JPH01261836A - ワイヤボンディング装置 - Google Patents
ワイヤボンディング装置Info
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- JPH01261836A JPH01261836A JP63089712A JP8971288A JPH01261836A JP H01261836 A JPH01261836 A JP H01261836A JP 63089712 A JP63089712 A JP 63089712A JP 8971288 A JP8971288 A JP 8971288A JP H01261836 A JPH01261836 A JP H01261836A
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- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、半導体チップをワイヤにより結線するワイ
ヤボンディング装置に関し、特にそのワイヤクランパの
改善に関するものである。
ヤボンディング装置に関し、特にそのワイヤクランパの
改善に関するものである。
第３図は従来のワイヤボンディング装置の一例を示す、
この従来例では、半導体チンブ１はリードフレーム２の
グイバッド部に接合され、受台３上に位置決めされてい
る。ＸＹ子テーブル上に載ったボンディングヘッド５に
は、ボンディングツール６を支持するボンディングアー
ム７とワイヤクランパ８を支持するクランパ支持アーム
９とが回動中心１０に支持されている０両者はＺ軸モー
タ（図示は略す）により回動運動を行うものである。ま
たボンディングヘッド５上の取付台１）に取り付けられ
たスプール１２に巻きつけられているワイヤ１３は、案
内筒１４．ガイド１５を通りボンディングツール６内に
供給される。
この従来例では、半導体チンブ１はリードフレーム２の
グイバッド部に接合され、受台３上に位置決めされてい
る。ＸＹ子テーブル上に載ったボンディングヘッド５に
は、ボンディングツール６を支持するボンディングアー
ム７とワイヤクランパ８を支持するクランパ支持アーム
９とが回動中心１０に支持されている０両者はＺ軸モー
タ（図示は略す）により回動運動を行うものである。ま
たボンディングヘッド５上の取付台１）に取り付けられ
たスプール１２に巻きつけられているワイヤ１３は、案
内筒１４．ガイド１５を通りボンディングツール６内に
供給される。
このようなワイヤボンディング装置では、ボンディング
ツール６はＸＹ子テーブルにより半導体チップ１のパッ
ド上に位置決めされた後、下降してワイヤをボンディン
グし、続いて上昇しなからＸＹ子テーブルによりリード
フレーム２上に移動位置決めされ、再び下降してワイヤ
をボンディングする。その後、ワイヤクランパ８が作動
してワイヤをクランプし、ボンディングツール６と共に
上昇してワイヤを切断する。
ツール６はＸＹ子テーブルにより半導体チップ１のパッ
ド上に位置決めされた後、下降してワイヤをボンディン
グし、続いて上昇しなからＸＹ子テーブルによりリード
フレーム２上に移動位置決めされ、再び下降してワイヤ
をボンディングする。その後、ワイヤクランパ８が作動
してワイヤをクランプし、ボンディングツール６と共に
上昇してワイヤを切断する。
次に、クランパ支持アーム９に支持されているワイヤク
ランパについて説明する０例えば第４図＜１）＞、 Ｃ
ｂ）は特開昭５７−１）１０３９号公報に示された従来
のワイヤクランパの概略平面図、及び概略側面図で、図
中クランパ支持アーム９に固定されたクランパ固定板１
６には回転軸１７により可動板１８が回転自在に支持さ
れている。また、クランパ固定板１６及び可動板１８の
一端にはワイヤ１３を直接クランプするためのクランプ
板１９゜２０が取り付けられており、他端のクランパ固
定板１６と可動板１８の間には、クランプ板１９゜２０
が閉じる方向に可動板１８を押圧するばね２１が取り付
けられている。また、可動板１８を開閉させるため、ク
ランパ固定板１６にソレノイド２２が、可動板１８にプ
ランジャ２３が取り付けられている。
ランパについて説明する０例えば第４図＜１）＞、 Ｃ
ｂ）は特開昭５７−１）１０３９号公報に示された従来
のワイヤクランパの概略平面図、及び概略側面図で、図
中クランパ支持アーム９に固定されたクランパ固定板１
６には回転軸１７により可動板１８が回転自在に支持さ
れている。また、クランパ固定板１６及び可動板１８の
一端にはワイヤ１３を直接クランプするためのクランプ
板１９゜２０が取り付けられており、他端のクランパ固
定板１６と可動板１８の間には、クランプ板１９゜２０
が閉じる方向に可動板１８を押圧するばね２１が取り付
けられている。また、可動板１８を開閉させるため、ク
ランパ固定板１６にソレノイド２２が、可動板１８にプ
ランジャ２３が取り付けられている。
次に動作について説明する。ソレノイド２２に通電する
とプランジャ２３が吸着されて可動板１８が回転軸１７
を中心に回転し、クランプ板１９゜２０が開き、クラン
パは開状態になる。また、ソレノイド２２の通電を止め
ると可動板１８ばばね２１の力で前記と逆方向に回転し
、クランプＦｉ１９．２０はワイヤ１３をクランプする
。
とプランジャ２３が吸着されて可動板１８が回転軸１７
を中心に回転し、クランプ板１９゜２０が開き、クラン
パは開状態になる。また、ソレノイド２２の通電を止め
ると可動板１８ばばね２１の力で前記と逆方向に回転し
、クランプＦｉ１９．２０はワイヤ１３をクランプする
。
従来のワイヤクランパは以上のように構成されているの
で、ワイヤの材質、線径などが変わった時にワイヤのク
ランプ力を変更するには、ばね２１を取り替えるなどし
てばね力を機械的に変更。
で、ワイヤの材質、線径などが変わった時にワイヤのク
ランプ力を変更するには、ばね２１を取り替えるなどし
てばね力を機械的に変更。
調整する必要があり作業性に問題があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、クランプ力を電気的に制御することができ、
クランプ力の機械的設定を不要にすることができるワイ
ヤクランパを有するワイヤボンディング装置を得ること
を目的とする。
たもので、クランプ力を電気的に制御することができ、
クランプ力の機械的設定を不要にすることができるワイ
ヤクランパを有するワイヤボンディング装置を得ること
を目的とする。
この発明に係るワイヤボンディング装置のワイヤクラン
パは、ボンディングワイヤをクランプする一対のクラン
プ板の一方を板ばねで支持するとともに、該クランプ板
裏側に可動コイルを、クランパ固定板にリニアモータ本
体を設け、該リニアモータへの通電電流の量及び極性を
制御してクランプ力を制御するようにしたものである。
パは、ボンディングワイヤをクランプする一対のクラン
プ板の一方を板ばねで支持するとともに、該クランプ板
裏側に可動コイルを、クランパ固定板にリニアモータ本
体を設け、該リニアモータへの通電電流の量及び極性を
制御してクランプ力を制御するようにしたものである。
この発明においては、クランプ板裏側に設けられたりニ
アモータの電磁力よりクランプ力を発生し、可動コイル
に通電する電流の量及び極性を制御するようにしたから
、クランプ力を電気的に制御することができる。
アモータの電磁力よりクランプ力を発生し、可動コイル
に通電する電流の量及び極性を制御するようにしたから
、クランプ力を電気的に制御することができる。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第１図はこの発明の一実施例によるワイヤボンディング
装置のワイヤクランパを説明するための図で、第１図（
ａ）は該ワイヤクランパの開状態を、第１図（ｂ）はそ
の閉状態を示す０図において、１６はクランパ支持アー
ム９に固定されたクランパ固定板で、この固定板１６に
は回転軸１７により可動板１８が回転自在に支持されて
いる。この可動板１８の一端にはワイヤ１３を直接クラ
ンプするためのクランプ板２０が取り付けられており、
他端にはクランプ板が閉じる方向に可動板１日を押圧す
るばね２１が取り付けられている。また、可動板１８を
開閉させるため、クランパ固定板１６にソレノイド２２
が、可動板１８にプランジャ２３が取り付けられている
。一方、クランパ固定板１６の一端には板ばね２４が取
り付けられており、板ばね２４の先端の一面にはワイヤ
１３を直接クランプするクランプ板１９がクランプ板２
０に対向して取り付けられ、他面にはクランパ固定板１
６の先端に取り付けられたりニアモータ本体２５の可動
コイル２６が取り付けられている。また、２７．２８は
可動板１８の開閉量を調節するための調整ストッパであ
る。
装置のワイヤクランパを説明するための図で、第１図（
ａ）は該ワイヤクランパの開状態を、第１図（ｂ）はそ
の閉状態を示す０図において、１６はクランパ支持アー
ム９に固定されたクランパ固定板で、この固定板１６に
は回転軸１７により可動板１８が回転自在に支持されて
いる。この可動板１８の一端にはワイヤ１３を直接クラ
ンプするためのクランプ板２０が取り付けられており、
他端にはクランプ板が閉じる方向に可動板１日を押圧す
るばね２１が取り付けられている。また、可動板１８を
開閉させるため、クランパ固定板１６にソレノイド２２
が、可動板１８にプランジャ２３が取り付けられている
。一方、クランパ固定板１６の一端には板ばね２４が取
り付けられており、板ばね２４の先端の一面にはワイヤ
１３を直接クランプするクランプ板１９がクランプ板２
０に対向して取り付けられ、他面にはクランパ固定板１
６の先端に取り付けられたりニアモータ本体２５の可動
コイル２６が取り付けられている。また、２７．２８は
可動板１８の開閉量を調節するための調整ストッパであ
る。
次に動作について説明する。
ソレノイド２２に通電すると、第１図（ａ）に示すよう
に、プランジ中２３ばばね２１に打ちかってソレノイド
２２に吸引され、クランプ板１９．２０は開状態になり
、可動板１８の一端は偶整ストツバ２７に押しつけられ
る。
に、プランジ中２３ばばね２１に打ちかってソレノイド
２２に吸引され、クランプ板１９．２０は開状態になり
、可動板１８の一端は偶整ストツバ２７に押しつけられ
る。
ソレノイドの通電を止めると、第１図（′ｂ）に示すよ
うに、可動板１８ばばね２１に押されて回転軸１７を中
心に回転し、クランプ板２０はクランプ板１９との間で
これとともにワイヤ１３をクランプし、板ばね２４が一
定量撓んだところで可動板１８の一端が調整ストッパ２
８に当たって固定され、板ばね２４の変形によるばね力
でクランプ板１９．２０はワイヤ１３をクランプする。
うに、可動板１８ばばね２１に押されて回転軸１７を中
心に回転し、クランプ板２０はクランプ板１９との間で
これとともにワイヤ１３をクランプし、板ばね２４が一
定量撓んだところで可動板１８の一端が調整ストッパ２
８に当たって固定され、板ばね２４の変形によるばね力
でクランプ板１９．２０はワイヤ１３をクランプする。
そのとき、板ばね２４の一面に取り付けられた可動コイ
ル２６に一定電流を流して推力を発生させ、ワイヤ１３
のクランプ力を推力に応じて制御することができる。つ
まりクランプ板１９をクランプ板２０側に付勢するよう
に可動コイル２６に電流を流すことによりクランプ力を
強くし、可動コイル２６に逆方向に電流を流すことによ
り、クランプ力を弱くすることができる。
ル２６に一定電流を流して推力を発生させ、ワイヤ１３
のクランプ力を推力に応じて制御することができる。つ
まりクランプ板１９をクランプ板２０側に付勢するよう
に可動コイル２６に電流を流すことによりクランプ力を
強くし、可動コイル２６に逆方向に電流を流すことによ
り、クランプ力を弱くすることができる。
このように本実施例では、固定側のクランプ板１９を板
ばね２４で支持するとともに、線板ばね１９の他面にリ
ニアモータの可動コイル１６を、クランパ固定板にリニ
アモータ本体２５を設け、可動コイルに流す電流の量及
び極性を変えてクランプ力を制御するようにしたので、
クランプ力の機械的設定が不要となり、ワイヤの品種換
え、条件出しを容易にすることができ、生産性、信頼性
を向上することができる。
ばね２４で支持するとともに、線板ばね１９の他面にリ
ニアモータの可動コイル１６を、クランパ固定板にリニ
アモータ本体２５を設け、可動コイルに流す電流の量及
び極性を変えてクランプ力を制御するようにしたので、
クランプ力の機械的設定が不要となり、ワイヤの品種換
え、条件出しを容易にすることができ、生産性、信頼性
を向上することができる。
なお、上記実施例では、クランパ（クランプ板）１９．
２０の開閉をソレノイド２２により、クランプ力の調整
をリニアモータにより行なうようにしたものを示したが
、これらクランプ板の開閉及びクランプ力の調整の両方
をリニアモータにより行なうようにしてもよい。
２０の開閉をソレノイド２２により、クランプ力の調整
をリニアモータにより行なうようにしたものを示したが
、これらクランプ板の開閉及びクランプ力の調整の両方
をリニアモータにより行なうようにしてもよい。
第２図はこのような構成の本発明の他の実施例によるワ
イヤクランパの平面図であり、第２図（ａ）。
イヤクランパの平面図であり、第２図（ａ）。
（ｂ）はそれぞれ該ワイヤクランパの開状態、及び閉状
態を示している。ここでは第１図の可動板１８の代わり
に、クランパ固定板１６にこれと一体にクランプ板支持
部１８ａを形成し、該支持部１８ａの一端にクランプ板
２０を取り付け、リニアモータによりクランプ板１９．
２０の開閉も行なうようにする、つまり可動コイル２６
により直接板ばね２４を変形させてワイヤ１３をクラン
プする（第２図（ｂ）参照）ようにしており、その他の
構成は上記第１図に示すワイヤクランパと同様である。
態を示している。ここでは第１図の可動板１８の代わり
に、クランパ固定板１６にこれと一体にクランプ板支持
部１８ａを形成し、該支持部１８ａの一端にクランプ板
２０を取り付け、リニアモータによりクランプ板１９．
２０の開閉も行なうようにする、つまり可動コイル２６
により直接板ばね２４を変形させてワイヤ１３をクラン
プする（第２図（ｂ）参照）ようにしており、その他の
構成は上記第１図に示すワイヤクランパと同様である。
この場合、上記実施例の効果に加えてクランプ板１９．
２０を開閉するためのソレノイド、ばね等を省略でき、
構成を簡単にすることができる効果がある。
２０を開閉するためのソレノイド、ばね等を省略でき、
構成を簡単にすることができる効果がある。
〔発明の効果〕
以上のように、この発明に係るワイヤボンディング装置
のワイヤクランパによれば、ワイヤをクランプする一対
のクランプ板の一方に、これを他のクランプ板側にある
いはその反対側に付勢するリニアモータを設け、ワイヤ
のクランプ力を該リニアモータへの通電電流の値及び極
性を制御して設定するようにしたので、ワイヤクランパ
のクランプ力の機械的調整を不要にすることができ、ワ
イヤボンディングの生産性及び信頼性を向上することが
できる効果がある。
のワイヤクランパによれば、ワイヤをクランプする一対
のクランプ板の一方に、これを他のクランプ板側にある
いはその反対側に付勢するリニアモータを設け、ワイヤ
のクランプ力を該リニアモータへの通電電流の値及び極
性を制御して設定するようにしたので、ワイヤクランパ
のクランプ力の機械的調整を不要にすることができ、ワ
イヤボンディングの生産性及び信頼性を向上することが
できる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるワイヤボンディング
装置のワイヤクランパを説明するための平面図、第２図
はこの発明の他の実施例によるワイヤボンディング装置
のワイヤクランパの平面図、第３図は従来のワイヤボン
ディング装置の一例を示す側面概略図、第４図は該装置
のワイヤクランパを示す概略図である。 図において、１は半導体チップ、８はワイヤクランパ、
１３はワイヤ、１６はクランパ固定板、１９．２０はク
ランプ板、２４は板ばね、２５はリニアモータ本体、２
６は可動コイルである。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
装置のワイヤクランパを説明するための平面図、第２図
はこの発明の他の実施例によるワイヤボンディング装置
のワイヤクランパの平面図、第３図は従来のワイヤボン
ディング装置の一例を示す側面概略図、第４図は該装置
のワイヤクランパを示す概略図である。 図において、１は半導体チップ、８はワイヤクランパ、
１３はワイヤ、１６はクランパ固定板、１９．２０はク
ランプ板、２４は板ばね、２５はリニアモータ本体、２
６は可動コイルである。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- （１）半導体チップをワイヤにより結線する際にワイヤ
を２つのクランプ板によりクランプするワイヤクランパ
を有するワイヤボンディング装置において、 上記クランプ板の一方に取り付けられ、該クランプ板を
他のクランプ板側にあるいはその反対側に付勢するリニ
アモータと、 該リニアモータへの通電電流の量及び極性を制御してク
ランプ力を制御する制御手段とを備えたことを特徴とす
るワイヤボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63089712A JPH01261836A (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | ワイヤボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63089712A JPH01261836A (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | ワイヤボンディング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01261836A true JPH01261836A (ja) | 1989-10-18 |
Family
ID=13978384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63089712A Pending JPH01261836A (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | ワイヤボンディング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01261836A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03230539A (ja) * | 1990-02-06 | 1991-10-14 | Matsushita Electron Corp | ワイヤボンディング装置 |
| US5277355A (en) * | 1992-11-25 | 1994-01-11 | Kulicke And Soffa Investments, Inc. | Self-aligning fine wire clamp |
| WO2016208339A1 (ja) * | 2015-06-23 | 2016-12-29 | 日特エンジニアリング株式会社 | 線材把持装置及び線材把持方法 |
| WO2016208345A1 (ja) * | 2015-06-23 | 2016-12-29 | 日特エンジニアリング株式会社 | 把持装置及び把持方法 |
-
1988
- 1988-04-12 JP JP63089712A patent/JPH01261836A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03230539A (ja) * | 1990-02-06 | 1991-10-14 | Matsushita Electron Corp | ワイヤボンディング装置 |
| US5277355A (en) * | 1992-11-25 | 1994-01-11 | Kulicke And Soffa Investments, Inc. | Self-aligning fine wire clamp |
| WO2016208339A1 (ja) * | 2015-06-23 | 2016-12-29 | 日特エンジニアリング株式会社 | 線材把持装置及び線材把持方法 |
| WO2016208345A1 (ja) * | 2015-06-23 | 2016-12-29 | 日特エンジニアリング株式会社 | 把持装置及び把持方法 |
| JP2017011108A (ja) * | 2015-06-23 | 2017-01-12 | 日特エンジニアリング株式会社 | 把持装置及び把持方法 |
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| KR20170063867A (ko) * | 2015-06-23 | 2017-06-08 | 닛또꾸 엔지니어링 가부시키가이샤 | 파지 장치 및 파지 방법 |
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