
に一つである送りねじ４１の基端部４１ａを回動自在に
支持するものである。また、取付け部１２は、送りねじ
４１の先端部４１ｂを回動自在に支持する。さらに、取
付け部１３には、後述の位置決め手段５０が固定され
る。ベース部材１０の上面１０ａには、これら取付け部
１１、１２、１３の外に、ガイド部材１４が固定されて
いる。ガイド部材１４は、同図中の左右方向に長く形成
されており、次に説明する移動テーブル２０の左右方向
の直線的な移動をガイドするものである。なお、ガイド
部材１４は、移動テーブル２０の大きさや重量に応じ
て、複数のものを配設するようにしてもよく、また、そ
の形状についても、移動テーブル２０の左右方向の移動
を有効にガイドすることができる限り、任意とすること
ができる。

【００２３】移動テーブル２０は、本実施の形態におい
ては、板状に形成された移動テーブル本体（以下単に
「テーブル本体」という）２１と、テーブル本体２１の
右端部下面から下方に向けて突設されたナット保持部２
２と、同じく左端部下面から下方に向けて突設された位
置決め部２３とを有する。テーブル本体２１の上面２１
ａは、平面状に形成されており、例えば加工対象となる
ワーク（不図示）が直接的に取り付けられたり、ワーク
を回転させるためのターンテーブル（後述）が取り付け
られたりする。テーブル本体２１は、上述のガイド部材
１４に係合されており、このガイド部材１４によって左
右方向の移動がガイドされる。位置決め部２３は、図３
に示すように、ブロック状の位置決めベース２３ａと、
位置決めベース２３ａからそれぞれ左右方向に突出さ
れ、先端が曲面状に形成された挟持部２３ｂ、２３ｂと
を有する。なお、ナット保持部２２については、後述の
移動手段４０のナット４２の説明と合わせて詳述する。

【００２４】図１に戻る。

【００２５】駆動手段３０としては、モータを使用する
ことができる（以下「モータ３０」という）。モータ３
０は、上述のベース部材１０の上面１０ａに突設された
取付け部１１に、その出力軸（不図示）が左方を向くよ
うにして固定されており、出力軸には、カップリング
（不図示）を介して後述の送りねじ４１が連結されてい
る。モータ３０としては、例えばステッピングモータが
使用され、その正転、逆転、停止は、後述の制御手段６
０によって制御される。

【００２６】移動手段４０は、送りねじ４１とナット４
２とを主要構成部材として構成されている。送りねじ４
１は、その長手方向を図１中の左右方向に向けて配置さ
れており、その基端部４１ａが、上述のモータ３０の出
力軸にカップリングを介して連結されるとともに、取付
け部１１によって回動自在に支持されており、また、先
端部４１ｂが取付け部１２によって回動自在に支持され
ている。一方、ナット４２は、円筒状に形成され、送り
ねじ４１に噛合されるとともに、上述の移動テーブル２
０のナット保持部２２によって保持されている。

【００２７】ここで、ナット保持部２２について詳述す
る。ナット保持部２２は、図２の拡大断面図に示すよう
に、テーブル本体２１の下面にボルトＢ１によって固定
された第１のブロック２２ａと、この第１のブロック２
２ａにボルトＢ２によって固定された第２のブロック２
２ｂとによって構成されている。これら第１及び第２の
ブロック２２ａ、２２ｂには、それぞれナット４２にお
ける送り軸４１に沿った方向の両端面４２ａ、４２ｂに
対向する移動規制面２２ａ₁ 、２２ｂ₁が形成されてい
る。これら移動規制面２２ａ₁ 、２２ｂ₁間の距離は、
ナット４２の両端面４２ａ、４２ｂ間の距離よりも、所
定範囲だけ長く設定されている。すなわち、一方の移動
規制面２２ａ₁にナット４２の一方の端面４２ａを接触
させた状態において、ナット４２の他方の端面４２ｂと
他方の移動規制面２２ｂ₁との間には、間隙（ガタ）Ｓ
が形成されこの幅が上述の所定範囲に相当する。このた
め、ナット保持部２２、ひいては移動テーブル２０は、
ナット４２に対して、間隙Ｓの範囲内で、送りねじ４２
に沿った方向（図２中の左右方向）に移動可能となって
いる。さらに、ナット保持部２２とナット４２との間に
は、回り止め（不図示）が設けてあり、ナット４２は回
転不能に保持されている。ナット保持部２２が上述のよ
うに構成されているので、送りねじ４１が矢印Ｒ４１方
向に回転すると、回転不能のナット４２は、同図中の左
方に移動し、その左の端面４２ａによってナット保持部
２２の左の移動規制面２２ａ₁を左方に押し、これによ
り、移動テーブル２０全体が左方に移動するようになっ
ている。

【００２８】位置決め手段５０は、図１に示すように、
ベース部材１０の上面１０ａに突設された上述の取付け
部１３に固定されている。図３に位置決め手段５０の拡
大図を示す。同図に示すように、位置決め手段５０は、
ストッパ５１と、アクチュエータとしてのエアシリンダ
５２と、エアシリンダ５２のロッド（不図示）に装着さ
れた引手５３と、引手５３に所定の動作（後述）をさせ
るカム筒５４とを備えている。ストッパ５１は、上述の
取付け部１３の上部右側面に右方を向けて固設されてい
る。エアシリンダ５２としては、例えば、引込み単動形
のものを使用することができ、そのロッドの先端を右方
に向けて取付けられている。ロッドの先端部には引手５
３が装着されている。引手５３は、ロッドの先端部に冠
着された筒状部５３ａと、その右端部に固着されたアー
ム部５３ｂとを有し、全体として、ロッドに対しスラス
ト方向に移動不能、ラジアル方向に回転可能に取り付け
られている。アーム部５３ｂの先端左側面には上述のス
トッパ５１と同形のストッパ５３ｃが固着されている。
また、筒状部５３ａからはピン５３ｄが突出されてい
る。カム筒５４は、円筒状に形成されるとともに、その
軸を左右方向に向けた姿勢で、上述の取付け部１３の右
側面に固定されている。カム筒５４には、母線に対して
傾斜した傾斜溝５４ａ₁と母線に沿った直線溝５４ａ２
とを有するカム溝５４ａが形成されている。カム筒５
４の内側には、上述の引手５３の筒状部５３ａが遊嵌さ
れており、筒上部５３ａのピン５３ｄがカム溝５４ａに
係合されている。位置決め手段５０において、エアシリ
ンダ５２のロッドを右方に伸張すると、ロッドとともに
引手５３が右方に移動する。このとき、ピン５３ｄがカ
ム溝５４ａに倣って左方から右方に移動する。ピン５３
ｄがカム溝５４ａの直線部５４ａ₂を左方から右方に移
動している際には、アーム部５３ｂは、図３に示す起立
姿勢を保持した状態で左方から右方に平行移動する。こ
れに対して、ピン５３ｄが傾斜部５４ａ₁を左方から右
方に移動する際には、アーム部５３ｂは、その先端（ス
トッパ５３ｃを有する側）が、同図中の手前側に徐々に
回転しながら右方に移動する。そして、ロッドが伸び切
った伸張限においては、アーム部５３ｂの先端は、倒伏
姿勢をとり、移動テーブル２０の位置決め部２３の移動
経路から退避することになる。これにより、位置決め部
２３が左方からストッパ５１に近接し、またストッパ５
１から上方に離間するのが可能となる。なお、ロッドを
伸張限から短縮した場合には、上述と逆の動作となる。
すなわち、倒伏姿勢にあったアーム部５３ｂは、ピン５
３ｄが傾斜部５４ａ₁を移動中は、ロッドの短縮に伴っ
て徐々に回転しながら起立していく。そして、ピン５３
ｄが直線部５４ａ₂に到達すると起立姿勢をとり、この
起立姿勢を維持したまま左方に移動する。

【００２９】なお、本実施の形態１においては、上述の
エアシリンダ５２、引手５３、カム筒５４によって、押
圧手段を構成しており、後述のように、この押圧手段に
よって上述のストッパ５１との間に移動テーブル２０の
位置決め部２３を挟持することで、移動テーブル２０の
位置決め及びクランプを行っている。

【００３０】制御手段６０は、図１に示すように、セン
サ（検知手段）６１とＣＰＵ６２とを有し、センサ６１
の出力信号に基づいて、モータ３０及び位置決め手段５
０の動作を制御する。センサ６１は、移動テーブル２０
がストッパ５１に近接したこと、さらに詳しくは、図３
に示す、移動テーブル２０の位置決め部２３の左の挟持
部２３ｂの左端と、ストッパ５１の右側面との間の距離
が所定範囲内、すなわち、上述のナット４２とナット保
持部２２との間の間隙Ｓ以下になったことを検知し、出
力信号を発するものである。ＣＰＵ６２は、この出力信
号により、モータ３０を停止させ、さらに、エアシリン
ダ５２を駆動して、移動テーブル２０の位置決め、クラ
ンプを行わせる。

【００３１】次に、上述構成の送り装置の動作を説明す
る。

【００３２】まず、図１に示すように、移動テーブル２
０を右端のワーク取付け位置に配置するとともに、位置
決め手段５０のエアシリンダ５２のロッドを伸張させて
アーム部５３ｂを倒伏させておく。

【００３３】移動テーブル２０に対するワークの取付け
後、制御手段６０によって、モータ３０を回転させ、送
りねじ４１を、図２の矢印Ｒ４１方向に回転させる。こ
の送りねじ４１の回転により、ナット４２は、同図中の
左方に移動する。このため、ナット４２の左の端面４２
ａがナット保持部２２の左の移動規制面２２ａ₁を左方
に押し、移動テーブル２０全体がガイド部材１４に沿っ
て左方に移動する。この移動テーブル２０の移動中は、
ナット４２の右の端面４２ｂとナット保持部２２の右の
移動規制面２２ｂ₁との間には、間隙Ｓが形成される。
なお、この間隙Ｓは、例えば、１〜４ｍｍ程度に設定す
ればよく、本実施の形態では２ｍｍに設定した例を説明
する。

【００３４】移動テーブル２０がさらに左方への移動を
つづけ、その位置決め部２３が、図１に示す倒伏姿勢の
アーム部５３ｂの上方を完全に通過し、図３に示す位置
決め部２３の左の挟持部２３ｂの左端が、ストッパ５１
の右端面に近接し、両者の距離が、例えば１ｍｍとなっ
たときにセンサ６１がこれを検知し、出力信号を発生す
る。これによりＣＰＵ６２がモータ３０を停止させる
と、移動テーブル２０が停止する。これと並行してＣＰ
Ｕ６２は、エアシリンダ５２を駆動する。エアシリンダ
５２は、そのロッドを短縮する。この際、引手５３のピ
ン５３ｄが、カム溝５４ａのうちの、初めは傾斜部５４
ａ₁に倣って左方に移動する。このため、アーム部５３
ｂは、左方に移動しながら徐々に回転し起立していく。
そして、ピン５３ｄが直線部５４ａ２に達するとアー
ム部５３ｂは起立姿勢をとり、その後は起立姿勢を維持
したまま、左方に移動する。この左方への移動によっ
て、アーム部５３ｂのストッパ５３ｃが、位置決め部２
３の右の挟持部２３ｂを左方に押し、移動テーブル２０
全体を約１ｍｍ左方に移動させる。これにより、位置決
め部２３の左の挟持部２３ｂの左端が取付け部１３のス
トッパ５１に当接し、移動テーブル２０全体の位置決め
が行われる。この後、さらにロッドをわずかに短縮する
ことにより、取付け部１３側のストッパ５１と、アーム
５３ｂ側のストッパ５３ｃとの間に、移動テーブル２０
の位置決め部２３を挟持することができる。すなわち、
移動テーブル２０の位置決めを行うとともに、これをク
ランプすることができる。

【００３５】上述のように、移動テーブル２０を位置決
めする際の、位置決め手段５０による移動テーブル２０
の移動距離は、１ｍｍ以下であり、これは、図２中のナ
ット４２と移動規制面２２ｂ₁との間隙Ｓ（＝２ｍｍ）
よりも短い。したがって、位置決め時の移動テーブル２
０は、ナット４２に対してはフリーな状態となってお
り、移動テーブル２０はその移動をナット４２によって
拘束されることはなく、容易に移動する。逆にいうと、
このときの移動テーブル２０の移動によって、ナット４
２には、不要な力は作用しないことになる。

【００３６】次に、上述のようにして位置決めされた移
動テーブル２０を、その上面２１ａに固定されたワーク
の加工後に、右方に移動させる動作について説明する。

【００３７】まず、エアシリンダ５２のロッドを伸張し
て移動テーブル２０の位置決め部２３のクランプを解除
するとともに、引手５３のアーム部５３ｂを倒伏させ
て、位置決め部２３の移動経路から退避させる。次に、
ＣＰＵ６２により、モータ３０を上述とは逆方向に回転
させ、送りねじ４１を、図２の矢印４１と反対方向に回
転させる。これによりナット４２は右方に移動する。ナ
ット４２は、その右の端面４２ｂとナット保持部２２の
右の移動規制面２２ｂ ₁との間の間隙（この場合は約１
ｍｍ）を移動した後、移動規制面２２ｂ₁に当接し、ナ
ット保持部２２を介して移動テーブル２０全体を、ガイ
ド部材１４に沿って右方に移動させる。移動テーブル２
０が図１に示す右端のワーク取付け位置に達したとき
に、モータ３０を停止させる。これにより、移動テーブ
ル２０も停止する。

【００３８】上述のように、本発明によると、移動テー
ブル２０の位置決めは、位置決め手段５０によって移動
テーブル２０の一部をストッパ５１に当接させることで
行われるため、その位置決め精度は、もっぱらストッパ
５１の位置精度に起因することになり、移動テーブル２
０の位置決め精度を向上させることができる。

【００３９】また、モータ（駆動手段）３０、移動手段
４０（送りねじ４１及びナット４２）、検知手段６１
は、移動テーブル２０をストッパ５１に近接させるため
に使用される。したがって、これらの手段に必要以上の
高精度が要求されることはなく、その分、構成を簡素化
することができる。

【００４０】さらに、位置決め時には、モータ３０に対
する通電は行われないので、モータ３０が不要に昇温す
ることもない。

【００４１】なお、上述では、ナット４２とナット保持
部２２との間隙Ｓを２ｍｍに設定し、また、モータ３０
の駆動によって移動テーブル２０の位置決め部２３をス
トッパ５１の手前１ｍｍの位置で停止させるように設定
した例を説明したが、理論的には、前者の間隙Ｓは、２
ｍｍに限らず任意に、また、後者の１ｍｍについては、
間隙Ｓよりも小さいことを条件に任意に設定することが
できる。これらの値については、送り装置の大きさ、ワ
ークの加工精度（測定精度）等に応じて、適宜に設定す
るとよい。

【００４２】本発明は、もちろん、上述の実施の形態１
に限られるものではない。例えば、移動手段４０の送り
ねじには、台形ねじやボールねじを使用することができ
る。また、ガイド部材１４としては、レール状のものに
代表される滑り拘束によるもののほか、ローラや鋼球を
使用した転がり拘束によるものも使用することができ
る。さらに、ナット４２を円筒状に形成するに代えて、
ナットにおける軸に交差する方向の断面形状が方形とな
るように形成し、このナット４２の一部がちょうどナッ
ト保持部２２に嵌合するようにすることで、ナット４２
の回転を禁止するようにしてもよい。なお、ガイド部材
１４による移動テーブル２０のガイド精度をよくするこ
とで、移動テーブル２０における移動方向と交差する方
向の位置決め精度を向上させることができる。

【００４３】〈実施の形態２〉図４に、実施の形態２と
して、本発明に係る送り装置を、研磨装置に適用した例
を示す。なお、図４において、図１と同様の部材等につ
いては同様に符号を付し、その重複説明は適宜省略する
とともに、以下では、相違点を主に説明するものとす
る。

【００４４】図４に示す研磨装置においては、ベース部
材１０は、除振台７１、７１上に配設されている。ま
た、ベース部材１０の上面には、コラム７２が立設され
ており、コラム７２の中央には、回転自在の研磨スピン
ドル７３が下方に向けて配置されている。

【００４５】一方、移動テーブル２０上面には、研磨対
象となるワーク（例えば、レンズ）Ｗを取付けるための
ターンテーブル７４が固定されている。

【００４６】上述構成の研磨装置においては、移動テー
ブル２０を右端のワーク取付け位置に配置し、ターンテ
ーブル７４上にワークＷを取り付ける。つづいて、モー
タ３０、移動手段４０、制御手段（不図示）によって、
移動テーブル２０をストッパ５１に近接させて、停止さ
せる。

【００４７】次に、位置決め手段５０によって、移動テ
ーブル２０の位置決め部２３をストッパ５１との間に挟
持する。これにより、移動テーブル２０を位置決めする
とともに、クランプする。

【００４８】その後、研磨スピンドル７３を回転させ
て、ワークＷを研磨する。研磨後、位置決め部２３のク
ランプを解除し、モータ３０等によって移動テーブル２
０を右方に移動し、初めのワーク取付け位置に配置す
る。

【００４９】上述の研磨装置においては、実施の形態１
で説明した、本発明に係る送り装置が適用されていて、
移動テーブル２０の位置決め精度が高いので、その分、
ワークＷの研磨精度も向上させることができる。

【００５０】なお、本発明に係る送り装置は、上述の研
磨装置に限らず、移動テーブル２０の高い位置決め精度
が要求される一般の工作機械等に対しても、基本的な構
成はほぼそのままで、簡単に適用することが可能であ
る。

【００５１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
駆動手段、移動手段、検知手段を高精度にする必要のな
い簡単な構成でありながら、移動テーブルの位置決めを
精度よく行うことができる。しかも、移動テーブルの位
置決め状態を保持した場合でも、駆動手段に対する通電
を行う必要がないので、駆動手段の不要な昇温を防止す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施の形態１の送り装置の概略構成を示す正面
図。

【図２】送りねじ、ナット、ナット保持部の拡大断面
図。

【図３】移動テーブルの位置決め部、位置決め手段の拡
大図。

【図４】実施の形態２の、本発明に係る送り装置を適用
した研磨装置の概略構成を示す正面図。

【図５】従来の送り装置の概略構成を示す正面図。

【図６】従来の他の送り装置の概略構成を示す正面図。

【符号の説明】

１０ベース部材１４ガイド部材２０移動テーブル２１移動テーブル本体（テーブル本体）２２ナット保持部２２ａ₁ 、２２ｂ₁移動規制面２３位置決め部３０駆動手段（モータ）４０移動手段４１送りねじ４２ナット４２ａ、４２ｂ端面５０位置決め手段５１ストッパ５２アクチュエータ（エアシリンダ）５３引手５４カム筒６０制御手段６１検知手段（センサ）６２ＣＰＵＳ所定範囲（間隙、ガタ）Ｗワーク

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ベース部材に対して移動可能に配設され
た移動テーブルと、前記ベース部材側に配設された駆動
手段と、該駆動手段と前記移動テーブルとの間に介装さ
れ前記駆動手段の駆動により前記移動テーブルを移動さ
せる移動手段と、前記ベース部材側に配設され前記移動
テーブルを所定の位置に配置する位置決め手段と、前記
駆動手段及び前記位置決め手段の動作を制御する制御手
段と、を備えた送り装置において、前記移動手段は、前記駆動手段によって回転駆動される送りねじと、該送りねじに噛合されたナットと、を有し、前記移動テーブルは、前記ナットの回転を禁止しつつ該ナットにおける前記送
りねじに沿った方向の所定範囲内の移動を許容するナッ
ト保持部を有し、前記位置決め手段は、前記移動テーブルの一部が当接されるストッパと、該ストッパに前記移動テーブルの一部を押し付ける押圧
手段と、を有し、前記制御手段は、前記ストッパに対し前記移動テーブルの一部が前記所定
範囲内に近接したことを検知して出力信号を発生する検
知手段を有するとともに、該検知手段の出力信号によっ
て前記駆動手段を停止させ、前記押圧手段を駆動して前
記移動テーブルを該移動テーブルの一部が前記ストッパ
に接触するまで移動させ、さらに前記ストッパに押圧さ
せる、ことを特徴とする送り装置。
【請求項２】前記ベース部材側に前記移動テーブルの
移動をガイドするガイド部材を設ける、ことを特徴とする請求項１記載の送り装置。
【請求項３】前記ナット保持部は、前記送りねじに沿った方向についての前記ナットの両端
面にそれぞれ対向する移動規制面を有し、前記所定範囲は、これら移動規制面のうちの一方の移動規制面に前記ナッ
トの両端面のうちの一方の端面を接触させた状態におい
て、前記ナットの他方の端面と前記ナット保持部の他方
の移動規制面との間の形成される間隙に相当する、ことを特徴とする請求項１又は２記載の送り装置。
【請求項４】前記移動テーブルは、移動テーブル本体と、前記移動テーブルの一部に相当し前記移動テーブル本体
に突設された位置決め部と、を有し、前記位置決め手段の押圧手段は、前記ストッパとの間に前記位置決め部を挟持すること
で、前記移動テーブルを位置決めし、さらにクランプす
るアクチュエータを有する、ことを特徴とする請求項１、２、又は３記載の送り装
置。