JPH11340774A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波フィルタInfo
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- JPH11340774A JPH11340774A JP10144654A JP14465498A JPH11340774A JP H11340774 A JPH11340774 A JP H11340774A JP 10144654 A JP10144654 A JP 10144654A JP 14465498 A JP14465498 A JP 14465498A JP H11340774 A JPH11340774 A JP H11340774A
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- resonator
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/6483—Ladder SAW filters
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
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- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
- H03H9/02559—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of lithium niobate or lithium-tantalate substrates
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 帯域幅を狭めることなく通過帯域内における
所望でないリップルを抑圧することができ、通過帯域内
の平坦性に優れ、かつ広帯域の弾性表面波フィルタを得
る。 【解決手段】 複数の一端子対弾性表面波共振子１１を
用いて構成された梯子型回路構成の弾性表面波フィルタ
であって、圧電性基板上に直列共振子Ｓ１，Ｓ２及び並
列共振子Ｐ１〜Ｐ３を構成するために複数の一端子対弾
性表面波共振子１１が形成されており、少なくとも１つ
の弾性表面波共振子１１のＩＤＴ１２におけるバスバー
１２ａ2 と、バスバー１２ａ2 とは反対側のバスバー１
２ｂ2に接続されている電極指１２ｂ1 の先端との間の
ギャップ長Ｗが、表面波の波長をλとしたときに、１．
０λ以下とされている、弾性表面波フィルタ。
所望でないリップルを抑圧することができ、通過帯域内
の平坦性に優れ、かつ広帯域の弾性表面波フィルタを得
る。 【解決手段】 複数の一端子対弾性表面波共振子１１を
用いて構成された梯子型回路構成の弾性表面波フィルタ
であって、圧電性基板上に直列共振子Ｓ１，Ｓ２及び並
列共振子Ｐ１〜Ｐ３を構成するために複数の一端子対弾
性表面波共振子１１が形成されており、少なくとも１つ
の弾性表面波共振子１１のＩＤＴ１２におけるバスバー
１２ａ2 と、バスバー１２ａ2 とは反対側のバスバー１
２ｂ2に接続されている電極指１２ｂ1 の先端との間の
ギャップ長Ｗが、表面波の波長をλとしたときに、１．
０λ以下とされている、弾性表面波フィルタ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、帯域フィルタとし
て用いられる弾性表面波フィルタに関し、より詳細に
は、一端子対弾性表面波共振子を複数用いてなる梯子型
回路構成を有する弾性表面波フィルタに関する。
て用いられる弾性表面波フィルタに関し、より詳細に
は、一端子対弾性表面波共振子を複数用いてなる梯子型
回路構成を有する弾性表面波フィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】ＬｉＴａＯ3 基板は、比較的大きな電気
機械結合係数を有し、かつ温度特性が比較的安定である
という利点を有する。従って、ＬｉＴａＯ3 基板は、弾
性表面波共振子や弾性表面波フィルタ用の圧電基板とし
て広く用いられている。
機械結合係数を有し、かつ温度特性が比較的安定である
という利点を有する。従って、ＬｉＴａＯ3 基板は、弾
性表面波共振子や弾性表面波フィルタ用の圧電基板とし
て広く用いられている。
【０００３】例えば、特開平６−１８８６７３号公報に
は、ＬｉＴａＯ3 基板上に複数の弾性表面波共振子を形
成して梯子型回路を構成してなる弾性表面波フィルタが
開示されている。この先行技術では、所望のインピーダ
ンス特性を実現するには、弾性表面波共振子において、
電極指の対数や交叉幅を調整すれば良いことが記載され
ている。
は、ＬｉＴａＯ3 基板上に複数の弾性表面波共振子を形
成して梯子型回路を構成してなる弾性表面波フィルタが
開示されている。この先行技術では、所望のインピーダ
ンス特性を実現するには、弾性表面波共振子において、
電極指の対数や交叉幅を調整すれば良いことが記載され
ている。
【０００４】他方、特開平５−１８３３８０号公報に
は、複数の弾性表面波共振子を用いて構成された梯子型
回路構成の弾性表面波フィルタが開示されており、ここ
では、所望の電極容量を得るために、電極指の対数や交
叉幅を構成すればよい旨が記載されている。弾性表面波
共振子の電極容量は、特開平５−１８３３８０号公報に
記載のように、電極指の対数と、交叉幅と、基板の誘電
率との積でほぼ決定される。従って、圧電性基板として
ＬｉＴａＯ3 基板を用いる場合、目的とする電極容量に
応じて、電極指の対数と交叉幅との積を決定すれば良
い。
は、複数の弾性表面波共振子を用いて構成された梯子型
回路構成の弾性表面波フィルタが開示されており、ここ
では、所望の電極容量を得るために、電極指の対数や交
叉幅を構成すればよい旨が記載されている。弾性表面波
共振子の電極容量は、特開平５−１８３３８０号公報に
記載のように、電極指の対数と、交叉幅と、基板の誘電
率との積でほぼ決定される。従って、圧電性基板として
ＬｉＴａＯ3 基板を用いる場合、目的とする電極容量に
応じて、電極指の対数と交叉幅との積を決定すれば良
い。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、複数の
弾性表面波共振子を用いて梯子型回路構成を有する弾性
表面波フィルタを作製するにあたり、上記のように電極
容量を所望の値とするように、電極指の対数と交叉幅の
積を一定とした場合、以下に述べるように、通過帯域内
の平坦性が十分でないという問題があった。図１７は、
従来の弾性表面波フィルタの減衰量周波数特性を示す。
図１７に矢印Ａで示すように、通過帯域において、左側
の肩の部分が欠けており、すなわち通過帯域内の低周波
数側領域において減衰量が十分小さくならなかった。従
って、通過帯域における減衰量周波数特性の平坦度が十
分でなかった。
弾性表面波共振子を用いて梯子型回路構成を有する弾性
表面波フィルタを作製するにあたり、上記のように電極
容量を所望の値とするように、電極指の対数と交叉幅の
積を一定とした場合、以下に述べるように、通過帯域内
の平坦性が十分でないという問題があった。図１７は、
従来の弾性表面波フィルタの減衰量周波数特性を示す。
図１７に矢印Ａで示すように、通過帯域において、左側
の肩の部分が欠けており、すなわち通過帯域内の低周波
数側領域において減衰量が十分小さくならなかった。従
って、通過帯域における減衰量周波数特性の平坦度が十
分でなかった。
【０００６】本発明の目的は、通過帯域における減衰量
周波数特性の平坦性に優れ、広帯域化を図り得る弾性表
面波フィルタを提供することにある。
周波数特性の平坦性に優れ、広帯域化を図り得る弾性表
面波フィルタを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、入出力間に構成された直列椀に直列共振子を有し、
該直列椀と基準電位との間に構成された並列椀に並列共
振子を有する梯子型回路構成の弾性表面波フィルタであ
って、圧電性基板と、前記圧電性基板上に形成された複
数の一端子対弾性表面波共振子とを備え、複数の一端子
対弾性表面波共振子が、前記直列共振子及び並列共振子
を構成するように配置されており、少なくとも１つの弾
性表面波共振子のインターデジタルトランスデューサ
（以下、ＩＤＴ）における、一方のバスバーと、該バス
バーとは反対側のバスバーに接続されている電極指先端
との間のギャップ長が、弾性表面波の波長をλとしたと
きに、１．０λ以下となるようにされていることを特徴
とする。
は、入出力間に構成された直列椀に直列共振子を有し、
該直列椀と基準電位との間に構成された並列椀に並列共
振子を有する梯子型回路構成の弾性表面波フィルタであ
って、圧電性基板と、前記圧電性基板上に形成された複
数の一端子対弾性表面波共振子とを備え、複数の一端子
対弾性表面波共振子が、前記直列共振子及び並列共振子
を構成するように配置されており、少なくとも１つの弾
性表面波共振子のインターデジタルトランスデューサ
（以下、ＩＤＴ）における、一方のバスバーと、該バス
バーとは反対側のバスバーに接続されている電極指先端
との間のギャップ長が、弾性表面波の波長をλとしたと
きに、１．０λ以下となるようにされていることを特徴
とする。
【０００８】請求項２に記載の発明では、並列共振子を
構成している一端子対弾性表面波共振子のうち、少なく
とも１つの弾性表面波共振子における前記ギャップ長
が、１．０λ以下とされている。
構成している一端子対弾性表面波共振子のうち、少なく
とも１つの弾性表面波共振子における前記ギャップ長
が、１．０λ以下とされている。
【０００９】請求項３に記載の発明では、複数の並列共
振子が備えられており、かつすべての並列共振子におい
て、上記ギャップ長が１．０λ以下とされている。請求
項４に記載の発明では、上記圧電性基板がＬｉＴａＯ3
基板により構成されている。
振子が備えられており、かつすべての並列共振子におい
て、上記ギャップ長が１．０λ以下とされている。請求
項４に記載の発明では、上記圧電性基板がＬｉＴａＯ3
基板により構成されている。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
具体的な実施例を説明することにより、本発明を明らか
にする。
具体的な実施例を説明することにより、本発明を明らか
にする。
【００１１】（従来例の検討）前述した通り、複数の弾
性表面波共振子を用いて梯子型回路構成を有する弾性表
面波フィルタを構成した場合、従来、通過帯域内の平坦
度が十分でないという問題があった。これは、電極指の
交叉幅が弾性表面波の波長に対して短く、それによって
不要モードによるリップルが通過帯域内に表れることに
よると考えられる。
性表面波共振子を用いて梯子型回路構成を有する弾性表
面波フィルタを構成した場合、従来、通過帯域内の平坦
度が十分でないという問題があった。これは、電極指の
交叉幅が弾性表面波の波長に対して短く、それによって
不要モードによるリップルが通過帯域内に表れることに
よると考えられる。
【００１２】上記リップルは、特に、ＬｉＴａＯ3 基板
を用いた場合に顕著に現れていた。ところで、このよう
なリップルについては、特開平５−１８３３８０号公報
に開示の方法、すなわち、電極指の対数や交叉幅を変更
する方法だけでは解決することは困難であった。これ
を、以下において説明する。
を用いた場合に顕著に現れていた。ところで、このよう
なリップルについては、特開平５−１８３３８０号公報
に開示の方法、すなわち、電極指の対数や交叉幅を変更
する方法だけでは解決することは困難であった。これ
を、以下において説明する。
【００１３】従来の梯子型弾性表面波フィルタに用いら
れている弾性表面波共振子のインピーダンス特性の一例
を図２に示す。図２から明らかなように、共振周波数ｆ
ｒと***振周波数ｆａとの間において、矢印Ｂで示すリ
ップルが存在していることがわかる。
れている弾性表面波共振子のインピーダンス特性の一例
を図２に示す。図２から明らかなように、共振周波数ｆ
ｒと***振周波数ｆａとの間において、矢印Ｂで示すリ
ップルが存在していることがわかる。
【００１４】上記リップルＢは、電極指の交叉幅を広く
することにより、小さくすることができる。ところが、
交叉幅を広くする場合には、所望のインピーダンスを得
ようとすると電極指の対数を減らさなければならない。
電極指の対数が少なくなると、共振周波数ｆｒと***振
周波数ｆａとの間の周波数間隔が狭くなり、広帯域のフ
ィルタを提供することができなくなる。これを、図３〜
図８を参照してより具体的に説明する。
することにより、小さくすることができる。ところが、
交叉幅を広くする場合には、所望のインピーダンスを得
ようとすると電極指の対数を減らさなければならない。
電極指の対数が少なくなると、共振周波数ｆｒと***振
周波数ｆａとの間の周波数間隔が狭くなり、広帯域のフ
ィルタを提供することができなくなる。これを、図３〜
図８を参照してより具体的に説明する。
【００１５】図３〜図８は、それぞれ、電極指の対数と
交叉幅との積を８００λとして一定とした場合に、対数
と交叉幅と変更した場合の各弾性表面波共振子のインピ
ーダンス特性を示す。図３〜図８に示す特性における、
電極指の対数及び交叉幅は、下記の表１に示す通りであ
る。
交叉幅との積を８００λとして一定とした場合に、対数
と交叉幅と変更した場合の各弾性表面波共振子のインピ
ーダンス特性を示す。図３〜図８に示す特性における、
電極指の対数及び交叉幅は、下記の表１に示す通りであ
る。
【００１６】
【表１】
【００１７】図３〜図８から明らかなように、電極指の
対数を少なくし、交叉幅を広くしていくにつれて、リッ
プルＢは小さくなる。しかしながら、共振周波数ｆｒと
***振周波数ｆａとの間の周波数間隔も狭くなることが
わかる。
対数を少なくし、交叉幅を広くしていくにつれて、リッ
プルＢは小さくなる。しかしながら、共振周波数ｆｒと
***振周波数ｆａとの間の周波数間隔も狭くなることが
わかる。
【００１８】なお、上記のように交叉幅を変化させた場
合、リップルＢの周波数は変化しない。従って、上記リ
ップルＢは、横モードによる不要リップルではないこと
がわかる。
合、リップルＢの周波数は変化しない。従って、上記リ
ップルＢは、横モードによる不要リップルではないこと
がわかる。
【００１９】上記のように、弾性表面波共振子の電極容
量を所望の値とするために、電極指の対数と交叉幅との
積を一定にしようとすると、リップルＢの大きさと、共
振周波数ｆｒ−***振周波数ｆａの周波数間隔とがトレ
ードオフの関係となり、何れかを犠牲にしなければなら
ない。
量を所望の値とするために、電極指の対数と交叉幅との
積を一定にしようとすると、リップルＢの大きさと、共
振周波数ｆｒ−***振周波数ｆａの周波数間隔とがトレ
ードオフの関係となり、何れかを犠牲にしなければなら
ない。
【００２０】図９は、上記のような弾性表面波共振子を
複数用いて構成された従来の梯子型弾性表面波フィルタ
のフィルタ特性を示す図である。図９において実線Ｃは
電極指交叉幅を１０．０λとした場合、破線Ｄは交叉幅
を２０．０λとしたときに、一点鎖線Ｅは交叉幅を４
０．０λとした場合の特性を示す。なお、何れの場合に
おいても、交叉幅と電極指の対数との積は８００λと
し、一定とした。
複数用いて構成された従来の梯子型弾性表面波フィルタ
のフィルタ特性を示す図である。図９において実線Ｃは
電極指交叉幅を１０．０λとした場合、破線Ｄは交叉幅
を２０．０λとしたときに、一点鎖線Ｅは交叉幅を４
０．０λとした場合の特性を示す。なお、何れの場合に
おいても、交叉幅と電極指の対数との積は８００λと
し、一定とした。
【００２１】図９から明らかなように、並列共振子にお
ける交叉幅が広くなるにつれて、帯域内リップルが小さ
くなるものの、通過帯域が狭くなることがわかる。すな
わち、従来の梯子型弾性表面波フィルタでは、通過帯域
を狭めることなく、帯域内リップルを軽減することは非
常に困難であった。
ける交叉幅が広くなるにつれて、帯域内リップルが小さ
くなるものの、通過帯域が狭くなることがわかる。すな
わち、従来の梯子型弾性表面波フィルタでは、通過帯域
を狭めることなく、帯域内リップルを軽減することは非
常に困難であった。
【００２２】（実施例）図１（ａ）及び（ｂ）は、それ
ぞれ、本発明の第１の実施例に係る弾性表面波フィルタ
の回路図、及び該弾性表面波フィルタに用いられている
一端子対弾性表面波共振子の電極構造を示す平面図であ
る。
ぞれ、本発明の第１の実施例に係る弾性表面波フィルタ
の回路図、及び該弾性表面波フィルタに用いられている
一端子対弾性表面波共振子の電極構造を示す平面図であ
る。
【００２３】本実施例の弾性表面波フィルタ１では、入
力端２と出力端３とを結ぶ線路が直列腕であり、該直列
腕と基準電位との間に第１〜第３の並列腕が構成されて
おり、それによって梯子型回路が構成されている。
力端２と出力端３とを結ぶ線路が直列腕であり、該直列
腕と基準電位との間に第１〜第３の並列腕が構成されて
おり、それによって梯子型回路が構成されている。
【００２４】直列腕には、直列共振子Ｓ１，Ｓ２が接続
されている。入力端２と直列共振子Ｓ１との間の接続点
４と、基準電位との間に第１の並列共振子Ｐ１を接続す
ることにより、第１の並列腕が構成されている。また、
第１，第２の直列共振子Ｓ１，Ｓ２間の接続点５と基準
電位との間に第２の並列共振子Ｐ２を接続することによ
り、第２の並列腕が構成されている。直列共振子Ｓ２と
出力端３との間の接続点６と基準電位との間に第３の並
列共振子Ｐ３を接続することにより第３の並列腕が構成
されている。直列共振子Ｓ１，Ｓ２及び並列共振子Ｐ１
〜Ｐ３は、それぞれ、一端子対弾性表面波共振子により
構成されている。
されている。入力端２と直列共振子Ｓ１との間の接続点
４と、基準電位との間に第１の並列共振子Ｐ１を接続す
ることにより、第１の並列腕が構成されている。また、
第１，第２の直列共振子Ｓ１，Ｓ２間の接続点５と基準
電位との間に第２の並列共振子Ｐ２を接続することによ
り、第２の並列腕が構成されている。直列共振子Ｓ２と
出力端３との間の接続点６と基準電位との間に第３の並
列共振子Ｐ３を接続することにより第３の並列腕が構成
されている。直列共振子Ｓ１，Ｓ２及び並列共振子Ｐ１
〜Ｐ３は、それぞれ、一端子対弾性表面波共振子により
構成されている。
【００２５】上記のように、直列共振子Ｓ１，Ｓ２及び
並列共振子Ｐ１〜Ｐ３を有する梯子型回路構成自体は、
従来より公知である。本実施例の弾性表面波フィルタ１
の特徴は、並列共振子Ｐ１〜Ｐ３を構成している弾性表
面波共振子のＩＤＴにおける一方のバスバーと、該バス
バーとは反対側のバスバーに接続されている電極指先端
との間のギャップ長Ｗが、１．０λ以下とされているこ
とにある。
並列共振子Ｐ１〜Ｐ３を有する梯子型回路構成自体は、
従来より公知である。本実施例の弾性表面波フィルタ１
の特徴は、並列共振子Ｐ１〜Ｐ３を構成している弾性表
面波共振子のＩＤＴにおける一方のバスバーと、該バス
バーとは反対側のバスバーに接続されている電極指先端
との間のギャップ長Ｗが、１．０λ以下とされているこ
とにある。
【００２６】本実施例では、第１〜第３の並列共振子Ｐ
１〜Ｐ３の上記ギャップ長Ｗが１．０λ以下とされてお
り、それによって帯域幅を狭めることなく通過帯域内の
平坦度が高められている。これを以下において説明す
る。
１〜Ｐ３の上記ギャップ長Ｗが１．０λ以下とされてお
り、それによって帯域幅を狭めることなく通過帯域内の
平坦度が高められている。これを以下において説明す
る。
【００２７】帯域幅を狭めることなく、前述したリップ
ルＢの影響を小さくして通過帯域内の平坦度を高めるに
は、直列共振子Ｓ１，Ｓ２及び並列共振子Ｐ１〜Ｐ３に
おける共振周波数と***振周波数との間に存在するリッ
プルＢの周波数を、共振周波数側に近付ければよい。弾
性表面波のメインの共振のインピーダンスをＺＬとし、
リップルＢのインピーダンスをＺＲとすると、これらを
合成した全体のインピーダンスＺ０は、下記の式（１）
で表される。
ルＢの影響を小さくして通過帯域内の平坦度を高めるに
は、直列共振子Ｓ１，Ｓ２及び並列共振子Ｐ１〜Ｐ３に
おける共振周波数と***振周波数との間に存在するリッ
プルＢの周波数を、共振周波数側に近付ければよい。弾
性表面波のメインの共振のインピーダンスをＺＬとし、
リップルＢのインピーダンスをＺＲとすると、これらを
合成した全体のインピーダンスＺ０は、下記の式（１）
で表される。
【００２８】
【数１】
【００２９】リップルＢが存在しない場合には、Ｚ０＝
ＺＬとなる。これに対して、リップルＢが存在する場
合、式（１）におけるＺＬ／ＺＲ分だけ、リップルＢの
影響を受け、インピーダンスが目的とする値から外れる
ことになる。ここで、ＺＲが同じ値の場合、ＺＬが小さ
ければ小さい程、全体のインピーダンスＺ０におけるＺ
Ｌ／ＺＲの不要モードに起因する影響を抑制することが
できる。
ＺＬとなる。これに対して、リップルＢが存在する場
合、式（１）におけるＺＬ／ＺＲ分だけ、リップルＢの
影響を受け、インピーダンスが目的とする値から外れる
ことになる。ここで、ＺＲが同じ値の場合、ＺＬが小さ
ければ小さい程、全体のインピーダンスＺ０におけるＺ
Ｌ／ＺＲの不要モードに起因する影響を抑制することが
できる。
【００３０】本願発明者は、上記リップルＢの周波数を
変化させることにより、上記リップルＢの影響を抑制す
べく検討した結果、上述したように、１ポート型弾性表
面波共振子におけるギャップ長Ｗを１．０λ以下とすれ
ばよいことを見出した。これを、以下において説明す
る。
変化させることにより、上記リップルＢの影響を抑制す
べく検討した結果、上述したように、１ポート型弾性表
面波共振子におけるギャップ長Ｗを１．０λ以下とすれ
ばよいことを見出した。これを、以下において説明す
る。
【００３１】図１（ｂ）は、１端子対ＳＡＷ共振子の電
極構造を示す平面図である。ここで、１端子対ＳＡＷ共
振子１１では、圧電性基板（図示せず）上に、一対のく
し歯電極１２ａ，１２ｂを、互いの電極指が間挿し合う
ように配置することにより構成されたインターデジタル
トランスデューサ（ＩＤＴ）を有する。また、特に図示
はしないが、上記ＩＤＴの表面波伝搬方向両側には、グ
レーティング型反射器が設けられている。
極構造を示す平面図である。ここで、１端子対ＳＡＷ共
振子１１では、圧電性基板（図示せず）上に、一対のく
し歯電極１２ａ，１２ｂを、互いの電極指が間挿し合う
ように配置することにより構成されたインターデジタル
トランスデューサ（ＩＤＴ）を有する。また、特に図示
はしないが、上記ＩＤＴの表面波伝搬方向両側には、グ
レーティング型反射器が設けられている。
【００３２】上記くし歯電極１２ａ，１２ｂは、それぞ
れ、複数本の電極指１２ａ1 ，１２ｂ1 と、電極指を一
端側で短絡しているバスバー１２ａ2 ，１２ｂ2 とを有
する。ここで、上記ギャップ長Ｗとは、一方のくし歯電
極１２ａの電極指１２ａ1 の先端と、該電極指１２ａ1
が接続されているバスバー１２ａ2 とは反対側のバスバ
ー１２ｂ2 との間のギャップの電極指長さ方向に延びる
長さをいうものとする。
れ、複数本の電極指１２ａ1 ，１２ｂ1 と、電極指を一
端側で短絡しているバスバー１２ａ2 ，１２ｂ2 とを有
する。ここで、上記ギャップ長Ｗとは、一方のくし歯電
極１２ａの電極指１２ａ1 の先端と、該電極指１２ａ1
が接続されているバスバー１２ａ2 とは反対側のバスバ
ー１２ｂ2 との間のギャップの電極指長さ方向に延びる
長さをいうものとする。
【００３３】上記一端子対弾性表面波共振子１１におい
て、電極指交叉幅及び電極指の対数を一定とし、ギャッ
プ長Ｗのみを変化させて、それぞれ、インピーダンス特
性を測定した。結果を図１０〜図１２に示す。
て、電極指交叉幅及び電極指の対数を一定とし、ギャッ
プ長Ｗのみを変化させて、それぞれ、インピーダンス特
性を測定した。結果を図１０〜図１２に示す。
【００３４】図１０は、ギャップ長Ｗ＝２．０λ、図１
１は、ギャップ長Ｗ＝１．０λ、図１２は、ギャップ長
Ｗ＝０．５λの場合のインピーダンス特性を示す。図１
０〜図１２から明らかなように、ギャップ長Ｗが小さく
なるにつれて、インピーダンス特性そのものは変化しな
いが、共振周波数ｆｒと***振周波数ｆａとの間に発生
するリップルＢの周波数位置が共振周波数ｆｒ側に近付
くことがわかる。
１は、ギャップ長Ｗ＝１．０λ、図１２は、ギャップ長
Ｗ＝０．５λの場合のインピーダンス特性を示す。図１
０〜図１２から明らかなように、ギャップ長Ｗが小さく
なるにつれて、インピーダンス特性そのものは変化しな
いが、共振周波数ｆｒと***振周波数ｆａとの間に発生
するリップルＢの周波数位置が共振周波数ｆｒ側に近付
くことがわかる。
【００３５】図１３は、ギャップ長と、リップルＢの周
波数位置との関係を示す図である。なお、図１３におけ
る縦軸のリップルの周波数位置は、（リップルの発生す
る周波数−共振周波数）／共振周波数で表されており、
すなわちリップルの発生する周波数を共振周波数で正規
化した値である。従って、縦軸のリップルの周波数位置
の値は、リップルが発生する周波数が、共振周波数から
どの程度離れているかを示しており、この値が大きい程
共振周波数ｆｒから離れ、***振周波数ｆａに近いこと
を意味する。
波数位置との関係を示す図である。なお、図１３におけ
る縦軸のリップルの周波数位置は、（リップルの発生す
る周波数−共振周波数）／共振周波数で表されており、
すなわちリップルの発生する周波数を共振周波数で正規
化した値である。従って、縦軸のリップルの周波数位置
の値は、リップルが発生する周波数が、共振周波数から
どの程度離れているかを示しており、この値が大きい程
共振周波数ｆｒから離れ、***振周波数ｆａに近いこと
を意味する。
【００３６】図１３から明らかなように、ギャップ長Ｗ
を変化させることにより、リップルＢが発生する周波数
位置が変化しており、リップルＢの位置を共振周波数ｆ
ｒに近付けるには、ギャップ長Ｗを小さくすればよいこ
とがわかる。従って、不要リップルＢの影響をできるだ
け小さくするには、ギャップ長Ｗをできるだけ小さくす
ればよいことがわかる。
を変化させることにより、リップルＢが発生する周波数
位置が変化しており、リップルＢの位置を共振周波数ｆ
ｒに近付けるには、ギャップ長Ｗを小さくすればよいこ
とがわかる。従って、不要リップルＢの影響をできるだ
け小さくするには、ギャップ長Ｗをできるだけ小さくす
ればよいことがわかる。
【００３７】特に、ギャップ長Ｗを、１．０λとすれ
ば、リップルＢの周波数位置が、０．０１７５以下とな
り、ほぼ共振周波数近傍となるため、リップルＢの影響
を確実に抑制し得ることがわかる。上記のように、ギャ
ップ長Ｗを１．０λ以下とすれば、不要リップルＢの影
響を低減することができ、良好なインピーダンス特性を
得ることができる。
ば、リップルＢの周波数位置が、０．０１７５以下とな
り、ほぼ共振周波数近傍となるため、リップルＢの影響
を確実に抑制し得ることがわかる。上記のように、ギャ
ップ長Ｗを１．０λ以下とすれば、不要リップルＢの影
響を低減することができ、良好なインピーダンス特性を
得ることができる。
【００３８】次に、本実施例の弾性表面波フィルタの具
体的な構成及び特性を説明する。図１４は、図１に示し
た実施例の弾性表面波フィルタの平面図である。弾性表
面波フィルタ１では、ＬｉＴａＯ3 基板２１上に、Ａｌ
よりなる複数の一端子対弾性表面波共振子が形成されて
いる。この複数の一端子対弾性表面波共振子は、図１に
示した直列共振子Ｓ１，Ｓ２と、並列共振子Ｐ１〜Ｐ３
とに相当するものである。
体的な構成及び特性を説明する。図１４は、図１に示し
た実施例の弾性表面波フィルタの平面図である。弾性表
面波フィルタ１では、ＬｉＴａＯ3 基板２１上に、Ａｌ
よりなる複数の一端子対弾性表面波共振子が形成されて
いる。この複数の一端子対弾性表面波共振子は、図１に
示した直列共振子Ｓ１，Ｓ２と、並列共振子Ｐ１〜Ｐ３
とに相当するものである。
【００３９】本実施例の弾性表面波フィルタ１の並列共
振子Ｐ１〜Ｐ３及び直列共振子Ｓ１，Ｓ２のＩＤＴの波
長、交叉幅、ギャップ長Ｗ及び電極指の対数は下記の表
２に示す通りである。
振子Ｐ１〜Ｐ３及び直列共振子Ｓ１，Ｓ２のＩＤＴの波
長、交叉幅、ギャップ長Ｗ及び電極指の対数は下記の表
２に示す通りである。
【００４０】
【表２】
【００４１】表２から明らかなように、並列共振子Ｐ１
〜Ｐ３は、ギャップ長Ｗが、０．５λとされている。な
お、直列共振子Ｓ１，Ｓ２については、表１に示す通
り、ギャップ長Ｗは１．０λとされている。
〜Ｐ３は、ギャップ長Ｗが、０．５λとされている。な
お、直列共振子Ｓ１，Ｓ２については、表１に示す通
り、ギャップ長Ｗは１．０λとされている。
【００４２】なお、上記並列共振子Ｐ１〜Ｐ３及び直列
共振子Ｓ１，Ｓ２の電極膜厚は３００ｎｍであり、対波
長比で７％程度である。上記並列共振子のインピーダン
ス特性を図１５に示す。
共振子Ｓ１，Ｓ２の電極膜厚は３００ｎｍであり、対波
長比で７％程度である。上記並列共振子のインピーダン
ス特性を図１５に示す。
【００４３】図１５の実線は、実施例で用いた並列共振
子Ｐ１〜Ｐ３のインピーダンス特性を、破線はギャップ
長Ｗ＝２．０λとしたことを除いては、上記並列共振子
Ｐ１〜Ｐ３と同様に構成された一端子対弾性表面波共振
子のインピーダンス特性を示す。 上記実施例の弾性表
面波フィルタのフィルタ特性を、図１６に一点鎖線Ｆで
示す。
子Ｐ１〜Ｐ３のインピーダンス特性を、破線はギャップ
長Ｗ＝２．０λとしたことを除いては、上記並列共振子
Ｐ１〜Ｐ３と同様に構成された一端子対弾性表面波共振
子のインピーダンス特性を示す。 上記実施例の弾性表
面波フィルタのフィルタ特性を、図１６に一点鎖線Ｆで
示す。
【００４４】比較のために、図１５に破線で示したギャ
ップ長Ｗ＝２．０λの並列共振子Ｐ１〜Ｐ３を用いたこ
とを除いては、実施例と同様にして構成された弾性表面
波フィルタのフィルタ特性を図１５に実線Ｇで示す。さ
らに、同じく、ギャップ長Ｗ＝１．０λに変更された並
列共振子を用いたことを除いては、上記実施例と同様に
して作製された第２の実施例の弾性表面波フィルタのフ
ィルタ特性を破線Ｈで示す。
ップ長Ｗ＝２．０λの並列共振子Ｐ１〜Ｐ３を用いたこ
とを除いては、実施例と同様にして構成された弾性表面
波フィルタのフィルタ特性を図１５に実線Ｇで示す。さ
らに、同じく、ギャップ長Ｗ＝１．０λに変更された並
列共振子を用いたことを除いては、上記実施例と同様に
して作製された第２の実施例の弾性表面波フィルタのフ
ィルタ特性を破線Ｈで示す。
【００４５】図１６から明らかなように、ギャップ長Ｗ
＝２．０λの場合には、通過帯域の左肩における欠けが
大きく、良好なフィルタ特性を得られないことがわか
る。これに対し、ギャップ長Ｗ＝１．０λとした第２の
実施例の場合、帯域の左肩における欠けが小さくなり、
帯域内の平坦性が改善されていることがわかる。さら
に、第１の実施例に従って、ギャップ長Ｗ＝０．５λの
並列共振子を用いた場合には、通過帯域内における平坦
性がより一層高められ、広帯域のフィルタ特性の得られ
ることがわかる。
＝２．０λの場合には、通過帯域の左肩における欠けが
大きく、良好なフィルタ特性を得られないことがわか
る。これに対し、ギャップ長Ｗ＝１．０λとした第２の
実施例の場合、帯域の左肩における欠けが小さくなり、
帯域内の平坦性が改善されていることがわかる。さら
に、第１の実施例に従って、ギャップ長Ｗ＝０．５λの
並列共振子を用いた場合には、通過帯域内における平坦
性がより一層高められ、広帯域のフィルタ特性の得られ
ることがわかる。
【００４６】上記第１，第２の実施例では、圧電性基板
として、ＬｉＴａＯ3 基板を用いたが、ＬｉＮｂＯ3 や
水晶などの他の圧電単結晶からなる圧電性基板を用いて
もよい。
として、ＬｉＴａＯ3 基板を用いたが、ＬｉＮｂＯ3 や
水晶などの他の圧電単結晶からなる圧電性基板を用いて
もよい。
【００４７】また、上記第１，第２の実施例では、並列
共振子Ｐ１〜Ｐ３の全てにおいて、ギャップ長Ｗが１．
０λ以下とされていたが、並列共振子のうち少なくとも
１つの並列共振子のギャップ長Ｗを１．０λ以下として
もよく、さらに、全ての弾性表面波共振子のうち、１つ
の弾性表面波共振子においてギャップ長Ｗを１．０λ以
下としてもよい。
共振子Ｐ１〜Ｐ３の全てにおいて、ギャップ長Ｗが１．
０λ以下とされていたが、並列共振子のうち少なくとも
１つの並列共振子のギャップ長Ｗを１．０λ以下として
もよく、さらに、全ての弾性表面波共振子のうち、１つ
の弾性表面波共振子においてギャップ長Ｗを１．０λ以
下としてもよい。
【００４８】また、梯子型回路についても、図１（ａ）
の回路構成に限定されず、従来より公知のラダー型フィ
ルタと同様に、適宜の段数となるように直列共振子及び
並列共振子を接続し得る。
の回路構成に限定されず、従来より公知のラダー型フィ
ルタと同様に、適宜の段数となるように直列共振子及び
並列共振子を接続し得る。
【００４９】
【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、梯子型
回路を構成している直列共振子及び並列共振子が一端子
対弾性表面波共振子よりなり、少なくとも１つの弾性表
面波共振子のＩＤＴにおける、一方のバスバーと、該バ
スバーとは反対側のバスバーに接続されている電極指先
端との間のギャップ長が、弾性表面波の波長をλとした
ときに、１．０λ以下とされているので、弾性表面波共
振子の共振周波数と***振周波数との間に発生するリッ
プルに起因する、通過帯域内の不要リップルを抑圧する
ことができる。しかも、各弾性表面波共振子のインピー
ダンス特性自体は変化しないため、通過帯域を狭めるこ
となく、上記リップルを抑圧することができるので、通
過帯域内の平坦性に優れており、かつ広帯域の弾性表面
波フィルタを提供することができる。
回路を構成している直列共振子及び並列共振子が一端子
対弾性表面波共振子よりなり、少なくとも１つの弾性表
面波共振子のＩＤＴにおける、一方のバスバーと、該バ
スバーとは反対側のバスバーに接続されている電極指先
端との間のギャップ長が、弾性表面波の波長をλとした
ときに、１．０λ以下とされているので、弾性表面波共
振子の共振周波数と***振周波数との間に発生するリッ
プルに起因する、通過帯域内の不要リップルを抑圧する
ことができる。しかも、各弾性表面波共振子のインピー
ダンス特性自体は変化しないため、通過帯域を狭めるこ
となく、上記リップルを抑圧することができるので、通
過帯域内の平坦性に優れており、かつ広帯域の弾性表面
波フィルタを提供することができる。
【００５０】請求項２に記載の発明では、並列共振子を
構成している一端子対弾性表面波共振子のうち、少なく
とも１つの弾性表面波共振子におけるギャップ長が１．
０λ以下とされているので、並列共振子の共振周波数−
***振周波数間に発生するリップルが抑圧され、それに
よって通過帯域の低域側におけるフィルタ特性の劣化を
防止することができ、通過帯域を狭めることなく、通過
帯域内の平坦性を高めることができる。
構成している一端子対弾性表面波共振子のうち、少なく
とも１つの弾性表面波共振子におけるギャップ長が１．
０λ以下とされているので、並列共振子の共振周波数−
***振周波数間に発生するリップルが抑圧され、それに
よって通過帯域の低域側におけるフィルタ特性の劣化を
防止することができ、通過帯域を狭めることなく、通過
帯域内の平坦性を高めることができる。
【００５１】請求項３に記載の発明では、複数の並列共
振子の全てにおいてギャップ長が１．０λ以下とされて
いるので、より一層通過帯域内の平坦性を高めることが
でき、広帯域の弾性表面波フィルタを提供することがで
きる。
振子の全てにおいてギャップ長が１．０λ以下とされて
いるので、より一層通過帯域内の平坦性を高めることが
でき、広帯域の弾性表面波フィルタを提供することがで
きる。
【００５２】請求項４に記載の発明では、圧電性基板
が、大きな電気機械結合係数を有し、かつ温度特性が比
較的良好なＬｉＴａＯ3 基板により構成されているの
で、広帯域であり、かつ温度特性が安定な弾性表面波フ
ィルタを提供することができる。
が、大きな電気機械結合係数を有し、かつ温度特性が比
較的良好なＬｉＴａＯ3 基板により構成されているの
で、広帯域であり、かつ温度特性が安定な弾性表面波フ
ィルタを提供することができる。
【図１】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第１の実施例に
係る弾性表面波フィルタの回路図及び該実施例に用いら
れている一端子対弾性表面波共振子のＩＤＴの電極構造
を説明するための平面図。
係る弾性表面波フィルタの回路図及び該実施例に用いら
れている一端子対弾性表面波共振子のＩＤＴの電極構造
を説明するための平面図。
【図２】一端子対弾性表面波共振子のインピーダンス特
性の一例を示す図。
性の一例を示す図。
【図３】電極指の対数が２００対、交叉幅が４λの一端
子対弾性表面波共振子のインピーダンス特性を示す図。
子対弾性表面波共振子のインピーダンス特性を示す図。
【図４】電極指の対数が１００対、交叉幅が８λの一端
子対弾性表面波共振子のインピーダンス特性を示す図。
子対弾性表面波共振子のインピーダンス特性を示す図。
【図５】電極指の対数が７０対、交叉幅が１１．４λの
一端子対弾性表面波共振子のインピーダンス特性を示す
図。
一端子対弾性表面波共振子のインピーダンス特性を示す
図。
【図６】電極指の対数が５０対、交叉幅が１６λの一端
子対弾性表面波共振子のインピーダンス特性を示す図。
子対弾性表面波共振子のインピーダンス特性を示す図。
【図７】電極指の対数が２５対、交叉幅が３２λの一端
子対弾性表面波共振子のインピーダンス特性を示す図。
子対弾性表面波共振子のインピーダンス特性を示す図。
【図８】電極指の対数が１６対、交叉幅が５０λの一端
子対弾性表面波共振子のインピーダンス特性を示す図。
子対弾性表面波共振子のインピーダンス特性を示す図。
【図９】電極指交叉幅と電極指の対数の積を一定とし、
交叉幅を変化させた場合の弾性表面波フィルタのフィル
タ特性を示す図。
交叉幅を変化させた場合の弾性表面波フィルタのフィル
タ特性を示す図。
【図１０】ギャップ長Ｗ＝２．０λである一端子対弾性
表面波共振子のインピーダンス特性を示す図。
表面波共振子のインピーダンス特性を示す図。
【図１１】ギャップ長Ｗ＝１．０λである一端子対弾性
表面波共振子のインピーダンス特性を示す図。
表面波共振子のインピーダンス特性を示す図。
【図１２】ギャップ長Ｗ＝０．５λである一端子対弾性
表面波共振子のインピーダンス特性を示す図。
表面波共振子のインピーダンス特性を示す図。
【図１３】ギャップ長とリップルが表れる周波数位置と
の関係を示す図。
の関係を示す図。
【図１４】本発明の第１の実施例に係る弾性表面波フィ
ルタの平面図。
ルタの平面図。
【図１５】第１の実施例において用いられた並列共振子
のインピーダンス特性と、比較のために用意した並列共
振子のインピーダンス特性（破線）を示す図。
のインピーダンス特性と、比較のために用意した並列共
振子のインピーダンス特性（破線）を示す図。
【図１６】第１，第２の実施例の弾性表面波フィルタ及
び比較のために用意した弾性表面波フィルタの各フィル
タ特性を示す図。
び比較のために用意した弾性表面波フィルタの各フィル
タ特性を示す図。
【図１７】従来の梯子型回路構成を有する弾性表面波フ
ィルタのフィルタ特性を示す図。
ィルタのフィルタ特性を示す図。
１…弾性表面波フィルタ ２…入力端 ３…出力端 Ｓ１，Ｓ２…直列共振子 Ｐ１〜Ｐ３…並列共振子 １１…位置端子対ＳＡＷ共振子 １２…インターデジタルトランスデューサ １２ａ，１２ｂ…くし歯電極 １２ａ1 ，１２ｂ1 …電極指 １２ａ2 ，１２ｂ2 …バスバー ２１…ＬｉＴａＯ3 基板
Claims (4)
- 【請求項１】 入出力間に構成された直列椀に直列共振
子を有し、該直列椀と基準電位との間に構成された並列
椀に並列共振子を有する梯子型回路構成の弾性表面波フ
ィルタであって、 圧電性基板と、 前記圧電性基板上に形成された複数の一端子対弾性表面
波共振子とを備え、複数の一端子対弾性表面波共振子
が、前記直列共振子及び並列共振子を構成するように配
置されており、 少なくとも１つの弾性表面波共振子のインターデジタル
トランスデューサにおける、一方のバスバーと、該バス
バーとは反対側のバスバーに接続されている電極指先端
との間のギャップ長が、弾性表面波の波長をλとしたと
きに、１．０λ以下となるようにされていることを特徴
とする、弾性表面波フィルタ。 - 【請求項２】 並列共振子を構成している一端子対弾性
表面波共振子のうち、少なくとも１つの弾性表面波共振
子における前記ギャップ長が、１．０λ以下とされてい
る、請求項１に記載の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項３】 複数の並列共振子を有し、かつすべての
並列共振子において、前記ギャップ長が１．０λ以下と
されている、請求項１に記載の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項４】 前記圧電性基板が、ＬｉＴａＯ3 基板で
ある、請求項１〜３の何れかに記載の弾性表面波フィル
タ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10144654A JPH11340774A (ja) | 1998-05-26 | 1998-05-26 | 弾性表面波フィルタ |
| GB9911694A GB2337887B (en) | 1998-05-26 | 1999-05-19 | Surface acoustic wave filter |
| US09/317,806 US6172580B1 (en) | 1998-05-26 | 1999-05-24 | Surface acoustic wave ladder filter with specific gap length between electrode tips and the opposing bus bar |
| DE19923962A DE19923962A1 (de) | 1998-05-26 | 1999-05-25 | Oberflächenwellenfilter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10144654A JPH11340774A (ja) | 1998-05-26 | 1998-05-26 | 弾性表面波フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11340774A true JPH11340774A (ja) | 1999-12-10 |
Family
ID=15367123
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10144654A Pending JPH11340774A (ja) | 1998-05-26 | 1998-05-26 | 弾性表面波フィルタ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6172580B1 (ja) |
| JP (1) | JPH11340774A (ja) |
| DE (1) | DE19923962A1 (ja) |
| GB (1) | GB2337887B (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100729694B1 (ko) | 2003-04-23 | 2007-06-18 | 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤 | 탄성 표면파 디바이스 |
| JP2011101350A (ja) * | 2009-09-22 | 2011-05-19 | Triquint Semiconductor Inc | ピストンモード音響波装置と高結合係数を提供する方法 |
| CN103117727A (zh) * | 2013-02-06 | 2013-05-22 | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 | 一种高阻抗声表面波谐振器 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3255128B2 (ja) * | 1998-11-24 | 2002-02-12 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ |
| JP3161439B2 (ja) * | 1998-11-25 | 2001-04-25 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ |
| JP3887142B2 (ja) | 2000-05-18 | 2007-02-28 | 矢崎総業株式会社 | 半嵌合検知コネクタ |
| JP3498215B2 (ja) * | 2001-04-09 | 2004-02-16 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ、弾性表面波装置および通信装置 |
| US6534896B2 (en) * | 2001-05-15 | 2003-03-18 | Nortel Networks Limited | Spatial harmonic transducers for surface wave devices |
| DE10213277A1 (de) * | 2002-03-25 | 2003-10-16 | Epcos Ag | Multiport-Resonatorfilter |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3529902A1 (de) * | 1985-08-21 | 1987-02-26 | Siemens Ag | Convolver-anordnung mit akustischen wellen |
| US5077545A (en) * | 1990-05-02 | 1991-12-31 | Sawtek, Inc. | Surface acoustic wave waveguide-coupled resonator notch filter |
| JP2800905B2 (ja) | 1991-10-28 | 1998-09-21 | 富士通株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
| JPH06188673A (ja) | 1992-12-18 | 1994-07-08 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波フィルタ |
| JP3185591B2 (ja) * | 1995-03-03 | 2001-07-11 | 株式会社村田製作所 | Ｓａｗ共振子 |
| JPH09223944A (ja) * | 1995-12-13 | 1997-08-26 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波素子及びその製造方法 |
| US5793266A (en) * | 1996-08-12 | 1998-08-11 | Motorola Inc. | Differential input and/or differential output, transversely-coupled surface acoustic wave filter |
| JP3576350B2 (ja) * | 1997-04-23 | 2004-10-13 | 沖電気工業株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
-
1998
- 1998-05-26 JP JP10144654A patent/JPH11340774A/ja active Pending
-
1999
- 1999-05-19 GB GB9911694A patent/GB2337887B/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-05-24 US US09/317,806 patent/US6172580B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-05-25 DE DE19923962A patent/DE19923962A1/de not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100729694B1 (ko) | 2003-04-23 | 2007-06-18 | 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤 | 탄성 표면파 디바이스 |
| JP2011101350A (ja) * | 2009-09-22 | 2011-05-19 | Triquint Semiconductor Inc | ピストンモード音響波装置と高結合係数を提供する方法 |
| CN103117727A (zh) * | 2013-02-06 | 2013-05-22 | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 | 一种高阻抗声表面波谐振器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2337887B (en) | 2000-04-19 |
| US6172580B1 (en) | 2001-01-09 |
| DE19923962A1 (de) | 1999-12-09 |
| GB9911694D0 (en) | 1999-07-21 |
| GB2337887A (en) | 1999-12-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041228 |