JPH1044142A - マルチワイヤーソー - Google Patents
マルチワイヤーソーInfo
- Publication number
- JPH1044142A JPH1044142A JP20339496A JP20339496A JPH1044142A JP H1044142 A JPH1044142 A JP H1044142A JP 20339496 A JP20339496 A JP 20339496A JP 20339496 A JP20339496 A JP 20339496A JP H1044142 A JPH1044142 A JP H1044142A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- grooves
- pitch
- pitches
- workpiece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 マルチワイヤーソーで異なる微小ピッチの精
密切断加工をすること。 【解決手段】 ワイヤーを巻き付ける加工部ロール３ａ
及び３ｂの溝の深さを制御することにより、ワイヤーの
張力を均一にする。
密切断加工をすること。 【解決手段】 ワイヤーを巻き付ける加工部ロール３ａ
及び３ｂの溝の深さを制御することにより、ワイヤーの
張力を均一にする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリコン、水晶、
磁気ヘッド等の脆性材料を微小ピッチの精密切断、ある
いは微小ピッチの精密溝加工を行なうマルチワイヤーソ
ーに関する。
磁気ヘッド等の脆性材料を微小ピッチの精密切断、ある
いは微小ピッチの精密溝加工を行なうマルチワイヤーソ
ーに関する。
【０００２】
【従来の技術】被加工物に多数の溝入れ加工または、被
加工物を多数に切断加工するマルチワイヤーソーは（図
２参照）、供給リール１３から供給された切断工具とな
るワイヤー１は、加工部ロール３ａ及び３ｂの溝に案内
され所定のピッチ（図示しない）で多条配列され、収納
リール１５へ排出される。この多条配列されたワイヤー
１を被加工物５に対して平行に高速往復走行させ、前記
ワイヤー１に被加工物５を押し付け、ワイヤーと被加工
物の接触する、摺動部に遊離砥粒を供給しながら多数の
切断又は多数の溝入れ加工を行う。ワイヤーを巻き付け
る多溝滑車３ａ及び３ｂの材質には、一般に製作が容易
な樹脂材（例えば、超高分子量ポリエチレン）が使用さ
れている。
加工物を多数に切断加工するマルチワイヤーソーは（図
２参照）、供給リール１３から供給された切断工具とな
るワイヤー１は、加工部ロール３ａ及び３ｂの溝に案内
され所定のピッチ（図示しない）で多条配列され、収納
リール１５へ排出される。この多条配列されたワイヤー
１を被加工物５に対して平行に高速往復走行させ、前記
ワイヤー１に被加工物５を押し付け、ワイヤーと被加工
物の接触する、摺動部に遊離砥粒を供給しながら多数の
切断又は多数の溝入れ加工を行う。ワイヤーを巻き付け
る多溝滑車３ａ及び３ｂの材質には、一般に製作が容易
な樹脂材（例えば、超高分子量ポリエチレン）が使用さ
れている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】被加工物に異なるピッ
チの多数の溝入れ加工または、切断加工をする場合に
は、加工部ロールにピッチの異なる溝を形成する必要が
ある。しかし異なるピッチの溝が形成された、加工部ロ
ール３ａ、３ｂの間では（図２参照）、ワイヤーの一周
分の長さに差が生じるので、ワイヤーの張力が不均一に
なり、精密な加工ができなくなる。本発明の目的は、被
加工物を、高精度に異なるピッチで多数に切断加工する
マルチワイヤーソーを提供することである。
チの多数の溝入れ加工または、切断加工をする場合に
は、加工部ロールにピッチの異なる溝を形成する必要が
ある。しかし異なるピッチの溝が形成された、加工部ロ
ール３ａ、３ｂの間では（図２参照）、ワイヤーの一周
分の長さに差が生じるので、ワイヤーの張力が不均一に
なり、精密な加工ができなくなる。本発明の目的は、被
加工物を、高精度に異なるピッチで多数に切断加工する
マルチワイヤーソーを提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、１本の切削用ワイヤーと、前記ワイヤー
を供給する供給リールと、前記ワイヤーを案内する複数
のプーリと、前記ワイヤーを巻き取る収納リールと、前
記ワイヤーを巻き付けるための複数の加工部ロールとを
備え、前記加工部ロールに前記ワイヤーを巻き付けて、
切削加工用の複数のワイヤー列を形成し、所定の張力を
付与した前記ワイヤー列を被加工部材に押しあて、前記
ワイヤーを往復走行させながら供給リールから収納リー
ルの方向に移動させ、砥粒を含む加工液を供給しながら
被加工部材を切削するマルチワイヤーソーにおいて、前
記加工部ロールに、あるピッチで形成した溝と前記ピッ
チより長いピッチで形成した溝を有するときには、長い
ピッチで配設された溝の深さを他の溝の深さより浅くし
た。
に、本発明は、１本の切削用ワイヤーと、前記ワイヤー
を供給する供給リールと、前記ワイヤーを案内する複数
のプーリと、前記ワイヤーを巻き取る収納リールと、前
記ワイヤーを巻き付けるための複数の加工部ロールとを
備え、前記加工部ロールに前記ワイヤーを巻き付けて、
切削加工用の複数のワイヤー列を形成し、所定の張力を
付与した前記ワイヤー列を被加工部材に押しあて、前記
ワイヤーを往復走行させながら供給リールから収納リー
ルの方向に移動させ、砥粒を含む加工液を供給しながら
被加工部材を切削するマルチワイヤーソーにおいて、前
記加工部ロールに、あるピッチで形成した溝と前記ピッ
チより長いピッチで形成した溝を有するときには、長い
ピッチで配設された溝の深さを他の溝の深さより浅くし
た。
【０００５】
【発明の実施の形態】被加工物に多数の溝入れ加工また
は、被加工物を多数に切断加工するマルチワイヤーソー
は、図２に示す如く供給リール１３から供給された切断
工具となるワイヤー１は、多溝滑車３ａ及び３ｂの溝に
案内され所定の異なるピッチ（図示しない）で多条配列
され、収納リール１５へ排出される。この多条配列され
たワイヤー１を被加工物５に対して平行に高速往復走行
させ、前記ワイヤー１に被加工物５を押し付け、ワイヤ
ーと被加工物の接触する摺動部に、遊離砥粒を供給しな
がら多数の切断又は多数の溝入れ加工を行う。
は、被加工物を多数に切断加工するマルチワイヤーソー
は、図２に示す如く供給リール１３から供給された切断
工具となるワイヤー１は、多溝滑車３ａ及び３ｂの溝に
案内され所定の異なるピッチ（図示しない）で多条配列
され、収納リール１５へ排出される。この多条配列され
たワイヤー１を被加工物５に対して平行に高速往復走行
させ、前記ワイヤー１に被加工物５を押し付け、ワイヤ
ーと被加工物の接触する摺動部に、遊離砥粒を供給しな
がら多数の切断又は多数の溝入れ加工を行う。
【０００６】本発明によるマルチワイヤーソーで使用し
ている、ワイヤーを巻き付ける加工部ロール３ａ及び３
ｂの構成を図１に基づいて説明する。図１の（ａ）は本
発明による加工部ロールの概略図である。 図１の
（ｂ）は、加工部ロール３ａ及び３ｂの部分拡大図であ
る。ワイヤー１を巻き付ける加工部ロール３ａ及び３ｂ
は所定のピッチＰ１とＰ２でＶ形の溝が、樹脂材に設け
られている。前記Ｖ形の溝は、ピッチ幅が広く（Ｐ２）
配置された溝が、他の溝より浅くしてある。ピッチ幅が
広く（Ｐ２）配置されたＶ形の溝が他の溝より浅く、す
ることによって、次に記す、課題を解決することあがで
きる。すなわち、被加工部材に異なるピッチの多数の溝
入れ加工又は、切断加工をするためには、ワイヤソーの
加工部ロール３ａ及び３ｂにピッチの異なる溝を形成し
て、加工部ロール３ａ及び３ｂのピッチの異なる溝でワ
イヤーをガイドして、ピッチの異なる複数のワイヤー列
を形成し、所定の張力を付与した前記ワイヤー列を被加
工部材に押しあて、前記ワイヤーを往復走行させながら
供給リールから収納リールの方向に移動させ、砥粒を含
む加工液を供給しながら被加工部材を加工する必要があ
る。しかし、ワイヤソーの加工部ロール３ａ及び３ｂに
ピッチの異なる溝を形成して、加工部ロール３ａ及び３
ｂのピッチの異なる溝でワイヤーをガイドして、ピッチ
の異なる複数のワイヤー列を形成すると、加工部ロール
３ａと加工部ロール３ｂを一周する、ワイヤ列の長さが
ばらつき、加工部ロールの回転に伴うワイヤーの移動量
が均一でなくなり、ワイヤー列のおのおのの張力が不均
一になるという解決すべき課題がある。前記課題すなわ
ち、ワイヤー列のおのおのの張力が不均一になるとその
結果として、異なるピッチの切断加工が高精度にできな
くなる。加工部ロールの作製は、旋盤等の回転装置に加
工部を装着し、樹脂材部に溝加工を切削バイト等の刃物
で切削加工で形成している。
ている、ワイヤーを巻き付ける加工部ロール３ａ及び３
ｂの構成を図１に基づいて説明する。図１の（ａ）は本
発明による加工部ロールの概略図である。 図１の
（ｂ）は、加工部ロール３ａ及び３ｂの部分拡大図であ
る。ワイヤー１を巻き付ける加工部ロール３ａ及び３ｂ
は所定のピッチＰ１とＰ２でＶ形の溝が、樹脂材に設け
られている。前記Ｖ形の溝は、ピッチ幅が広く（Ｐ２）
配置された溝が、他の溝より浅くしてある。ピッチ幅が
広く（Ｐ２）配置されたＶ形の溝が他の溝より浅く、す
ることによって、次に記す、課題を解決することあがで
きる。すなわち、被加工部材に異なるピッチの多数の溝
入れ加工又は、切断加工をするためには、ワイヤソーの
加工部ロール３ａ及び３ｂにピッチの異なる溝を形成し
て、加工部ロール３ａ及び３ｂのピッチの異なる溝でワ
イヤーをガイドして、ピッチの異なる複数のワイヤー列
を形成し、所定の張力を付与した前記ワイヤー列を被加
工部材に押しあて、前記ワイヤーを往復走行させながら
供給リールから収納リールの方向に移動させ、砥粒を含
む加工液を供給しながら被加工部材を加工する必要があ
る。しかし、ワイヤソーの加工部ロール３ａ及び３ｂに
ピッチの異なる溝を形成して、加工部ロール３ａ及び３
ｂのピッチの異なる溝でワイヤーをガイドして、ピッチ
の異なる複数のワイヤー列を形成すると、加工部ロール
３ａと加工部ロール３ｂを一周する、ワイヤ列の長さが
ばらつき、加工部ロールの回転に伴うワイヤーの移動量
が均一でなくなり、ワイヤー列のおのおのの張力が不均
一になるという解決すべき課題がある。前記課題すなわ
ち、ワイヤー列のおのおのの張力が不均一になるとその
結果として、異なるピッチの切断加工が高精度にできな
くなる。加工部ロールの作製は、旋盤等の回転装置に加
工部を装着し、樹脂材部に溝加工を切削バイト等の刃物
で切削加工で形成している。
【０００７】供給リール１３から供給されたワイヤー１
は（図２、図１参照）、対向して、平行に設置された、
加工部ロール３ａと３ｂとに、案内され巻き付けられ、
収納リール１５へ回収される。
は（図２、図１参照）、対向して、平行に設置された、
加工部ロール３ａと３ｂとに、案内され巻き付けられ、
収納リール１５へ回収される。
【０００８】
【発明の効果】上述のごとく本発明によれば、異なるピ
ッチの切断加工が高精度にできる。
ッチの切断加工が高精度にできる。
【図１】本発明に、使用する加工部ロールの概略構成を
示した正面図。
示した正面図。
【図２】本発明によるマルチワイヤーソーの概略構成を
示した正面図。
示した正面図。
１ ワイヤー ３ａ、３ｂ 加工部ロール ５ 被加工物 １１ 上下機構 １３ 供給リール １５ 収納リール
Claims (1)
- 【請求項１】 １本の切削用ワイヤーと、前記ワイヤー
を供給する供給リールと、前記ワイヤーを案内する複数
のプーリと、前記ワイヤーを巻き取る収納リールと、前
記ワイヤーを巻き付けるための複数の加工部ロールとを
備え、前記加工部ロールの溝に前記ワイヤーを巻き付け
て、切削加工用の複数のワイヤー列を形成し、所定の張
力を付与した前記ワイヤー列を被加工部材に押しあて、
前記ワイヤーを往復走行させながら供給リールから収納
リールの方向に移動させ、砥粒を含む加工液を供給しな
がら被加工部材を切削するマルチワイヤーソーにおい
て、 前記加工部ロールに、あるピッチで形成した溝と
前記ピッチより長いピッチで形成した溝を有するときに
は、長いピッチで配設された溝の深さを他の溝の深さよ
り浅くしたことを特徴とするマルチワイヤソー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20339496A JPH1044142A (ja) | 1996-08-01 | 1996-08-01 | マルチワイヤーソー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20339496A JPH1044142A (ja) | 1996-08-01 | 1996-08-01 | マルチワイヤーソー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1044142A true JPH1044142A (ja) | 1998-02-17 |
Family
ID=16473327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20339496A Pending JPH1044142A (ja) | 1996-08-01 | 1996-08-01 | マルチワイヤーソー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1044142A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007175784A (ja) * | 2005-12-26 | 2007-07-12 | Kyocera Corp | ワイヤーソー装置 |
| JP2010030000A (ja) * | 2008-07-30 | 2010-02-12 | Sumco Corp | グルーブローラの構造 |
| WO2012090828A1 (ja) | 2010-12-28 | 2012-07-05 | 三菱化学株式会社 | 六方晶系半導体板状結晶の製造方法 |
| CN103182747A (zh) * | 2011-12-27 | 2013-07-03 | 浙江昱辉阳光能源有限公司 | 一种多线锯线网*** |
| CN104476687A (zh) * | 2014-11-06 | 2015-04-01 | 江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司 | 多线切割导轮及其布线方法 |
| JP2015529190A (ja) * | 2012-09-25 | 2015-10-05 | シックスポイント マテリアルズ， インコーポレイテッド | Ｉｉｉ族窒化物結晶を成長させる方法 |
| CN107364023A (zh) * | 2017-07-20 | 2017-11-21 | 阜宁协鑫光伏科技有限公司 | 切割用分线网及分线网切割硅片的方法 |
| CN111516160A (zh) * | 2020-05-11 | 2020-08-11 | 福建晶安光电有限公司 | 一种多线切割机 |
-
1996
- 1996-08-01 JP JP20339496A patent/JPH1044142A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007175784A (ja) * | 2005-12-26 | 2007-07-12 | Kyocera Corp | ワイヤーソー装置 |
| JP2010030000A (ja) * | 2008-07-30 | 2010-02-12 | Sumco Corp | グルーブローラの構造 |
| WO2012090828A1 (ja) | 2010-12-28 | 2012-07-05 | 三菱化学株式会社 | 六方晶系半導体板状結晶の製造方法 |
| KR20130132878A (ko) | 2010-12-28 | 2013-12-05 | 미쓰비시 가가꾸 가부시키가이샤 | 육방정계 반도체 판상 결정의 제조 방법 |
| US11772301B2 (en) | 2010-12-28 | 2023-10-03 | Mitsubishi Chemical Corporation | Method for manufacturing hexagonal semiconductor plate crystal |
| CN103182747A (zh) * | 2011-12-27 | 2013-07-03 | 浙江昱辉阳光能源有限公司 | 一种多线锯线网*** |
| JP2015529190A (ja) * | 2012-09-25 | 2015-10-05 | シックスポイント マテリアルズ， インコーポレイテッド | Ｉｉｉ族窒化物結晶を成長させる方法 |
| CN104476687A (zh) * | 2014-11-06 | 2015-04-01 | 江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司 | 多线切割导轮及其布线方法 |
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| CN111516160A (zh) * | 2020-05-11 | 2020-08-11 | 福建晶安光电有限公司 | 一种多线切割机 |
| CN111516160B (zh) * | 2020-05-11 | 2022-06-17 | 福建晶安光电有限公司 | 一种多线切割机 |
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