JPH11167722A - 光記録媒体、その記録方法およびその記録装置 - Google Patents

光記録媒体、その記録方法およびその記録装置

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JPH11167722A
JPH11167722A JP10247812A JP24781298A JPH11167722A JP H11167722 A JPH11167722 A JP H11167722A JP 10247812 A JP10247812 A JP 10247812A JP 24781298 A JP24781298 A JP 24781298A JP H11167722 A JPH11167722 A JP H11167722A
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layer
recording medium
linear velocity
optical recording
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Jiro Yoshinari
次郎 吉成
Masanori Kosuda
正則 小須田
Hiroshi Shinkai
浩 新開
Takashi Kikukawa
隆 菊川
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 相変化型光記録媒体において、高温環境下で
保存した後の追記特性を改善する。具体的には、高温保
存後の初回の記録の際に生じる消去率の低下を防ぐ。 【解決手段】 基体上に相変化型の記録層を有する光記
録媒体にオーバーライトを行うに際し、最適線速度vOP
とオーバーライト時の線速度vOWとの関係を、vOW/v
OP<1とする。これにより、記録マーク形成後に60〜
80℃で少なくとも100時間保存した後の前記記録マ
ークの消去率を、26dB以上とできる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、相変化型の光記録
媒体と、これにオーバーライトを行う方法と、このオー
バーライトに用いる記録装置とに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、高密度記録が可能で、しかも記録
情報を消去して書き換えることが可能な光記録媒体が注
目されている。書き換え可能型の光記録媒体のうち相変
化型のものは、レーザー光を照射することにより記録層
の結晶状態を変化させて記録を行い、このような状態変
化に伴なう記録層の反射率変化を検出することにより再
生を行うものである。相変化型の光記録媒体は、駆動装
置の光学系が光磁気記録媒体のそれに比べて単純である
ため、注目されている。
【0003】相変化型の記録層には、結晶質状態と非晶
質状態とで反射率の差が大きいこと、非晶質状態の安定
度が比較的高いことなどから、Ge−Sb−Te系等の
カルコゲナイト系材料が用いられることが多い。
【0004】相変化型光記録媒体において情報を記録す
る際には、記録層が融点以上まで昇温されるような高パ
ワー(記録パワー)のレーザー光を照射する。記録パワ
ーが加えられた部分では記録層が溶融した後、急冷さ
れ、非晶質の記録マークが形成される。一方、記録マー
クを消去する際には、記録層がその結晶化温度以上であ
ってかつ融点未満の温度まで昇温されるような比較的低
パワー(消去パワー)のレーザー光を照射する。消去パ
ワーが加えられた記録マークは、結晶化温度以上まで加
熱された後、徐冷されることになるので、結晶質に戻
る。したがって、相変化型光記録媒体では、単一の光ビ
ームの強度を変調することにより、オーバーライトが可
能である。
【0005】しかし、本発明者らの研究の結果、Ge−
Sb−Te系等の記録層を有する相変化型光記録媒体で
は、記録マークを形成し、高温にて100時間程度以上
保存した後、記録マークの上からオーバーライトして
も、最初に形成した記録マークを十分に消去できないこ
とがわかった。以前の記録マークが消去できないと、記
録後に照合を行わない場合にはエラーとなってしまう。
なお、高温保存を挟むことなくオーバーライトを続けて
2回行うと、すなわち、消去パワー以上のパワーレベル
のレーザー光を2回照射すると、記録マークは十分に消
去されるので、オーバーライト後に照合を行って再度記
録を行えばエラーの発生は防げるが、この場合には書き
込みに要する時間が長くなってしまうという問題が生じ
る。
【0006】相変化型光記録媒体の高温環境下での保存
における特性劣化を防ぐ提案は、例えば特開平5−15
9369号公報に記載されている。同公報では、記録層
と共に基板上に設ける誘電体層を、カルコゲン化合物と
酸化物と炭素(C)を含む複合物から構成することによ
り、誘電体層内に発生する内部応力を低減し、誘電体層
と記録層との接着力を向上させ、その結果、膜の剥離や
クラックの発生を防いで、長期の信頼性を確保したとし
ている。このように、同公報では、高温保存後の消去率
の低下およびその改善については、触れられていない。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、相変
化型光記録媒体において、高温環境下で保存した後の追
記特性を改善することであり、具体的には、高温保存後
の初回の記録の際に生じる消去率の低下を防ぐことであ
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】このような目的は、下記
(1)〜(9)のいずれかの構成により達成される。 (1) 基体上に相変化型の記録層を有する光記録媒体
であって、記録層に記録マークを形成し、この光記録媒
体が使用される最高温度下または保管される最高温度下
において少なくとも100時間保存した後、前記記録マ
ークの上からオーバーライトを行ったときに、前記記録
マークの消去率が26dB以上である光記録媒体。 (2) 前記最高温度が60〜80℃である上記(1)
の光記録媒体。 (3) 最適線速度をvOPとしたとき、 vOW/vOP<1 となる線速度vOWでオーバーライトが行われる上記
(1)または(2)の光記録媒体。 (4) 0.5≦vOW/vOP≦0.95 である上記(3)の光記録媒体。 (5) 記録層がGe、SbおよびTeを主成分とする
上記(1)〜(4)のいずれかの光記録媒体。 (6) 基体上に相変化型の記録層を有する光記録媒体
にオーバーライトを行う方法であって、最適線速度をv
OPとし、オーバーライト時の線速度をvOWとしたとき、 vOW/vOP<1 である光記録媒体の記録方法。 (7) 0.5≦vOW/vOP≦0.95 である上記(6)の光記録媒体の記録方法。 (8) 前記光記録媒体において、記録層がGe、Sb
およびTeを主成分とするものである上記(6)または
(7)の光記録媒体の記録方法。 (9) 上記(6)〜(8)のいずれかの方法により記
録を行う光記録媒体の記録装置。
【0009】
【作用および効果】前述したように、従来の相変化型光
記録媒体では、記録マークを形成し、高温において10
0時間程度以上保存した後、前記記録マークを消去して
再び記録マークを形成するオーバーライトを行う際に、
最初に形成した記録マークの消去が不十分となること
を、本発明者らは見いだした。
【0010】本発明者らがこの現象について詳細に研究
を行ったところ、高温下での保存により、光記録媒体の
最適線速度が遅くなることがわかった。なお、この場合
の最適線速度とは、ジッターが最小となる線速度を意味
する。具体的には、保存前の最適線速度が例えば7m/s
であった場合、保存後に1回オーバーライトすると、消
去率は18dBとなった。一般に、消去率は26dB以上必
要なので、この場合には消去が不十分である。保存後に
最適線速度を測定すると、6m/sであったので、保存後
に線速度6m/sでオーバーライトを行うと、消去率は3
0dBと十分な値であった。また、上記保存後に、最適線
速度の7m/sでオーバーライトを2回行うと、消去率は
29dBとなり、この場合には十分な消去率が得られた。
【0011】光記録システムでは、光記録媒体はその最
適線速度が駆動装置の線速度とほぼ一致するように設計
されるので、光記録媒体をその消去パワーマージンが著
しく広くなる設計としない限り、高温保存後の消去率の
低さにより十分な信頼性が得られない。
【0012】これに対し本発明では、最適線速度よりも
遅い線速度でオーバーライトを行う。すなわち、高温保
存後の最適線速度またはその近傍の線速度でオーバーラ
イトを行う。このため、高温保存後の初回のオーバーラ
イトの際に、消去率の低下を防ぐことができ、信頼性の
高い光記録媒体が実現する。具体的には、光記録媒体が
使用される最高温度下または保管される最高温度(通
常、60℃以上80℃以下)下において少なくとも10
0時間保存した後においても、消去率を26dB以上とす
ることができる。なお、消去率は、オーバーライトする
記録マークの長さが短いほど良好となるが、最適線速度
でオーバーライトを行った場合、オーバーライトにより
形成される記録マークが最小反転間隔のものであって
も、高温保存後の消去率は26dB未満となってしまう。
これに対し本発明において最適線速度よりも遅い線速度
で、最小反転間隔の記録マークでオーバーライトすれ
ば、消去率を26dB以上とすることができる。
【0013】本発明では、媒体駆動装置の線速度よりも
媒体の最適線速度を速くする必要があるので、記録層が
徐冷される構造とするか、記録層の結晶化速度を比較的
速くする必要がある。徐冷構造とするには、記録層を厚
くしたり、記録層と反射層との間に設ける誘電体層(図
3における第2誘電体層32)を厚くしたりすればよ
い。結晶化速度は、記録層の組成を制御することにより
調整できる。また、図3における第1誘電体層31や第
2誘電体層32の組成を制御することによっても、結晶
化速度を速くすることができる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。
【0015】記録方法 本発明では、記録対象の光記録媒体の最適線速度よりも
遅い線速度でオーバーライトを行う。最適線速度vOP
対するオーバーライト時の線速度vOWの具体的比率は、
光記録媒体の消去パワーマージンや他の各種条件によっ
ても異なるので、これらに応じて適宜決定すればよい
が、好ましくは 0.5≦vOW/vOP≦0.95 とし、より好ましくは 0.7≦vOW/vOP≦0.95 とする。vOW/vOPが小さすぎると、高温下での保存を
行わない場合に記録が困難となり、vOW/vOPが大きす
ぎると、高温保存後に十分な消去率が得られなくなる。
【0016】本明細書において最適線速度とは、ジッタ
ーが最小になる線速度のことである。前述したように、
最適線速度は高温保存により変化するので、ジッターの
測定は、高温保存していない媒体について行う必要があ
る。測定には、通常の方法を用いればよい。ただし、高
温保存した媒体でも、測定前に2回以上続けてオーバー
ライトを行うことにより、本来の最適線速度の測定が可
能である。
【0017】本発明においてオーバーライトに使用する
レーザービームの変調パターンは特に限定されないが、
次に説明するものとすることが好ましい。
【0018】本発明において好ましく使用されるレーザ
ービームの変調パターンを、図1および図2に示す。図
1は、3T信号記録用の変調パターン(記録パルスパタ
ーン)であり、図2は、11T信号記録用の変調パター
ンである。各図において、横方向は時間、縦方向はレー
ザービームのパワーレベルである。なお、各図には、3
Tおよび11TのNRZI信号パターンを併記してあ
る。
【0019】これらの変調パターンにおけるパワーレベ
ルは、PP(ピークパワー)と、PPよりも低いPB1(バ
イアスパワー1)と、PB1よりも低いPB2(バイアスパ
ワー2)との3段階である。記録パワーをパルス変調す
ることは従来も行われているが、その場合には、記録パ
ルスのボトム値は消去パワーであるPB1となっていた。
これに対し、このパターンの特徴は、記録パルスを、ピ
ーク値PP、ボトム値PB 2とし、かつ最終パルス照射後
に、パワーレベルをいったんボトム値PB2まで低下させ
た後、消去パワーレベルであるPB1に戻すことである。
記録パルスをこのようなパターンとすることにより、記
録密度を高くした場合でも記録マークの形状が歪みにく
くなり、ジッターの増大を抑えることができる。
【0020】オーバーライト時の線速度は特に限定され
ないが、通常、0.8〜20m/s程度、好ましくは1.
2〜16m/sである。
【0021】媒体構成 本発明が適用される光記録媒体の具体的な構成例を、図
3に示す。この光記録媒体は、基体2表面側に、第1誘
電体層31、記録層4、第2誘電体層32、反射層5お
よび保護層6をこの順に設けた片面記録型(単板型)媒
体である。なお、この片面記録型媒体を2枚用い、保護
層6が内側になるように接着層により接着した両面記録
型の媒体にも、本発明は適用できる。また、上記片面記
録型媒体と保護基体とを接着層により接着した媒体に
も、本発明は適用できる。
【0022】基体 この光記録媒体では基体2を通して記録層4に光ビーム
が照射されるので、基体2は、用いる光ビームに対して
実質的に透明である材質、例えば、樹脂やガラスなどか
ら構成されることが好ましい。樹脂としては、アクリル
樹脂、ポリカーボネート、エポキシ樹脂、ポリオレフィ
ン等を用いればよい。基体の形状および寸法は特に限定
されないが、通常、ディスク状とし、厚さは0.5〜3
mm程度、直径は50〜360mm程度とする。基体の表面
には、トラッキング用やアドレス用等のために、グルー
ブ等の所定のパターンが必要に応じて設けられる。
【0023】第1誘電体層31、第2誘電体層32 第1誘電体層31は、記録層の酸化を防ぎ、また、記録
時に記録層から基体に伝わる熱を遮断して基体を保護す
る。第2誘電体層32は、記録層を保護すると共に、記
録後、記録層に残った熱の放出を調整するために設けら
れる。また、両誘電体層を設けることにより、変調度を
向上させることができる。
【0024】各誘電体層を構成する誘電体材料は特に限
定されず、各種誘電体、例えば、各種の酸化物、窒化
物、硫化物、炭化物等や、これらの混合物、固溶体など
から適宜選択すればよいが、前述したように本発明では
媒体の最適線速度を比較的速くする必要があるので、そ
のような設計が容易となるように誘電体材料を選択する
ことが好ましい。具体的には、酸化ケイ素、窒化ケイ素
および/または窒化ゲルマニウム、硫化亜鉛と酸化ケイ
素との混合物などから構成される誘電体層を記録層に接
して設け、記録層の結晶化を促進する構成とすることが
好ましい。このうち、硫化亜鉛(ZnS)と酸化ケイ素
(SiO2)との混合物は、従来はZnS(85mol%)
−SiO2(15mol%)を中心とする組成が一般的であ
ったが、結晶化速度を速くするためには、酸化ケイ素含
有率を従来より高く、例えば40mol%程度以上にするこ
とが好ましい。
【0025】なお、本明細書における酸化ケイ素含有率
は、硫化亜鉛および酸化ケイ素をそれぞれZnSおよび
SiO2に換算して、SiO2/(ZnS+SiO2)に
より求めた値である。すなわち、蛍光X線分析などによ
り求めたS量、Zn量、Si量に基づいて決定する。な
お、例えばSに対しZnが過剰であった場合や、Znに
対しSが過剰であった場合には、過剰なZnやSは、他
の化合物(ZnO等)として含有されているか、遊離状
態で存在しているものと考え、ZnS含有率算出の際に
はZnおよびSのうち少ないほうに合わせる。
【0026】各誘電体層は、単層構造であっても2層以
上の積層構造であってもよい。
【0027】第1誘電体層31の厚さは、好ましくは3
0〜300nm、より好ましくは50〜250nmである。
第1誘電体層をこのような厚さとすることにより、記録
に際しての基体損傷を効果的に防ぐことができ、変調度
も高くなる。
【0028】第2誘電体層32の厚さは、10〜50n
m、好ましくは13〜35nmである。第2誘電体層をこ
のような厚さとすることにより冷却速度が速くなるの
で、記録マークのエッジが明瞭となってジッターが小さ
くなる。また、このような厚さとすることにより、変調
度を高くすることができる。
【0029】誘電体層のうち硫化亜鉛を含有するものに
は、0〜1000℃においてその硫化物生成標準自由エ
ネルギーがZnS生成標準自由エネルギーより低い元素
(以下、金属元素Aという)を含有させることが好まし
い。誘電体層中に金属元素Aを含有させることにより、
繰り返しオーバーライトの際に誘電体層からのSやZn
の遊離を抑制することができ、これによりジッター増大
を防ぐことができるので、オーバーライト可能回数を増
やすことができる。
【0030】金属元素Aとしては、Ce、Ca、Mg、
Sr、BaおよびNaの少なくとも1種を用いることが
好ましく、硫化物生成標準自由エネルギーが小さいこと
から、Ceを用いることが特に好ましい。例えば300
Kでは、ZnS生成標準自由エネルギーは約−230kJ
/mol、CeS生成標準自由エネルギーは約−540kJ/m
ol、CaS生成標準自由エネルギーは約−510kJ/mo
l、MgS生成標準自由エネルギーは約−390kJ/mo
l、SrS生成標準自由エネルギーは約−500kJ/mo
l、BaS生成標準自由エネルギーは約−460kJ/mo
l、Na2S生成標準自由エネルギーは約−400kJ/mol
である。
【0031】誘電体層中において、全金属元素に対する
金属元素Aの比率は、2原子%未満、好ましくは1.5
原子%以下、より好ましくは1.3原子%以下である。
金属元素Aの比率が高すぎると、繰り返しオーバーライ
ト時のジッター増大抑制効果が実現しない。なお、金属
元素Aの添加による効果を十分に実現するためには、金
属元素Aの比率を好ましくは0.01原子%以上、より
好ましくは0.03原子%以上とする。全金属元素中の
金属元素Aの比率は、蛍光X線分析やEPMA(電子線
プローブX線マイクロアナリシス)などにより測定する
ことができる。なお、誘電体層中における全金属量を求
める際には、Si等の半金属も加えるものとする。
【0032】誘電体層中において、金属元素Aは、単
体、硫化物、酸化物、フッ化物等のいずれの形態で存在
していてもよい。
【0033】なお、以上では誘電体層中に金属元素Aを
含有させる構成について説明したが、誘電体層と記録層
との間に金属元素Aを含有する中間層を設ける構成とし
てもよい。このような中間層としては、例えば、酸化セ
リウム(CeO2)単体からなるもの、あるいはZnS
−CeO2混合物からなるものなどが挙げられる。
【0034】各誘電体層は、スパッタ法や蒸着法等の気
相成長法により形成することが好ましく、特にスパッタ
法により形成することが好ましい。
【0035】誘電体層中に上記金属元素Aを含有させる
ためには、様々な方法を利用することができる。例え
ば、金属元素AがCeである場合には、Ce単体やCe
2からなるチップを、誘電体層の主成分となる主ター
ゲット上に載せたものをターゲットとして用いてもよ
く、主ターゲット中にCeO2やその他のCe化合物と
して含有させてもよい。また、金属元素AとしてCaや
Mgを用いる場合、上記主ターゲット上にCaOやMg
Oからなるチップを載せてターゲットとしてもよいが、
これらには潮解性があるので、好ましくない。したがっ
て、この場合には、CaF2やMgF2からなるチップを
主ターゲット上に載せてターゲットとすることが好まし
い。金属元素AとしてSr、Ba、Naなどを用いる場
合も、潮解性の点で、酸化物チップよりもフッ化物チッ
プを用いるほうが好ましい。また、Ca、Mg、Sr、
Ba、Naは、酸化物やこれ以外の化合物として主ター
ゲット中に含有させて用いてもよい。なお、主ターゲッ
トには、ZnS−SiO2などのような複合ターゲット
を用いてもよく、主ターゲットとしてZnSとSiO2
とをそれぞれ単独で用いるような多元スパッタ法を利用
してもよい。
【0036】スパッタは、通常、Ar雰囲気中で行う
が、上記金属元素Aを含有させる場合には、好ましくは
ArとO2との混合雰囲気中でスパッタを行う。スパッ
タ時のO2導入は、金属元素A単体からなるチップを上
記主ターゲット上に載せてスパッタを行う場合に特に有
効であるが、金属元素Aの化合物からなるチップを主タ
ーゲットに載せたり、主ターゲットに金属元素Aの化合
物を含有させたりする場合にも有効である。スパッタ雰
囲気中へのO2導入量を流量比O2/(Ar+O2)で表
したとき、この流量比は好ましくは30%以下、より好
ましくは25%以下である。O2導入量が多すぎると、
記録パワーは低下するが消去パワーは変化しないため、
消去パワーマージンが極度に狭くなってしまい、好まし
くない。なお、O2導入による効果を十分に発揮させる
ためには、上記流量比を好ましくは5%以上、より好ま
しくは10%以上とする。
【0037】記録層4 記録層の組成は特に限定されないが、本発明は、以下に
説明するGe−Sb−Te系組成やIn−Ag−Te−
Sb系組成、特にGe−Sb−Te系組成の記録層を有
する相変化型光記録媒体に対し、特に有効である。
【0038】Ge−Sb−Te系組成の記録層では、構
成元素の原子比を 式I Gea Sbb Te1-a-b で表わしたとき、好ましくは 0.08≦a≦0.25、 0.20≦b≦0.40 である。
【0039】式Iにおいてaが小さすぎると、記録マー
クが結晶化しにくくなり、消去率が低くなってしまう。
aが大きすぎると、多量のTeがGeと結合することに
なり、その結果、Sbが析出して記録マークが形成しに
くくなる。
【0040】式Iにおいてbが小さすぎると、Teが多
くなりすぎるために高温での保存時に記録マークが結晶
化しやすくなって、信頼性が低くなってしまう。bが大
きすぎると、Sbが析出して記録マークが形成しにくく
なる。
【0041】この組成系における記録層の厚さは、好ま
しくは10〜50nmである。記録層が薄すぎると結晶相
の成長が困難となり、相変化に伴なう反射率変化が不十
分となる。一方、記録層が厚すぎると、反射率および変
調度が低くなってしまう。
【0042】In−Ag−Te−Sb系組成の記録層で
は、構成元素の原子比を 式II [(InaAgbTe1-a-b1-cSbc1-dd で表したとき、好ましくは a=0.1〜0.3、 b=0.1〜0.3、 c=0.5〜0.8、 d=0〜0.10 であり、より好ましくは a=0.11〜0.28、 b=0.15〜0.28、 c=0.55〜0.78、 d=0.005〜0.05 である。
【0043】式IIにおいてaが小さすぎると、記録層中
のIn含有率が相対的に低くなりすぎる。このため、記
録マークの非晶質化が不十分となって変調度が低下し、
また、信頼性も低くなってしまう。一方、aが大きすぎ
ると、記録層中のIn含有率が相対的に高くなりすぎ
る。このため、記録マーク以外の反射率が低くなって変
調度が低下してしまう。
【0044】式IIにおいてbが小さすぎると、記録層中
のAg含有率が相対的に低くなりすぎる。このため、記
録マークの再結晶化が困難となって、繰り返しオーバー
ライトが困難となる。一方、bが大きすぎると、記録層
中のAg含有率が相対的に高くなり、過剰なAgが記録
および消去の際に単独でSb相中に拡散することにな
る。このため、書き換え耐久性が低下すると共に、記録
マークの安定性および結晶質部の安定性がいずれも低く
なってしまい、信頼性が低下する。すなわち、高温で保
存したときに記録マークの結晶化が進んで、C/Nや変
調度が劣化しやすくなる。また、繰り返して記録を行な
ったときのC/Nおよび変調度の劣化も進みやすくな
る。
【0045】また、a+bが小さすぎるとTeが過剰と
なってTe相が形成される。Te相は結晶転移速度を低
下させるため、消去が困難となる。一方、a+bが大き
すぎると、記録層の非晶質化が困難となり、信号が記録
できなくなる可能性が生じる。
【0046】式IIにおいてcが小さすぎると、相変化に
伴なう反射率差は大きくなるが結晶転移速度が急激に遅
くなって消去が困難となる。一方、cが大きすぎると、
相変化に伴なう反射率差が小さくなって変調度が小さく
なる。
【0047】式IIにおける元素Mは、H、Si、C、
V、W、Ta、Zn、Ti、Ce、Tb、Ge、Sn、
PbおよびYから選択される少なくとも1種の元素であ
る。元素Mは、書き換え耐久性を向上させる効果、具体
的には、書き換えの繰り返しによる消去率の低下を抑え
る効果を示す。また、高温・高湿などの悪条件下での信
頼性を向上させる。このような効果が強力であることか
ら、元素MのうちV、Ta、Ce、GeおよびYの少な
くとも1種が好ましく、VおよびTaの少なくとも1種
がより好ましく、Vが特に好ましい。
【0048】元素Mの含有率を表すdが大きすぎると、
相変化に伴なう反射率変化が小さくなって十分な変調度
が得られなくなる。dが小さすぎると、元素M添加によ
る効果が不十分となる。
【0049】この組成系では、記録層にはAg、Sb、
Te、Inおよび必要に応じて添加されるMだけを用い
ることが好ましいが、Agの一部をAuで置換してもよ
く、Sbの一部をBiで置換してもよく、Teの一部を
Seで置換してもよく、Inの一部をAlおよび/また
はPで置換してもよい。
【0050】AuによるAgの置換率は、好ましくは5
0原子%以下、より好ましくは20原子%以下である。
置換率が高すぎると、記録マークが結晶化しやすくなっ
て高温下での信頼性が悪化する。
【0051】BiによるSbの置換率は、好ましくは5
0原子%以下、より好ましくは20原子%以下である。
置換率が高すぎると記録層の吸収係数が増加して光の干
渉効果が減少し、このため結晶−非晶質間の反射率差が
小さくなって変調度が低下し、高C/Nが得られなくな
る。
【0052】SeによるTeの置換率は、好ましくは5
0原子%以下、より好ましくは20原子%以下である。
置換率が高すぎると結晶転移速度が遅くなりすぎ、十分
な消去率が得られなくなる。
【0053】Alおよび/またはPによるInの置換率
は、好ましくは40原子%以下、より好ましくは20原
子%以下である。置換率が高すぎると、記録マークの安
定性が低くなって信頼性が低くなる。なお、AlとPと
の比率は任意である。
【0054】この組成系の記録層の厚さは、好ましくは
9.5〜50nm、より好ましくは10〜30nmである。
記録層が薄すぎると結晶相の成長が困難となり、相変化
に伴なう反射率変化が不十分となる。一方、記録層が厚
すぎると、記録マーク形成時に記録層の厚さ方向へAg
が多量に拡散し、記録層面内方向へ拡散するAgの比率
が小さくなってしまうため、記録層の信頼性が低くなっ
てしまう。また、記録層が厚すぎると、反射率および変
調度が低くなってしまう。
【0055】記録層の組成は、EPMAやX線マイクロ
アナリシス、ICPなどにより測定することができる。
【0056】記録層の形成は、スパッタ法により行うこ
とが好ましい。スパッタ条件は特に限定されず、例え
ば、複数の元素を含む材料をスパッタする際には、合金
ターゲットを用いてもよく、ターゲットを複数個用いる
多元スパッタ法を用いてもよい。
【0057】反射層5 反射層の材質は特に限定されないが、通常、Al、A
u、Ag、Pt、Cu、Ni、Cr、Ti等の単体ある
いはこれらの1種以上を含む合金などの高反射率金属か
ら構成すればよい。反射層の厚さは、30〜300nmと
することが好ましい。厚さが前記範囲未満であると十分
な反射率が得にくくなる。また、前記範囲を超えても反
射率の向上は小さく、コスト的に不利になる。反射層
は、スパッタ法や蒸着法等の気相成長法により形成する
ことが好ましい。
【0058】保護層6 保護層は、耐擦傷性や耐食性の向上のために設けられ
る。この保護層は種々の有機系の物質から構成されるこ
とが好ましいが、特に、放射線硬化型化合物やその組成
物を、電子線、紫外線等の放射線により硬化させた物質
から構成されることが好ましい。保護層の厚さは、通
常、0.1〜100μm程度であり、スピンコート、グ
ラビア塗布、スプレーコート、ディッピング等、通常の
方法により形成すればよい。
【0059】接着層 接着層を構成する接着剤は特に限定されず、例えば、ホ
ットメルト型接着剤、紫外線硬化型接着剤、常温硬化型
接着剤等のいずれであってもよく、粘着剤であってもよ
い。
【0060】
【実施例】以下、本発明の具体的実施例を示し、本発明
をさらに詳細に説明する。
【0061】実施例1 射出成形によりグルーブ(幅0.74μm、深さ65n
m、ピッチ1.48μm)を同時形成した直径120mm、
厚さ0.6mmのディスク状ポリカーボネート基体2の表
面に、第1誘電体層31、記録層4、第2誘電体層3
2、反射層5および保護層6を以下に示す手順で形成
し、図3の構成を有する光記録ディスクサンプルとし
た。
【0062】第1誘電体層31は、基体2に接する誘電
体層1aと記録層4に接する誘電体層1bとからなる2
層構造とした。誘電体層1aは、ターゲットにZnS
(85mol%)−SiO2(15mol%)を用いてAr雰囲
気中でスパッタ法により形成した。誘電体層1bは、タ
ーゲットにSiを用いてAr+N2雰囲気中で反応性ス
パッタ法により形成した。誘電体層1aの厚さは65n
m、誘電体層1bの厚さは20nmとした。
【0063】記録層4は、厚さを23nmとし、Ar雰囲
気中においてスパッタ法により形成した。記録層の組成
はGeSb2Te4とした。
【0064】第2誘電体層32は、厚さを30nmとし、
ターゲットにZnS(50mol%)−SiO2(50mol
%)を用いてAr雰囲気中でスパッタ法により形成し
た。
【0065】反射層5は、Ar雰囲気中においてスパッ
タ法により形成した。ターゲットにはAl−1.7原子
%Crを用いた。反射層の厚さは150nmとした。
【0066】保護層6は、紫外線硬化型樹脂をスピンコ
ート法により塗布後、紫外線照射により硬化して形成し
た。硬化後の保護層厚さは5μm であった。
【0067】このようにして作製したサンプルをバルク
イレーザーにより初期化した後、光記録媒体評価装置
(波長638nm、開口率NA=0.6)に載せ、以下の
記録パルスパターンをもつ8−16変調信号(最小反転
間隔3T、最大反転間隔14T)を用いて特性評価を行
った。
【0068】記録パルス パルスパターン:図1、図2に例示されるパターン、 記録パワー(ピークパワー):11.0mW、 消去パワー(バイアスパワー1):5.0mW、 ボトムパワー(バイアスパワー2):0.5mW
【0069】上記条件でジッターが最小となる線速度
(vOP)を求めたところ、7m/sであった。
【0070】このサンプルに対し、14T信号に3T信
号を重ね書きするオーバーライトを行った。オーバーラ
イト時の線速度vOWは、6m/sとした。この線速度で
は、3T信号は4.88MHz、14T信号は1.03MHz
に相当する。このときの14T信号の消去率は、30dB
であった。
【0071】次に、80℃、80%RHの環境下で10
0時間保存した後、上記条件で最適線速度を求めたとこ
ろ、6m/sであった。そして、保存前に記録した14T
信号の消去率を、保存前と同様にvOW=6m/sの条件で
求めると、29dBであった。このときのvOW/vOP
0.86である。
【0072】比較例1OW=7m/s、すなわちvOW/vOP=1としたほかは実
施例1と同様にして保存後の消去率を測定したところ、
18dBであった。なお、この比較例では、保存前の記録
の際の線速度も7m/sとした。
【0073】実施例2 第2誘電体層32の形成の際にターゲットとしてSiO
2を用いたほかは実施例1と同様にして、光記録ディス
クサンプルを作製した。
【0074】このサンプルについて、実施例1と同条件
でvOPを求めたところ、8m/sであった。vOW=6m/s、
すなわちvOW/vOP=0.75とし、消去率を求めたと
ころ、29dBであった。
【0075】次いで、80℃、80%RHの環境下で1
00時間保存した後、上記条件で最適線速度を求めたと
ころ、6m/sであった。そして、保存前に記録した14
T信号の消去率を、保存前と同様にvOW=6m/sの条件
で求めると、28dBであった。
【0076】比較例2OW=8m/s、すなわちvOW/vOP=1としたほかは実
施例2と同様にして保存後の消去率を測定したところ、
17dBであった。なお、この比較例では、保存前の記録
の際の線速度も8m/sとした。
【0077】実施例3 第2誘電体層32を2層構造としたほかは実施例1と同
様にして、光記録ディスクサンプルを作製した。第2誘
電体層32は、記録層4に接する誘電体層2aと、反射
層5に接する誘電体層2bとから構成した。誘電体層2
aは、厚さを5nmとしたほかは実施例1の誘電体層1a
と同様にして形成した。誘電体層2bは、厚さを25nm
としたほかは実施例1の誘電体層1bと同様にして形成
した。
【0078】このサンプルについて、実施例1と同条件
でvOPを求めたところ、6.5m/sであった。vOW=6m
/s、すなわちvOW/vOP=0.92とし、消去率を求め
たところ、30dBであった。
【0079】次いで、80℃、80%RHの環境下で1
00時間保存した後、上記条件で最適線速度を求めたと
ころ、6m/sであった。そして、保存前に記録した14
T信号の消去率を、保存前と同様にvOW=6m/sの条件
で求めると、29dBであった。
【0080】比較例3OW=6.5m/s、すなわちvOW/vOP=1としたほか
は実施例3と同様にして保存後の消去率を測定したとこ
ろ、18dBであった。なお、この比較例では、保存前の
記録の際の線速度も6.5m/sとした。
【0081】実施例4 射出成形によりグルーブ(幅0.595μm、深さ70n
m、ピッチ1.19μm)を同時形成した直径120mm、
厚さ0.6mmのディスク状ポリカーボネート基体2の表
面に、第1誘電体層31、記録層4、第2誘電体層3
2、反射層5および保護層6を以下に示す手順で形成
し、図3の構成を有する光記録ディスクサンプルとし
た。
【0082】第1誘電体層31は、基体2に接する誘電
体層1aと記録層4に接する誘電体層1bとからなる2
層構造とした。誘電体層1aは、ターゲットにZnS
(80mol%)−SiO2(20mol%)を用いてAr雰囲
気中でスパッタ法により形成した。誘電体層1bは、タ
ーゲットにGeを用いてAr+N2雰囲気中で反応性ス
パッタ法により形成した。誘電体層1aの厚さは160
nm、誘電体層1bの厚さは20nmとした。
【0083】記録層4は、厚さを16nmとし、Ar雰囲
気中においてスパッタ法により形成した。記録層の組成
はGe2Sb2Te5とした。
【0084】第2誘電体層32は、厚さを28nmとし、
ターゲットにZnS(80mol%)−SiO2(20mol
%)を用いてAr+N2雰囲気中でスパッタ法により形成
した。
【0085】反射層5は、Ar雰囲気中においてスパッ
タ法により形成した。ターゲットにはAl−1.7原子
%Crを用いた。反射層の厚さは200nmとした。
【0086】保護層6は、紫外線硬化型樹脂をスピンコ
ート法により塗布後、紫外線照射により硬化して形成し
た。硬化後の保護層厚さは5μm であった。
【0087】このようにして作製したサンプルをバルク
イレーザーにより初期化した後、光記録媒体評価装置
(波長634nm、開口率NA=0.6)に載せ、以下の
記録パルスパターンをもつ8−16変調信号(最小反転
間隔3T、最大反転間隔14T)を用いて特性評価を行
った。
【0088】記録パルス パルスパターン:図4、図5に例示されるパターン、 記録パワー(ピークパワー):9.0mW、 消去パワー(バイアスパワー1):4.0mW
【0089】上記条件でジッターが最小となる線速度
(vOP)を求めたところ、9m/sであった。
【0090】このサンプルに対し、14T信号に3T信
号を重ね書きするオーバーライトを行った。オーバーラ
イト時の線速度vOWは、8.2m/sとした。このときの
14T信号の消去率は、29dBであった。
【0091】次に、80℃、80%RHの環境下で10
0時間保存した後、上記条件で最適線速度を求めたとこ
ろ、8m/sであった。そして、保存前に記録した14T
信号の消去率を、保存前と同様にvOW=8.2m/sの条
件で求めると、26dBであった。このときのvOW/vOP
は0.91である。
【0092】比較例4OW=9m/s、すなわちvOW/vOP=1としたほかは実
施例4と同様にして保存後の消去率を測定したところ、
22dBであった。なお、この比較例では、保存前の記録
の際の線速度も9m/sとした。
【0093】実施例5 第1誘電体層31、第2誘電体層32および反射層5の
構成を以下に示すものとしたほかは実施例4と同様にし
て、光記録ディスクサンプルを作製した。第1誘電体層
31は、組成をZnS(80mol%)−SiO2(20mol
%)とし、厚さを130nmとした。第2誘電体層32
は、記録層4に接する誘電体層2aと反射層5に接する
誘電体層2bとからなる2層構造とした。誘電体層2a
は、ターゲットにSiを用いてAr+N2雰囲気中で反
応性スパッタ法により形成した。誘電体層2bは、ター
ゲットにZnS(80mol%)−SiO2(20mol%)を
用いてAr雰囲気中でスパッタ法により形成した。誘電
体層2aの厚さは25nm、誘電体層2bの厚さは15nm
とした。反射層5は厚さを100nmとした。
【0094】このサンプルについて、記録パワー(ピー
クパワー)を11.0mW、消去パワー(バイアスパワー
1)を5.0mWとしたほかは実施例4と同条件でvOP
求めたところ、10m/sであった。vOW=8.2m/s、す
なわちvOW/vOP=0.82とし、消去率を求めたとこ
ろ、30dBであった。
【0095】次いで、80℃、80%RHの環境下で1
00時間保存した後、上記条件で最適線速度を求めたと
ころ、8m/sであった。そして、保存前に記録した14
T信号の消去率を、保存前と同様にvOW=8.2m/sの
条件で求めると、27dBであった。
【0096】比較例5OW=10m/s、すなわちvOW/vOP=1としたほかは
実施例5と同様にして保存後の消去率を測定したとこ
ろ、20dBであった。なお、この比較例では、保存前の
記録の際の線速度も10m/sとした。
【0097】実施例6 第1誘電体層31、第2誘電体層32および反射層5の
構成を以下に示すものとしたほかは実施例5と同様にし
て、光記録ディスクサンプルを作製した。第1誘電体層
31は、基体2に接する誘電体層1aと記録層4に接す
る誘電体層1bとからなる2層構造とした。誘電体層1
aは、ターゲットにZnS(80mol%)−SiO2(2
0mol%)を用いてAr雰囲気中でスパッタ法により形成
した。誘電体層1bは、ターゲットにSiを用いてAr
+N2雰囲気中で反応性スパッタ法により形成した。誘
電体層1aの厚さは170nm、誘電体層1bの厚さは2
nmとした。第2誘電体層32では、誘電体層2aの厚さ
を10nm、誘電体層2bの厚さを15nmとした。反射層
5は厚さを200nmとした。
【0098】このサンプルについて、消去パワー(バイ
アスパワー1)を4.5mWとしたほかは実施例5と同条
件でvOPを求めたところ、11m/sであった。vOW
8.2m/s、すなわちvOW/vOP=0.75とし、消去
率を求めたところ、31dBであった。
【0099】次いで、80℃、80%RHの環境下で1
00時間保存した後、上記条件で最適線速度を求めたと
ころ、8m/sであった。そして、保存前に記録した14
T信号の消去率を、保存前と同様にvOW=8.2m/sの
条件で求めると、27dBであった。
【0100】比較例6OW=11m/s、すなわちvOW/vOP=1としたほかは
実施例5と同様にして保存後の消去率を測定したとこ
ろ、19dBであった。なお、この比較例では、保存前の
記録の際の線速度も11m/sとした。
【0101】以上の実施例および比較例から、本発明の
効果が明らかである。すなわち、vOW=vOPとした場合
には、高温保存後の初回の書き込みの際に消去率が不十
分となるが、vOWをvOPより遅くすることによって、高
温保存による消去率低下を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光記録媒体のオーバーライトに使用さ
れるレーザービームの変調パターンを示すグラフであ
る。
【図2】本発明の光記録媒体のオーバーライトに使用さ
れるレーザービームの変調パターンを示すグラフであ
る。
【図3】本発明の光記録媒体の構成例を示す部分断面図
である。
【図4】本発明の光記録媒体のオーバーライトに使用さ
れるレーザービームの変調パターンを示すグラフであ
る。
【図5】本発明の光記録媒体のオーバーライトに使用さ
れるレーザービームの変調パターンを示すグラフであ
る。
【符号の説明】
2 基体 31 第1誘電体層 32 第2誘電体層 4 記録層 5 反射層 6 保護層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 菊川 隆 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 ティ ーディーケイ株式会社内

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基体上に相変化型の記録層を有する光記
    録媒体であって、記録層に記録マークを形成し、この光
    記録媒体が使用される最高温度下または保管される最高
    温度下において少なくとも100時間保存した後、前記
    記録マークの上からオーバーライトを行ったときに、前
    記記録マークの消去率が26dB以上である光記録媒体。
  2. 【請求項2】 前記最高温度が60〜80℃である請求
    項1の光記録媒体。
  3. 【請求項3】 最適線速度をvOPとしたとき、 vOW/vOP<1 となる線速度vOWでオーバーライトが行われる請求項1
    または2の光記録媒体。
  4. 【請求項4】0.5≦vOW/vOP≦0.95 である請求項3の光記録媒体。
  5. 【請求項5】 記録層がGe、SbおよびTeを主成分
    とする請求項1〜4のいずれかの光記録媒体。
  6. 【請求項6】 基体上に相変化型の記録層を有する光記
    録媒体にオーバーライトを行う方法であって、 最適線速度をvOPとし、オーバーライト時の線速度をv
    OWとしたとき、 vOW/vOP<1 である光記録媒体の記録方法。
  7. 【請求項7】0.5≦vOW/vOP≦0.95 である請求項6の光記録媒体の記録方法。
  8. 【請求項8】 前記光記録媒体において、記録層がG
    e、SbおよびTeを主成分とするものである請求項6
    または7の光記録媒体の記録方法。
  9. 【請求項9】 請求項6〜8のいずれかの方法により記
    録を行う光記録媒体の記録装置。
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