JPH11513815A

JPH11513815A - 結像する光学器械

Info

Publication number: JPH11513815A
Application number: JP9516128A
Authority: JP
Inventors: シュタインフーベル，ヴォルフデートリッヒ
Original assignee: シュタインフーベル，ヴォルフデートリッヒ
Priority date: 1995-10-23
Filing date: 1996-10-16
Publication date: 1999-11-24
Also published as: WO1997015855A3; US5993002A; DE59610012D1; EP0857315B1; WO1997015855A2; DE19539371A1; ATE230121T1; EP0857315A2

Abstract

(57)【要約】観察光線束（１８）を決定する光学系と、照明光線束（８）を発生する照明装置と、観察光線束（１８）の中間像平面内で運動するスリット状の観察絞り（１３）と、照明光線束（８）の中間像平面内で同期的に運動するスリット状の照明絞り（３）とを備えた、結像する光学器械において、観察光線束（１８）と照明光線束（８）とが、互いに斜めに物体平面（１０）上に発生し、この場合、観察絞り（１３）および照明絞り（３）のスリット像が、物体平面（１０）内でほぼ重なり合うようになっている。

Description

【発明の詳細な説明】結像する光学器械技術分野本発明は、請求の範囲第１項の上位概念に記載された結像する光学器械に関する。背景技術この種の装置は、米国特許第３，５４７，５２１号明細書により公知である。観察光線通路および照明光線通路におけるスリット状の絞りによって、常に、物体の小さな範囲のみが照明され、かつ同時に観察される。それにもかかわらず、物体の大部分を検査することができるように、照明絞りと観察絞りとは同期的に運動され、これによって物体の一部分が走査される。物体が、例えば人間の目のようにある程度の慣性を有する検波器によって観察されると、かつ絞りのスリット像が物体の同じ部分に沿って繰り返し十分に迅速に運動すると、個々の像が、物体の走査される部分の全体像に融和する。このような方法は、散乱光の発生および観察、並びにこれによって生じるまぶしさを減少するので、特に、濁ったもしくは不透明な媒体を通る物体の観察が改善され、それ故、例えば、目の網膜を観察するための間接的な検眼鏡に使用されることができる。この場合、網膜の検眼鏡レンズによって実際の中間像が目の外側に生ぜしめられ、この際、照明装置および拡大される光学系はこの中間像の平面上で収束されている。もちろん、前述の従来の構成によっては、まだ満足されない結果しか達成されない。それ故、米国特許第３，５４７，５２１号明細書では、観察光線束もしくは照明光線束の半分をそれぞれ絞り込む付加的な絞りもしくは遊びが使用され、その結果、観察光線束と照明光線束とは、物体平面内の小さな交点範囲を除き互いに分離して延びている。これによって、発生するもしくは観察される散乱光が効果的にさらに減少されるけれども、観察光線束および照明光線束の口径の減少によって光度および達成しうる分解能が著しく低下される。同じ欠点を有する類似の装置が、米国特許第４，１７０，３９８号明細書および欧州特許公開第１９７７８１号明細書によっても公知である。まぶしさを減少するための別の方法は暗視野法であり、この方法では、物体が存在しないと照明光線束は対物レンズ内に結像されない。まず、物体における回折が観察される光を導き、しかしこの場合、写実の像は生ぜしめられず、その結果、このような方法は、輪郭描写のためにのみ使用される。発明の開示本発明の課題は、公知の装置を改良し、かつ濁った媒体を通って観察する場合にも物体の像を生ぜしめ、この像が、できるだけ強いコントラストであり、かつまぶしくなく、従って、非常に細かい細部が可視可能になるような、新式の拡大するまたは縮小する光学器械を準備することにある。この場合、器械の光度および達成しうる分解能は、できるだけ高くするようにする。このような課題は、本発明によれば、請求の範囲第１項の上位概念に相応する装置において請求の範囲第１項の特徴部分に記載された構成によって解決される。全く一般的に、結像する光学器械においては、照明される物体から来る光線が対物レンズによって中間像として結像され、かつこの中間像は接眼レンズによって拡大されて観察される。この場合、アッベにより照明された光線は物体によって屈折され（変調され）、この場合、屈折は、ゼロ次、一次、などで発生し、かつ干渉する。同じ強さの波頭のみが明るい干渉像を発生することができるので、ゼロ次の（屈折されない）強い光線はより高い順次の弱い光線に重なり、かつこれを見えにくくする。今や、本発明の著しい利点は、本発明による器械によってゼロ次の屈折されない光線を弱めるけれども、（暗視野法におけるように）消されず、その結果、屈折された、かつ屈折されない光線の振幅の調整によってコントラストが極めて改善される。本発明の有利な構成では、観察光線束と照明光線束との間の傾角が調節可能である。この場合、観察絞りと照明絞りとのスリット幅が一定に保持されると、このような形式でコントラストを調節することができる。さらに、傾角をスリット幅と連結するための手段を設けることができ、この場合には、調節可能な全てのスリット幅もしくは傾角において絞り自由度を保証し、かつコントラストを一定に保持するために、大きなスリット幅に対して大きな傾角が調節される。照明光線束の方向を観察光線束の方向に対して変化させることは、照明装置を有する検眼鏡にとってはドイツ連邦共和国特許出願公告第１２２３５８１号明細書により原則的に公知である。この場合、間接的な検眼鏡のための装置として構成されており、この装置では、網膜の、続いて拡大される中間像を発生することなしに、検査される目に平行に入射する観察光線束によって網膜が観察される。それ故、網膜は、同期的に可動なスリット状の絞りによって走査されるのでもなく、さらに、観察光線束の方向の調節は、コントラストを高めるために役立つのでなく、視力の悪い目の場合にも観察および照明の視野を重ね合わせるためにのみ役立つ。図面の簡単な説明本発明の別の利点および詳細を以下に添付の図面を用いて説明する。図１は、反射光式顕微鏡のための本発明による器械の半概略的な側面図を示す。図２は、照明装置の一部分の概略的な正面図を示す。図３は、本発明による器械を間接的な検眼鏡に使用する際の図を示す。図４は、透過光式顕微鏡として構成された本発明による器械を示す。発明を実施するための最良の態様図１に示された反射光式顕微鏡は、照明装置を有しており、この照明装置は、光源１と、コンデンサ２と、スリット状の照明絞り３と、像回転プリズム４と、照明対物レンズ５と、偏光プリズム６と、照明プリズム７として示される別の偏光プリズムとを含んでいる。照明装置によって、照明光線束８が生ぜしめられ、この照明光線束は、図１においてその中央の光線によって明らかにされている。接眼レンズ１２と、スリット状の観察絞り１３と、像回転プリズム１４と、観察対物レンズ１５とから成る光学系は、中央の光線１８を有する観察光線束を決定する。この場合、観察光線束１８と照明光線束８とによって形成される平面は、絞り３、１３のスリットの縦方向延びに対して垂直に位置する。照明絞り３および観察絞り１３は、それぞれ中間像平面内に配置されており、かつこれらの絞りの収束されるスリット像は物体平面１０においてできるだけ完全に重ねられる。絞り３、１３のスリット幅は、矢印９、１９によって示されるように調節可能であり、しかも刻み目付きねじ２１の回動によって調節可能であり、この刻み目付きねじによってフレキシブルの軸２２を介して図１には示さない偏心体が操作される。絞り３、１３を同期的に運動させるために、かつこれによって物体平面１０における、絞りのスリット像を同時にほぼ同じ変向量だけ移動させるために、これによって、観察される物体が走査されることができるように、絞り３、１３は、その端部２３ａ、２３ｂにおいて剛性的に懸架されているようなばね弾性的な支持装置２３に配置されている。支持装置はプランジャ２４を有しており、このプランジャは、交流または脈動する直流によって動かされる電磁石２５と、ばね弾性的な支持装置２３の周期的な変向のために協働する。懸架端部２３ａ、２３ｂの位置を介して、支持装置２３の有効長さひいては支持装置の固有周波数を変化させることができる。この場合、懸架端部２３ａ、２３ｂの位置と、プランジャ２４の取付け個所と、および交流の周波数とは、電磁石２５によって支持装置２３の固有周波数が共振して励起されるように互いに決められており、従って、絞り３、１３の十分な大きさの横の変向が達成される。もちろん、この場合、支持装置のばね定数および支持装置の有効な減衰に関係する。物体の観察範囲を規定する絞り３、１３の変向の大きさは、とりわけ、励起の強さおよび減衰の大きさに関して調節されることができる。支持装置２３の振動を行なう周波数は、検波器、例えば人間の目２９の慣性が個々の像の融和を招くように選ばれている。このために、例えば、５０Ｈｚの範囲の周波数が適しており、この周波数は、公衆給電網からの交流によって動かされる電磁石２５によって励起される。絞り３、１３のための前述の駆動装置の利点は、特に、駆動装置がかなりスペース節減されて構成されることができ、かつ騒音公害が極めて僅かであることにある。対物レンズ５、１５およびプリズム６、７は、一緒に、概略的に示された支持フレーム２６に取り付けられており、この支持フレームは、対物レンズ５、１５を通過する光線束８、１８に沿って矢印２７の方向で移動可能である。これによって、物体距離、要するに物体平面１０と対物レンズ５、１５との間隔、もしくは倍率および口径を調節することができる。調節される全ての物体距離の場合に、照明絞り３および観察絞り１３のスリット像が物体平面１０内で重なり合うことを保証するために、さらに下方へ移動する制御装置５０が設けられており、この制御装置は、照明プリズム７の角度位置、ひいては照明光線束８と観察光線束１８との間の角度３０を、物体距離に依存して調節する。この場合、普通は、照明光線束８の光学距離の変化に基づいて角度３０が変化する際に照明絞り３のスリット像が観察光線束１８の物体平面１０内でもはや正確に収束されていないということ障害にならない。しかし、それにもかかわらず、このことが障害になるとすれば（特に、比較的大きい角度３０の場合に）、シャインプフルックベディングング（Scheimpflugbedingung）を使用することもできる。これは、物体平面１０と、「有効対物レンズ平面」と、照明絞り３を含む平面とが１本の線で交差する際に、照明絞り３の像が物体平面１０内で鋭くなることを意味する。この場合、照明光線束８は偏光プリズム６、７によって回折されるので、「有効対物レンズ平面」とは、物体平面１０に当たる照明光線束８の方向に対して垂直に、かつ対物レンズ５を通る平面を意味している。これによって、照明絞り３は、シャインプフルックベディングング（Scheimpflugbedingung）に相応して、物体平面１０における、照明スリットの鋭く収束された結像に対して傾斜されることもできる。さらに、偏光プリズム６は照明プリズム７と一緒に矢印２８の方向で、即ち、観察光線束１８の方向に対して垂直方向に移動可能である。観察光線束１８の中央の光線と、観察プリズム７の、照明光線束８の中央の光線を偏向させる点との間の標準間隔は、以下に、プリズム基礎間隔として表現される。既に述べた制御装置５０は、照明プリズム７の角度位置ひいては角度３０をも、プリズム基礎間隔に依存して次のように、つまり、このプリズム基礎間隔のそれぞれの調節のために観察絞りおよび照明絞りのスリット像が物体平面１０においてほぼ重ね合わされるように調節する。絞り３、１３のスリット幅が一定である場合に、プリズム基礎間隔に関して結像の所望のコントラストを選ぶことができる。他面では、照明プリズム７の角度位置ひいては角度３０を絞り３、１３のスリット幅と連結するための連結装置５１が設けられているので、種々のプリズム基礎間隔のための、および種々の物体距離のためのコントラストを一定に保持することもできる。連結装置５１および制御装置５０を、以下に図１および図２を用いて説明する。図２から分かるように、照明プリズム７はフレーム３１に回転可能に支承されている。制御プレート３２は、図１においては平面図で、かつ図２においては側面図で明らかである。プリズム７の角度位置を調節するための制御装置５０は制御プレート３２から成っており、この制御プレートの表面は制御面３２ａとして形成されている。制御面３２ａには、制御ピン３３の先端３３ａが当接している。制御ピン３３の、やはり先細に延びる他方の端部３３ｂの範囲において、この制御ピンはプリズム７の側面に当接しており、このプリズムは、図示しないばねによってプレロードをかけられていて、かつこれによって、楔として作用する制御ピン３３に側方で圧着される。支持フレーム２６を矢印２７の方向で調節する際に、あるいはフレーム３１を支持フレーム２６に対して相対的に矢印２８の方向で調節する際に、制御ピン３３は、三次元において適当に湾曲された制御面３２ａに沿って滑動し、この場合、この制御ピンは、プリズム７の、該制御ピンが当接する側面に対して垂直の方向で移動され、これによってプリズム７の角度位置を制御する。この場合、照明光線束８と観察光線束１８との間の、制御面３２ａを介して調節される角度３０は、プリズム基礎間隔Ｚおよび物体距離Ｏに依存され、かつ前記角度は、同じインブタン（ＩＮＶＴＡＮ）（Ｚ／Ｏ）である。他面では、物体距離Ｏは、図１ではそれぞれ対物レンズ５、１５と所属の絞り３、１３との間の間隔でなければならない像距離Ｂと、関係式Ｂ＝（Ｏ・Ｆ）／（Ｏ −Ｆ）が成り立っており、式中、Ｆは対物レンズ５、１５の焦点距離を表わす。これによって、矢印２７に沿った支持フレーム２６のそれぞれの位置のために、かつ矢印２８に沿ったフレーム３１のそれぞれの位置のために、角度３０が知られており、かつ制御ピン３３の楔状の端部３３ｂが周知の構成の場合に、制御面３２ａの規定の高さで結像される。プリズム７の角度位置と絞り３、１３のスリット幅とを連結するための連結装置５１は、プリズム７と結合される傘歯車３４と、この傘歯車と噛み合う傘歯車３５と、この傘歯車３５の回転を伝達するための可撓性の軸３６とを有している。図３には、本発明による器械を間接的な検眼鏡に使用する際の配置が示されている。検眼鏡レンズ４０によって、目４２の網膜４１が実際に中間像として結像され、しかも本発明による器械の物体平面１０において結像される。本発明による器械によって、この中間像が調節可能な倍率によって拡大され、この場合、斜め収束される照明によって、同期的に運動する絞りと関連して、網膜の相応する部分の高いコントラストの観察が可能である。倍率が増大するにつれて、口径ひいては分解能も大きくなる。他面では、倍率の選択によって所望の焦点深度を調節することができる。透過光式顕微鏡として構成された本発明による器械の実施例が図４に示されている。この実施例では、照明光線束８および観察光線束１８が、種々の側から物体平面１０上に発生する。装置の類似の部材には、図１における符号と同じ符号が付けられている。この実施例では照明光線束８と観察光線束１８の延長線との間で測定される傾角３０は、ゼロ回折光の所望の減衰に相応して調節され、これによって、コントラストおよび絞り自由度が高められる。角度３０の変化は、透過光式顕微鏡として構成する場合には、照明装置が図４に示されない支持体に配置されていることによって簡単に行なわれ、前記支持体は、像平面に対して垂直な、かつ物体平面１０での観察光線束１８と照明光線束８との交点を通る軸線を中心にして旋回可能である。この実施例の場合、対物レンズ１５の調節によって物体距離を変化させる際には、角度３０を調節する制御装置は必要でない。しかし、角度３０と絞り３、１３のスリット幅との間に連結装置を設けることができる。目２９によって観察する代わりに、器械と連結されたカメラまたはビデオカメラを使用することもできる。治療の目的のためにレーザ光線を入力結合させることができる。可視可能な範囲での電磁式の放射の代わりに、別の周波数領域における電磁式の放射、例えばマイクロ波放射を使用することもできる。この場合にはもちろん、検査のために、人間の目が使用されるのではなく、使用された放射のために適する検波器が使用される。さらに、例えば電子線または音波のような波特性を有する別の種類の放射を使用することも可能である。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項【提出日】１９９７年１０月１３日【補正内容】請求の範囲１．観察光線束（１８）を決定する光学系を有しており、照明光線束（８）を発生する照明装置を有しており、この場合、観察光線束（１８）と照明光線束（８）とが互いに斜めに物体平面（１０）上に発生するようになっており、観察光線束（１８）の中間像平面内で運動するスリット状の観察絞り（１３）を有しており、照明光線束（８）の中間像平面内で同期的に運動するスリット状の照明絞り（３）を有しており、この場合、観察絞り（１３）および照明絞り（３）のスリット像が、物体平面（１０）内でほぼ重なり合うようになっており、かつ観察光線束（１８）および照明光線束（８）によって形成される平面が、観察絞り（１３）および照明絞り（３）のスリットの縦方向の延びに対して垂直に位置していることを特徴とする結像する光学器械。２．物体平面（１０）上に発生する観察光線束（１８）と、物体平面（１０）上に発生する照明光線束（８）との間の傾角（３０）が、０．５°と３０°との間にあることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の光学器械。３．観察光線束（１８）と照明光線束（８）との間の傾角（３０）が調節可能であることを特徴とする請求の範囲第２項に記載の光学器械。４．反射光式顕微鏡として構成する場合に、観察光線束（１８）と照明光線束（８）との間の傾角（３０）を調節するために、観察光線束（１８）の方向に対して垂直な移動方向（２８）で移動可能な、かつ観察光線束（１８）と照明光線束（８）とによって規定されている平面に対して垂直な軸線（２０）を中心にして回転可能な照明プリズム（７）が、照明光線束（８）の光線通路内に設けられていることを特徴とする請求の範囲第３項に記載の光学器械。５．プリズムの移動方向（２８）に沿った全ての位置において観察絞り（１３）と照明絞り（３）とのスリット像が物体平面（１０）内でほぼ重なり合うように、照明プリズム（７）の移動方向（２８）に沿った位置に関連して照明プリズム（７）をその回転軸線（２０）を中心にして回転させるための制御装置（５０）が設けられていることを特徴とする請求の範囲第４項に記載の光学器械。６．観察絞り（１３）および照明絞り（３）のスリット幅が調節可能であり、さらに観察光線束（１８）と照明光線束（８）との間の傾角（３０）の調節と、スリット幅の調節とを連結するための連結装置（５１）が存在していることを特徴とする請求の範囲第３項〜第５項のいずれか１項に記載の光学器械。７．連結装置（５１）が、スリット幅を、照明プリズムの、その回転軸線（２０）を中心にした角度調節と連結させていることを特徴とする請求の範囲第６項に記載の光学器械。８．反射光式顕微鏡として構成する場合に、観察光線束（１８）および照明光線束（８）の物体距離が同期的に調節可能であり、この場合、観察光線束（１８）と照明光線束（８）との間の傾角（３０）が、種々の物体距離の場合に観察絞り（１３）および照明絞り（３）のスリット像がそれぞれ物体平面（１０）内で重なり合うように、制御装置（５０）によって調節されるようになっていることを特徴とする請求の範囲第１項〜第７項のいずれか１項に記載の光学器械。９．制御装置（５０）が、照明プリズム（７）の回転によって傾角（３０）を調節することを特徴とする請求の範囲第８項に記載の光学器械。１０．制御装置（５０）が、湾曲された制御面（３２ａ）を有していることを特徴とする請求の範囲第５項、第８項または第９項に記載の光学器械。１１．制御装置（５０）が、照明プリズム（７）を回転させるためのピン（３３）を有しており、このピンの一方の端部（３３ｂ）が照明プリズム（７）と結合されており、かつ他方の端部（３３ａ）が制御面（３２ａ）に当接していてかつ照明プリズム（７）が移動する際に制御面（３２ａ）に沿って移動されることを特徴とする請求の範囲第１０項に記載の光学器械。１２．制御ピン（３３）の、照明プリズム（７）と結合する端部（３３ｂ）が、楔状に構成されていて、かつプレロードを受けて制御ピン（３３）に圧着される照明プリズム（７）の端面に当接するようになっていることを特徴とする請求の範囲第１１項に記載の光学器械。１３．観察光線束（１８）の光線通路に、かつ照明光線束（８）の光線通路に、像回転プリズム（４、１４）が設けられていることを特徴とする請求の範囲第１項〜第１２項のいずれか１項に記載の光学器械。１４．請求の範囲第１項〜第１３項のいずれか１項に記載の、少なくとも２つの光学的な絞りの振動運動を同期的に駆動するための駆動装置において、絞り（３、１３）がばね弾性的な支持装置（２３）に配置されており、あるいはこの支持装置の一部分として構成されており、さらに支持装置（２３）の振動を共鳴して励起するために電磁石（２５）が設けられていることを特徴とする駆動装置。１５．支持装置（２３）にプランジャ（２４）または可動コイルが配置されていることを特徴とする請求の範囲第１４項に記載の駆動装置。

Claims

【特許請求の範囲】１．観察光線束を決定する光学系と、照明光線束を発生する照明装置と、観察光線束の中間像平面内で運動するスリット状の観察絞りと、照明光線束の中間像平面内で同期的に運動するスリット状の照明絞りとを備えた結像する光学器械において、観察光線束（１８）と照明光線束（８）とが、互いに斜めに物体平面（１０）上に発生し、この場合、観察絞り（１３）および照明絞り（３）のスリット像が、物体平面（１０）内でほぼ重なり合うようになっていることを特徴とする結像する光学器械。２．物体平面（１０）上に発生する観察光線束（１８）と、物体平面（１０）上に発生する照明光線束（８）との間の傾角（３０）が、０．５°と３０°との間にあることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の光学器械。３．観察光線束（１８）と照明光線束（８）との間の傾角（３０）が調節可能であることを特徴とする請求の範囲第２項に記載の光学器械。４．反射光式顕微鏡として構成する場合に、観察光線束（１８）と照明光線束（８）との間の傾角（３０）を調節するために、観察光線束（１８）の方向に対して垂直な移動方向（２８）で移動可能な、かつ観察光線束（１８）と照明光線束（８）とによって規定されている平面に対して垂直な軸線（２０）を中心にして回転可能な照明プリズム（７）が、照明光線束（８）の光線通路内に設けられていることを特徴とする請求の範囲第３項に記載の光学器械。５．プリズムの移動方向（２８）に沿った全ての位置において、観察絞り（１３）と照明絞り（３）とのスリット像が物体平面（１０）内でほぼ重なり合うように、照明プリズム（７）の移動方向（２８）に沿った位置に関連して照明プリズム（７）をその回転軸線（２０）を中心にして回転させるための制御装置（５０）が設けられていることを特徴とする請求の範囲第４項に記載の光学器械。６．観察絞り（１３）および照明絞り（３）のスリット幅が調節可能であり、さらに観察光線束（１８）と照明光線束（８）との間の傾角（３０）の調節と、スリット幅の調節とを連結するための連結装置（５１）が存在していることを特徴とする請求の範囲第３項〜第５項のいずれか１項に記載の光学器械。７．連結装置（５１）が、スリット幅を、照明プリズムの、その回転軸線（２０）を中心にした角度調節と連結させていることを特徴とする請求の範囲第６項に記載の光学器械。８．反射光式顕微鏡として構成する場合に、観察光線束（１８）および照明光線束（８）の物体距離が同期的に調節可能であり、この場合、観察光線束（１８）と照明光線束（８）との間の傾角（３０）が、種々の物体距離の場合に観察絞り（１３）および照明絞り（３）のスリット像がそれぞれ物体平面（１０）内で重なり合うように、制御装置（５０）によって調節されるようになっていることを特徴とする請求の範囲第１項〜第７項のいずれか１項に記載の光学器械。９．制御装置（５０）が照明プリズム（７）の回転によって傾角（３０）を調節することを特徴とする請求の範囲第８項に記載の光学器械。１０．制御装置（５０）が、湾曲された制御面（３２ａ）を有していることを特徴とする請求の範囲第５項、第８項または第９項に記載の光学器械。１１．制御装置（５０）が照明プリズム（７）を回転させるためのピン（３３）を有しており、このピンの一方の端部（３３ｂ）が照明プリズム（７）と結合されており、かつ他方の端部（３３ａ）が制御面（３２ａ）に当接していてかつ照明プリズム（７）が移動する際に制御面（３２ａ）に沿って移動されることを特徴とする請求の範囲第１０項に記載の光学器械。１２．制御ピン（３３）の、照明プリズム（７）と結合する端部（３３ｂ）が、楔状に構成されていて、かつプレロードを受けて制御ピン（３３）に圧着される照明プリズム（７）の端面に当接するようになっていることを特徴とする請求の範囲第１１項に記載の光学器械。１３．観察光線束（１８）の光線通路に、かつ照明光線束（８）の光線通路に、像回転プリズム（４、１４）が設けられていることを特徴とする請求の範囲第１項〜第１２項のいずれか１項に記載の光学器械。１４．請求の範囲第１項〜第１３項のいずれか１項に記載の、少なくとも２つの光学的な絞りの振動運動を同期的に駆動するための駆動装置において、絞り（３、１３）がばね弾性的な支持装置（２３）に配置されており、あるいはこの支持装置の一部分として構成されており、さらに支持装置（２３）の振動を共鳴して励起するために電磁石（２５）が設けられていることを特徴とする駆動装置。１５．支持装置（２３）にプランジャ（２４）または可動コイルが配置されていることを特徴とする請求の範囲第１４項に記載の駆動装置。