JPH10335397A - ウエハープローバー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】従来、ウエハープローバーにおいては、プロー
ブカードをマザーボードに装着する際、プローブカード
がマザーボードに平行度がよくとれないままで装着され
ることがり、そのために測定値に悪影響がでたり、嵌合
部のピン、ピン受け部が不均一に磨耗するという問題が
あった。これらの問題を解消する。 【解決手段】プローブカードとマザーボードとの接触面
の対称的な位置、少なくとも２箇所の、それぞれの対抗
面に、導電性接触子を設け、該導電性接触子間の導通を
調べられるようにし、導通の有無により装着の良否を確
認できるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路等
のウエハーテストに使用するウエハープローバーに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】図３は、ウエハープローバーの一従来例
のプローブカード・マザーボード部分の構成を説明する
ための図であり、（ａ）はその断面図、（ｂ）は下方か
ら見た正面図である。

【０００３】従来、ウエハープローバーは、その主要部
として、プローブカード１とそれを載置し、外部へ電気
接続するためのマザーボード２を備えている。

【０００４】上記プローブカード１は、環状平板のカー
ド基台３を本体とし、カード基台３の下面にはウエハー
テスト用の（２本しか図示していないが）多数のプロー
ブ４が取り付けられており、これらは樹脂５で固められ
ている。

【０００５】また、カード基台３の上面には各プローブ
４に接続された多数のピン６が立てられている。

【０００６】一方、上記マザーボード２は、中央部にプ
ローブカード１が入るサイズの穴が開けられたボード基
台７を本体とし、その上面の内縁部には、上記プローブ
カード１の各ピン６に対応する多数のピン受け部９を備
えたコネクタリング８が取り付けられている。また、ボ
ード基台７上には各ピン受け部９を外部へ接続するため
の配線１０が設けられている。

【０００７】ウエハーテストを行うには、先ず検査対象
のウエハー用のプローブカード１を、マザーボード２
に、その下方から押しつけ、プローブカード１の各ピン
６をマザーボード２の各ピン受け部８に嵌め込ませて装
着する。

【０００８】上記装着により、プローブ→ピン→ピン受
け部→配線と電気的に接続されることになり、被測定ウ
エハー１４にプローブ４を立てることによって、ウエハ
ーテストが実施される。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上記のような方法で、
プローブカード１がマザーボード２に装着されるが、多
数のピン６とピン受け部９の嵌合部分があり、また装着
は通常手動で行うため、ややもするとプローブカード１
の水平度（マザーボードに対する平行度）がとれないま
まで装着されることがあった。

【００１０】プローブカード１の水平度がとれないこと
自体、嵌合部分の接触状態を不完全にするが、同時に被
測定ウエハー１４へのプローブ４の接触が不十分とな
り、測定値に悪影響を与えるという問題があった。

【００１１】また、上記のような状態でテストが続けら
れると、ピン６、ピン受け部９の磨耗が不均一になり、
更に上記問題を悪化させることにもなった。

【００１２】本発明は、上記問題点を解消し、プローブ
カード１を平行度よくマザーボード２に装着するための
有効な手段を提供しようとするものである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】プローブカードとマザー
ボードとの接触面の、対称的な位置・少なくとも２箇所
の、それぞれの対抗面に、導電性接触子を設け、該導電
性接触子間の導通を調べられるようにした。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１は、本発明のウエハープロー
バーの一実施例の説明図であり、（ａ）はその断面図、
（ｂ）は下方から見た正面図である。

【００１５】本実施例は、図３の従来例に、以下に述べ
るような構成を付加したものであり、その他の部分の構
成は図３のものと同じである。

【００１６】 本実施例のウエハープローバーでは、プ
ローブカード１のカード基台３の上面の周縁部の対称位
置、２箇所に、それぞれ金箔、銅板等の小片よりなる導
電性接触子１１が取り付けられており、また上記２箇所
に切欠部１３が設けられている。

【００１７】一方、マザーボード２のコネクタリング８
の下面の上記２箇所に対面する箇所に、それぞれ上記導
電性接触子１１と同様な導電性接触子１２が取り付けら
れている。

【００１８】上述のように、プローブカード１の上面及
びマザーボード２の下面の対応箇所に、それぞれ導電性
接触子１１及び１２が設けられているので、プローブカ
ード１をマザーボード２に装着する際、両者が平行度よ
く取り付けられた場合には、導電性接触子１１と１２は
上記２箇所でそれぞれ接触することになり、電気的に導
通状態になる。導通は、切欠部１３を通して簡易テスタ
ーなどで容易にチェックできる。

【００１９】従って、上記２箇所において、それぞれ導
電性接触子１１、１２間が導通しているかどうかを調べ
ることにより、プローブカード１がマザーボード２に平
行度よく装着されているかどうか、装着の良否を確認す
ることができる。

【００２０】上記２箇所の導通を一度に調べるには、２
箇所の導電性接触子部分を互いに直列接続となるように
配線しておけばよい。また、上記のような配線を含めた
導通テスト回路を設け、導通の確認は、表示ランプ、ブ
ザーなどを利用することにより作業性をよくすることが
できる。

【００２１】図２は、図１に示したような本発明のウエ
ハープローバーに導通テスト手段を設けた場合の一実施
例の説明図である。

【００２２】配線１５は、上述したように２箇所の導電
性接触子間の部分を互いに直列接続にするための配線で
あり、本例のように導電性接触子対を２箇所に設けた場
合は、プローブカード１上の導電性接触子１１同志を結
線するのみで両箇所間の接続ができるので配線上、好都
合である。

【００２３】マザーボード上の導電性接触子１２はそれ
ぞれ、図示したように、接地、電源１６、表示ランプ１
７と直列接続されている。

【００２４】本導通テスト手段は、上記のように構成さ
れているので、２箇所の導電性接触子対が共に接触した
場合のみ通電し、表示ランプ１７が点灯する。従って、
装着の良否は、表示ランプ点灯の有無で容易に知ること
ができる。

【００２５】本実施例では、導電性接触子１１、１２
を、対称位置２箇所に設けた場合を示したが、対称的な
位置、３箇所に設けることにより、より確実な、装着の
確認が可能となる。

【００２６】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明のウエハ
ープローバーにおいては、プローブカードとマザーボー
ドの接触面の対称的な位置、少なくとも２箇所の、それ
ぞれの対抗面に、導電性接触子を設け、該導電性接触子
間の導通を調べられるようにしたので、平行度がよく装
着されない場合は、一部箇所の導通がなくなることから
それを発見でき、全て箇所の導通がとれるように装着す
ることで、平行度のよい装着が可能となる。

【００２７】また、上述したような直列配線、表示ラン
プ等を含む簡易な導通テスト手段を設けることで、全て
の箇所の導通を容易にチェックすることができ、作業性
を上げることができる。

【００２８】上記のように導通のチェックにより装着の
良否を確認できるので、それを利用することにより、プ
ローブカードを平行度よくマザーボードに装着すること
が容易となり、被測定ウエハーへのプローブの接触不良
による測定値への悪影響、ピン、ピン受け部の不均一磨
耗等の問題が解消される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のウエハープローパーの一実施例の説明
図である。

【図２】本発明のウエハープローパーに設けた導電テス
ト手段の説明図である。

【図３】従来のウエハープローパーの説明図である。

【符号の説明】

１：プローブカード ２：マザーボード ３：カード基台 ４：プローブ ５：樹脂 ６：ピン ７：ボード基台 ８：コネクタリング ９：ピン受け部 １０：配線 １１、１２：導電性接触子 １３：切欠部 １４：被測定ウエハー １５：配線 １６：電源 １７：表示ランプ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プローブカードと、該プローブカードを
   載置・装着して使用するマザーボードとを備えたウエハ
   ープローバーにおいて、上記プローブカードと上記マザ
   ーボードとの接触面の、対称的な位置・少なくとも２箇
   所の、それぞれの対抗面に、導電性接触子を設け、上記
   導電性接触子間の導通を調べられるようにしたことを特
   徴とするウエハープローバー。
2. 【請求項２】 上記対称的な位置・少なくとも２箇所
   の、それぞれの箇所の上記導電性接触子間の部分を互い
   に電気的に直列接続する配線部、及び導通表示部を有す
   る導通テスト手段を設けたことを特徴とする請求項１の
   ウエハープローバー。