JPH11145181A - ワイヤークランパー - Google Patents
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- JPH11145181A JPH11145181A JP9309021A JP30902197A JPH11145181A JP H11145181 A JPH11145181 A JP H11145181A JP 9309021 A JP9309021 A JP 9309021A JP 30902197 A JP30902197 A JP 30902197A JP H11145181 A JPH11145181 A JP H11145181A
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ソレノイドの作動に対応してずれなくクラン
プ面が閉状態となりワイヤーボンディングにおける設備
エラーや品質不良をもたらすことがないワイヤークラン
パーを提供する。 【解決手段】 固定側と可動側からなる一対のクランプ
板２０，２１と、可動側クランプ板２１を開又は閉方向
に動作させるためのソレノイド式駆動手段とを有するワ
イヤークランパーにおいて、ソレノイド式駆動手段は、
可動側クランプ板２１を開動作させるための第１のソレ
ノイド３１と、可動側クランプ板２１を閉動作させるた
めの第２のソレノイド３２により構成した。
プ面が閉状態となりワイヤーボンディングにおける設備
エラーや品質不良をもたらすことがないワイヤークラン
パーを提供する。 【解決手段】 固定側と可動側からなる一対のクランプ
板２０，２１と、可動側クランプ板２１を開又は閉方向
に動作させるためのソレノイド式駆動手段とを有するワ
イヤークランパーにおいて、ソレノイド式駆動手段は、
可動側クランプ板２１を開動作させるための第１のソレ
ノイド３１と、可動側クランプ板２１を閉動作させるた
めの第２のソレノイド３２により構成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワイヤークランパ
ーに関し、特に、可動側クランプ板の開動作用ソレノイ
ドと閉動作用ソレノイドを設けてクランプ板の開閉動作
を正確に行うことができるワイヤークランパーに関する
ものである。
ーに関し、特に、可動側クランプ板の開動作用ソレノイ
ドと閉動作用ソレノイドを設けてクランプ板の開閉動作
を正確に行うことができるワイヤークランパーに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体チップ上の接続電極とパッケージ
の外部引出し用端子の間をボンディングワイヤーで接続
するワイヤーボンディング装置には、ボンディングワイ
ヤーをクランプするワイヤークランプ機構が備えられて
いる。
の外部引出し用端子の間をボンディングワイヤーで接続
するワイヤーボンディング装置には、ボンディングワイ
ヤーをクランプするワイヤークランプ機構が備えられて
いる。
【０００３】このようなワイヤークランプ機構として、
従来、固定側と可動側からなる一対のクランプ板と、可
動側クランプ板を開又は閉方向に動作させるためのソレ
ノイド式駆動手段とを有するワイヤークランパーが知ら
れている。
従来、固定側と可動側からなる一対のクランプ板と、可
動側クランプ板を開又は閉方向に動作させるためのソレ
ノイド式駆動手段とを有するワイヤークランパーが知ら
れている。
【０００４】図７に示すように、このワイヤークランパ
ー１は、固定側クランプ板２と、固定側クランプ板２に
対向する可動側クランプ板３を有し、両クランプ板２，
３の各前側（図の左側）先端内面には、可動側クランプ
板３の閉動作時圧接するクランプ面２ａ，３ａがそれぞ
れ取付けられている。可動側クランプ板３の長手方向の
ほぼ中心には、回動支軸４ａを介して回動可能に軸支さ
れた可動部４が取付けられている。可動側クランプ板３
の可動部４とクランプ面３ａの間には、クランプ荷重用
スプリング５の先端が係止され、可動側クランプ板３の
可動部４より後方（図の右側）の内面側には、ソレノイ
ド６が設置されている。クランプ荷重用スプリング５の
クランプ荷重は、クランプ荷重調整ネジ５ａにより調整
することができる。ソレノイド６の作動部６ａは、可動
側クランプ板３の内面側に固定された磁気吸着部材から
なるソレノイド吸着板７に当接している。可動側クラン
プ板３の後端近傍には、その内面側に当接するストッパ
８が設置されている。
ー１は、固定側クランプ板２と、固定側クランプ板２に
対向する可動側クランプ板３を有し、両クランプ板２，
３の各前側（図の左側）先端内面には、可動側クランプ
板３の閉動作時圧接するクランプ面２ａ，３ａがそれぞ
れ取付けられている。可動側クランプ板３の長手方向の
ほぼ中心には、回動支軸４ａを介して回動可能に軸支さ
れた可動部４が取付けられている。可動側クランプ板３
の可動部４とクランプ面３ａの間には、クランプ荷重用
スプリング５の先端が係止され、可動側クランプ板３の
可動部４より後方（図の右側）の内面側には、ソレノイ
ド６が設置されている。クランプ荷重用スプリング５の
クランプ荷重は、クランプ荷重調整ネジ５ａにより調整
することができる。ソレノイド６の作動部６ａは、可動
側クランプ板３の内面側に固定された磁気吸着部材から
なるソレノイド吸着板７に当接している。可動側クラン
プ板３の後端近傍には、その内面側に当接するストッパ
８が設置されている。
【０００５】可動側クランプ板３は、クランプ荷重用ス
プリング５の引張力により常時固定側クランプ板２側へ
付勢されており、ソレノイド６が作動しない場合、両ク
ランプ面２ａ，３ａが圧接する閉状態になり、両クラン
プ面２ａ，３ａ間にボンディングワイヤー（図示しな
い）をクランプする。一方、ソレノイド６が作動する
と、電磁力の作用により作動部６ａが退避状態になって
図の下方に引込み、作動部６ａに吸着したソレノイド吸
着板７を引き付けて可動側クランプ板３をスプリング５
に抗して回動支軸４ａ廻りに時計方向に回転させる。そ
の結果、クランプ面３ａが固定側クランプ板３から離れ
て両クランプ面２ａ，３ａ間に間隙が生じ、ボンディン
グワイヤーのクランプが解除される。
プリング５の引張力により常時固定側クランプ板２側へ
付勢されており、ソレノイド６が作動しない場合、両ク
ランプ面２ａ，３ａが圧接する閉状態になり、両クラン
プ面２ａ，３ａ間にボンディングワイヤー（図示しな
い）をクランプする。一方、ソレノイド６が作動する
と、電磁力の作用により作動部６ａが退避状態になって
図の下方に引込み、作動部６ａに吸着したソレノイド吸
着板７を引き付けて可動側クランプ板３をスプリング５
に抗して回動支軸４ａ廻りに時計方向に回転させる。そ
の結果、クランプ面３ａが固定側クランプ板３から離れ
て両クランプ面２ａ，３ａ間に間隙が生じ、ボンディン
グワイヤーのクランプが解除される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ように、可動側クランプ板３の閉動作は、ソレノイド６
のＯＦＦに伴うクランプ荷重用スプリング５の引張力に
より行われることから、付与されるクランプ荷重の強弱
により閉動作のタイミングが変化し易い。即ち、クラン
プ荷重が小さい（クランプ荷重用スプリング５の引張力
が弱い）と閉動作は遅くなり、クランプ荷重が大きい
（クランプ荷重用スプリング５の引張力が強い）と閉動
作は速くなる。この動作速度に基づくタイミングの変化
は、更にソレノイド６の残留磁気の影響によっても助長
される。
ように、可動側クランプ板３の閉動作は、ソレノイド６
のＯＦＦに伴うクランプ荷重用スプリング５の引張力に
より行われることから、付与されるクランプ荷重の強弱
により閉動作のタイミングが変化し易い。即ち、クラン
プ荷重が小さい（クランプ荷重用スプリング５の引張力
が弱い）と閉動作は遅くなり、クランプ荷重が大きい
（クランプ荷重用スプリング５の引張力が強い）と閉動
作は速くなる。この動作速度に基づくタイミングの変化
は、更にソレノイド６の残留磁気の影響によっても助長
される。
【０００７】この結果、図８に示すように、ソレノイド
６の作動信号ＯＦＦに対応する可動側クランプ板３の閉
動作に、タイミングのずれａが発生し易くなり、このタ
イミングのずれａの発生が、ワイヤーボンディングにお
けるボンディングワイヤー切れやワイヤーループ変形等
の設備エラーや品質不良をもたらし、確実なワイヤーボ
ンディングができなくなる。
６の作動信号ＯＦＦに対応する可動側クランプ板３の閉
動作に、タイミングのずれａが発生し易くなり、このタ
イミングのずれａの発生が、ワイヤーボンディングにお
けるボンディングワイヤー切れやワイヤーループ変形等
の設備エラーや品質不良をもたらし、確実なワイヤーボ
ンディングができなくなる。
【０００８】本発明は、上記従来技術を考慮してなされ
たものであって、ソレノイドの作動に対応してずれなく
クランプ面が閉状態となりワイヤーボンディングにおけ
る設備エラーや品質不良をもたらすことがないワイヤー
クランパーの提供を目的とする。
たものであって、ソレノイドの作動に対応してずれなく
クランプ面が閉状態となりワイヤーボンディングにおけ
る設備エラーや品質不良をもたらすことがないワイヤー
クランパーの提供を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明においては、固定側と可動側からなる一対の
クランプ板と、前記可動側クランプ板を開又は閉方向に
動作させるためのソレノイド式駆動手段とを有するワイ
ヤークランパーにおいて、前記ソレノイド式駆動手段
は、前記可動側クランプ板を開動作させるための第１の
ソレノイドと、前記可動側クランプ板を閉動作させるた
めの第２のソレノイドにより構成したことを特徴とする
ワイヤークランパーを提供する。
め、本発明においては、固定側と可動側からなる一対の
クランプ板と、前記可動側クランプ板を開又は閉方向に
動作させるためのソレノイド式駆動手段とを有するワイ
ヤークランパーにおいて、前記ソレノイド式駆動手段
は、前記可動側クランプ板を開動作させるための第１の
ソレノイドと、前記可動側クランプ板を閉動作させるた
めの第２のソレノイドにより構成したことを特徴とする
ワイヤークランパーを提供する。
【００１０】上記構成によれば、第１のソレノイドが作
動する場合、第２のソレノイドは作動せず可動側クラン
プ板が開動作し、第２のソレノイドが作動する場合、第
１のソレノイドは作動せず可動側クランプ板が閉動作す
る。これにより、従来のようにソレノイドの非作動に伴
うクランプ荷重用スプリングの引張力によって可動側ク
ランプ板の閉動作が行われることはないので、ソレノイ
ドの作動に対応して開閉タイミングのずれなくクランプ
面が開閉動作し、ワイヤーボンディングにおける設備エ
ラーや品質不良をもたらすことがない。
動する場合、第２のソレノイドは作動せず可動側クラン
プ板が開動作し、第２のソレノイドが作動する場合、第
１のソレノイドは作動せず可動側クランプ板が閉動作す
る。これにより、従来のようにソレノイドの非作動に伴
うクランプ荷重用スプリングの引張力によって可動側ク
ランプ板の閉動作が行われることはないので、ソレノイ
ドの作動に対応して開閉タイミングのずれなくクランプ
面が開閉動作し、ワイヤーボンディングにおける設備エ
ラーや品質不良をもたらすことがない。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１は、本発明の実施の形態に係
るワイヤークランパーを備えたワイヤーボンディング装
置の外観図である。図２は、図１のワイヤークランパー
部分の平面図である。図３は、図２のワイヤークランパ
ーにおける各ソレノイド作動信号のＯＮ・ＯＦＦとクラ
ンプ面開閉の関係を示す説明図である。
に基づいて説明する。図１は、本発明の実施の形態に係
るワイヤークランパーを備えたワイヤーボンディング装
置の外観図である。図２は、図１のワイヤークランパー
部分の平面図である。図３は、図２のワイヤークランパ
ーにおける各ソレノイド作動信号のＯＮ・ＯＦＦとクラ
ンプ面開閉の関係を示す説明図である。
【００１２】図１に示すように、ワイヤーボンディング
装置１０は、装置本体１０ａのテーブル１１上面に臨ん
で設けられたボンディングヘッド１２を有している。ボ
ンディングヘッド１２の一方の側方には、リードフレー
ム（図示しない）を搬入するローダ１３が設置され、ボ
ンディングヘッド１２の他方の側方には、ボンディング
終了後のリードフレームを搬出するアンローダ１４が設
置されている。ボンディングヘッド１２の後方には、各
部の作動用電力を供給する電源部１５と、ボンディング
状態を監視する顕微鏡１６からの像を画面表示するモニ
タ１７が設けられている。装置本体１０ａの前面には、
各操作スイッチ等を配置した操作パネル１８が設置され
ている。ボンディングヘッド１２には、ボンディングワ
イヤー（図示しない）をクランプするワイヤークランパ
ーが備えられている。
装置１０は、装置本体１０ａのテーブル１１上面に臨ん
で設けられたボンディングヘッド１２を有している。ボ
ンディングヘッド１２の一方の側方には、リードフレー
ム（図示しない）を搬入するローダ１３が設置され、ボ
ンディングヘッド１２の他方の側方には、ボンディング
終了後のリードフレームを搬出するアンローダ１４が設
置されている。ボンディングヘッド１２の後方には、各
部の作動用電力を供給する電源部１５と、ボンディング
状態を監視する顕微鏡１６からの像を画面表示するモニ
タ１７が設けられている。装置本体１０ａの前面には、
各操作スイッチ等を配置した操作パネル１８が設置され
ている。ボンディングヘッド１２には、ボンディングワ
イヤー（図示しない）をクランプするワイヤークランパ
ーが備えられている。
【００１３】図２に示すように、ワイヤークランパー１
９は、固定側クランプ板２０と、固定側クランプ板２０
に対向して設置された可動側クランプ板２１を有し、両
クランプ板２０，２１の各先端内側には、可動側クラン
プ板２１の閉動作時圧接するクランプ面２０ａ，２１ａ
がそれぞれ取付けられている。
９は、固定側クランプ板２０と、固定側クランプ板２０
に対向して設置された可動側クランプ板２１を有し、両
クランプ板２０，２１の各先端内側には、可動側クラン
プ板２１の閉動作時圧接するクランプ面２０ａ，２１ａ
がそれぞれ取付けられている。
【００１４】固定側クランプ板２０は、クランプ基部２
２の先端のクランプ板取付け部２２ａに、クランプ荷重
用板バネ２３及びクランプ板係止板２４と共に取付けら
れている。固定側クランプ板２０の外側には、クランプ
荷重用板バネ２３、クランプ板係止板２４、クランプ荷
重用板バネ２３が順番に積み重ねられ、更に最外側のク
ランプ荷重用板バネ２３との間にスペーサ２５を介在さ
せた状態で、これらの基部を貫通するネジ２６によりク
ランプ板取付け部２２ａに固定されている。クランプ板
係止板２４の先端部は、内側に屈曲して形成され、この
屈曲端２４ａが固定側クランプ板２０の端部に係止して
いる。
２の先端のクランプ板取付け部２２ａに、クランプ荷重
用板バネ２３及びクランプ板係止板２４と共に取付けら
れている。固定側クランプ板２０の外側には、クランプ
荷重用板バネ２３、クランプ板係止板２４、クランプ荷
重用板バネ２３が順番に積み重ねられ、更に最外側のク
ランプ荷重用板バネ２３との間にスペーサ２５を介在さ
せた状態で、これらの基部を貫通するネジ２６によりク
ランプ板取付け部２２ａに固定されている。クランプ板
係止板２４の先端部は、内側に屈曲して形成され、この
屈曲端２４ａが固定側クランプ板２０の端部に係止して
いる。
【００１５】また、最外側のクランプ荷重用板バネ２３
の基部近傍には、クランプ板取付け部２２ａに螺着され
てこのクランプ板取付け部２２ａを貫通するクランプ荷
重調整ネジ２７の先端が当接している。クランプ荷重調
整ネジ２７は、その突出量を変化させてクランプ荷重用
板バネ２３への押し圧を変化させることができ、固定ナ
ット２７ａによりクランプ板取付け部２２ａからの任意
の突出状態で保持することができる。
の基部近傍には、クランプ板取付け部２２ａに螺着され
てこのクランプ板取付け部２２ａを貫通するクランプ荷
重調整ネジ２７の先端が当接している。クランプ荷重調
整ネジ２７は、その突出量を変化させてクランプ荷重用
板バネ２３への押し圧を変化させることができ、固定ナ
ット２７ａによりクランプ板取付け部２２ａからの任意
の突出状態で保持することができる。
【００１６】このため、固定側クランプ板２０及びクラ
ンプ板係止板２４は、クランプ荷重用板バネ２３と共に
バネ変形部として一体的に機能し、クランプ荷重調整ネ
ジ２７の突出量に応じて、固定側クランプ板２０のバネ
変位量を調整することができる。即ち、固定側クランプ
板２０側に取付けられたその弾性力が調整可能なバネ手
段により、クランプ閉時に可動側クランプ板２１に対し
クランプ荷重を付与することができる。
ンプ板係止板２４は、クランプ荷重用板バネ２３と共に
バネ変形部として一体的に機能し、クランプ荷重調整ネ
ジ２７の突出量に応じて、固定側クランプ板２０のバネ
変位量を調整することができる。即ち、固定側クランプ
板２０側に取付けられたその弾性力が調整可能なバネ手
段により、クランプ閉時に可動側クランプ板２１に対し
クランプ荷重を付与することができる。
【００１７】可動側クランプ板２１は、クランプ基部２
２を越えてクランプ基部２２の後端まで延び、その長手
方向のほぼ中心は、クランプ基部２２の回動支軸２８を
介して回動可能に軸支された回動部２９に、例えばネジ
３０等により固定されている。この可動側クランプ板２
１の回動部２９より後方の内面側（固定側クランプ板２
０側）には、第１のソレノイド３１が設置され、同様に
外面側には、第２のソレノイド３２が設置されている。
即ち、第１のソレノイド３１と第２のソレノイド３２は
可動側クランプ板２１を介して対向配置されている。こ
れら第１のソレノイド３１と第２のソレノイド３２は、
例えばネジ等によりクランプ基部２２に固定された取付
けステー３３に取付けられている。
２を越えてクランプ基部２２の後端まで延び、その長手
方向のほぼ中心は、クランプ基部２２の回動支軸２８を
介して回動可能に軸支された回動部２９に、例えばネジ
３０等により固定されている。この可動側クランプ板２
１の回動部２９より後方の内面側（固定側クランプ板２
０側）には、第１のソレノイド３１が設置され、同様に
外面側には、第２のソレノイド３２が設置されている。
即ち、第１のソレノイド３１と第２のソレノイド３２は
可動側クランプ板２１を介して対向配置されている。こ
れら第１のソレノイド３１と第２のソレノイド３２は、
例えばネジ等によりクランプ基部２２に固定された取付
けステー３３に取付けられている。
【００１８】第１のソレノイド３１の作動部３１ａは、
可動側クランプ板２１の内面側に固定された磁気吸着部
材（例えば永久磁石）からなるソレノイド吸着板３４に
吸着されて当接し、第２のソレノイド３２の作動部３２
ａは、可動側クランプ板２１の外面側に固定された同様
のソレノイド吸着板３５に吸着され当接している。これ
ら両ソレノイド３１，３２は、第１のソレノイド３１の
作動時は第２のソレノイド３２が作動せず、第２のソレ
ノイド３２の作動時は第１のソレノイド３１が作動しな
いというように、作動と非作動が対になるように制御さ
れる。
可動側クランプ板２１の内面側に固定された磁気吸着部
材（例えば永久磁石）からなるソレノイド吸着板３４に
吸着されて当接し、第２のソレノイド３２の作動部３２
ａは、可動側クランプ板２１の外面側に固定された同様
のソレノイド吸着板３５に吸着され当接している。これ
ら両ソレノイド３１，３２は、第１のソレノイド３１の
作動時は第２のソレノイド３２が作動せず、第２のソレ
ノイド３２の作動時は第１のソレノイド３１が作動しな
いというように、作動と非作動が対になるように制御さ
れる。
【００１９】第１のソレノイド３１の作動時、電磁力の
作用により作動部３１ａが退避状態になって引き込む
と、この作動部３１ａに吸着したソレノイド吸着板３４
と共に可動側クランプ板２１が、回動部２９の回動支軸
２８廻りに時計方向に回転する。これにより、可動側ク
ランプ板２１の先端のクランプ面２１ａが固定側クラン
プ板２０から離れ、両クランプ面２０ａ，２１ａの間に
間隙が生じ、ボンディングワイヤーのクランプが解除さ
れる。この際、第２のソレノイド３２は非作動状態にあ
り、この可動側クランプ板２１に対し何等作用せず、そ
の作動部３２ａは可動側クランプ板２１の動きに自由に
追従する。
作用により作動部３１ａが退避状態になって引き込む
と、この作動部３１ａに吸着したソレノイド吸着板３４
と共に可動側クランプ板２１が、回動部２９の回動支軸
２８廻りに時計方向に回転する。これにより、可動側ク
ランプ板２１の先端のクランプ面２１ａが固定側クラン
プ板２０から離れ、両クランプ面２０ａ，２１ａの間に
間隙が生じ、ボンディングワイヤーのクランプが解除さ
れる。この際、第２のソレノイド３２は非作動状態にあ
り、この可動側クランプ板２１に対し何等作用せず、そ
の作動部３２ａは可動側クランプ板２１の動きに自由に
追従する。
【００２０】一方、第２のソレノイド３２の作動時、電
磁力の作用により作動部３２ａが退避状態になって引き
込む（この場合は図の上に移動する）と、この作動部３
２ａに吸着したソレノイド吸着板３５と共に可動側クラ
ンプ板２１が、回動部２９の回動支軸２８廻りに反時計
方向に回転する。これにより、可動側クランプ板２１の
先端のクランプ面２１ａが固定側クランプ板２０側に移
動し、両クランプ面２０ａ，２１ａ同士が圧接する閉状
態になり、ボンディングワイヤーがクランプされる。こ
の際、第１のソレノイド３１は非作動状態にあり、この
可動側クランプ板２１に対し何等作用せず、その作動部
３１ａは可動側クランプ板２１の動きに自由に追従す
る。
磁力の作用により作動部３２ａが退避状態になって引き
込む（この場合は図の上に移動する）と、この作動部３
２ａに吸着したソレノイド吸着板３５と共に可動側クラ
ンプ板２１が、回動部２９の回動支軸２８廻りに反時計
方向に回転する。これにより、可動側クランプ板２１の
先端のクランプ面２１ａが固定側クランプ板２０側に移
動し、両クランプ面２０ａ，２１ａ同士が圧接する閉状
態になり、ボンディングワイヤーがクランプされる。こ
の際、第１のソレノイド３１は非作動状態にあり、この
可動側クランプ板２１に対し何等作用せず、その作動部
３１ａは可動側クランプ板２１の動きに自由に追従す
る。
【００２１】即ち、図３に示すように、第１のソレノイ
ド３１の作動信号がＯＮの場合、第２のソレノイド３２
の作動信号がＯＦＦとなって両クランプ面２０ａ，２１
ａは開状態となり、第１のソレノイド３１の作動信号が
ＯＦＦの場合、第２のソレノイド３２の作動信号がＯＮ
となって両クランプ面２０ａ，２１ａは閉状態となる。
ド３１の作動信号がＯＮの場合、第２のソレノイド３２
の作動信号がＯＦＦとなって両クランプ面２０ａ，２１
ａは開状態となり、第１のソレノイド３１の作動信号が
ＯＦＦの場合、第２のソレノイド３２の作動信号がＯＮ
となって両クランプ面２０ａ，２１ａは閉状態となる。
【００２２】従って、第１のソレノイド３１と第２のソ
レノイド３２は、可動側クランプ板２１を開又は閉動作
させるためのソレノイド式駆動手段として機能し、従来
のワイヤークランパーのように、可動側クランプ板２１
の閉動作が、ソレノイドのＯＦＦに伴うクランプ荷重用
スプリングの引張力により行われるものではないので、
閉動作のタイミングが変化し易いということはなく、タ
イミングのずれａ（図８参照）が発生することはない。
レノイド３２は、可動側クランプ板２１を開又は閉動作
させるためのソレノイド式駆動手段として機能し、従来
のワイヤークランパーのように、可動側クランプ板２１
の閉動作が、ソレノイドのＯＦＦに伴うクランプ荷重用
スプリングの引張力により行われるものではないので、
閉動作のタイミングが変化し易いということはなく、タ
イミングのずれａ（図８参照）が発生することはない。
【００２３】可動側クランプ板２１の後端近傍の内面側
には、クランプ基部２２のストッパ取付け部２２ｂに螺
着されこのストッパ取付け部２２ｂを貫通する開閉量調
整用のストッパ３６の先端が当接している。このストッ
パ３６は、固定ナット３６ａによりストッパ取付け部２
２ｂから任意の突出状態で保持され、可動側クランプ板
２１の移動量を規制して両クランプ面２０ａ，２１ａの
開閉量を制御する。
には、クランプ基部２２のストッパ取付け部２２ｂに螺
着されこのストッパ取付け部２２ｂを貫通する開閉量調
整用のストッパ３６の先端が当接している。このストッ
パ３６は、固定ナット３６ａによりストッパ取付け部２
２ｂから任意の突出状態で保持され、可動側クランプ板
２１の移動量を規制して両クランプ面２０ａ，２１ａの
開閉量を制御する。
【００２４】次に、上記構成を有するワイヤークランパ
ーを用いたワイヤーボンディング動作を説明する。
ーを用いたワイヤーボンディング動作を説明する。
【００２５】図４は、図２のワイヤークランパーを用い
たワイヤーボンディング部分の拡大斜視図である。図５
は、図４のワイヤークランパーの動作を（Ａ）〜（Ｅ）
へと順を追って示す説明図である。
たワイヤーボンディング部分の拡大斜視図である。図５
は、図４のワイヤークランパーの動作を（Ａ）〜（Ｅ）
へと順を追って示す説明図である。
【００２６】図４に示すように、ボンディングワイヤー
３７をクランプするワイヤークランパー１９を用いて、
半導体チップ３８上の電極パッド３８ａとリードフレー
ム３９のリード３９ａの間をボンディングワイヤー３７
で接続するワイヤーボンディングが行われる。ボンディ
ングワイヤー３７は、ワイヤークランパー１９の先端に
設けられた両クランプ面２０ａ，２１ａの間を通った
後、キャピラリ４０を貫通し、キャピラリ４０の円錐形
状先端から突出するその先端を、電極パッド３８ａ或い
はリード３９ａにこすり付けて接合する。
３７をクランプするワイヤークランパー１９を用いて、
半導体チップ３８上の電極パッド３８ａとリードフレー
ム３９のリード３９ａの間をボンディングワイヤー３７
で接続するワイヤーボンディングが行われる。ボンディ
ングワイヤー３７は、ワイヤークランパー１９の先端に
設けられた両クランプ面２０ａ，２１ａの間を通った
後、キャピラリ４０を貫通し、キャピラリ４０の円錐形
状先端から突出するその先端を、電極パッド３８ａ或い
はリード３９ａにこすり付けて接合する。
【００２７】図５に示すように、ボンディングワイヤー
３７の接合は、先ず、接合部分である半導体チップ３８
の電極パッド３８ａの上方に、一体的に移動するワイヤ
ークランパー１９とキャピラリ４０が位置した後、キャ
ピラリ４０から突出するボンディングワイヤー３７の先
端にボールｂを形成する。この時、ワイヤークランパー
１９は、第１のソレノイド３１が作動して両クランプ面
２０ａ，２１ａは開状態にある（（Ａ）参照）。次に、
ボンディングワイヤー３７の先端のボールｂを、下降さ
せたキャピラリ４０で電極パッド３８ａに押し付けて接
合した後、ワイヤークランパー１９とキャピラリ４０を
上昇させ（（Ｂ）参照）、次の接合部分であるリードフ
レーム３９のリード３９ａの上方に移動する（（Ｃ）参
照）。この時、ワイヤークランパー１９は、同様に第１
のソレノイド３１が作動して両クランプ面２０ａ，２１
ａは開状態にあり、ボンディングワイヤー３７はキャピ
ラリ４０の移動に合わせて自由に引き出される。
３７の接合は、先ず、接合部分である半導体チップ３８
の電極パッド３８ａの上方に、一体的に移動するワイヤ
ークランパー１９とキャピラリ４０が位置した後、キャ
ピラリ４０から突出するボンディングワイヤー３７の先
端にボールｂを形成する。この時、ワイヤークランパー
１９は、第１のソレノイド３１が作動して両クランプ面
２０ａ，２１ａは開状態にある（（Ａ）参照）。次に、
ボンディングワイヤー３７の先端のボールｂを、下降さ
せたキャピラリ４０で電極パッド３８ａに押し付けて接
合した後、ワイヤークランパー１９とキャピラリ４０を
上昇させ（（Ｂ）参照）、次の接合部分であるリードフ
レーム３９のリード３９ａの上方に移動する（（Ｃ）参
照）。この時、ワイヤークランパー１９は、同様に第１
のソレノイド３１が作動して両クランプ面２０ａ，２１
ａは開状態にあり、ボンディングワイヤー３７はキャピ
ラリ４０の移動に合わせて自由に引き出される。
【００２８】次に、リード３９ａの上方にワイヤークラ
ンパー１９とキャピラリ４０が位置した後、ボンディン
グワイヤー３７を電極パッド３８ａに押し付けリード３
９ａに接合する。この時、ワイヤークランパー１９は、
同様に第１のソレノイド３１が作動して両クランプ面２
０ａ，２１ａは開状態にあり（（Ｄ）参照）、ボンディ
ングワイヤー３７を電極パッド３８ａとリード３９ａの
間を結ぶのに必要な長さ分自由に引出すことができる。
次に、ボンディングワイヤー３７とリード３９ａの接合
終了後、ワイヤークランパー１９は、第２のソレノイド
３２が作動して両クランプ面２０ａ，２１ａを閉状態に
し、ワイヤークランパー１９とキャピラリ４０が上昇す
る。両クランプ面２０ａ，２１ａが閉状態のままワイヤ
ークランパー１９が上昇することにより、ボンディング
ワイヤー３７はリード接合部分で切断される（（Ｅ）参
照）。以後、上記動作を繰り返して、半導体チップ３８
上の接続電極３８ａとリードフレーム３９のリード３９
ａの間のワイヤーボンディングを行う。
ンパー１９とキャピラリ４０が位置した後、ボンディン
グワイヤー３７を電極パッド３８ａに押し付けリード３
９ａに接合する。この時、ワイヤークランパー１９は、
同様に第１のソレノイド３１が作動して両クランプ面２
０ａ，２１ａは開状態にあり（（Ｄ）参照）、ボンディ
ングワイヤー３７を電極パッド３８ａとリード３９ａの
間を結ぶのに必要な長さ分自由に引出すことができる。
次に、ボンディングワイヤー３７とリード３９ａの接合
終了後、ワイヤークランパー１９は、第２のソレノイド
３２が作動して両クランプ面２０ａ，２１ａを閉状態に
し、ワイヤークランパー１９とキャピラリ４０が上昇す
る。両クランプ面２０ａ，２１ａが閉状態のままワイヤ
ークランパー１９が上昇することにより、ボンディング
ワイヤー３７はリード接合部分で切断される（（Ｅ）参
照）。以後、上記動作を繰り返して、半導体チップ３８
上の接続電極３８ａとリードフレーム３９のリード３９
ａの間のワイヤーボンディングを行う。
【００２９】このように、クランプ開閉動作が回動作及
び閉動作ともに第１のソレノイド３１及び第２のソレノ
イド３２の何れかのソレノイドにより行われることか
ら、クランプ開閉のタイミングが変化することはなく、
従来のように板バネ動作に基づくタイミングのずれａ
（図８参照）が発生することはない。このため、クラン
プ閉のタイミングのずれａの発生による不具合が解消さ
れ、ワイヤーボンディングにおけるボンディングワイヤ
ー切れやワイヤーループ変形等の設備エラーや品質不良
をもたらすことはなく、確実なワイヤーボンディングが
できる。なお、クランプ荷重調整は、クランプ荷重用板
バネ２３に当接するクランプ荷重調整ネジ２７の突出量
に応じて任意に行うことができる。
び閉動作ともに第１のソレノイド３１及び第２のソレノ
イド３２の何れかのソレノイドにより行われることか
ら、クランプ開閉のタイミングが変化することはなく、
従来のように板バネ動作に基づくタイミングのずれａ
（図８参照）が発生することはない。このため、クラン
プ閉のタイミングのずれａの発生による不具合が解消さ
れ、ワイヤーボンディングにおけるボンディングワイヤ
ー切れやワイヤーループ変形等の設備エラーや品質不良
をもたらすことはなく、確実なワイヤーボンディングが
できる。なお、クランプ荷重調整は、クランプ荷重用板
バネ２３に当接するクランプ荷重調整ネジ２７の突出量
に応じて任意に行うことができる。
【００３０】図６は、本発明の別の実施の形態に係るワ
イヤークランパーを示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は後
端側の側面図である。この例では、可動側クランプ板２
１に対する第２のソレノイド３２の作用位置（可動側ク
ランプ板２１迄の距離）が調整可能に形成されている。
イヤークランパーを示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は後
端側の側面図である。この例では、可動側クランプ板２
１に対する第２のソレノイド３２の作用位置（可動側ク
ランプ板２１迄の距離）が調整可能に形成されている。
【００３１】図６に示すように、このワイヤークランパ
ー４１の固定側クランプ板２０には、クランプ荷重用板
バネは設けられず、固定側クランプ板２０は、ネジ２６
により直接クランプ板取付け部２２ａに固定されている
（（Ａ）参照）。また、第２のソレノイド３２をクラン
プ基部２２に取付ける取付けステー３３ａは、取付けス
テー３３ａに形成された長孔（図示しない）を介して取
付けボルト４２によりクランプ基部２２に取付けられて
いる（（Ｂ）参照）。この長孔は、取付けボルト４２を
緩めることにより第２のソレノイド３２が可動側クラン
プ板２１に対して接近離反（図中、矢印参照）可能とな
るように、可動側クランプ板２１の板面に直角な方向に
形成されている。
ー４１の固定側クランプ板２０には、クランプ荷重用板
バネは設けられず、固定側クランプ板２０は、ネジ２６
により直接クランプ板取付け部２２ａに固定されている
（（Ａ）参照）。また、第２のソレノイド３２をクラン
プ基部２２に取付ける取付けステー３３ａは、取付けス
テー３３ａに形成された長孔（図示しない）を介して取
付けボルト４２によりクランプ基部２２に取付けられて
いる（（Ｂ）参照）。この長孔は、取付けボルト４２を
緩めることにより第２のソレノイド３２が可動側クラン
プ板２１に対して接近離反（図中、矢印参照）可能とな
るように、可動側クランプ板２１の板面に直角な方向に
形成されている。
【００３２】このように、取付けステー３３ａが長孔を
介して取付けボルト４２により位置調整可能に取付けら
れることにより、ソレノイド吸着板に対するソレノイド
の作動部のストローク（距離）ｓを変化させて吸着力を
変化させることができる。これにより、取付けステー３
３ａと共に第２のソレノイド３２を移動させて第２のソ
レノイド３２の吸着力を変化させ、クランプ荷重を変更
することができる。よって、前述の図２の構成例のよう
に固定側クランプ板２０にクランプ荷重用板バネ２３を
用いたクランプ荷重調整部を設けなくとも、クランプ荷
重の調整が可能となる。なお、第１のソレノイド３１
は、専用の取付けステー３３ｂを用いて固定ネジ４３に
よりクランプ基部２２に取付けられている（（Ｂ）参
照）。その他の構成及び作用効果は前記図２の実施の形
態と同様である。
介して取付けボルト４２により位置調整可能に取付けら
れることにより、ソレノイド吸着板に対するソレノイド
の作動部のストローク（距離）ｓを変化させて吸着力を
変化させることができる。これにより、取付けステー３
３ａと共に第２のソレノイド３２を移動させて第２のソ
レノイド３２の吸着力を変化させ、クランプ荷重を変更
することができる。よって、前述の図２の構成例のよう
に固定側クランプ板２０にクランプ荷重用板バネ２３を
用いたクランプ荷重調整部を設けなくとも、クランプ荷
重の調整が可能となる。なお、第１のソレノイド３１
は、専用の取付けステー３３ｂを用いて固定ネジ４３に
よりクランプ基部２２に取付けられている（（Ｂ）参
照）。その他の構成及び作用効果は前記図２の実施の形
態と同様である。
【００３３】なお、第１及び第２のソレノイド３１，３
２は、可動側クランプ板２１を挟んで１個ずつ設けられ
ているが、それぞれ１個又は２個以上設けてもよい。
２は、可動側クランプ板２１を挟んで１個ずつ設けられ
ているが、それぞれ１個又は２個以上設けてもよい。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るワイ
ヤークランパーによれば、第１のソレノイドが作動する
場合、第２のソレノイドは作動せず可動側クランプ板が
開動作し、第２のソレノイドが作動する場合、第１のソ
レノイドは作動せず可動側クランプ板が閉動作するの
で、従来のようにソレノイドの非作動に伴うクランプ荷
重用スプリングの引張力によって可動側クランプ板の閉
動作が行われず、ソレノイドの作動に対応してずれなく
クランプ面が閉状態となる。このため、タイミングのず
れの発生による不具合が解消され、ワイヤーボンディン
グにおけるボンディングワイヤー切れやワイヤーループ
変形等の設備エラーや品質不良をもたらすことはなく、
確実なワイヤーボンディングができる。
ヤークランパーによれば、第１のソレノイドが作動する
場合、第２のソレノイドは作動せず可動側クランプ板が
開動作し、第２のソレノイドが作動する場合、第１のソ
レノイドは作動せず可動側クランプ板が閉動作するの
で、従来のようにソレノイドの非作動に伴うクランプ荷
重用スプリングの引張力によって可動側クランプ板の閉
動作が行われず、ソレノイドの作動に対応してずれなく
クランプ面が閉状態となる。このため、タイミングのず
れの発生による不具合が解消され、ワイヤーボンディン
グにおけるボンディングワイヤー切れやワイヤーループ
変形等の設備エラーや品質不良をもたらすことはなく、
確実なワイヤーボンディングができる。
【図１】 本発明の実施の形態に係るワイヤークランパ
ーを備えたワイヤーボンディング装置の外観図。
ーを備えたワイヤーボンディング装置の外観図。
【図２】 図１の装置のワイヤークランパー部分の平面
図。
図。
【図３】 図２のワイヤークランパーにおける各ソレノ
イド作動信号のＯＮ・ＯＦＦとクランプ面開閉の関係を
示す説明図。
イド作動信号のＯＮ・ＯＦＦとクランプ面開閉の関係を
示す説明図。
【図４】 図２のワイヤークランパーを用いたワイヤー
ボンディング部分の拡大斜視図。
ボンディング部分の拡大斜視図。
【図５】 図４のワイヤークランパーの動作を（Ａ）〜
（Ｅ）へと順を追って示す説明図。
（Ｅ）へと順を追って示す説明図。
【図６】 本発明の別の実施の形態に係るワイヤークラ
ンパーを示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は後端側の側面
図。
ンパーを示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は後端側の側面
図。
【図７】 従来のワイヤークランパーの平面図。
【図８】 図７のワイヤークランパーのソレノイド作動
信号のＯＮ・ＯＦＦとクランプ面開閉の関係を示す説明
図。
信号のＯＮ・ＯＦＦとクランプ面開閉の関係を示す説明
図。
１０：ワイヤーボンディング装置、１１：テーブル、１
２：ボンディングヘッド、１３：ローダ、１４：アンロ
ーダ、１５：電源部、１６：顕微鏡、１７：モニタ、１
８：操作パネル、１９，４１：ワイヤークランパー、２
０：固定側クランプ板、２１：可動側クランプ板、２０
ａ，２１ａ：クランプ面、２２：クランプ基部、２２
ａ：クランプ板取付け部、２２ｂ：ストッパ取付け部、
２３：クランプ荷重用板バネ、２４：クランプ板係止
板、２５：スペーサ、２７：クランプ荷重調整ネジ、２
８：回動支軸、２９：回動部、３１：第１のソレノイ
ド、３１ａ：作動部、３２：第２のソレノイド、３２
ａ：作動部、３３，３３ａ：取付けステー、３４，３
５：ソレノイド吸着板、３６：ストッパ、３７：ボンデ
ィングワイヤー、３８：半導体チップ、３８ａ：電極パ
ッド、３９：リードフレーム、３９ａ：リード、４０：
キャピラリ、４２：取付けボルト。
２：ボンディングヘッド、１３：ローダ、１４：アンロ
ーダ、１５：電源部、１６：顕微鏡、１７：モニタ、１
８：操作パネル、１９，４１：ワイヤークランパー、２
０：固定側クランプ板、２１：可動側クランプ板、２０
ａ，２１ａ：クランプ面、２２：クランプ基部、２２
ａ：クランプ板取付け部、２２ｂ：ストッパ取付け部、
２３：クランプ荷重用板バネ、２４：クランプ板係止
板、２５：スペーサ、２７：クランプ荷重調整ネジ、２
８：回動支軸、２９：回動部、３１：第１のソレノイ
ド、３１ａ：作動部、３２：第２のソレノイド、３２
ａ：作動部、３３，３３ａ：取付けステー、３４，３
５：ソレノイド吸着板、３６：ストッパ、３７：ボンデ
ィングワイヤー、３８：半導体チップ、３８ａ：電極パ
ッド、３９：リードフレーム、３９ａ：リード、４０：
キャピラリ、４２：取付けボルト。
Claims (4)
- 【請求項１】固定側と可動側からなる一対のクランプ板
と、 前記可動側クランプ板を開又は閉方向に動作させるため
のソレノイド式駆動手段とを有するワイヤークランパー
において、 前記ソレノイド式駆動手段は、前記可動側クランプ板を
開動作させるための第１のソレノイドと、 前記可動側クランプ板を閉動作させるための第２のソレ
ノイドにより構成したことを特徴とするワイヤークラン
パー。 - 【請求項２】前記第１のソレノイドと第２のソレノイド
を前記可動側クランプ板を介して対向配置したことを特
徴とする請求項１に記載のワイヤークランパー。 - 【請求項３】前記固定側クランプ板側に、クランプ閉時
に可動側クランプ板に対しクランプ荷重を付与するバネ
手段を取付け、このバネ手段の弾性力を調整可能とした
ことを特徴とする請求項１または２に記載のワイヤーク
ランパー。 - 【請求項４】前記可動側クランプ板に対する前記第２の
ソレノイドの作用位置を調整可能としたことを特徴とす
る請求項１，２または３に記載のワイヤークランパー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9309021A JPH11145181A (ja) | 1997-11-11 | 1997-11-11 | ワイヤークランパー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9309021A JPH11145181A (ja) | 1997-11-11 | 1997-11-11 | ワイヤークランパー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11145181A true JPH11145181A (ja) | 1999-05-28 |
Family
ID=17987931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9309021A Pending JPH11145181A (ja) | 1997-11-11 | 1997-11-11 | ワイヤークランパー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11145181A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100403131B1 (ko) * | 2001-12-27 | 2003-10-30 | 동부전자 주식회사 | 도체위치변경 와이어클램프 |
-
1997
- 1997-11-11 JP JP9309021A patent/JPH11145181A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100403131B1 (ko) * | 2001-12-27 | 2003-10-30 | 동부전자 주식회사 | 도체위치변경 와이어클램프 |
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