JPH02287206A

JPH02287206A - 位置決めテーブル

Info

Publication number: JPH02287206A
Application number: JP1109925A
Authority: JP
Inventors: Satoru Noguchi; 哲野口
Original assignee: Nissha Printing Co Ltd
Current assignee: Nissha Printing Co Ltd
Priority date: 1989-04-28
Filing date: 1989-04-28
Publication date: 1990-11-27
Anticipated expiration: 2011-08-07
Also published as: EP0426868B1; US5123174A; JP2523177B2; DE69021324D1; EP0426868A1; KR940006117B1; WO1990013790A1; KR920700390A; DE69021324T2; EP0426868A4

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】良１直Δ帆且立吐本発明は、液晶配向膜やフォトレジスト膜、液晶封入用
シールまたは半導体素子の絶縁皮膜などの種々の機能性
薄膜をガラス基板などのワーク表面に印刷・形成するた
めに用いられる薄膜形成装置などの機能膜形成装置にお
いて、ワークを所定位置に固定する小型・軽量の位置決
めテーブルに関する。

従来の技術従来、この種の位置決めテーブルとしては種々の構造の
ものが知られている。例えば、ガラス基板などのワーク
を所定位置に固定するため、ワークを縦方向・横方向・
回転軸方向に移動させるため、基台上に、Ｘ方向に移動
可能なＸ方向テーブル、Ｘ方向に移動可能なＸ方向テー
ブル、θ方向に移動可能なθ方向テーブルの３層のテー
ブルが積層されたものがある。この位置決めテーブルは
、上記基台上に、上記θ方向にθ方向テーブルを移動さ
せるため、サーキュラ−ガイドとパルスモータまたはサ
ーボモータが備えられる。一方、上記θ方向テーブルに
は、上記Ｘ方向テーブルをＸ方向に移動させるため、直
線ガイドとボールネジを介してパルスモータまたはサー
ボモータとを備える。そして、上記Ｘ方向テーブルには
、上記Ｘ方向テーブルをＸ方向に移動させるため、直線
ガイドとボールネジを介してパルスモータまたはサーボ
モータとを備える。よって、各モータを駆動することに
より各ガイドに沿ってテーブルを移動させて、夫々の方
向の調整を行うようにしていた。

しかしながら、上記構造の位置決めテーブルでは、基台
を含めると４層構造よりなり、全体として大きな厚み寸
法を有することになりかつ重いものとなる一方、はとん
どのテーブルにはガイドとモータとが配置されるので全
体として構造が複雑なものとなっていた。従って、上記
位置決めテーブルを薄膜形成装置に組み込んで移動式の
テーブルとして使用する場合には、装置全体がいたずら
に大型化し、テーブル自体を移動するとき及びワークの
位置決めのときに機敏な動作を行わせることができない
といった種々の問題があった。

これらの問題を解決するものとして、１つのテーブルに
、パルスモータまたはサーボモータ等の駆動装置を備え
、該駆動装置の駆動により摺動する３つの基準ピンをＬ
字を構成するように配置し、これらの基準ピンにワーク
を接触させるようにワーク押圧装置（プッシャー）でワ
ークを押し付け、各基準ピンを移動させることにより、
ワークの夫々の方向の位置調整を行えるようにしたもの
が考えられる。

発明が解決しようとする課題しかしながら、上記構造のものでは、ワークをθ方向に
移動させる場合、ワークの回転中心が固定されず、各基
準ピンを夫々移動させる毎にワークの回転中心が異なり
、従って、ワークの位置調整をデータ化して行う場合、
位置決め時間が長くなるといった問題があった。

従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあ
って、ワークの位置決め作業を短時間でおこなうことが
でき、かつ、小型で軽量で構造も簡単な位置決めテーブ
ルを提供することにある。

課題を解決するための手段上記目的を達成するために、本発明は、ワークの位置決
めに使用する３つの基準ピンを常に所定の軸回りに一体
的に回転できるように構成した。

すなわち、ワークを載置するワーク載置テーブルと、該
ワーク載置テーブルの下方にＸ方向に移動可能に支持さ
れたベースプレートと、該ベースプレートをＸ方向に移
動させる第１駆動装置と、上記ワーク載置テーブルの上
記ワークに夫々当接可能な第１基準部材と第２基準部材
と第３基準部材と、上記第■基準部材と上記第２基準部
材とを所定間隔をあけて支持するとともに、上記第１基
準部材と上記第２基準部材との配列方向と直交する方向
沿いに上記第２基準部材とは所定間隔をあけ上記第３基
準部材を支持する一方、上記Ｘ方向及び所定の軸回りの
θ方向に夫々移動可能に上記ベースプレートに取り付け
られた基準部材支持部材と、該基準部材支持部材を上記
Ｘ方向に移動させる第２駆動装置と、上記基準部材支持
部材を上記θ方向に移動させる第３駆動装置と、上記ワ
ークを上記第１基準部材と上記第２基準部材と上記第３
基亭部材とに接触させるように付勢する付勢装置と、上
記ワークに付された位置調整用マークを検出するマーク
検出手段と、上記検出手段の検出結果と、上記マークを
位置させるべき所望の位置との間のずれ量を演算する演
算手段と、上記演算手段の演算結果に基づき、上記マー
クを上記所望の位置に位置させるべく、上記第１駆動装
置、上記第２駆動装置及び上記第３駆動装置を夫々駆動
・制御する制御手段とを備えるように構成した。

上記構成においては、上記第２駆動装置と上記第３駆動
装置は、上記Ｘ方向に上記基準部材支持部材を移動させ
る一対の駆動機構よりなり、両方の駆動機構の駆動量を
同一にして上記基準部材支持部材を上記Ｘ方向に移動さ
せる一方、上記両方の駆動機構の駆動量を異ならせるこ
とにより上記基準部材支持部材を上記θ方向に上記所定
の軸回りに回転させるように構成することもできる。

また、上記構成においては、各基準部材は、上記基準部
材支持部材に対して移動調整可能に構成することもでき
る。

発明の作用上記構成においては、上記ワークを上記ワーク載置テー
ブルに載置したのち、上記付勢装置で上記３つの基準部
材に夫々接触するように付勢する。

そして、上記検出手段で上記ワークのマークを検出して
ワークの現在の位置を検出し、この情報に基づき上記演
算手段でワークの所望の位置と現在の位置とのずれ最を
演算し、演算結果により上記制御手段で上記第１．第２
．第３駆動装置を駆動制御する。すなわち、例えば、上
記第１駆動装置を駆動して、上記基準部材支持部材が支
持された上記ベースプレートをＸ方向沿いに移動させ、
上記ワークのＸ方向の位置を調整する。また、上記第２
駆動装置を駆動して、上記ベースプレートに対して上記
基準部材支持部材をＸ方向沿いに移動させ、上記ワーク
のＸ方向の位置を調整する。さらに、上記第３駆動装置
を駆動して、上記ベースプレートに対して上記基準部材
支持部材をθ方向に移動させ、上記ワークのθ方向の位
置を調整する。

この場合、基準部材支持部材がθ方向に移動（回転）さ
れるときには、上記３つの基準部材が常に所定の軸回り
に一体的に回転される。

発明の効果上記構成によれば、３つの上記基準部材が上記基準部材
支持部材に支持され、かっ、所定の軸回りに一体的にθ
方向に移動可能にしたので、各基準部材を夫々Ｘ方向ま
たはＸ方向に移動させてらこれらの３つの基準部材は上
記基準部材支持部材とともに一体的に各方向に移動し、
かつ、ワークをθ方向に移動させる場合には、上記所定
の軸回りに必ず回転するため、ワークの回転中心が固定
され、従って、ワークの位置調整をデータ化して行う場
合、位置決め時間を短縮することができる。

また、上記位置決めテーブルは、上記ワーク載置テーブ
ルと上記ベースプレートとの大略２層のテーブルより構
成されるので、全体として小型で軽量で構造も簡単なも
のとなる。

実施例以下に、本発明にかかる実施例を第１−１１図に基づい
て詳細に説明する。

本実施例にかかる位置決めテーブルは、第１゜２図に示
すように、長方形板状ワーク載置テーブル１２の下方に
長方形板状ベースプレート２をＸ方向に移動可能に配置
し、Ｌ字状をなすように配列された第１．第２．第３基
準部材としての第１゜第２．第３基章ビン５　ａ、　５
　ｂ、　５　ｃを基準部材支持部材すなわち基準ビン支
持部材４に固定するとともに、該基準ピン支持部材４が
上記ベースプレート２に対して上記Ｘ方向とは直交する
Ｘ方向及び所定の回転軸Ａのθ方向回りに夫々移動可能
に取り付けられ、上記ワーク載置テーブル１２上にワー
ク１７を載置して、付勢装置で上記ワーク１７を上記第
１．第２．第３基準ピン５　ａ、　５　ｂ、　５　ｃに
夫々接触させるように付勢したのち、検出手段で上記ワ
ーク１７上のマーク１７ａ、１７ｂを検出して、現在の
位置と所望の位置との間のずれ量を演算手段で演算し、
この演算結果に基づき、制御手段の駆動制御により、第
１駆動装置で上記ベースプレート２をＸ方向に移動調整
し、第２駆動装置で上記基準部材ピン部材４をＸ方向に
移動調整し、第３駆動装置で上記基賭ピン支持部材４を
θ方向に移動調整して、ワーク１７を上記所望の位置に
位置決めするようにしたものである。

上記ワーク載置テーブル１２は、上記位置決めテーブル
を備える薄膜形成装置等に対して固定され、その上面に
ガラス板等のワーク１７が載置される。このワーク載置
テーブル！２の相対する一対の側面は上記Ｘ方向沿いに
配置され、残りの相対する一対の側面は上記Ｙ方向沿い
に配置されている。そして、上記Ｘ方向沿いの一側面に
は、第１基準ビン５ａ及び第２基準ビン５ｂに夫々対応
する位置に第１切欠１２ａ及び第２切欠１２ｂを形成す
る。一方、上記Ｙ方向沿いの一側面には、第３基準ビン
５ｃに対応する位置に第３切欠１２ｃを形成する。なお
、上記テーブル１２には上記第１切欠１２ａと上記第２
切欠１２ｂとを連結するような大きな切欠を形成しても
よい一方、切欠は必ずしも必要ではなく、基準ピン５が
後述するようにワーク１７に接触することができれば、
切欠を上記テーブル１２に形成する必要はない。ワーク
載置テーブル１２は、上記付勢装置に対応する位置にも
切欠を形成する。つまり、第１基準ビン５ａ及び第２基
準ピン５ｂに相対する側には、第１ブツシャ−ピン３５
ａ及び第２プッシャービン３５．ｂに夫々対応する位置
に第４切欠１２ｈ及び第５切欠１２ｉを形成する。一方
、第３基準ビン５Ｃに相対する側には、第３プツシヤー
ピン３５ｃに対応する位置に第６切欠１２ｊを形成する
。

上記ベースプレート２は、第２図に示すように、上記ワ
ーク載置テーブル１２の図中左側の下方に配置され、そ
の相対する一対の側面が上記Ｘ方向沿いに配置される一
方、残りの相対する一対の側面が上記Ｘ方向に配置され
ている。そして、第３図に示すように、ワーク載置テー
ブル１２の下方に一対のブラケット１６．１６を介して
スライドガイドｌを吊り支持し、このスライドガイド１
の下面に上記ベースプレート２がＸ方向に対して摺動可
能に吊り支持される。上記スライドガイドｌは、第５図
に示すように、上部１ａと下部ｔｂとの間に、一対のガ
イドｌｃ、ｌｃ間にコロｌｄを回転自在に挟み込んだ送
り部を２組内蔵してなる公知のスライド装置であって、
上記上部１ａを上記ブラケット１６．１６に固定する一
方、下部１ｂを上記ベースプレート２に固定する。この
ベースプレート２をＸ方向に駆動する上記第１駆動装置
は以下のように構成される。すなわち、第１．２．４．
６図に示すように、ワーク載置テーブル１２にブラケッ
ト１４を介して駆動モータ（パルスモータ）１３を支持
し、この駆動モータｔ３の回転軸に固定されたギヤ６に
ギヤ１１を噛合させる。このギヤ１目よ、Ｘ方向沿いに
ブラケット４８に支持されたマイクロメータヘッド１０
の回転軸１０ａの後端に固定されており、この回転軸１
０ａの前端は上記ベースプレート２のＸ方向沿いの一端
の係止端２ａに固定される。よって、上記駆動モータ１
３の回転駆動により、ギヤ６．１１を介してマイクロメ
ータヘッドｌＯの回転軸１０ａを回転させなからＸ方向
に前後動させて、ベースプレート２をＸ方向に移動させ
る。上記ベースプレート２のＸ方向沿いの他端には、第
７図に示すように、その係止端２ｂと上記ワーク載置テ
ーブル１２の下面より下方に延びた係止部１２ｄとの間
に圧縮バネ１５を介在させて、ベースプレート２を常時
Ｘ方向の上記駆動モータ１３側に押圧付勢する。従って
、上記ベースプレート２は、上記圧縮バネ１５が圧縮す
る範囲内で移動調整される。

上記基準ピン支持部材４は、大略コ字状に５個の部材を
組み合わせてなり、上記ベースプレート２の上面に上記
Ｙ方向及び回転軸Ａのθ方向回りに回転可能に配置され
る。

すなわち、上記ベースプレート２のＸ方向沿いの一側部
上に、直方体状第３支持体４ｃを載置し、この第３支持
体４ｃのＸ方向一端にＹ方向計いにスライド部材７を介
して延びる第１支持体４ａを連結する。この第！支持体
４ａは、上記第３支持体４ｃに対して上記スライド部材
７により摺動し、かつ、その回転中心軸Ｂの回りに回転
可能に上記ベースプレート２に取り付けられる。このス
ライド部材７は、第５図に示すスライド装置または後述
する第９図に示すスライド装置であって、スライド部材
７を介して上記第３支持体４ｃに対して第１支持体４ａ
が自在にスライドするようにする。

また、上記第３支持体４ｃのＸ方向他端にはＹ方向計い
に延びる第２支持体４ｂを固定し、該第２支持体４ｂの
側面にはＹ方向に延びる直方体状第４支持体４ｄを固定
する。上記第３支持体４ｃの上記一端の上面でかつ上記
第１支持体４ａのＹ方向計い中心軸上には第１基学ピン
５ａを固定する。

上記第３支持体４ｃの上記他端の上面でかつ上記第２支
持体４ｂのＹ方向計いの中心軸上には第２基孕ビン５ｂ
を固定する。また、上記第４支持体４ｄのＹ方向一端に
は、Ｘ方向沿いに延びる延長部を形成し、該延長部の上
面に第３基準ピン５ｃを固定する。各基賭ビン５は、ワ
ーク１７を位置決めする際、基準ビン５とワーク１７と
が円滑に動くようにするため、ねじ軸の頭部にベアリン
グ４６を介して回転可能な樹脂製の円筒体４５を備える
とともに、そのねじ軸にナツトを螺合させてなり、該ナ
ツトを回転させてそのねじ軸の頭部の位置を調整できる
ものであって、上記ねじ袖の下端部を各支持体の上面に
ねじ込んでなる。この基準ビン５　ａ、　５　ｂ、　５
　ｃはワーク載置テーブル１２の各切欠１２ａ、　Ｉ　
２ｂ、　ｌ　２ｃ内に夫々入り込み、かつ、該テーブル
１２の上面より上方にその〆ｌ１頭部が突出して、テー
ブル１２上に載置されるワーク１７の端部に接触可能と
する。上記のように各基準ビン５を配置することにより
、上記第１基阜ビン５ａと第２基準ピン５ｂとを通る直
線と、第２基準ピン５ｂと第３基準ビン５ｃとを通る直
線とは直交をなすようになる。なお、上記第１基準ピン
５ａ、第２基準ピン５ｂは夫々第１基準ビン支持体４ａ
、第２基準ビン支持体４ｂの中心軸上よりずれて配置さ
れるようにしてもよい。また、各基準ビン５　ａ、　５
　ｂ、　５　ｃは、夫々、上記直交関係を保持する限り
において独立して上記各支持体に対して移動調整可能と
してもよい。すなわち、ワークＩ７の大きさに応じて各
基準ビン５の間隔を調整するようにしてもよい。

上記基準ビン支持部材４をＹ方向及びθ方向に夫々駆動
する上記第２駆動装置及び上記第３駆動装置ｌは次のよ
うに構成される。すなわち、第２゜第３駆動装置は一対
の駆動機構により兼用され、一方の駆動機構は上記基め
ビン支持部材４の回転軸へを含むＹ方向計いに支持部材
４を移動させる一方、他の駆動機構は回転軸Ａを含まな
いＹ方向計いに支持部材４を移動させるように構成して
、両方の駆動機構の駆動量を同一にすることにより、支
持部材４を全体としてＹ方向計いに前後動させ、両方の
駆動機構の駆動量を異なら仕ることにより、支持部材４
をθ方向に回転させるようにしている。

上記両方の駆動機構の具体的構成は同一のものであるた
め、いずれか一方についてのみ以下説明する。

すなわち、第１図に示すように、上記第１支持体４ａ及
び上記第２支持体４ｂの下面には回転軸支持部材２１．
２１を夫々介してスライド装置３ａ３ｂを備える。上記
第１支持体側の回転軸支持部材２１は、第１支持体４ａ
の回転軸Ｂを支持し、第２支持体側の回転軸支持部材２
１は上記回転輪Ａを支持し、この回転軸Ｂ、Ａを夫々Ｙ
方向沿いに移動させて、第１支持体４ａ、第２支持体４
ｂを同方向に移動させる。上記各回転軸支持部材２１は
、第２．８図に示すように、その一端とベースプレート
２の係止端２ｃとの間に圧縮バネ２ｏを介在させて、常
時、上記回転軸支持部材２１を後述するマイクロメータ
ヘッド２３の回転軸２３ａに押圧接触さ仕る。上記回転
軸支持部材２１．２１の下面に取り付けられた上記スラ
イド装置３ａ、３ｂは同一構造のものであり、第９図に
示すように、上部２２と下部２８との間に、一対のレー
ル２９２９間にボール３０を回転自在に挟み込んだ送り
部を２組内蔵してなる公知のスライド装置であって、第
８図に示すように、上記上部２２を上記回転軸支持部材
２１及び回転軸Ｂ、Ａを介して支持体４　ａ、　４　ｂ
に固定する一方、下部２８を上記ベースプレート２の上
面に固定する。上記ベースプレート２には、Ｙ方向沿い
に、第１支持体４ａに対しては第１パルスモータ２７が
、第２支持体４ｂに対しては第２パルスモータ２６が夫
々支持され、この各パルスモータ２７，２６の各回転軸
にギヤ２５が固定され、このギヤ２５に噛合するギヤ２
４がマイクロメータヘッド２３の回転軸２３ａに固定さ
れる。この回転軸２３ａが回転すると、該回転軸２３ａ
が軸方向沿いに前後動じて上記回転軸支持部材２１をス
ライド装置３　ａ、　３　ｂの上部２２と一体的にその
下部２８に対して前後動させ、基準ピン支持部材４を夫
々Ｙ方向沿いに移動させまた、上記付勢装置は、ワーク
１７を上記各基準ピン５に接触させるように付勢させる
ものであって、第２図に示すように、上記第１基準ビン
５ａ及び第２基準ピン５ｂに夫々Ｙ方向沿いに対向して
第１プツシヤービン３５ａ及び第２プツシヤーピン３５
ｂをＹ方向に移動可能に上記ワーク載置テーブルＩ２に
夫々支持し、第３基準ピン５ＣにＸ方向沿いに対向して
第３プツシヤーピン３５ｃをＸ方向沿いに移動可能に上
記ワーク載置テーブル１２に支持する。また、各プッシ
ャーピン３５に対してこれを基準ピン側に移動させる駆
動装置３６を備える。各駆動装置３６は、第１０図にも
示すように、ワーク載置テーブル！２の下面にブラケッ
トＩ２ｆを介してエアシリンダ３７が支持され、このエ
アシリンダ３７のピストンロッド３７ａの先端にプッシ
ャービン３５を支持する支持部３７ｂを固定して、ワー
クＩ７をワーク載置テーブル１２上に載置したのち、各
エアシリンダ３７を駆動して、プッシャービン３５をワ
ーク１７の端部に接触させて各基準ピン５に向けてワー
ク１７を押圧し、プッシャービン３５と基準ピン５との
間でワーク１７を保持する。なお、各基準ピン５と各ブ
ツシャ−ピン３５とは必ずしも対向させる必要はなく、
任意の位置にプッシャービン３５を配置して上記作用を
行わせるようにしてもよい。なお、第２図には、第３プ
ツシヤーピン３５Ｃのエアシリンダ３７は省略されてい
るが、他のエアシリンダ３７と同一の構造・機能を持つ
ものである。

さらに、上記位置決めテーブルは、ワーク１７に付され
たレジスターマーク１７ａ、１７ｂを検出する検出手段
としてのテレビカメラ４０ａ、４０ｂを備えるとともに
、この検出結果とワーク１７の所望の位置とのずれ量を
演算する演算手段としてさらに上記各モータ１３，２６
．２７の駆動制御を行う制御手段としてのマイクロコン
ピュータ４１を備える。上記マーク１７ａ、１７ｂは、
例えば、ワークＩ７としてガラス板を使用する場合には
、このガラス板に印刷するなどして形成する。

上記構成によれば、ワーク１７をワーク載置テーブル１
２上に載置し、エアシリンダ３７，３７゜３７を駆動し
てプッシャービン３５ａ、３５ｂ、３５Ｃをワーク１７
に接触させて、該ワーク１７を上記各基準ピン５　ａ、
　５　ｂ、　５　ｃに確実に接触させる。

その後、上記テレビカメラ４０ａ、４０ｂによりワーク
１７のレジスターマーク１７ａ、１７ｂの位置を夫々検
出して、ワーク１７の現在の位置を検出し、そのデータ
をマイクロコンピュータ４１に人力する。そして、該マ
イクロコンピュータ４１内で現在の位置と所望の位置と
のずれ量を演算して、Ｘ方向、Ｙ方向及びθ方向の各ず
れ量を無くすように各モータ１３，２７．２６に指令信
号を出力して各モータを駆動制御する。すなわち、まず
、ワーク１７のθ方向の位置を調整するため、上記第！
パルスモータ２７及び第２パルスモータ２６を夫々異な
る駆動量だけ駆動して、マイクロメータヘッド１０，１
０．回転軸支持１部材２１，２１．回転軸Ｂ、Ａなどを
介して第１．第２スライド装置３ａ、３ｂの案内により
第１支持体４ａと第２支持体４ｂとを夫々Ｙ方向沿いに
前後動さ仕、上記基準ピン支持部材４を上記回転軸Ａの
回りにずれｍに相当する所定角度だけ回転させる。この
とき、第２〜第４支持体４　ｂ、　４　ｃ、　４　ｄ及
びスライド部材７は、一体的に固定されているため、上
記第２支持体４ｂの移動すなわち上記回転軸Ａ及びその
支持部材２１の移動とともに一体的にＹ方向沿いに移動
するとともに、上記第２パルスモータ２６の駆動に伴う
第１支持体４ａのＸ方向１０いの移動により上記回転軸
Ａのθ方向回りに一体的に回転する。これに対して、第
１支持体４ａは、上記第１パルスモータ２７の駆動によ
り回転軸Ｂ及びその支持部材２１とともにＹ方向沿いに
移動する一方、上記第２支持体等の回転軸Ａ回りの回転
により、スライド部材７に対してスライドしながら回転
軸８回りに回転する。このスライド部材７に対するスラ
イド作用により、第１支持体４ａは上記性の支持体４ｂ
、４．ｃ、４ｄに対して無理なく連結関係が保持される
。上記第１．第２支持体等が異なる量だけＹ方向沿いに
移動する結果、上記ワーク１７がθ方向に回転され、そ
のθ方向の位置調整が行なわれる。次いで、上記駆動モ
ータ１３を所定量だけ駆動して、ベースプレート２全体
をＸ方向沿いに前後動させて、ワーク１７のＸ方向沿い
の位置調整を行う。次いで、上記第１パルスモータ２７
及び第２パルスモータ２６を同一の駆動量だけ駆動して
、回転軸Ｂ、Ａをすなわち基準ビン支持部材４とともに
ワーク１７を同一量だけＹ方向沿いに前後動させて、ワ
ーク１７のＹ方向沿いの位置調整を行う。この結果、ワ
ーク１７のマーク１７ａ。

１７ｂが所望の位置に位置しておれば、位置決め作業を
終了し、もし、まだ、ワーク１７が所望の位置に位置し
ていない場合には、所望のモータを駆動して位置調整を
行う。なお、上記ワーク１７は常時エアシリンダ３７，
３７．３７により上記基準ピン５に向けて押圧されてい
るため、基準ピン５が移動するとそれに追随して移動す
る。

上記実施例によれば、３つの上記基準ピン５ａ。

５　ｂ、　５　ｃが上記基準ビン支持部材４に支持され
、かつ、所定の回転軸Ａ回りに一体的にθ方向に移動す
るようにしたので、各基準ピン５を夫々Ｘ方向またはＸ
方向に移動させてもこれらの３つの基準ピン５　ａ、　
５　ｂ、　５　ｃは上記基準ピン支持部材４とともに一
体的に各方向に移動し、かつ、ワーク１７をθ方向に移
動させる場合には、上記所定の回転軸六回りに必ず回転
するため、ワーク！７の回転中心が固定され、従って、
ワーク１７の位置調整をデータ化して行う場合、位置決
め時間を短縮することができる。また、ワーク載置テー
ブル１２とベースプレート２との大略２層のテーブルよ
り構成されるので、全体として小型で軽重で構造部分の
空間を有効に利用することができる。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
その他種々の態様で実施できる。例えば、上記ワーク１
７の位置調整作業は、上記θ方向の位置調整から始める
ものに限定されず、Ｘ方向またはＸ方向から始めてもよ
い。また、Ｘ、Ｙ、θ方向を同時に調整するようにして
もよい。また、上記第２駆動装置と第３駆動装置は、一
対の駆動機構によりこれらの機能を兼用させるようにし
たが、夫々別々に構成してもよい。すなわち、例えば、
第２駆動装置は上記回転軸ＡをＹ方向沿いに移動する駆
動機構より構成し、上記第３駆動装置は、上記回転軸Ａ
を直接回転さける回転駆動機構または上記回転軸Ａを含
まないＹ方向沿いに基準ピン支持部材４を移動させる駆
動機構より構成するようにしてもよい。また、上記各駆
動装置の一部であるモータは上記パルスモータに限定さ
れずサーボモータ等積々のモータでもよいとともに、モ
ータに限定されず、公知の駆動部材を使用ずろこともで
きる。また、上記マイクロメータヘッドの代わりにボー
ルネジ等を使用してもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例にかかる位置決めテーブルに
おける要部を示す概略斜視図、第２図は上記位置決めテ
ーブルの平面図、第３図は上記位置決めテーブルのワー
ク載置テーブルとベースプレートとの関係を示す側面図
、第４図は上記実施例におけるＸ方向のベースプレート
の第１駆動装置を示す側面図、第５図は上記実施例にか
かるスライド装置の断面図、第６図は第１駆動装置の正
面図、第７図は上記実施例におけるベースプレートとワ
ーク載置テーブルとの関係を示す側面図、第８図は上記
実施例にかかる第２．第３駆動装置の正面図、第９図は
上記実施例にかかるスライド装置の半断面図、第１θ図
は上記実施例にがかる押圧装置の正面図、第１１図は各
駆動装置の制御関係を示す説明図である。 ■・・・スライドガイド、２・・・ベースプレート、３
ａ、３ｂ・・・スライド装置、４・・・基準ビン支持部
材、４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ−第１．第２．第３．第４
支持体、５・・・基準ビン、５ａ、、５ｂ、５ｃｍ第１
．第２．第３基準ピン、６・・・ギヤ、７・・・スライ
ド部材、１０・・・マイクロメータヘッド、１１・・・
ギヤ、１２・・・ワーク載置テーブル、１３・・・駆動
モータ、１４・・・ブラケット、１５・・・圧縮バネ、
１６・・・ブラケット、１７・・・ワーク、１７ａ、　
１７ｂ−レジスターマーク、２０・・・圧縮バネ、２１
・・・回転軸支持部材、２２・・・上部、２３・・・マ
イクロメータヘッド、２４．２５・・・ギヤ、２６・・
・第２パルスモータ、２７・・・第１パルスモータ、２
８・・・下部、２９・・・レール、３０・・・ボール、
３５　・・・プッシャービン、３５ａ、３５ｂ、３５ｃ
ｍ第１、第２．第３ブツシャ−ビン、３６・・・駆動装
置、３７・・・エアシリンダ、４０ａ、４０ｂ・・・テ
レビカメラ、４１・・・マイクロコンピュータ、Ａ、Ｂ
・・・回転軸。特許出願人　日本写真印刷株式会社代理人　弁理士　青　山　葆　ほか２名第１　図第６図第７図ｒつ

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ワーク（１７）を載置するワーク載置テーブル（
１２）と、上記ワーク載置テーブル（１２）の下方にＸ方向に移動
可能に支持されたベースプレート（２）と、上記ベース
プレート（２）をＸ方向に移動させる第１駆動装置と、上記ワーク載置テーブル（１２）の上記ワーク（１７）
に夫々当接可能な第１基準部材（５ａ）と第２基準部材
（５ｂ）と第３基準部材（５ｃ）と、上記第１基準部材（５ａ）と上記第２基準部材（５ｂ）
とを所定間隔をあけて支持するとともに、上記第１基準
部材（５ａ）と上記第２基準部材（５ｂ）との配列方向
と直交する方向沿いに上記第２基準部材（５ｂ）とは所
定間隔をあけ上記第３基準部材（５ｃ）を支持する一方
、上記Ｙ方向及び所定の軸（Ａ）回りのθ方向に夫々移
動可能に上記ベースプレート（２）に取り付けられた基
準部材支持部材（４）と、上記基準部材支持部材（４）
を上記Ｙ方向に移動させる第２駆動装置と、上記基準部材支持部材（４）を上記θ方向に移動させる
第３駆動装置と、上記ワーク（１７）を上記、第１基準部材（５ａ）と上
記第２基準部材（５ｂ）と上記第３基準部材（５ｃ）と
に接触させるように付勢する付勢装置と、上記ワーク（１７）に付された位置調整用マーク（１７
ａ、１７ｂ）を検出するマーク検出手段（４０ａ、４０
ｂ）と、上記検出手段（４０ａ、４０ｂ）の検出結果と
、上記マーク（１７ａ、１７ｂ）を位置させるべき所望
の位置との間のずれ量を演算する演算手段（４１）と、
上記演算手段（４１）の演算結果に基づき、上記マーク
（１７ａ、１７ｂ）を上記所望の位置に位置させるべく
、上記第１駆動装置、上記第２駆動装置及び上記第３駆
動装置を夫々駆動・制御する制御手段（４１）とを備え
たことを特徴とするワーク位置決めテーブル。
（２）上記第２駆動装置と上記第３駆動装置は、上記Ｙ
方向に上記基準部材支持部材（４）を移動させる一対の
駆動機構よりなり、両方の駆動機構の駆動量を同一にし
て上記基準部材支持部材（４）を上記Ｙ方向に移動させ
る一方、上記両方の駆動機構の駆動量を異ならせること
により上記基準部材支持部材（４）を上記所定の軸（Ａ
）回りに上記θ方向に回転させるようにした請求項１記
載の位置決めテーブル。
（３）各基準部材（５）は、上記基準部材支持部材（４
）に対して移動調整可能な請求項１記載の位置決めテー
ブル。