JP3337571B2 - ワイヤボンディング装置におけるワイヤクランプ機構の構造及びクランプ片の固着方法 - Google Patents
ワイヤボンディング装置におけるワイヤクランプ機構の構造及びクランプ片の固着方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、トランジスター又はＩ
Ｃの製造に際してワイヤボンディングを行うためのワイ
ヤボンディング装置において、ワイヤの切断等に際して
ワイヤをクランプするためのワイヤクランプ機構の構
造、及び、このワイヤクランプ機構におけるクランプ片
を固着する方法に関するものである。
Ｃの製造に際してワイヤボンディングを行うためのワイ
ヤボンディング装置において、ワイヤの切断等に際して
ワイヤをクランプするためのワイヤクランプ機構の構
造、及び、このワイヤクランプ機構におけるクランプ片
を固着する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ワイヤボンディング装置による
ワイヤボンディングは、従来から良く知られているよう
に、ボンディングツールの一つであるところのキャピラ
リツールに挿通したワイヤの下端にボール部を形成し、
このボール部を前記キャピラリツールの下降動にて第１
ボンディング箇所に接合し、次いで、前記キャピラリツ
ールが第２ボンディング箇所に移動してワイヤの途中を
第２ボンディング箇所に接合し、そして、ワイヤをワイ
ヤクランプ機構でクランプした状態で、前記キャピラリ
ツールをクランプ装置の一緒に上昇動することでワイヤ
を切断すると言う方法で行われる。
ワイヤボンディングは、従来から良く知られているよう
に、ボンディングツールの一つであるところのキャピラ
リツールに挿通したワイヤの下端にボール部を形成し、
このボール部を前記キャピラリツールの下降動にて第１
ボンディング箇所に接合し、次いで、前記キャピラリツ
ールが第２ボンディング箇所に移動してワイヤの途中を
第２ボンディング箇所に接合し、そして、ワイヤをワイ
ヤクランプ機構でクランプした状態で、前記キャピラリ
ツールをクランプ装置の一緒に上昇動することでワイヤ
を切断すると言う方法で行われる。
【０００３】この場合、従来のワイヤボンディング装置
においては、そのワイヤクランプ機構を、左右一対のク
ランパー体を開閉回動自在に枢着した鋏型にして、この
両クランパーの先端部に固着した接当片にて、ワイヤを
挟み付けるように構成しているが、前記ワイヤは、１０
〜３０ミクロンと言うように極めて細いから、この極め
て細いワイヤを、両クランパー体の接当片における先端
面にて傷を付けることなく確実に挟み付けることができ
るようにするためには、両クランパー体が閉じたとき、
その各々の接当片におけるクランプ面が、互いに平行の
状態で接当するように構成しなければならない。
においては、そのワイヤクランプ機構を、左右一対のク
ランパー体を開閉回動自在に枢着した鋏型にして、この
両クランパーの先端部に固着した接当片にて、ワイヤを
挟み付けるように構成しているが、前記ワイヤは、１０
〜３０ミクロンと言うように極めて細いから、この極め
て細いワイヤを、両クランパー体の接当片における先端
面にて傷を付けることなく確実に挟み付けることができ
るようにするためには、両クランパー体が閉じたとき、
その各々の接当片におけるクランプ面が、互いに平行の
状態で接当するように構成しなければならない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そこで従来におけるワ
イヤクランプ機構においては、両クランパー体の先端部
に取付けた接当片を、そのクランプ面の調整可能に構成
して、両クランパー体を取付けた状態において、閉じた
ときその各々の接当片におけるクランプ面が、互いに平
行の状態で確実に密接するような姿勢に微細に調整して
いるから、この調整に多大の手数と高度な熟練とを必要
とするばかりか、ワイヤボンディングの作業中におい
て、前記の調整状態が崩れることが多発すると言う問題
があった。
イヤクランプ機構においては、両クランパー体の先端部
に取付けた接当片を、そのクランプ面の調整可能に構成
して、両クランパー体を取付けた状態において、閉じた
ときその各々の接当片におけるクランプ面が、互いに平
行の状態で確実に密接するような姿勢に微細に調整して
いるから、この調整に多大の手数と高度な熟練とを必要
とするばかりか、ワイヤボンディングの作業中におい
て、前記の調整状態が崩れることが多発すると言う問題
があった。
【０００５】本発明は、これらの問題を解消したワイヤ
クランプ機構を提供することを技術的課題とするもので
ある。
クランプ機構を提供することを技術的課題とするもので
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この技術的課題を達成す
るため本発明は、「互いに開閉回動自在に枢着した一対
のクランパー体と、このクランパー体を開閉回動するた
めの作動機構とを備え、更に、前記両クランパー体の先
端部に、ワイヤに対するクランプ片を固着して成るワイ
ヤクランプ機構において、前記両クランパー体に、閉じ
たとき互いに接当するようにした基準平面を各々設ける
一方、前記両クランパー体におけるクランプ片を、両ク
ランパー体の先端部に対して、当該クランプ片のクラン
プ面が前記基準平面と同一平面になるように接着剤にて
固着する。」と言う構成にした。
るため本発明は、「互いに開閉回動自在に枢着した一対
のクランパー体と、このクランパー体を開閉回動するた
めの作動機構とを備え、更に、前記両クランパー体の先
端部に、ワイヤに対するクランプ片を固着して成るワイ
ヤクランプ機構において、前記両クランパー体に、閉じ
たとき互いに接当するようにした基準平面を各々設ける
一方、前記両クランパー体におけるクランプ片を、両ク
ランパー体の先端部に対して、当該クランプ片のクラン
プ面が前記基準平面と同一平面になるように接着剤にて
固着する。」と言う構成にした。
【０００７】また、本発明における固着方法は、「ワイ
ヤボンディング装置用ワイヤクランプ機構における左右
一対のクランパー体に、当該両クランパー体を閉じたと
き互いに接当するようにした基準平面を各々設けて、上
面を平面に形成した定盤に、前記両クランパー体を、当
該クランパー体における基準平面が定盤における平面に
接当するようにして載置すると共に、前記両クランパー
体に固着するクランプ片を、当該クランプ片におけるク
ランプ面が定盤における平面に接当するように載置し、
この状態で、前記クランプ片の裏面側をクランパー体の
先端部に対して接着剤にて接着したのち、この接着剤を
乾燥・硬化することを特徴とする。」ものである。
ヤボンディング装置用ワイヤクランプ機構における左右
一対のクランパー体に、当該両クランパー体を閉じたと
き互いに接当するようにした基準平面を各々設けて、上
面を平面に形成した定盤に、前記両クランパー体を、当
該クランパー体における基準平面が定盤における平面に
接当するようにして載置すると共に、前記両クランパー
体に固着するクランプ片を、当該クランプ片におけるク
ランプ面が定盤における平面に接当するように載置し、
この状態で、前記クランプ片の裏面側をクランパー体の
先端部に対して接着剤にて接着したのち、この接着剤を
乾燥・硬化することを特徴とする。」ものである。
【０００８】
【発明の作用・効果】本発明は、前記したように、クラ
ンパー体の先端部に対してクランプ片を、当該クランプ
片におけるクランプ面がクランパー体に設けた基準平面
と同一平面になるように接着剤にて固着したことによ
り、前記両クランパー体を回動自在に枢着する前の状態
において、その各々の先端部にクランプ片を、両クラン
パー体を閉じたとき当該両クランプ片におけるクランプ
片が互いに平行な状態で確実に密接できる姿勢にして固
着することができるのである。
ンパー体の先端部に対してクランプ片を、当該クランプ
片におけるクランプ面がクランパー体に設けた基準平面
と同一平面になるように接着剤にて固着したことによ
り、前記両クランパー体を回動自在に枢着する前の状態
において、その各々の先端部にクランプ片を、両クラン
パー体を閉じたとき当該両クランプ片におけるクランプ
片が互いに平行な状態で確実に密接できる姿勢にして固
着することができるのである。
【０００９】従って、本発明によると、両クランパー体
を組立た状態で、その先端部におけるクランプ片を調整
することを省略できると共に、ワイヤボンディングの作
業中において、両クランパー体におけるクランプ片の姿
勢が変化することを確実に防止できるのできるのであ
る。また、本発明における固着方法によると、前記した
ように、クランパー体の先端部に対してクランプ片を、
当該クランプ片におけるクランプ面がクランパー体に設
けた基準平面と同一平面になるように接着剤にて固着す
ると言う一連の作業を、定盤の上面において行うことが
できるから、その作業性を大幅に向上できるのである。
を組立た状態で、その先端部におけるクランプ片を調整
することを省略できると共に、ワイヤボンディングの作
業中において、両クランパー体におけるクランプ片の姿
勢が変化することを確実に防止できるのできるのであ
る。また、本発明における固着方法によると、前記した
ように、クランパー体の先端部に対してクランプ片を、
当該クランプ片におけるクランプ面がクランパー体に設
けた基準平面と同一平面になるように接着剤にて固着す
ると言う一連の作業を、定盤の上面において行うことが
できるから、その作業性を大幅に向上できるのである。
【００１０】更にまた、前記した固着方法において、
「請求項３」に記載したように、接着剤が乾燥・硬化す
るまでの間、前記クランプ片の裏面側を、クランパー体
に対して支持することにより、前記接着剤が、その乾燥
・硬化に伴い体積が収縮することに起因して、クランプ
片におけるクランプ片が、クランパー体における基準平
面よりも低くなることを防止できるから、クランパー体
の先端部に対してクランプ片を、当該クランプ片におけ
るクランプ面がクランパー体に設けた基準平面と同一平
面になるように接着剤にて固着すると言う作業をより正
確に行うことができるのである。
「請求項３」に記載したように、接着剤が乾燥・硬化す
るまでの間、前記クランプ片の裏面側を、クランパー体
に対して支持することにより、前記接着剤が、その乾燥
・硬化に伴い体積が収縮することに起因して、クランプ
片におけるクランプ片が、クランパー体における基準平
面よりも低くなることを防止できるから、クランパー体
の先端部に対してクランプ片を、当該クランプ片におけ
るクランプ面がクランパー体に設けた基準平面と同一平
面になるように接着剤にて固着すると言う作業をより正
確に行うことができるのである。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図１〜図４の図面
について説明する。この図において符号１は、ワイヤボ
ンディング装置における本体を示し、この本体１には、
ホーン体２が、その支持部材３を介して振動可能に支持
されており、このホーン体２の先端には、ボンディング
ツールの一つであるところのキャビラリツール４が取付
けられ、このキャビラリツール４にはワイヤ５が挿通さ
れている。
について説明する。この図において符号１は、ワイヤボ
ンディング装置における本体を示し、この本体１には、
ホーン体２が、その支持部材３を介して振動可能に支持
されており、このホーン体２の先端には、ボンディング
ツールの一つであるところのキャビラリツール４が取付
けられ、このキャビラリツール４にはワイヤ５が挿通さ
れている。
【００１２】符号６は、前記ワイヤ５に対するワイヤク
ランプ機構を示し、このワイヤクランプ機構６は、前記
支持部材３の上面に、ねじ７にて取付け一方のクランパ
ー体８と、この一方のクランパー８に対して開閉回動自
在に枢着される他方のクランパー体９と、これら両クラ
ンパー体８，９の他端間に位置して、前記他方のクラン
パー体９を一方のクランパー８に対して開閉作動するた
めの電磁石等の開閉作動機構１０とから成り、この両ク
ランパー体８，９の先端部に固着したクランプ片１７，
１８によって、前記キャビラリツール４に挿通したワイ
ヤ５をクランプする。
ランプ機構を示し、このワイヤクランプ機構６は、前記
支持部材３の上面に、ねじ７にて取付け一方のクランパ
ー体８と、この一方のクランパー８に対して開閉回動自
在に枢着される他方のクランパー体９と、これら両クラ
ンパー体８，９の他端間に位置して、前記他方のクラン
パー体９を一方のクランパー８に対して開閉作動するた
めの電磁石等の開閉作動機構１０とから成り、この両ク
ランパー体８，９の先端部に固着したクランプ片１７，
１８によって、前記キャビラリツール４に挿通したワイ
ヤ５をクランプする。
【００１３】そして、前記一方のクランパー８に対して
他方のクランパー体９を開閉回動自在に枢着するに際し
ては、両クランパー体８，９の上面及び下面に突起部８
ａ，８ｂ，９ａ，９ｂを一体的に突出し、両クランパー
体８，９の上面における突起部８ａ，９ａの間、及び下
面における突起部８ｂ，９ｂの間の各々に薄い板ばね体
１１，１２を装架し、この両板ばね体１１，１２の両端
を、その各々の突起部８ａ，８ｂ，９ａ，９ｂに対し
て、当て座金板１３，１４付きねじ１５，１６のねじ込
みにて、前記他方のクランパー体９が当該両板ばね体１
１，１２の屈曲で開閉回動するように固着する。
他方のクランパー体９を開閉回動自在に枢着するに際し
ては、両クランパー体８，９の上面及び下面に突起部８
ａ，８ｂ，９ａ，９ｂを一体的に突出し、両クランパー
体８，９の上面における突起部８ａ，９ａの間、及び下
面における突起部８ｂ，９ｂの間の各々に薄い板ばね体
１１，１２を装架し、この両板ばね体１１，１２の両端
を、その各々の突起部８ａ，８ｂ，９ａ，９ｂに対し
て、当て座金板１３，１４付きねじ１５，１６のねじ込
みにて、前記他方のクランパー体９が当該両板ばね体１
１，１２の屈曲で開閉回動するように固着する。
【００１４】一方、前記両クランパー体８，９における
内側面の各々には、前記突起部８ａ，８ｂ，９ａ，９ｂ
の部分と先端部に近い部分との両方に両クランパー体
８，９が閉じたとき互いに接当するようにした基準平面
１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂを各々設けると共に、
先端部に凹所２１，２２を設けて、この凹所２１，２２
内に、前記クランプ片１７，１８を、当該クランプ片１
７，１８におけるクランプ面１７ａ，１８ａが前記基準
平面１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂと同一平面になる
ように接着剤２３，２４にて固着する。
内側面の各々には、前記突起部８ａ，８ｂ，９ａ，９ｂ
の部分と先端部に近い部分との両方に両クランパー体
８，９が閉じたとき互いに接当するようにした基準平面
１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂを各々設けると共に、
先端部に凹所２１，２２を設けて、この凹所２１，２２
内に、前記クランプ片１７，１８を、当該クランプ片１
７，１８におけるクランプ面１７ａ，１８ａが前記基準
平面１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂと同一平面になる
ように接着剤２３，２４にて固着する。
【００１５】このように構成することにより、両クラン
パー体８，９のうち他方のクランパー体９を、開閉作動
機構１０にて一方のクランパー８に向かって閉じ回動す
ることにより、両クランパー体８，９に設けた基準平面
１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂが互いに接当すると同
時に、先端部に固着したクランプ片１７，１８における
クランプ面１７ａ，１８ａが、互いに平行の状態で接当
することになるから、その間で、極めて細い線径のワイ
ヤ５を、当該ワイヤ５に傷を付けることなく、確実にク
ランプすることができるのである。
パー体８，９のうち他方のクランパー体９を、開閉作動
機構１０にて一方のクランパー８に向かって閉じ回動す
ることにより、両クランパー体８，９に設けた基準平面
１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂが互いに接当すると同
時に、先端部に固着したクランプ片１７，１８における
クランプ面１７ａ，１８ａが、互いに平行の状態で接当
することになるから、その間で、極めて細い線径のワイ
ヤ５を、当該ワイヤ５に傷を付けることなく、確実にク
ランプすることができるのである。
【００１６】そして、前記両クランパー体８，９の先端
部に、クランプ片１７，１８を接着剤２３，２４にて固
着するに際しては、以下に述べる方法を採用する。先
づ、図５及び図６に示すように、上面を平面Ａ１に形成
して成る定盤Ａを使用し、この定盤Ａの上面に、前記一
方のクランパー体８を、当該クランパー体８における基
準平面１９ａ，１９ｂが定盤Ａにおける平面Ａ１に接当
するようにして載置すると共に、このクランパー体８の
先端部における凹所２１内に固着するクランプ片１７
を、当該クランプ片１７におけるクランプ面１７ａが定
盤Ａにおける平面Ａ１に接当するように載置し、この状
態で、前記クランプ片１７の裏面側をクランパー体８の
先端部に対して接着剤２３にて接着したのち、この接着
剤２３を乾燥・硬化する。
部に、クランプ片１７，１８を接着剤２３，２４にて固
着するに際しては、以下に述べる方法を採用する。先
づ、図５及び図６に示すように、上面を平面Ａ１に形成
して成る定盤Ａを使用し、この定盤Ａの上面に、前記一
方のクランパー体８を、当該クランパー体８における基
準平面１９ａ，１９ｂが定盤Ａにおける平面Ａ１に接当
するようにして載置すると共に、このクランパー体８の
先端部における凹所２１内に固着するクランプ片１７
を、当該クランプ片１７におけるクランプ面１７ａが定
盤Ａにおける平面Ａ１に接当するように載置し、この状
態で、前記クランプ片１７の裏面側をクランパー体８の
先端部に対して接着剤２３にて接着したのち、この接着
剤２３を乾燥・硬化する。
【００１７】また、前記定盤Ａの上面に、前記他方のク
ランパー体９を、当該クランパー体９における基準平面
２０ａ，２０ｂが定盤Ａにおける平面Ａ１に接当するよ
うにして載置すると共に、このクランパー体９の先端部
における凹所２２内に固着するクランプ片１８を、当該
クランプ片１８におけるクランプ面１８ａが定盤Ａにお
ける平面Ａ１に接当するように載置し、この状態で、前
記クランプ片１８の裏面側をクランパー体９の先端部に
対して接着剤２４にて接着したのち、この接着剤２４を
乾燥・硬化する。
ランパー体９を、当該クランパー体９における基準平面
２０ａ，２０ｂが定盤Ａにおける平面Ａ１に接当するよ
うにして載置すると共に、このクランパー体９の先端部
における凹所２２内に固着するクランプ片１８を、当該
クランプ片１８におけるクランプ面１８ａが定盤Ａにお
ける平面Ａ１に接当するように載置し、この状態で、前
記クランプ片１８の裏面側をクランパー体９の先端部に
対して接着剤２４にて接着したのち、この接着剤２４を
乾燥・硬化する。
【００１８】これにより、両クランパー体８，９の先端
部に対してクランプ片１７，１８を、当該クランプ片１
７，１８におけるクランプ面１７ａ，１８ａが両クラン
パー体８，９に設けた各基準平面１９ａ，１９ｂ，２０
ａ，２０ｂと同一平面になるような姿勢で接着剤２３，
２４にて固着すると言う一連の作業を、定盤Ａの上面に
おいて行うことができるのである。
部に対してクランプ片１７，１８を、当該クランプ片１
７，１８におけるクランプ面１７ａ，１８ａが両クラン
パー体８，９に設けた各基準平面１９ａ，１９ｂ，２０
ａ，２０ｂと同一平面になるような姿勢で接着剤２３，
２４にて固着すると言う一連の作業を、定盤Ａの上面に
おいて行うことができるのである。
【００１９】ところで、前記のようにクランプ片１７，
１８の固着に使用した接着剤２３，２４は、その乾燥・
硬化によって体積が収縮するから、前記クランプ片１
７，１８におけるクランプ面１７ａ，１８ａが、クラン
パー体８，９における各基準平面１９ａ，１９ｂ，２０
ａ，２０ｂよりも低くなる場合がある。そこで、前記両
クランパー８，９の先端部に、図５及び図６に示すよう
に、ねじ２５，２６を螺合し、このねじ２５、２６の先
端を、予め、前記クランプ片１７，１８の裏面側に接当
することによって、クランプ片１７，１８の裏面側を支
持しておき、この状態で、接着剤２３，２４を、乾燥・
硬化することにより、前記接着剤２３，２４の乾燥・硬
化に伴う体積収縮によって、前記クランプ片１７，１８
におけるクランプ面１７ａ，１８ａが、クランパー体
８，９における各基準平面１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２
０ｂよりも低くなることを確実に防止できるのである。
１８の固着に使用した接着剤２３，２４は、その乾燥・
硬化によって体積が収縮するから、前記クランプ片１
７，１８におけるクランプ面１７ａ，１８ａが、クラン
パー体８，９における各基準平面１９ａ，１９ｂ，２０
ａ，２０ｂよりも低くなる場合がある。そこで、前記両
クランパー８，９の先端部に、図５及び図６に示すよう
に、ねじ２５，２６を螺合し、このねじ２５、２６の先
端を、予め、前記クランプ片１７，１８の裏面側に接当
することによって、クランプ片１７，１８の裏面側を支
持しておき、この状態で、接着剤２３，２４を、乾燥・
硬化することにより、前記接着剤２３，２４の乾燥・硬
化に伴う体積収縮によって、前記クランプ片１７，１８
におけるクランプ面１７ａ，１８ａが、クランパー体
８，９における各基準平面１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２
０ｂよりも低くなることを確実に防止できるのである。
【００２０】なお、ここに使用したねじ２５，２６は、
接着剤２３，２４の乾燥・硬化した後において除去して
も良いが、このねじ２５，２６のうち一方又は両方を利
用して、ワイヤ５のガイド部材を取付けようにしても良
いである。
接着剤２３，２４の乾燥・硬化した後において除去して
も良いが、このねじ２５，２６のうち一方又は両方を利
用して、ワイヤ５のガイド部材を取付けようにしても良
いである。
【図１】本発明の実施例を示す正面図である。
【図２】図１のII−II拡大視断面図である。
【図３】図１の拡大平面図である。
【図４】ワイヤクランプ機構を分解した状態を平面図で
ある。
ある。
【図５】一方のクランパー体にクランプ片を固着してい
る状態を示す図である。
る状態を示す図である。
【図６】他方のクランパー体にクランプ片を固着してい
る状態を示す図である。
る状態を示す図である。
【符号の説明】 １ ワイヤボンディング装置の本体 ２ ホーン体 ３ 支持部材 ４ キャピラリツール ５ ワイヤ ６ ワイヤクランプ機構 ８ 一方のクランパー体 ９ 他方のクランパー体 １０ 開閉作動機構 １１，１２ 板ばね体 １７，１８ クランプ片 １７ａ，１８ａ クランプ面 １９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂ 基準平面 ２１，２２ 凹所 ２３，２４ 接着剤
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/60
Claims (3)
- 【請求項１】互いに開閉回動自在に枢着した一対のクラ
ンパー体と、このクランパー体を開閉回動するための作
動機構とを備え、更に、前記両クランパー体の先端部
に、ワイヤに対するクランプ片を固着して成るワイヤク
ランプ機構において、前記両クランパー体に、閉じたと
き互いに接当するようにした基準平面を各々設ける一
方、前記両クランパー体におけるクランプ片を、両クラ
ンパー体の先端部に対して、当該クランプ片のクランプ
面が前記基準平面と同一平面になるように接着剤にて固
着したことを特徴とするワイヤボンディング装置におけ
るワイヤクランプ機構の構造。 - 【請求項２】ワイヤボンディング装置用ワイヤクランプ
機構における左右一対のクランパー体に、当該両クラン
パー体を閉じたとき互いに接当するようにした基準平面
を各々設けて、上面を平面に形成した定盤に、前記両ク
ランパー体を、当該クランパー体における基準平面が定
盤における平面に接当するようにして載置すると共に、
前記両クランパー体に固着するクランプ片を、当該クラ
ンプ片におけるクランプ面が定盤における平面に接当す
るように載置し、この状態で、前記クランプ片の裏面側
をクランパー体の先端部に対して接着剤にて接着したの
ち、この接着剤を乾燥・硬化することを特徴とするワイ
ヤボンディング装置におけるワイヤクランプ機構のクラ
ンプ片の固着方法。 - 【請求項３】前記「請求項２」において、接着剤が乾燥
・硬化するまでの間、前記クランプ片の裏面側を、クラ
ンパー体に対して支持することを特徴とするワイヤボン
ディング装置におけるワイヤクランプ機構のクランプ片
の固着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25058394A JP3337571B2 (ja) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | ワイヤボンディング装置におけるワイヤクランプ機構の構造及びクランプ片の固着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25058394A JP3337571B2 (ja) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | ワイヤボンディング装置におけるワイヤクランプ機構の構造及びクランプ片の固着方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08115940A JPH08115940A (ja) | 1996-05-07 |
| JP3337571B2 true JP3337571B2 (ja) | 2002-10-21 |
Family
ID=17210053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25058394A Expired - Fee Related JP3337571B2 (ja) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | ワイヤボンディング装置におけるワイヤクランプ機構の構造及びクランプ片の固着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3337571B2 (ja) |
-
1994
- 1994-10-17 JP JP25058394A patent/JP3337571B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08115940A (ja) | 1996-05-07 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |