JPH1177473A - Feeder device - Google Patents
Feeder deviceInfo
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- JPH1177473A JPH1177473A JP9252615A JP25261597A JPH1177473A JP H1177473 A JPH1177473 A JP H1177473A JP 9252615 A JP9252615 A JP 9252615A JP 25261597 A JP25261597 A JP 25261597A JP H1177473 A JPH1177473 A JP H1177473A
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- moving table
- nut
- positioning
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- moving
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- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、加工装置や測定装
置において、加工対象又は測定対象となるワークを移動
させて精度よく位置決めするための送り装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a feeder for moving and accurately positioning a workpiece to be processed or measured in a processing apparatus or a measuring apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図５に、加工装置や測定装置に使用され
る、従来の送り装置（以下「従来例１」という）の概略
構成を示す。2. Description of the Related Art FIG. 5 shows a schematic configuration of a conventional feeder (hereinafter referred to as "conventional example 1") used for a processing device or a measuring device.
【０００３】ベース部材５１の上面に固定されたモータ
５２を回転させると、送りねじ５３が回転する。この送
りねじ５３には、移動テーブル５４に固定されたナット
５５が噛合されているため、移動テーブル５４は、送り
ねじ５３の回転により、直進ガイド５６に沿って同図中
の左方に移動する。そして、移動テーブル５４の左端下
面に突設された位置決め部５４ａが、位置決め部材５７
のストッパ５７ａに当接すると同時にモータ５２を停止
し、これにより、移動テーブル５４の位置決めが行われ
る。When a motor 52 fixed to the upper surface of a base member 51 is rotated, a feed screw 53 rotates. The nut 55 fixed to the moving table 54 is meshed with the feed screw 53, so that the moving table 54 moves to the left in FIG. . A positioning portion 54a protruding from the lower surface of the left end of the moving table 54 is provided with a positioning member 57.
The motor 52 is stopped at the same time as it comes into contact with the stopper 57a, whereby the moving table 54 is positioned.
【０００４】図６に、他の従来の送り装置（以下「従来
例２」という）の概略構成を示す。この従来例２では、
上述の従来例１が位置決め部材５７等によって位置決め
していたのとは異なり、センサ５８によって位置決めを
行っている。すなわち、ベース部材５１上のモータ５２
により送りねじ５３を回転させ、これによりナット５５
を介して移動テーブル５４を図６中の左方に移動させ
る。ここまでは、従来例１と同様であり、次からが異な
る。移動テーブル５４が所定の位置に到達すると、これ
をセンサ５８が検出する。そして、このセンサ５８から
の出力信号によってモータ５２を停止し、これにより、
移動テーブル５４の位置決めが終了する。FIG. 6 shows a schematic configuration of another conventional feeding device (hereinafter, referred to as “conventional example 2”). In Conventional Example 2,
Unlike the above-described conventional example 1 in which positioning is performed by the positioning member 57 and the like, positioning is performed by the sensor 58. That is, the motor 52 on the base member 51
The feed screw 53 is rotated by the
The moving table 54 is moved to the left in FIG. Up to this point, the operation is the same as that of the conventional example 1, and the following is different. When the moving table 54 reaches a predetermined position, the sensor 58 detects this. Then, the motor 52 is stopped by the output signal from the sensor 58, and thereby,
The positioning of the moving table 54 ends.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図５に
示す従来例１によると、モータ５２の回転を停止した後
にストッパ５７ａの反力により移動テーブル５４が逆方
向（右方）に押し戻されたり、送りねじ５３とナット５
５との間にガタがあったりするために、位置決めが安定
しない、すなわち位置決め精度がよくないという問題が
あった。However, according to the conventional example 1 shown in FIG. 5, after the rotation of the motor 52 is stopped, the moving table 54 is pushed back in the opposite direction (rightward) by the reaction force of the stopper 57a. Feed screw 53 and nut 5
There is a problem that the positioning is not stable, that is, the positioning accuracy is not good because there is a backlash between the position 5 and the position 5.
【０００６】一方、図６に示す従来例２によると、制御
性が良好なモータ５２（駆動手段）や、高い精度に加工
された送りねじ５３及びナット５５（移動手段）や、検
知精度の高いセンサ（検知手段）が必要であるといった
問題があった。また、従来例２では、移動テーブル５４
を所定の位置に位置決めしておくには、モータ５２を通
電状態にしておく必要があり、モータ５２が昇温してし
まうという問題があった。On the other hand, according to Conventional Example 2 shown in FIG. 6, a motor 52 (driving means) having good controllability, a feed screw 53 and a nut 55 (moving means) machined with high precision, and a detection precision high. There is a problem that a sensor (detection means) is required. In the second conventional example, the moving table 54
In order to position the motor at a predetermined position, it is necessary to keep the motor 52 energized, and there is a problem that the temperature of the motor 52 rises.
【０００７】そこで、本発明は、位置決め精度がよく、
かつ駆動手段、移動手段、検知手段を高精度にする必要
のない簡単な構成でありながら、しかも駆動手段の昇温
を防止することができる送り装置を提供することを目的
とするものである。Therefore, the present invention has good positioning accuracy,
Further, it is an object of the present invention to provide a feeder which has a simple structure which does not require high precision driving means, moving means, and detecting means, and which can prevent a temperature rise of the driving means.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】以上目的を達成するため
の、請求項１に係る本発明は、ベース部材に対して移動
可能に配設された移動テーブルと、前記ベース部材側に
配設された駆動手段と、該駆動手段と前記移動テーブル
との間に介装され前記駆動手段の駆動により前記移動テ
ーブルを移動させる移動手段と、前記ベース部材側に配
設され前記移動テーブルを所定の位置に配置する位置決
め手段と、前記駆動手段及び前記位置決め手段の動作を
制御する制御手段と、を備えた送り装置において、前記
移動手段は、前記駆動手段によって回転駆動される送り
ねじと、該送りねじに噛合されたナットと、を有し、前
記移動テーブルは、前記ナットの回転を禁止しつつ該ナ
ットにおける前記送りねじに沿った方向の所定範囲内の
移動を許容するナット保持部を有し、前記位置決め手段
は、前記移動テーブルの一部が当接されるストッパと、
該ストッパに前記移動テーブルの一部を押し付ける押圧
手段と、を有し、前記制御手段は、前記ストッパに対し
前記移動テーブルの一部が前記所定範囲内に近接したこ
とを検知して出力信号を発生する検知手段を有するとと
もに、該検知手段の出力信号によって前記駆動手段を停
止させ、前記押圧手段を駆動して前記移動テーブルを該
移動テーブルの一部が前記ストッパに接触するまで移動
させ、さらに前記ストッパに押圧させる、ことを特徴と
する。According to a first aspect of the present invention, there is provided a moving table provided movably with respect to a base member, and a moving table provided on the base member side. A driving means, a moving means interposed between the driving means and the moving table, for moving the moving table by driving the driving means, and a predetermined position provided on the base member side and moving the moving table. And a control means for controlling the operation of the driving means and the positioning means, wherein the moving means comprises: a feed screw rotationally driven by the drive means; and a feed screw. Wherein the moving table prohibits the rotation of the nut and allows the nut to move within a predetermined range in the direction along the feed screw. It has the door holding part, the positioning means includes a stopper portion of the moving table is contact,
Pressing means for pressing a part of the moving table against the stopper, wherein the control means detects that a part of the moving table is close to the stopper within the predetermined range and outputs an output signal. Having a detecting means for generating, stopping the driving means by an output signal of the detecting means, driving the pressing means to move the moving table until a part of the moving table contacts the stopper, The stopper is pressed.
【０００９】上述の請求項１の発明によると、送りねじ
に噛合するとともにナット保持部によって回転が禁止さ
れているナットは、駆動手段によって送りねじが回転駆
動されると、送りねじの長手方向に移動する。このナッ
トの移動により、ナット保持部を介して移動テーブルが
送りねじに沿って移動する。移動テーブルが移動をつづ
け、その一部が位置決め手段のストッパに対して所定範
囲内に近接すると、このことを検知手段が検知し信号を
出力する。制御手段は、この出力信号によって駆動手段
を停止させ、これにより、移動テーブルが停止される。
この停止された移動テーブルに対して、制御手段は、押
圧手段を駆動し、移動テーブルの一部がストッパに接触
するまで移動させ、さらにストッパに押圧させる。この
押圧手段による移動テーブルの移動時の移動距離は、所
定範囲内のものである。According to the first aspect of the present invention, the nut meshed with the feed screw and the rotation of which is inhibited by the nut holding portion is moved in the longitudinal direction of the feed screw when the drive screw is driven to rotate. Moving. The movement of the nut causes the moving table to move along the feed screw via the nut holding portion. When the moving table continues to move and a part thereof approaches a stopper of the positioning means within a predetermined range, the detecting means detects this and outputs a signal. The control means stops the driving means by the output signal, thereby stopping the moving table.
The control unit drives the pressing unit with respect to the stopped moving table, moves the moving table until a part of the moving table contacts the stopper, and further presses the stopper. The moving distance when the moving table is moved by the pressing means is within a predetermined range.
【００１０】ところで、ナット保持部は、ナットにおけ
る送りねじに沿った方向の所定範囲内の移動を許容す
る。言い換えると、ナットとナット保持部との間には、
所定範囲内のガタ（間隙）が設けてあるといえる。した
がって、上述の押圧手段による移動テーブルの移動距離
は、ガタの範囲内であり、この移動は、容易に行われる
とともに、ナットに対して不要な力を付与するようなこ
とはない。すなわち、押圧手段による移動テーブルの移
動及び押圧は、移動テーブルのフリーな状態で行われこ
とになる。The nut holding portion allows the nut to move within a predetermined range in the direction along the feed screw. In other words, between the nut and the nut holding part,
It can be said that play (gap) within a predetermined range is provided. Therefore, the moving distance of the moving table by the above-described pressing means is within the range of the play, and this movement is easily performed, and does not apply unnecessary force to the nut. That is, the moving table is moved and pressed by the pressing means while the moving table is free.
【００１１】上述のように、駆動手段、送りねじやナッ
ト（移動手段）、検知手段等は、移動テーブルをストッ
パに近接させるために使用されるものであり、位置決め
には直接的には関与しない。そして、移動テーブルの位
置決めは、もっぱら押圧手段によって移動テーブルをス
トッパに押圧することによって行われ、そのときの位置
決め精度は、主に、ストッパの位置精度に起因すること
になる。このため、移動テーブルの位置決め精度を高く
することができる。また、駆動手段、送りねじやナット
（移動手段）、検知手段については、必要以上の高精度
を要求する必要はなくなる。As described above, the driving means, the feed screw and the nut (moving means), the detecting means and the like are used for bringing the moving table close to the stopper, and do not directly participate in the positioning. . The positioning of the moving table is performed exclusively by pressing the moving table against the stopper by the pressing means, and the positioning accuracy at that time mainly depends on the positional accuracy of the stopper. For this reason, the positioning accuracy of the moving table can be increased. Further, it is not necessary to request the driving means, the feed screw and the nut (moving means), and the detecting means with higher accuracy than necessary.
【００１２】請求項２に係る本発明は、前記ベース部材
側に前記移動テーブルの移動をガイドするガイド部材を
設ける、ことを特徴とする。The present invention according to claim 2 is characterized in that a guide member for guiding the movement of the moving table is provided on the base member side.
【００１３】この請求項２の発明によると、ガイド部材
により、移動テーブルにおける移動方向と交差する方向
の位置精度を高めることができる。According to the second aspect of the present invention, the position accuracy of the moving table in the direction intersecting the moving direction can be enhanced by the guide member.
【００１４】請求項３に係る本発明において、前記ナッ
ト保持部は、前記送りねじに沿った方向についての前記
ナットの両端面にそれぞれ対向する移動規制面を有し、
前記所定範囲は、これら移動規制面のうちの一方の移動
規制面に前記ナットの両端面のうちの一方の端面を接触
させた状態において、前記ナットの他方の端面と前記ナ
ット保持部の他方の移動規制面との間の形成される間隙
に相当する、ことを特徴とする。[0014] In the present invention according to claim 3, the nut holding portion has a movement restricting surface that opposes both end surfaces of the nut in a direction along the feed screw, respectively.
The predetermined range is such that, in a state in which one of the two end surfaces of the nut is brought into contact with one of the movement restricting surfaces, one of the end surfaces of the nut and the other of the nut holding portion. It corresponds to a gap formed between the movement restricting surface and the surface.
【００１５】この請求項３の発明によると、ナット保持
部の２つの移動規制面間の距離を、ナットの両端面間の
距離よりも長く設定し、これら距離の差を上述の所定範
囲とすることができる。これにより、ナット保持部ひい
ては移動テーブルは、ナットに対して、所定範囲内で自
由に移動することが可能となる。According to the third aspect of the invention, the distance between the two movement restricting surfaces of the nut holding portion is set to be longer than the distance between both end surfaces of the nut, and the difference between these distances is set to the predetermined range. be able to. As a result, the nut holding portion and thus the moving table can freely move within a predetermined range with respect to the nut.
【００１６】請求項４に係る本発明において、前記移動
テーブルは、移動テーブル本体と、前記移動テーブルの
一部に相当し前記移動テーブル本体に突設された位置決
め部と、を有し、前記位置決め手段の押圧手段は、前記
ストッパとの間に前記位置決め部を挟持することで、前
記移動テーブルを位置決めし、さらにクランプするアク
チュエータを有する、ことを特徴とする。According to a fourth aspect of the present invention, the moving table has a moving table main body and a positioning portion corresponding to a part of the moving table and projecting from the moving table main body. The pressing means of the means has an actuator which positions the moving table by clamping the positioning portion between the stopper and the stopper, and further clamps the moving table.
【００１７】この請求項４の発明によると、移動テーブ
ルの位置決め部をアクチュエータによってストッパに押
し付けることにより、移動テーブルの位置決めを行うの
と並行して移動テーブルをクランプすることが可能であ
る。すなわち、アクチュエータが位置決めとクランプと
の双方を行うことになり、クランプのための特別な機構
や装置が不要となる。According to the fourth aspect of the present invention, by pressing the positioning portion of the moving table against the stopper by the actuator, the moving table can be clamped in parallel with the positioning of the moving table. That is, the actuator performs both positioning and clamping, and a special mechanism or device for clamping is not required.
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】以下、図面に沿って、本発明の実
施の形態について説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１９】〈実施の形態１〉図１に、本発明に係る送
り装置の概略構成を示す。なお、同図は正面図、すなわ
ち移動テーブルの移動方向に対して直角な方向から見た
図であり、同図においては、移動テーブルは左右方向に
移動するものである。Embodiment 1 FIG. 1 shows a schematic configuration of a feeder according to the present invention. The figure is a front view, that is, a view seen from a direction perpendicular to the moving direction of the moving table. In the figure, the moving table moves in the left-right direction.
【００２０】同図に示す送り装置は、ベース部材１０
と、ベース部材１０に対して移動可能な移動テーブル２
０と、ベース部材１０上に配設された駆動手段３０と、
駆動手段３０と移動テーブル２０との間に介装された移
動手段４０と、ベース部材１０上に配設された位置決め
手段５０と、駆動手段３０及び位置決め手段５０の動作
を制御する制御手段６０とを、主要構成手段として構成
されている。The feeding device shown in FIG.
And movable table 2 movable with respect to base member 10
0, a driving means 30 disposed on the base member 10,
A moving means 40 interposed between the driving means 30 and the moving table 20, a positioning means 50 provided on the base member 10, a control means 60 for controlling the operations of the driving means 30 and the positioning means 50; Are configured as main constituent means.
【００２１】以下、ベース部材１０から制御手段６０ま
で順に詳述する。Hereinafter, the details from the base member 10 to the control means 60 will be described in order.
【００２２】ベース部材１０は、装置全体の基礎となる
もので、直方体状に形成されており、その上面１０ａは
平面状に形成されている。ベース部材１０の上面１０ａ
には、同図中の右方から順に取付け部１１、１２、１３
が突設されている。取付け部１１は、後述の駆動手段３
０が固定されるとともに、移動手段４０の主要構成部材
に一つである送りねじ４１の基端部４１ａを回動自在に
支持するものである。また、取付け部１２は、送りねじ
４１の先端部４１ｂを回動自在に支持する。さらに、取
付け部１３には、後述の位置決め手段５０が固定され
る。ベース部材１０の上面１０ａには、これら取付け部
１１、１２、１３の外に、ガイド部材１４が固定されて
いる。ガイド部材１４は、同図中の左右方向に長く形成
されており、次に説明する移動テーブル２０の左右方向
の直線的な移動をガイドするものである。なお、ガイド
部材１４は、移動テーブル２０の大きさや重量に応じ
て、複数のものを配設するようにしてもよく、また、そ
の形状についても、移動テーブル２０の左右方向の移動
を有効にガイドすることができる限り、任意とすること
ができる。The base member 10, which is the basis of the entire apparatus, is formed in a rectangular parallelepiped shape, and its upper surface 10a is formed in a planar shape. Upper surface 10a of base member 10
Are attached in order from the right side in FIG.
Is protruding. The mounting portion 11 is provided with a driving unit 3 described later.
0 is fixed, and a base end 41a of a feed screw 41, which is one of the main components of the moving means 40, is rotatably supported. Further, the mounting portion 12 rotatably supports the distal end portion 41b of the feed screw 41. Further, a positioning means 50 described later is fixed to the mounting portion 13. A guide member 14 is fixed to the upper surface 10a of the base member 10 in addition to the mounting portions 11, 12, and 13. The guide member 14 is formed to be long in the left-right direction in the figure, and guides a linear movement of the moving table 20 described below in the left-right direction. Note that a plurality of guide members 14 may be provided according to the size and weight of the moving table 20, and the shape of the guide member 14 also effectively guides the movement of the moving table 20 in the left-right direction. It can be arbitrary as long as it can be done.
【００２３】移動テーブル２０は、本実施の形態におい
ては、板状に形成された移動テーブル本体（以下単に
「テーブル本体」という）２１と、テーブル本体２１の
右端部下面から下方に向けて突設されたナット保持部２
２と、同じく左端部下面から下方に向けて突設された位
置決め部２３とを有する。テーブル本体２１の上面２１
ａは、平面状に形成されており、例えば加工対象となる
ワーク（不図示）が直接的に取り付けられたり、ワーク
を回転させるためのターンテーブル（後述）が取り付け
られたりする。テーブル本体２１は、上述のガイド部材
１４に係合されており、このガイド部材１４によって左
右方向の移動がガイドされる。位置決め部２３は、図３
に示すように、ブロック状の位置決めベース２３ａと、
位置決めベース２３ａからそれぞれ左右方向に突出さ
れ、先端が曲面状に形成された挟持部２３ｂ、２３ｂと
を有する。なお、ナット保持部２２については、後述の
移動手段４０のナット４２の説明と合わせて詳述する。In the present embodiment, the moving table 20 has a plate-shaped moving table body (hereinafter, simply referred to as a “table body”) 21 and protrudes downward from the lower surface of the right end of the table body 21. Nut holding part 2
2 and a positioning portion 23 also protruding downward from the lower surface of the left end. Upper surface 21 of table body 21
“a” is formed in a planar shape, and for example, a work (not shown) to be processed is directly attached, or a turntable (described later) for rotating the work is attached. The table main body 21 is engaged with the above-described guide member 14, and the guide member 14 guides the movement in the left-right direction. The positioning unit 23 is shown in FIG.
As shown in the figure, a block-shaped positioning base 23a,
It has holding parts 23b, 23b projecting from the positioning base 23a in the left-right direction, and having a curved end. In addition, the nut holding part 22 will be described in detail together with the description of the nut 42 of the moving means 40 described later.
【００２４】図１に戻る。Returning to FIG.
【００２５】駆動手段３０としては、モータを使用する
ことができる（以下「モータ３０」という）。モータ３
０は、上述のベース部材１０の上面１０ａに突設された
取付け部１１に、その出力軸（不図示）が左方を向くよ
うにして固定されており、出力軸には、カップリング
（不図示）を介して後述の送りねじ４１が連結されてい
る。モータ３０としては、例えばステッピングモータが
使用され、その正転、逆転、停止は、後述の制御手段６
０によって制御される。As the driving means 30, a motor can be used (hereinafter referred to as "motor 30"). Motor 3
Numeral 0 is fixed to a mounting portion 11 protruding from the upper surface 10a of the base member 10 so that its output shaft (not shown) faces leftward. A feed screw 41 to be described later is connected thereto via an illustration). For example, a stepping motor is used as the motor 30, and its forward rotation, reverse rotation, and stop are controlled by a control unit 6 described later.
Controlled by 0.
【００２６】移動手段４０は、送りねじ４１とナット４
２とを主要構成部材として構成されている。送りねじ４
１は、その長手方向を図１中の左右方向に向けて配置さ
れており、その基端部４１ａが、上述のモータ３０の出
力軸にカップリングを介して連結されるとともに、取付
け部１１によって回動自在に支持されており、また、先
端部４１ｂが取付け部１２によって回動自在に支持され
ている。一方、ナット４２は、円筒状に形成され、送り
ねじ４１に噛合されるとともに、上述の移動テーブル２
０のナット保持部２２によって保持されている。The moving means 40 includes a feed screw 41 and a nut 4
2 as a main component. Feed screw 4
1 is arranged with its longitudinal direction facing the left-right direction in FIG. 1, and its base end 41 a is connected to the output shaft of the motor 30 via a coupling, and It is rotatably supported, and the tip portion 41 b is rotatably supported by the mounting portion 12. On the other hand, the nut 42 is formed in a cylindrical shape, meshed with the feed screw 41, and
0 is held by the nut holding portion 22.
【００２７】ここで、ナット保持部２２について詳述す
る。ナット保持部２２は、図２の拡大断面図に示すよう
に、テーブル本体２１の下面にボルトＢ１によって固定
された第１のブロック２２ａと、この第１のブロック２
２ａにボルトＢ２によって固定された第２のブロック２
２ｂとによって構成されている。これら第１及び第２の
ブロック２２ａ、２２ｂには、それぞれナット４２にお
ける送り軸４１に沿った方向の両端面４２ａ、４２ｂに
対向する移動規制面２２ａ1 、２２ｂ1が形成されてい
る。これら移動規制面２２ａ1 、２２ｂ1間の距離は、
ナット４２の両端面４２ａ、４２ｂ間の距離よりも、所
定範囲だけ長く設定されている。すなわち、一方の移動
規制面２２ａ1にナット４２の一方の端面４２ａを接触
させた状態において、ナット４２の他方の端面４２ｂと
他方の移動規制面２２ｂ1との間には、間隙（ガタ）Ｓ
が形成されこの幅が上述の所定範囲に相当する。このた
め、ナット保持部２２、ひいては移動テーブル２０は、
ナット４２に対して、間隙Ｓの範囲内で、送りねじ４２
に沿った方向（図２中の左右方向）に移動可能となって
いる。さらに、ナット保持部２２とナット４２との間に
は、回り止め（不図示）が設けてあり、ナット４２は回
転不能に保持されている。ナット保持部２２が上述のよ
うに構成されているので、送りねじ４１が矢印Ｒ４１方
向に回転すると、回転不能のナット４２は、同図中の左
方に移動し、その左の端面４２ａによってナット保持部
２２の左の移動規制面２２ａ1を左方に押し、これによ
り、移動テーブル２０全体が左方に移動するようになっ
ている。Here, the nut holding portion 22 will be described in detail. As shown in the enlarged sectional view of FIG. 2, the nut holding portion 22 includes a first block 22a fixed to the lower surface of the table main body 21 by bolts B1, and a first block 22a.
2a fixed to the second block 2a by bolts B2
2b. The first and second blocks 22a and 22b are formed with movement restricting surfaces 22a 1 and 22b 1 that oppose both end surfaces 42a and 42b of the nut 42 in the direction along the feed shaft 41, respectively. The distance between the movement restriction surfaces 22a 1 and 22b 1 is:
It is set longer than the distance between both end surfaces 42a and 42b of the nut 42 by a predetermined range. That is, in one while a state where the end face 42a is contacted to the movement restricting surface 22a 1 to the nut 42, between the other end surface 42b and the second movement restricting surface 22b 1 of the nut 42, the gap (backlash) S
Is formed, and this width corresponds to the above-mentioned predetermined range. For this reason, the nut holding part 22 and, consequently, the moving table 20
With respect to the nut 42, the feed screw 42
(The left-right direction in FIG. 2). Further, a rotation stopper (not shown) is provided between the nut holding portion 22 and the nut 42, and the nut 42 is held so as not to rotate. Since the nut holding portion 22 is configured as described above, when the feed screw 41 rotates in the direction of arrow R41, the non-rotatable nut 42 moves to the left in the figure, and the nut 42 is moved by the left end surface 42a. press movement regulating surface 22a 1 of the left holding portion 22 to the left, thereby, the whole moving table 20 is moved in the left.
【００２８】位置決め手段５０は、図１に示すように、
ベース部材１０の上面１０ａに突設された上述の取付け
部１３に固定されている。図３に位置決め手段５０の拡
大図を示す。同図に示すように、位置決め手段５０は、
ストッパ５１と、アクチュエータとしてのエアシリンダ
５２と、エアシリンダ５２のロッド（不図示）に装着さ
れた引手５３と、引手５３に所定の動作（後述）をさせ
るカム筒５４とを備えている。ストッパ５１は、上述の
取付け部１３の上部右側面に右方を向けて固設されてい
る。エアシリンダ５２としては、例えば、引込み単動形
のものを使用することができ、そのロッドの先端を右方
に向けて取付けられている。ロッドの先端部には引手５
３が装着されている。引手５３は、ロッドの先端部に冠
着された筒状部５３ａと、その右端部に固着されたアー
ム部５３ｂとを有し、全体として、ロッドに対しスラス
ト方向に移動不能、ラジアル方向に回転可能に取り付け
られている。アーム部５３ｂの先端左側面には上述のス
トッパ５１と同形のストッパ５３ｃが固着されている。
また、筒状部５３ａからはピン５３ｄが突出されてい
る。カム筒５４は、円筒状に形成されるとともに、その
軸を左右方向に向けた姿勢で、上述の取付け部１３の右
側面に固定されている。カム筒５４には、母線に対して
傾斜した傾斜溝５４ａ1と母線に沿った直線溝５４ａ２
とを有するカム溝５４ａが形成されている。カム筒５
４の内側には、上述の引手５３の筒状部５３ａが遊嵌さ
れており、筒上部５３ａのピン５３ｄがカム溝５４ａに
係合されている。位置決め手段５０において、エアシリ
ンダ５２のロッドを右方に伸張すると、ロッドとともに
引手５３が右方に移動する。このとき、ピン５３ｄがカ
ム溝５４ａに倣って左方から右方に移動する。ピン５３
ｄがカム溝５４ａの直線部５４ａ2を左方から右方に移
動している際には、アーム部５３ｂは、図３に示す起立
姿勢を保持した状態で左方から右方に平行移動する。こ
れに対して、ピン５３ｄが傾斜部５４ａ1を左方から右
方に移動する際には、アーム部５３ｂは、その先端（ス
トッパ５３ｃを有する側）が、同図中の手前側に徐々に
回転しながら右方に移動する。そして、ロッドが伸び切
った伸張限においては、アーム部５３ｂの先端は、倒伏
姿勢をとり、移動テーブル２０の位置決め部２３の移動
経路から退避することになる。これにより、位置決め部
２３が左方からストッパ５１に近接し、またストッパ５
１から上方に離間するのが可能となる。なお、ロッドを
伸張限から短縮した場合には、上述と逆の動作となる。
すなわち、倒伏姿勢にあったアーム部５３ｂは、ピン５
３ｄが傾斜部５４ａ1を移動中は、ロッドの短縮に伴っ
て徐々に回転しながら起立していく。そして、ピン５３
ｄが直線部５４ａ2に到達すると起立姿勢をとり、この
起立姿勢を維持したまま左方に移動する。The positioning means 50 is, as shown in FIG.
The base member 10 is fixed to the mounting portion 13 protruding from the upper surface 10a. FIG. 3 is an enlarged view of the positioning means 50. As shown in FIG.
A stopper 51, an air cylinder 52 as an actuator, a tab 53 attached to a rod (not shown) of the air cylinder 52, and a cam cylinder 54 for causing the tab 53 to perform a predetermined operation (described later) are provided. The stopper 51 is fixed on the upper right side surface of the mounting portion 13 so as to face right. As the air cylinder 52, for example, a retractable single-acting type can be used, and the air cylinder 52 is attached with its rod end directed rightward. A handle 5 at the end of the rod
3 is attached. The handle 53 has a cylindrical portion 53a attached to the tip of the rod and an arm portion 53b fixed to the right end thereof. As a whole, the handle 53 cannot move in the thrust direction with respect to the rod, and rotates in the radial direction. Mounted as possible. A stopper 53c having the same shape as the above-described stopper 51 is fixed to the left side surface of the distal end of the arm 53b.
Also, a pin 53d protrudes from the cylindrical portion 53a. The cam cylinder 54 is formed in a cylindrical shape, and is fixed to the right side surface of the above-described mounting portion 13 in a posture in which its axis is directed to the left and right. The cam barrel 54, a straight line groove 54a2 along the inclined groove 54a 1 and generatrices inclined with respect to the generating line
Are formed. Cam cylinder 5
The cylindrical portion 53a of the above-described pull 53 is loosely fitted inside the knob 4, and the pin 53d of the upper portion 53a is engaged with the cam groove 54a. When the rod of the air cylinder 52 is extended rightward in the positioning means 50, the tab 53 moves rightward together with the rod. At this time, the pin 53d moves from left to right following the cam groove 54a. Pin 53
When d is moving to the right straight portion 54a 2 of the cam groove 54a from the left, the arm portion 53b is translated from left to right while holding the upright position shown in FIG. 3 . In contrast, when the pin 53d is moved rightward inclined portion 54a 1 from the left is the arm portion 53b has its leading end (the side having a stopper 53c) is gradually on the front side in the drawing Move to the right while rotating. Then, in the extension limit where the rod is fully extended, the tip of the arm portion 53b takes a falling posture and retreats from the moving path of the positioning portion 23 of the moving table 20. As a result, the positioning portion 23 approaches the stopper 51 from the left, and the stopper 5
1 can be separated upward. When the rod is shortened from the extension limit, the operation is reversed.
That is, the arm 53b in the lying posture is
3d is the moving inclined portions 54a 1, continue to stand up while rotating slowly with the shortening of the rod. And pin 53
d takes a standing posture to reach the straight portion 54a 2, moves to the left while maintaining the standing posture.
【００２９】なお、本実施の形態１においては、上述の
エアシリンダ５２、引手５３、カム筒５４によって、押
圧手段を構成しており、後述のように、この押圧手段に
よって上述のストッパ５１との間に移動テーブル２０の
位置決め部２３を挟持することで、移動テーブル２０の
位置決め及びクランプを行っている。In the first embodiment, the air cylinder 52, the tab 53, and the cam cylinder 54 constitute a pressing means, and as described later, this pressing means makes contact with the stopper 51. The positioning and clamping of the moving table 20 are performed by sandwiching the positioning portion 23 of the moving table 20 therebetween.
【００３０】制御手段６０は、図１に示すように、セン
サ（検知手段）６１とＣＰＵ６２とを有し、センサ６１
の出力信号に基づいて、モータ３０及び位置決め手段５
０の動作を制御する。センサ６１は、移動テーブル２０
がストッパ５１に近接したこと、さらに詳しくは、図３
に示す、移動テーブル２０の位置決め部２３の左の挟持
部２３ｂの左端と、ストッパ５１の右側面との間の距離
が所定範囲内、すなわち、上述のナット４２とナット保
持部２２との間の間隙Ｓ以下になったことを検知し、出
力信号を発するものである。ＣＰＵ６２は、この出力信
号により、モータ３０を停止させ、さらに、エアシリン
ダ５２を駆動して、移動テーブル２０の位置決め、クラ
ンプを行わせる。The control means 60 has a sensor (detection means) 61 and a CPU 62 as shown in FIG.
Based on the output signal of the motor 30 and the positioning means 5
0 operation is controlled. The sensor 61 is connected to the moving table 20.
Is closer to the stopper 51, and more specifically, FIG.
, The distance between the left end of the left holding portion 23b of the positioning portion 23 of the moving table 20 and the right side surface of the stopper 51 is within a predetermined range, that is, the distance between the nut 42 and the nut holding portion 22 described above. It detects that the gap has become smaller than S and generates an output signal. The CPU 62 stops the motor 30 according to the output signal, and further drives the air cylinder 52 to perform positioning and clamping of the moving table 20.
【００３１】次に、上述構成の送り装置の動作を説明す
る。Next, the operation of the above-structured feeder will be described.
【００３２】まず、図１に示すように、移動テーブル２
０を右端のワーク取付け位置に配置するとともに、位置
決め手段５０のエアシリンダ５２のロッドを伸張させて
アーム部５３ｂを倒伏させておく。First, as shown in FIG.
0 is arranged at the rightmost work attachment position, and the rod of the air cylinder 52 of the positioning means 50 is extended to lower the arm 53b.
【００３３】移動テーブル２０に対するワークの取付け
後、制御手段６０によって、モータ３０を回転させ、送
りねじ４１を、図２の矢印Ｒ４１方向に回転させる。こ
の送りねじ４１の回転により、ナット４２は、同図中の
左方に移動する。このため、ナット４２の左の端面４２
ａがナット保持部２２の左の移動規制面２２ａ1を左方
に押し、移動テーブル２０全体がガイド部材１４に沿っ
て左方に移動する。この移動テーブル２０の移動中は、
ナット４２の右の端面４２ｂとナット保持部２２の右の
移動規制面２２ｂ1との間には、間隙Ｓが形成される。
なお、この間隙Ｓは、例えば、１〜４ｍｍ程度に設定す
ればよく、本実施の形態では２ｍｍに設定した例を説明
する。After the work is mounted on the moving table 20, the motor 30 is rotated by the control means 60, and the feed screw 41 is rotated in the direction of arrow R41 in FIG. By the rotation of the feed screw 41, the nut 42 moves to the left in FIG. Therefore, the left end face 42 of the nut 42
a push movement restricting surface 22a 1 of the left nut holding portion 22 to the left, the whole moving table 20 is moved to the left along the guide member 14. While the moving table 20 is moving,
Between the right movement restricting surface 22b 1 of the right end face 42b and the nut holding portion 22 of the nut 42, the gap S is formed.
Note that the gap S may be set to, for example, about 1 to 4 mm. In the present embodiment, an example in which the gap is set to 2 mm will be described.
【００３４】移動テーブル２０がさらに左方への移動を
つづけ、その位置決め部２３が、図１に示す倒伏姿勢の
アーム部５３ｂの上方を完全に通過し、図３に示す位置
決め部２３の左の挟持部２３ｂの左端が、ストッパ５１
の右端面に近接し、両者の距離が、例えば１ｍｍとなっ
たときにセンサ６１がこれを検知し、出力信号を発生す
る。これによりＣＰＵ６２がモータ３０を停止させる
と、移動テーブル２０が停止する。これと並行してＣＰ
Ｕ６２は、エアシリンダ５２を駆動する。エアシリンダ
５２は、そのロッドを短縮する。この際、引手５３のピ
ン５３ｄが、カム溝５４ａのうちの、初めは傾斜部５４
ａ1に倣って左方に移動する。このため、アーム部５３
ｂは、左方に移動しながら徐々に回転し起立していく。
そして、ピン５３ｄが直線部５４ａ２ に達するとアー
ム部５３ｂは起立姿勢をとり、その後は起立姿勢を維持
したまま、左方に移動する。この左方への移動によっ
て、アーム部５３ｂのストッパ５３ｃが、位置決め部２
３の右の挟持部２３ｂを左方に押し、移動テーブル２０
全体を約１ｍｍ左方に移動させる。これにより、位置決
め部２３の左の挟持部２３ｂの左端が取付け部１３のス
トッパ５１に当接し、移動テーブル２０全体の位置決め
が行われる。この後、さらにロッドをわずかに短縮する
ことにより、取付け部１３側のストッパ５１と、アーム
５３ｂ側のストッパ５３ｃとの間に、移動テーブル２０
の位置決め部２３を挟持することができる。すなわち、
移動テーブル２０の位置決めを行うとともに、これをク
ランプすることができる。The moving table 20 continues to move further to the left, and the positioning portion 23 completely passes over the arm portion 53b in the lying posture shown in FIG. 1, and the left portion of the positioning portion 23 shown in FIG. The left end of the holding portion 23b is
When the distance between them becomes, for example, 1 mm, the sensor 61 detects this and generates an output signal. Thus, when the CPU 62 stops the motor 30, the moving table 20 stops. In parallel with this
U62 drives the air cylinder 52. The air cylinder 52 shortens its rod. At this time, the pin 53d of the tab 53 is initially set to the inclined portion 54 of the cam groove 54a.
moves to the left following the a 1. Therefore, the arm 53
b gradually rotates and rises while moving to the left.
When the pin 53d reaches the linear portion 54a2, the arm 53b takes a standing posture, and thereafter moves leftward while maintaining the standing posture. This leftward movement causes the stopper 53c of the arm 53b to move
3 is pushed to the left, and the moving table 20 is pressed.
The whole is moved to the left by about 1 mm. As a result, the left end of the left holding portion 23b of the positioning portion 23 comes into contact with the stopper 51 of the mounting portion 13, and the entire moving table 20 is positioned. Thereafter, by further shortening the rod slightly, the moving table 20 is moved between the stopper 51 on the mounting portion 13 side and the stopper 53c on the arm 53b side.
Can be sandwiched. That is,
The moving table 20 can be positioned and clamped.
【００３５】上述のように、移動テーブル２０を位置決
めする際の、位置決め手段５０による移動テーブル２０
の移動距離は、１ｍｍ以下であり、これは、図２中のナ
ット４２と移動規制面２２ｂ1との間隙Ｓ（＝２ｍｍ）
よりも短い。したがって、位置決め時の移動テーブル２
０は、ナット４２に対してはフリーな状態となってお
り、移動テーブル２０はその移動をナット４２によって
拘束されることはなく、容易に移動する。逆にいうと、
このときの移動テーブル２０の移動によって、ナット４
２には、不要な力は作用しないことになる。As described above, when the moving table 20 is positioned, the moving table 20 by the positioning means 50 is used.
Moving distance is at 1mm or less, this is the gap S between the nut 42 in FIG. 2 and movement restricting surface 22b 1 (= 2mm)
Shorter than. Therefore, the moving table 2 during positioning
0 indicates a free state with respect to the nut 42, and the moving table 20 moves easily without being restricted by the nut 42. Conversely,
The movement of the moving table 20 at this time causes the nut 4
No unnecessary force will act on 2.
【００３６】次に、上述のようにして位置決めされた移
動テーブル２０を、その上面２１ａに固定されたワーク
の加工後に、右方に移動させる動作について説明する。Next, the operation of moving the moving table 20 positioned as described above to the right after working the work fixed on the upper surface 21a will be described.
【００３７】まず、エアシリンダ５２のロッドを伸張し
て移動テーブル２０の位置決め部２３のクランプを解除
するとともに、引手５３のアーム部５３ｂを倒伏させ
て、位置決め部２３の移動経路から退避させる。次に、
ＣＰＵ６２により、モータ３０を上述とは逆方向に回転
させ、送りねじ４１を、図２の矢印４１と反対方向に回
転させる。これによりナット４２は右方に移動する。ナ
ット４２は、その右の端面４２ｂとナット保持部２２の
右の移動規制面２２ｂ 1との間の間隙（この場合は約１
ｍｍ）を移動した後、移動規制面２２ｂ1に当接し、ナ
ット保持部２２を介して移動テーブル２０全体を、ガイ
ド部材１４に沿って右方に移動させる。移動テーブル２
０が図１に示す右端のワーク取付け位置に達したとき
に、モータ３０を停止させる。これにより、移動テーブ
ル２０も停止する。First, the rod of the air cylinder 52 is extended.
To release the clamp of the positioning part 23 of the moving table 20
And the arm 53b of the handle 53 falls down.
Then, the positioning unit 23 is retracted from the movement path. next,
The CPU 30 rotates the motor 30 in a direction opposite to the above.
And turn the feed screw 41 in the direction opposite to the arrow 41 in FIG.
Invert. As a result, the nut 42 moves rightward. Na
The nut 42 is formed between the right end surface 42 b and the nut holding portion 22.
Right movement regulation surface 22b 1(In this case, about 1
mm), the movement regulating surface 22b1Abuts on
The entire movable table 20 is guided through the
To the right along the door member 14. Moving table 2
When 0 reaches the rightmost work mounting position shown in Fig. 1.
Then, the motor 30 is stopped. This allows the moving table
The file 20 also stops.
【００３８】上述のように、本発明によると、移動テー
ブル２０の位置決めは、位置決め手段５０によって移動
テーブル２０の一部をストッパ５１に当接させることで
行われるため、その位置決め精度は、もっぱらストッパ
５１の位置精度に起因することになり、移動テーブル２
０の位置決め精度を向上させることができる。As described above, according to the present invention, the positioning of the moving table 20 is performed by bringing a part of the moving table 20 into contact with the stopper 51 by the positioning means 50. 51 due to the positional accuracy of the moving table 2
The positioning accuracy of 0 can be improved.
【００３９】また、モータ（駆動手段）３０、移動手段
４０（送りねじ４１及びナット４２）、検知手段６１
は、移動テーブル２０をストッパ５１に近接させるため
に使用される。したがって、これらの手段に必要以上の
高精度が要求されることはなく、その分、構成を簡素化
することができる。The motor (drive means) 30, the moving means 40 (the feed screw 41 and the nut 42), the detection means 61
Is used to bring the moving table 20 close to the stopper 51. Therefore, these means are not required to have higher precision than necessary, and the configuration can be simplified accordingly.
【００４０】さらに、位置決め時には、モータ３０に対
する通電は行われないので、モータ３０が不要に昇温す
ることもない。Further, since no power is supplied to the motor 30 during positioning, the motor 30 does not needlessly heat up.
【００４１】なお、上述では、ナット４２とナット保持
部２２との間隙Ｓを２ｍｍに設定し、また、モータ３０
の駆動によって移動テーブル２０の位置決め部２３をス
トッパ５１の手前１ｍｍの位置で停止させるように設定
した例を説明したが、理論的には、前者の間隙Ｓは、２
ｍｍに限らず任意に、また、後者の１ｍｍについては、
間隙Ｓよりも小さいことを条件に任意に設定することが
できる。これらの値については、送り装置の大きさ、ワ
ークの加工精度（測定精度）等に応じて、適宜に設定す
るとよい。In the above description, the gap S between the nut 42 and the nut holder 22 is set to 2 mm, and the motor 30
Has been described in which the positioning unit 23 of the moving table 20 is stopped at a position 1 mm before the stopper 51 by the drive of the above, but theoretically, the gap S of the former is 2 mm.
mm, arbitrarily, and for the latter 1 mm,
It can be set arbitrarily under the condition that it is smaller than the gap S. These values may be appropriately set according to the size of the feeder, the processing accuracy (measurement accuracy) of the work, and the like.
【００４２】本発明は、もちろん、上述の実施の形態１
に限られるものではない。例えば、移動手段４０の送り
ねじには、台形ねじやボールねじを使用することができ
る。また、ガイド部材１４としては、レール状のものに
代表される滑り拘束によるもののほか、ローラや鋼球を
使用した転がり拘束によるものも使用することができ
る。さらに、ナット４２を円筒状に形成するに代えて、
ナットにおける軸に交差する方向の断面形状が方形とな
るように形成し、このナット４２の一部がちょうどナッ
ト保持部２２に嵌合するようにすることで、ナット４２
の回転を禁止するようにしてもよい。なお、ガイド部材
１４による移動テーブル２０のガイド精度をよくするこ
とで、移動テーブル２０における移動方向と交差する方
向の位置決め精度を向上させることができる。The present invention is, of course, described in the first embodiment.
It is not limited to. For example, a trapezoidal screw or a ball screw can be used as the feed screw of the moving means 40. Further, as the guide member 14, besides a slide constraint represented by a rail shape, a roll constraint using a roller or a steel ball can be used. Further, instead of forming the nut 42 into a cylindrical shape,
The nut 42 is formed so that the cross-sectional shape of the nut in a direction intersecting the axis is rectangular, and a part of the nut 42 is fitted to the nut holding portion 22.
May be prohibited. By improving the accuracy of the guide of the moving table 20 by the guide member 14, the positioning accuracy of the moving table 20 in the direction intersecting the moving direction can be improved.
【００４３】〈実施の形態２〉図４に、実施の形態２と
して、本発明に係る送り装置を、研磨装置に適用した例
を示す。なお、図４において、図１と同様の部材等につ
いては同様に符号を付し、その重複説明は適宜省略する
とともに、以下では、相違点を主に説明するものとす
る。Second Embodiment FIG. 4 shows a second embodiment in which the feeder according to the present invention is applied to a polishing apparatus. In FIG. 4, the same members and the like as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and the repeated description thereof will be appropriately omitted, and the differences will be mainly described below.
【００４４】図４に示す研磨装置においては、ベース部
材１０は、除振台７１、７１上に配設されている。ま
た、ベース部材１０の上面には、コラム７２が立設され
ており、コラム７２の中央には、回転自在の研磨スピン
ドル７３が下方に向けて配置されている。In the polishing apparatus shown in FIG. 4, the base member 10 is disposed on vibration damping tables 71, 71. A column 72 is erected on the upper surface of the base member 10, and a rotatable polishing spindle 73 is arranged downward at the center of the column 72.
【００４５】一方、移動テーブル２０上面には、研磨対
象となるワーク（例えば、レンズ）Ｗを取付けるための
ターンテーブル７４が固定されている。On the other hand, a turntable 74 for mounting a workpiece (eg, a lens) W to be polished is fixed on the upper surface of the movable table 20.
【００４６】上述構成の研磨装置においては、移動テー
ブル２０を右端のワーク取付け位置に配置し、ターンテ
ーブル７４上にワークＷを取り付ける。つづいて、モー
タ３０、移動手段４０、制御手段（不図示）によって、
移動テーブル２０をストッパ５１に近接させて、停止さ
せる。In the polishing apparatus having the above-described configuration, the moving table 20 is disposed at the rightmost work mounting position, and the work W is mounted on the turntable 74. Subsequently, the motor 30, the moving means 40, and the control means (not shown)
The moving table 20 is stopped by approaching the stopper 51.
【００４７】次に、位置決め手段５０によって、移動テ
ーブル２０の位置決め部２３をストッパ５１との間に挟
持する。これにより、移動テーブル２０を位置決めする
とともに、クランプする。Next, the positioning section 50 of the movable table 20 is sandwiched between the movable table 20 and the stopper 51 by the positioning means 50. Thereby, the moving table 20 is positioned and clamped.
【００４８】その後、研磨スピンドル７３を回転させ
て、ワークＷを研磨する。研磨後、位置決め部２３のク
ランプを解除し、モータ３０等によって移動テーブル２
０を右方に移動し、初めのワーク取付け位置に配置す
る。Thereafter, the work W is polished by rotating the polishing spindle 73. After polishing, the clamping of the positioning portion 23 is released, and the moving table 2 is moved by the motor 30 or the like.
Move 0 to the right and place it at the first work mounting position.
【００４９】上述の研磨装置においては、実施の形態１
で説明した、本発明に係る送り装置が適用されていて、
移動テーブル２０の位置決め精度が高いので、その分、
ワークＷの研磨精度も向上させることができる。In the above-described polishing apparatus, Embodiment 1
The feeder according to the present invention described in has been applied,
Since the positioning accuracy of the moving table 20 is high,
Polishing accuracy of the work W can also be improved.
【００５０】なお、本発明に係る送り装置は、上述の研
磨装置に限らず、移動テーブル２０の高い位置決め精度
が要求される一般の工作機械等に対しても、基本的な構
成はほぼそのままで、簡単に適用することが可能であ
る。It should be noted that the feeder according to the present invention is not limited to the above-described polishing apparatus, and the basic configuration is substantially unchanged for general machine tools and the like that require high positioning accuracy of the moving table 20. , Can be easily applied.
【００５１】[0051]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
駆動手段、移動手段、検知手段を高精度にする必要のな
い簡単な構成でありながら、移動テーブルの位置決めを
精度よく行うことができる。しかも、移動テーブルの位
置決め状態を保持した場合でも、駆動手段に対する通電
を行う必要がないので、駆動手段の不要な昇温を防止す
ることができる。As described above, according to the present invention,
The positioning of the moving table can be performed accurately with a simple configuration that does not require the driving means, the moving means, and the detecting means to have high precision. In addition, even when the positioning state of the moving table is maintained, it is not necessary to energize the driving means, so that unnecessary temperature rise of the driving means can be prevented.
【図１】実施の形態１の送り装置の概略構成を示す正面
図。FIG. 1 is a front view illustrating a schematic configuration of a feeding device according to a first embodiment.
【図２】送りねじ、ナット、ナット保持部の拡大断面
図。FIG. 2 is an enlarged sectional view of a feed screw, a nut, and a nut holding unit.
【図３】移動テーブルの位置決め部、位置決め手段の拡
大図。FIG. 3 is an enlarged view of a positioning unit and a positioning unit of the moving table.
【図４】実施の形態２の、本発明に係る送り装置を適用
した研磨装置の概略構成を示す正面図。FIG. 4 is a front view showing a schematic configuration of a polishing apparatus according to a second embodiment to which a feeder according to the present invention is applied.
【図５】従来の送り装置の概略構成を示す正面図。FIG. 5 is a front view showing a schematic configuration of a conventional feeder.
【図６】従来の他の送り装置の概略構成を示す正面図。FIG. 6 is a front view showing a schematic configuration of another conventional feeding device.
１０ ベース部材 １４ ガイド部材 ２０ 移動テーブル ２１ 移動テーブル本体（テーブル本体） ２２ ナット保持部 ２２ａ1 、２２ｂ1移動規制面 ２３ 位置決め部 ３０ 駆動手段（モータ） ４０ 移動手段 ４１ 送りねじ ４２ ナット ４２ａ、４２ｂ端面 ５０ 位置決め手段 ５１ ストッパ ５２ アクチュエータ（エアシリンダ） ５３ 引手 ５４ カム筒 ６０ 制御手段 ６１ 検知手段（センサ） ６２ ＣＰＵ Ｓ 所定範囲（間隙、ガタ） Ｗ ワーク10 base member 14 guide member 20 moving table 21 moves the table body (table body) 22 nut holding portion 22a 1, 22b 1 movement regulating surface 23 positioning portion 30 driving means (motor) 40 moving means 41 feed screw 42 nut 42a, 42b end face Reference Signs List 50 positioning means 51 stopper 52 actuator (air cylinder) 53 puller 54 cam cylinder 60 control means 61 detection means (sensor) 62 CPU S predetermined range (gap, play) W work
Claims (4)
た移動テーブルと、前記ベース部材側に配設された駆動
手段と、該駆動手段と前記移動テーブルとの間に介装さ
れ前記駆動手段の駆動により前記移動テーブルを移動さ
せる移動手段と、前記ベース部材側に配設され前記移動
テーブルを所定の位置に配置する位置決め手段と、前記
駆動手段及び前記位置決め手段の動作を制御する制御手
段と、を備えた送り装置において、 前記移動手段は、 前記駆動手段によって回転駆動される送りねじと、 該送りねじに噛合されたナットと、を有し、 前記移動テーブルは、 前記ナットの回転を禁止しつつ該ナットにおける前記送
りねじに沿った方向の所定範囲内の移動を許容するナッ
ト保持部を有し、 前記位置決め手段は、 前記移動テーブルの一部が当接されるストッパと、 該ストッパに前記移動テーブルの一部を押し付ける押圧
手段と、を有し、 前記制御手段は、 前記ストッパに対し前記移動テーブルの一部が前記所定
範囲内に近接したことを検知して出力信号を発生する検
知手段を有するとともに、該検知手段の出力信号によっ
て前記駆動手段を停止させ、前記押圧手段を駆動して前
記移動テーブルを該移動テーブルの一部が前記ストッパ
に接触するまで移動させ、さらに前記ストッパに押圧さ
せる、 ことを特徴とする送り装置。A moving table disposed movably with respect to a base member; a driving unit disposed on the base member side; and the driving unit interposed between the driving unit and the moving table. Moving means for moving the moving table by driving the means, positioning means disposed on the base member side for positioning the moving table at a predetermined position, and control means for controlling operations of the driving means and the positioning means Wherein the moving means comprises: a feed screw rotationally driven by the driving means; and a nut meshed with the feed screw, wherein the moving table rotates the nut. A nut holding portion for allowing movement of the nut within a predetermined range in a direction along the feed screw while prohibiting the nut, wherein the positioning means is a part of the moving table; A stopper that abuts against the stopper; and a pressing unit that presses a part of the moving table against the stopper, wherein the control unit is configured such that a part of the moving table approaches the stopper within the predetermined range. Detecting means for detecting an output signal and stopping the driving means by an output signal of the detecting means, driving the pressing means to move the moving table to a part of the moving table. A feed device, wherein the feed device is moved until it contacts, and further pressed against the stopper.
移動をガイドするガイド部材を設ける、 ことを特徴とする請求項１記載の送り装置。2. The feeding device according to claim 1, wherein a guide member for guiding the movement of the moving table is provided on the base member side.
面にそれぞれ対向する移動規制面を有し、 前記所定範囲は、 これら移動規制面のうちの一方の移動規制面に前記ナッ
トの両端面のうちの一方の端面を接触させた状態におい
て、前記ナットの他方の端面と前記ナット保持部の他方
の移動規制面との間の形成される間隙に相当する、 ことを特徴とする請求項１又は２記載の送り装置。3. The nut holding portion has a movement restricting surface opposed to both end surfaces of the nut in a direction along the feed screw, and the predetermined range is one of the movement restricting surfaces. In a state where one end face of both end faces of the nut is brought into contact with the movement regulating face, it corresponds to a gap formed between the other end face of the nut and the other movement regulating face of the nut holding portion. The feeding device according to claim 1, wherein:
に突設された位置決め部と、を有し、 前記位置決め手段の押圧手段は、 前記ストッパとの間に前記位置決め部を挟持すること
で、前記移動テーブルを位置決めし、さらにクランプす
るアクチュエータを有する、 ことを特徴とする請求項１、２、又は３記載の送り装
置。4. The moving table includes: a moving table main body; and a positioning portion corresponding to a part of the moving table and protruding from the moving table main body. 4. The feed device according to claim 1, further comprising an actuator that positions the moving table by clamping the positioning portion between the stopper and a stopper, and further clamps the moving table. 5.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9252615A JPH1177473A (en) | 1997-09-03 | 1997-09-03 | Feeder device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9252615A JPH1177473A (en) | 1997-09-03 | 1997-09-03 | Feeder device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1177473A true JPH1177473A (en) | 1999-03-23 |
Family
ID=17239838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9252615A Withdrawn JPH1177473A (en) | 1997-09-03 | 1997-09-03 | Feeder device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1177473A (en) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1997
- 1997-09-03 JP JP9252615A patent/JPH1177473A/en not_active Withdrawn
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|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20041207 |