JPH1070095A - Apparatus for entering sawed slice of block into preservation element - Google Patents
Apparatus for entering sawed slice of block into preservation elementInfo
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- JPH1070095A JPH1070095A JP11357397A JP11357397A JPH1070095A JP H1070095 A JPH1070095 A JP H1070095A JP 11357397 A JP11357397 A JP 11357397A JP 11357397 A JP11357397 A JP 11357397A JP H1070095 A JPH1070095 A JP H1070095A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【０００２】本発明はヒールで切断支えに取り付けられ
た鋸引きされたブロックの薄片を保存要素に入れるため
の装置に関するものである。[0002] The present invention relates to an apparatus for placing slices of a sawed block mounted on a cutting support with a heel into a storage element.
【０００３】[0003]
【０００４】多刃または多糸などの、複数の工具式の鋸
引き装置によるブロックの形の材料の鋸引きの際に、切
断されるブロックは一般的に使い捨ての板、できれば切
断する材料に近い特性を有する材料の上に接着して取り
付けられている。この板はそれに切断機械との連結の役
割を果たす第２の切断支えの上に機械的に取り付けられ
ている。材料のブロックは完全に切断され、切断工具は
使い捨て板内にはめ込まれる。切断が終了したブロック
は、互いに鋸の跡で分離されているが、部分的に切断さ
れ、切断支えに取り付けられたままの使い捨て板の一部
をなすヒールによって基部がつながっている平行な薄片
の集合の形を取る。次に薄片を使い捨て板から分離しな
ければならない。一般的に、このようにして得られた薄
片を使用するには、それを分離されたままに保ち、洗
浄、研磨または単なる接着剤の残りの除去などの後処理
のためにカセットと呼ばれることが多い保管要素内に入
れる必要がある。手で保存要素に入れるのは緩慢で、面
倒であるうえに破損のおそれも大きい。When sawing material in the form of a block with a plurality of tool-type sawing devices, such as a multi-blade or a multi-thread, the block to be cut is generally a disposable plate, preferably close to the material to be cut. It is adhesively mounted on a material having properties. This plate is mechanically mounted on a second cutting support which serves for connection to the cutting machine. The block of material is cut completely and the cutting tool is snapped into the disposable plate. The cut blocks are separated from each other by a saw mark, but are partially cut and are parallel flakes whose bases are connected by a heel that forms part of a disposable plate that remains attached to the cutting support. Take the form of a set. The slice must then be separated from the disposable plate. In general, to use the lamella obtained in this way, it is necessary to keep it separated and to be referred to as a cassette for post-treatment such as washing, polishing or simply removing the residual adhesive. Must be contained within many storage elements. It is slow and cumbersome to put in the storage element by hand, and there is a high risk of damage.
【０００５】保存要素に入れる装置も存在するが、それ
らはパッケージで作業するものである、すなわちすべて
の薄片はまず切り離され、次いでロボットによって取り
上げられて保存要素に入れられる。この技術には毛管現
象によって薄片が互いに接着するという欠点があり、非
常に薄い薄片の場合には不良品の元になる。さらに、切
り離しの後の薄片のパッケージを再び取り出したり、ロ
ボットによる取り出しのために位置決めをするなどのい
くつかの補足作業が必要になる。[0005] There are also devices for storage elements, but they work in packages, ie all slices are first cut off and then picked up by a robot and placed in storage elements. This technique has the disadvantage that the flakes adhere to each other due to capillary action, and very thin flakes can be a source of rejects. In addition, some additional work is required, such as removing the flaked package again after separation and positioning it for robotic removal.
【０００６】[0006]
【０００７】本発明の目的は上記の欠点を解消すること
であり、本発明による装置は、このために、前記ヒール
を切断するように配置された切断工具と、薄片を１枚ず
つ切断工具に送り、薄片を１枚ずつヒールから剥がすた
めに薄片の集合と切断工具の間に相対的な移動を生じる
ことのできる移動手段を有する切断機構と、剥がされた
それぞれの薄片を取り上げ、それを保存要素の空の箱内
に置くように配置された回収機構とから成ることを特徴
とする。It is an object of the present invention to overcome the above-mentioned disadvantages, and the device according to the invention therefore comprises a cutting tool arranged to cut said heel and a cutting tool, one slice at a time. Feeding, cutting mechanism with moving means capable of causing relative movement between the set of flakes and the cutting tool to peel flakes one by one from the heel, picking up each flaked and storing it And a retrieval mechanism arranged to be placed in the empty box of the element.
【０００８】これらの特徴によって保存要素に入れる作
業は容易かつ迅速になり、信頼性が向上し、合理化でき
る。薄片は、非常に薄い場合でも、容易に、損傷のおそ
れなしに処理することができる。薄片毎に作動する装置
は能力、効率、生産性と信頼性が向上する。[0008] These features make the task of populating the storage element easier and faster, improving reliability and streamlining. The flakes, even when very thin, can be processed easily and without risk of damage. A slice-by-slice device increases capacity, efficiency, productivity and reliability.
【０００９】[0009]
【００１０】推奨実施態様によれば、装置は使い捨て板
から成り、その上にブロックが固定され、切断支えに取
り付けられ、切断機構は薄片にほぼ垂直方向に前記ヒー
ルまたは使い捨て板を切断するように配置されて、１枚
ずつヒールから分離する。According to a preferred embodiment, the device comprises a disposable plate on which the blocks are fixed and mounted on a cutting support, the cutting mechanism being adapted to cut the heel or disposable plate in a direction substantially perpendicular to the slice. Placed and separated from the heel one by one.
【００１１】これらの特徴によって、薄片の正確、迅速
かつ信頼性の高い切断による分離が得られる。[0011] These features provide for accurate, rapid and reliable separation of the slices by cutting.
【００１２】有利には、回収機構はヒールから分離され
た薄片を保存要素に向かって運搬するためのコンベヤベ
ルトから成る。Advantageously, the collecting mechanism comprises a conveyor belt for transporting the flakes separated from the heel towards the storage element.
【００１３】個別の輸送と保存要素入れはこのように特
に適合し、連続かつ信頼性の高い形で実行される。[0013] The separate transport and storage element storage are thus particularly adapted and are carried out in a continuous and reliable manner.
【００１４】有利な変型によれば、装置は解放された薄
片の引き剥がしを容易にするために加圧流体を噴射する
ための１つまたは複数個のノズルを備えた設備を備えて
いる。[0014] According to an advantageous variant, the device is equipped with equipment with one or more nozzles for injecting a pressurized fluid to facilitate peeling of the released flakes.
【００１５】このようにして、分離途中の上部薄片の接
着のおそれが能動的に回避され、装置の一般的安全性に
貢献する。In this way, the risk of adhesion of the upper flakes during separation is actively avoided, which contributes to the general safety of the device.
【００１６】本発明の対象である、切断支えにヒールに
よって取り付けられた薄片の箱収納装置は、従って、切
断され使い捨て板に接着されたブロックと共に切断支え
がその上に固定されたテーブルと、切断工具によって構
成された薄片毎にヒールの切断を可能にする切断機構
と、切断工具に薄片を１枚ずつ送ることを可能にする薄
片の集合に対する相対的移動要素と、薄片回収要素と、
その後保存要素に入れるための輸送システムとから成
る。薄片毎の切断は、切断工具を固定して、ブロックの
移動によって、あるいはブロックを固定して工具の前進
によって行うことができる。しかしながら両方の運動が
必要になることがある。The object of the present invention is a lamella box storage device attached to a cutting support by heels, and thus a table on which a cutting support is fixed together with a block which is cut and glued to a disposable plate; A cutting mechanism that enables cutting of the heel for each slice constituted by the tool, a relative movement element with respect to a set of slices that enables the cutting tool to be fed one by one, a slice collection element,
Transport system for subsequent entry into the storage element. Cutting in slices can be performed by moving the block while fixing the cutting tool, or by moving the tool while fixing the block. However, both exercises may be required.
【００１７】その他の特徴と利点は特許請求の範囲およ
び実施態様と変型を模式的に、例として示した図面を参
照して以下の本発明の詳細な説明を読むことによって明
らかになるだろう。Other features and advantages will become apparent from the following detailed description of the invention, when taken in conjunction with the accompanying drawings, which illustrate, in part, the appended claims and embodiments and modifications.
【００１８】[0018]
【００１９】図１は本発明の装置の一実施態様の側面図
である。図２は変型の部分透視図である。図３は図１の
一部の部分拡大図である。FIG. 1 is a side view of one embodiment of the apparatus of the present invention. FIG. 2 is a partial perspective view of a modification. FIG. 3 is a partially enlarged view of a part of FIG.
【００２０】図１は本発明の応用の原理を模式的に示し
ている。それ自体が切断支え５に固定された使い捨て板
４の上にそのヒール３によって保持された薄片２に切断
されたブロック１は送り電動機６によって電動機８で駆
動される切断工具７に対して移動する。薄片２はコンベ
ヤベルト９の上に落ちてウォータークッション上の勾配
１０の中に置かれる。保存要素１１は薄片をその空箱１
２の１つに収納し、次いで勾配１０の面にほぼ垂直な方
向に電動機１４によって柱１３に沿って移動する。FIG. 1 schematically shows the principle of application of the present invention. The block 1 cut into slices 2 held by its heel 3 on a disposable plate 4 which is itself fixed to a cutting support 5 moves with respect to a cutting tool 7 driven by a motor 8 by a feed motor 6. . The flakes 2 fall onto a conveyor belt 9 and are placed in a gradient 10 on a water cushion. The preservation element 11 is used to store the flakes in the empty box 1
2 and then moved along a column 13 by a motor 14 in a direction substantially perpendicular to the plane of the gradient 10.
【００２１】ここで、使い捨て板４は有利にはその物理
および／または化学特性がブロック１の特性に近い材料
で構成される。また、この板４は薄片の形成の際に糸ま
たは刃によって部分的に鋸引きされている。切断工具７
によるヒール３からの薄片２の分離は従って、薄片２に
垂直な方向に使い捨て板４の部位で行われる。Here, the disposable plate 4 is advantageously made of a material whose physical and / or chemical properties are close to those of the block 1. This plate 4 is also partially sawed by a thread or a blade during the formation of the slice. Cutting tool 7
Separation of the lamella 2 from the heel 3 by means of the disposable plate 4 thus takes place in a direction perpendicular to the lamella 2.
【００２２】図２は特に歯車１６によって駆動される帯
鋸１５による切断法を示している。切断された薄片２は
ここではノズル１７から来る液体の噴射によって分離さ
れる。FIG. 2 shows in particular a cutting method with a band saw 15 driven by a gear 16. The cut slices 2 are separated here by the injection of a liquid coming from a nozzle 17.
【００２３】図３は特に切断支え５に固定された使い捨
て板４内の部分的に鋸引きされたそのヒール３によって
支えられたその薄片２と共にブロック１を示している。FIG. 3 shows the block 1 with its lamella 2 supported by its partially sawed heel 3 in a disposable plate 4 secured in particular to a cutting support 5.
【００２４】もちろん、他の切断装置も考えられる。切
断工具７は例えば、フライス、円盤、糸、帯、またはリ
ボンの鋸などの機械的切断工具、または例えば、レーザ
ー、プラズマ、トーチ、などの熱切断などの全く別の切
断システム、さらには食刻または化学溶解液の加圧シス
テムによって構成することができる。Of course, other cutting devices are also conceivable. The cutting tool 7 can be, for example, a mechanical cutting tool, such as a saw for milling, discs, threads, bands, or ribbons, or a completely different cutting system, for example a thermal cutting, for example a laser, plasma, torch, etc. Alternatively, it can be constituted by a pressurizing system for a chemical solution.
【００２５】本発明による装置は珪素または大量生産の
半導体材料の単結晶などの軸対称ブロックの場合有利に
使用できる。しかしながら糸鋸または多刃鋸で切断した
材料のどんなブロックも本発明の対象の装置によって処
理できる。The device according to the invention can be used advantageously in the case of axially symmetric blocks, such as single crystals of silicon or mass-produced semiconductor materials. However, any block of material cut with a thread saw or a multi-blade saw can be processed by the apparatus of the present invention.
【００２６】もちろん、上述の実施態様は一切制限する
ものではなく、請求項１に限定された枠内で一切の所望
の変更を行うことができる。特に、切断工具７は静止さ
せたブロック１に対して薄片２に垂直に移動するように
配置することができる。ノズル１７は解放された最後の
薄片の引き剥がしを容易にするために加圧流体を噴射す
るための複数個のノズルを有する設備に代えることがで
きる。装置は、処理中の薄片２が乾燥するのを防止する
ために装置の全体または一部が浸漬された、例えば、水
などの液体を含む槽を備えることができる。コンベヤベ
ルト９は他の一切の輸送手段に代えることができる。勾
配１０はウォータークッションなしでも良いし、さらに
は省略することもできる。Of course, the above-described embodiment is not in any way limiting, and any desired changes can be made within the framework defined by claim 1. In particular, the cutting tool 7 can be arranged to move perpendicular to the slice 2 relative to the stationary block 1. Nozzle 17 can be replaced by a facility having a plurality of nozzles for injecting pressurized fluid to facilitate peeling of the last released flake. The device may comprise a bath containing a liquid such as, for example, water, in which all or part of the device is immersed in order to prevent the flakes 2 being processed from drying out. The conveyor belt 9 can be replaced by any other transport means. The gradient 10 may be without a water cushion or may be omitted.
【００２７】[0027]
【００２８】本発明によって、保存要素に入れる作業は
容易かつ迅速になり、信頼性が向上し、合理化できる。
薄片は、非常に薄い場合でも、容易に、損傷のおそれな
しに処理することができる。薄片毎に作動する装置は能
力、効率、生産性と信頼性が向上する。According to the present invention, the operation of placing the storage element is easy and quick, the reliability is improved and the rationalization is possible.
The flakes, even when very thin, can be processed easily and without risk of damage. A slice-by-slice device increases capacity, efficiency, productivity and reliability.
【図１】本発明の装置の一実施態様の側面図である。FIG. 1 is a side view of one embodiment of the device of the present invention.
【図２】変型の部分透視図である。FIG. 2 is a partial perspective view of a modification.
【図３】図１の一部の部分拡大図である。FIG. 3 is a partially enlarged view of a part of FIG. 1;
１ ブロック ２ 薄片 ３ ヒール ４ 使い捨て板 ５ 切断支え ７ 研磨円盤 ９ コンベヤベルト １０ 勾配 １１ 保存要素 １２ 空箱 １３ 柱 １４ 電動機 １５ 切断工具 １６ 歯車 １７ ノズル Reference Signs List 1 block 2 slice 3 heel 4 disposable plate 5 cutting support 7 polishing disk 9 conveyor belt 10 slope 11 storage element 12 empty box 13 pillar 14 electric motor 15 cutting tool 16 gear 17 nozzle
Claims (9)
り付けられた鋸引きされたブロック（１）の薄片（２）
を保存要素（１１）に入れるための装置において、 前記ヒール（３）を切断するように配置された切断工具
（７，１５）と、薄片（２）を１枚ずつ切断工具に送
り、薄片を１枚ずつヒール（３）から剥がすために薄片
（２）の集合と切断工具（７，１５）の間に相対的な移
動を生じることのできる移動手段（６）を有する切断機
構（６，７，８）と、剥がされたそれぞれの薄片（２）
を取り上げ、それを保存要素（１１）の空の箱内に置く
ように配置された回収機構（９，１０）とから成ること
を特徴とする装置。1. A slice (2) of a sawed block (1) mounted on a cutting support (4, 5) with a heel (3).
A cutting tool (7, 15) arranged to cut said heel (3) and a slice (2) one by one to said cutting tool, A cutting mechanism (6, 7) having moving means (6) capable of producing a relative movement between a set of lamellas (2) and a cutting tool (7, 15) for peeling off the heel (3) one by one; , 8) and each of the strips (2)
And a retrieval mechanism (9, 10) arranged to place it in the empty box of the storage element (11).
て板（４）から成り、その上にブロック（１）が固定さ
れ、切断支え（５）に取り付けられ、切断機構（６，
７，８）が薄片（２）にほぼ垂直方向に前記ヒール
（３）または使い捨て板（４）を切断するように配置さ
れて、それらを１枚ずつヒールから分離することを特徴
とする装置。2. The device according to claim 1, comprising a disposable plate (4), on which a block (1) is fixed, mounted on a cutting support (5), and a cutting mechanism (6).
7, 8) arranged so as to cut said heel (3) or disposable plate (4) in a direction substantially perpendicular to the slices (2), separating them one by one from the heel.
断支え（４，５）を移動させるように配置されているこ
とを特徴とする装置。3. The apparatus according to claim 1, wherein the cutting mechanism is arranged to move the cutting support (4, 5) relative to the stationary cutting tool (7, 15). Equipment to do.
対して移動するように配置されていることを特徴とする
装置。4. The apparatus according to claim 1, wherein the cutting tool (7) is arranged to move perpendicular to the slice (2) with respect to the block (1).
において、 回収機構がヒールから分離された薄片（２）を保存要素
（１１）の方向に輸送するためのコンベヤベルト（９）
から成ることを特徴とする装置。5. Conveyor belt (9) according to any one of the preceding claims, wherein the collecting mechanism transports the flakes (2) separated from the heel in the direction of the storage element (11).
An apparatus, comprising:
において、 回収機構が勾配（１０）を備え、その上を分離された薄
片（２）がウォータークッションの有無を問わず摺動し
て、勾配（１０）の面にほぼ垂直な方向に移動可能に取
り付けられた保存要素（１１）の箱の中に置かれること
を特徴とする装置。6. The device according to claim 1, wherein the collecting mechanism comprises a gradient (10), on which the separated slice (2) slides with or without a water cushion. A storage element (11) mounted movably in a direction substantially perpendicular to the plane of the gradient (10).
５）、フライスまたは熱処理または加圧流体によって作
動する手段であることを特徴とする装置。7. The apparatus according to claim 1, wherein the cutting tool is a grinding disc, a band, a ribbon or a thread saw.
5) The apparatus characterized in that it is a milling or means operated by heat treatment or pressurized fluid.
加圧流体を噴射するための１つまたは複数個のノズル
（１７）を有する設備を備えていることを特徴とする装
置。8. A device according to claim 1, comprising one or more nozzles (17) for injecting a pressurized fluid to facilitate peeling of the released slices (2). An apparatus, comprising:
において、 処理中の薄片（２）が乾燥するのを防止するために装置
の全体または一部が浸漬された液体を含む槽を備えてい
ることを特徴とする装置。9. The apparatus according to claim 1, further comprising a tank containing a liquid in which all or part of the apparatus is immersed in order to prevent the flakes (2) being processed from drying out. An apparatus, comprising:
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CH956/96 | 1996-04-16 | ||
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Publications (1)
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| JPH1070095A true JPH1070095A (en) | 1998-03-10 |
Family
ID=4199092
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (4)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPH1070095A (en) |
| CH (1) | CH691169A5 (en) |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20040414 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20070320 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070828 |