JPH10323537A - パーフルオロ化合物の接触分解方法 - Google Patents

パーフルオロ化合物の接触分解方法

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JPH10323537A
JPH10323537A JP10056612A JP5661298A JPH10323537A JP H10323537 A JPH10323537 A JP H10323537A JP 10056612 A JP10056612 A JP 10056612A JP 5661298 A JP5661298 A JP 5661298A JP H10323537 A JPH10323537 A JP H10323537A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 パーフルオロ化合物を効率良く分解し尚かつ
長寿命である触媒とそれを用いる分解方法。 【解決手段】 気相にてハーフルオロ化合物を水蒸気ま
たは水蒸気と分子状酸素の存在下、分解する反応におい
て、リン酸塩がアルミニウム、ホウ素、アルカリ土類金
属、チタン、ジルコニウム、ランタン、セリウム、イッ
トリウム、希土類金属、バナジウム、ニオブ、クロム、
マンガン、鉄、コバルト、ニッケルからなる群より選ば
れた少なくとも１種の元素とリンとの酸化物とからなる
触媒を用いるパーフルオロ化合物の分解法。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、難分解性であるパ
ーフルオロ化合物を分解する方法に関する。詳しくは、
特定の触媒の存在の下に、パーフルオロ化合物を水蒸
気、または水蒸気と分子状酸素により、気相で分解する
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】パーフルオロ化合物は、主に半導体エッ
チングプロセス等で使用され、フッ素原子を有するエッ
チングガスまたはクリーニングガスとして利用されてい
る。また、特に電気絶縁特性に優れた六フッ化硫黄は、
ケーブル、コンデンサーあるいは変圧器等に応用されて
いる。パーフルオロ化合物は、一般には安定で、人体に
無毒な化合物が多く、上記以外の分野でも広範囲に使用
されている。ところが、これらは温暖化係数が大きく、
地球温暖化の一因となることが近年指摘されている。そ
して、地球環境保護の気運の高まりから、これらパーフ
ルオロ化合物を、地球環境に影響を与えない、無害な物
質に分解する技術が求められている。
【０００３】パーフルオロ化合物の分解、特にフッ化炭
素の分解に関する従来の技術としては、燃焼法（ＷＯ９
４／０５３９９号公報）が挙げられる。この中では、Ｃ
Ｆ4を十分な滞留時間をかけて燃焼させている。加えて
燃焼装置（特開平８−３０９１４７号公報）の改良も提
案されているが、処理能力が小さい、装置に高価な材質
が必要である等の問題点がある。また、同じくフッ化炭
素の分解に関して爆轟法（特開平６−５４９２５号公
報）が提案されている。この方法は、フッ化炭素を完全
に分解できるが、その形式から、連続的大量処理は困難
である。
【０００４】その他のフッ化炭素の分解法の従来技術と
しては、セメントキルン燃焼法、プラズマ分解法、超臨
界水法等が挙げられる。しかし、これらの方法にも、そ
れぞれ特有の問題点がある。すなわち、セメントキルン
燃焼法は、用いる設備に地域性があり、一般的な処理設
備ではない。プラズマ分解法は、装置の大型化と用役費
が一般には問題である。また、超臨界水法は高温高圧条
件であり、設備的にも運転面でも課題がある。
【０００５】これらの従来技術に対して、近年、分解剤
を用いる方法が提案されている。分解剤を用いる方法と
しては、活性炭にアルカリ土類金属の塩を担持させた処
理剤で、フッ化炭素も含むガスを処理する方法（特開昭
６１−３５８４９号公報）、固体水素化物と反応させ除
去する方法（特開平８−２５７３５９号公報）、１１０
０℃以上の高温において、分解剤にて、更にはフッ化水
素を共存させたりして分解処理する方法（特開平７−１
１６４６６号公報、特開平７−１３２２１１号公報）等
が挙げられる。しかし、これらの分解剤は、フッ化炭素
の処理とともに消費され、少なくとも理論量は補給しな
ければいけない点から、極めて不経済であり、大量処理
には不向きであることは言うまでもない。これら従来の
フッ化炭素分解法の問題点を解決するために、フッ化炭
素の触媒的分解法が検討されている。
【０００６】フッ化炭素の触媒分解法としては、特公平
６−１０４１８３号公報が挙げられる。本公報に開示さ
れた触媒では、塩素を含むフッ化炭素類（Ｃ2Cl3Ｆ3 、
ＣCl2 Ｆ2 、ＣＨClＦ2 、ＣClＦ3 等）は１００％分解
している。しかし、パーフルオロカーボンであるＣＦ4
に対しては、高温においても分解活性を示さず、パーフ
ルオロカーボンの触媒的分解の困難さを示している。
【０００７】ＮＦ3 やＳＦ6 の分解方法についても、フ
ッ化炭素と同様な手法が提案されている。すなわち、Ｎ
Ｆ3 の分解方法としては、Chem.Mater.(1996),8(6)1217
-1221 ではゼオライトでの分解、ＤＥ４３１１０６１号
公報や特開昭６２−２７３０３９号公報ではアルミナや
シリカでの分解、特開平５−１５７４０号公報では酸化
マグネシウムを担持した活性炭での分解が記されてい
る。また、ＳＦ6 の分解に関しては、Cim.,Betons,Plat
res Chaux(1991),791,218-20 (CA;116:240708)にセメン
トキルンでの分解、特開平７−１１６４６６号公報で
は、フッ化水素処理無機酸化物からなる分解剤での処理
が記載されている。しかしながら、これらのＮＦ3 やＳ
Ｆ6 の分解においても、フッ化炭素の分解と同様の問題
点があり、同時に触媒的分解法に有効な触媒が求められ
ている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、パーフ
ルオロ化合物の触媒的分解法に対して、十分な活性と寿
命を持つ触媒は、未だ報告されていない。本発明者らは
この点に鑑み、比較的低温条件下でパーフルオロ化合物
の分解に対して十分な活性を示し、且つ寿命の長い触媒
を用いたパーフルオロ化合物の分解方法を提案するもの
である。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
鋭意研究した結果、気相で、パーフルオロ化合物を水蒸
気、または水蒸気と分子状酸素の存在下、リン酸塩を触
媒に用いることを特徴とするパーフルオロ化合物の分解
方法を見出し、本発明を完成した。
【００１０】以下、本発明について詳細に説明する。本
発明においてパーフルオロ化合物とは、炭素、窒素また
は硫黄を含有するパーフルオロ化合物を指す。炭素を含
有するパーフルオロ化合物の具体例としては、テロラフ
ルオロメタン（ＣＦ4 ）、ヘキサフルオロエタン（Ｃ2
Ｆ6 ）、テロラフルオロエテン（Ｃ2Ｆ4 ）、オクタフ
ルオロプロパン（Ｃ3 Ｆ8 ）、ヘキサフルオロプロペン
（Ｃ3Ｆ8 ）、デカフルオロブタン（Ｃ4 Ｆ10）、シク
ロオクタフルオロブタン（Ｃ4Ｆ8 ）、オクタフルオロ
ブテン（Ｃ4 Ｆ8 ）等のパーフルオロカーボンが挙げら
れるが、これらに限定されるものではない。好ましく
は、炭素数１〜６の化合物が良い。
【００１１】窒素または硫黄を含有するパーフルオロ化
合物の具体例としては、ＮＦ3 、ＳＦ6 、ＳＦ4 、Ｓ4
Ｆ10等が挙げられるが、これらに限定されるものではな
い。本発明において用いることのできるパーフルオロ化
合物は、単一化合物でも混合物でも良く、また、パーフ
ルオロ化合物以外のフッ化化合物が含まれていても良
い。パーフルオロ化合物以外のフッ化化合物としては、
例えば、クロロフルオロカーボン類（以下「ＣＦＣ」と
略）、ハイドロクロロフルオロカーボン類（以下「ＨＣ
ＦＣ」と略）、ハイドロフルオロカーボン類（以下「Ｈ
ＦＣ」と略）等が挙げられるが、これらに限定されるも
のではない。
【００１２】本発明における触媒について説明する。本
発明の触媒に用いられるリン酸塩の例としては、アルミ
ニウム、ホウ素、アルカリ土類金属、チタン、ジルコニ
ウム、ランタン、セリウム、イットリウム、希土類金
属、バナジウム、ニオブ、クロム、マンガン、鉄、コバ
ルト、ニッケルからなる群より選ばれた、少なくとも１
種の元素と、リンとの酸化物とからなる塩が挙げられ
る。好ましくは、主成分になるリン酸塩はリン酸アルミ
ニウム、リン酸ホウ素、リン酸チタン、リン酸ジルコニ
ウム、リン酸クロムからなる群より選ばれた、少なくと
も１種または２種以上の複合種である。複合種とは、リ
ン酸ジルコニウムとリン酸チタンの複合、リン酸アルミ
ニウムとリン酸クロムの複合などを指す。より好ましく
は、リン酸アルミニウムである。
【００１３】触媒の調製方法には、特に制限はない。好
ましくは、一般的な沈殿方法が良い。具体的な調製方法
としては、例えば、金属の硝酸塩（複数の原料塩の場合
はそれぞれの原料塩の溶液を調製する）とリン酸の混合
水溶液に、希釈アンモニア水を滴下して中和沈殿させ、
必要に応じて熟成放置する。その後、水洗し洗浄水の電
導度などで十分に水洗した事を確認する。場合によって
は、スラリーの一部を取り含有するアルカリ金属を測定
する。更に濾過し乾燥する。乾燥する温度に特に制限は
ない。好ましくは８０℃〜１５０℃が良い。更に好まし
くは１００℃〜１３０℃である。得られた乾燥体は粉砕
し粒度を揃えるか、更に粉砕し成型する。その後、５０
０℃〜１５００℃の条件で空気焼成する。好ましくは８
００℃〜１４００℃、更に好ましくは９００℃〜１２０
０℃で空気焼成を行うことが良い。
【００１４】焼成時間は温度にもよるが１時間〜５０時
間程度で、好ましくは２時間〜２４時間程度である。高
温での長時間焼成には、触媒の結晶化を促進すること、
経済的に意味がない等の問題点がある。また、短時間の
焼成では、その効果が薄い。触媒には、他の金属成分が
含まれていても良い。他の金属成分の具体例としてはセ
リウム、ランタン、イットリウム、クロム、鉄、コバル
ト、ニッケル等が挙げられるが、これらに限定されるも
のではない。好ましくはセリウム、鉄、イットリウムで
ある。
【００１５】上記の金属成分の添加の操作は、金属塩で
行うことが好ましく、前記金属の硝酸塩、塩化物、酸化
物、リン酸塩などが好ましい。中でも、硝酸塩が調製し
やすく好ましい。添加量に特に制限はないが、一般には
リン１グラム原子に対し１グラム原子以下であり、好ま
しくは０．５グラム原子以下である。より好ましくは
０．３グラム原子以下である。これらの金属成分の添加
は、触媒調製時に行っても良く、また、触媒焼成後のリ
ン酸塩に行っても良い。得られた触媒は、塩の種類及び
調製方法や条件により物性が異なる。例えば本発明にお
いて用いるリン酸アルミニウムとしては、調製直後のＢ
ＥＴ表面積は５０ｍ2 ／ｇ以上、好ましくは８０ｍ2 ／
ｇ以上である。Ｘ線回折（以下「ＸＲＤ」と略）で観測
するとアモルファスな状態で、場合により一部ＡｌＰＯ
4 のピークを有するものでも良い。触媒は、そのまま使
用しても、また、担体に担持した状態で使用しても良
い。担体としては、アルミナ、炭化珪素、窒化珪素、活
性炭等が挙げられるが、これらに限定されるものではな
い。
【００１６】次に、本発明に用いるガスの組成について
述べる。供給するガス中のパーフルオロ化合物の割合
は、供給するガス全体に対して０．０１ｍｏｌ％〜５０
ｍｏｌ％の範囲が好ましい。より好ましくは０．０５ｍ
ｏｌ％〜３０ｍｏｌ％の範囲である。あまり少なすぎる
と経済的に不利であり、多すぎると未反応が多くなり、
触媒劣化を促進する。また、供給するガス中の水蒸気の
割合は、供給するガス全体に対して５ｍｏｌ％〜８０ｍ
ｏｌ％の範囲が好ましい。より好ましくは２０ｍｏｌ％
〜７０ｍｏｌ％の範囲である。少なすぎるとフッ化炭素
の場合は炭酸ガスへの選択率が低下し寿命劣化が早くあ
らわれ、一方多すぎると経済的に不利になる。
【００１７】また、場合によっては、供給するガス中に
酸素を含んでも良い。酸素の量はパーフルオロ化合物の
種類、処理量及び反応温度によるが、供給するガス全体
に対して０ｍｏｌ％〜３０ｍｏｌ％の範囲が好ましい。
より好ましくは１ｍｏｌ％〜２０ｍｏｌ％の範囲であ
る。多すぎると触媒の結晶化を促進して、比表面積が小
さくなり活性が低下する等の問題を生じる恐れがある。
【００１８】供給するガスのパーフルオロ化合物、酸
素、水蒸気の比率は、該化合物の種類、処理量、温度、
触媒等で変わるが、一般的にはパーフルオロ化合物：酸
素：水蒸気（ｍｏｌ比）＝１：１〜７０：１〜５００が
好ましい。より好ましくは、パーフルオロ化合物：酸
素：水蒸気（ｍｏｌ比）＝１：１〜４０：１〜１５０で
ある。供給するガスの酸素源として、空気を用いること
も可能である。その場合、窒素が反応器内に同伴される
が、問題にはならない。場合によっては、発熱反応なの
で、窒素が希釈ガスとして効果を示すことが期待され
る。更に積極的に分解後生成した炭酸ガス、窒素ガスな
どを反応系に循環することも可能である。また、ヘリウ
ム、アルゴン等を希釈ガスとして用いることも可能であ
る。
【００１９】本発明における分解反応条件について説明
する。反応温度は、分解すべきパーフルオロ化合物の種
類にもよるが、２００℃〜１２００℃が好ましい。より
好ましくは３００℃〜１０００℃である。最も好ましい
のは３５０℃〜８５０℃である。１２００℃以上の高温
で分解を行うと、触媒寿命が急激に低下する等の問題が
生ずる恐れがある。また、２００℃以下では、分解しな
いパーフルオロ化合物の割合が増加し、不経済である。
触媒当たりの供給ガス量である空間速度（space veloci
ty）は１０ｈｒ-1〜１００００ｈｒ-1の範囲が好まし
い。より好ましくは１００ｈｒ-1〜５０００ｈｒ-1の範
囲である。
【００２０】反応の形式には特に制限はないが、気相流
通固定床が一般的である。流動層形式でも良い。反応器
の材質は、処理量と原料種類によるが、少ない処理量で
あればＳＵＳ３１６でも可能である。好ましくはインコ
ネル、モネル、ハステロイＣ、ニッケルなどを用いるこ
とが良い。連続流通方式で長時間反応させると、触媒は
わずかながらも活性低下し、転化率が低下してくる。そ
の場合、反応温度や接触時間を調整し転化率を一定に保
つことは有効な手段である。酸素量を制御する方法もあ
りえる。
【００２１】
【実施例】以下、本発明を実施例により具体的に説明す
るが、本発明はこの実施例に限定されるものではない。（触媒調製例１（リン酸アルミニウムの調製法）） 室温
において、２リットルビーカーで硝酸アルミニウム（Ａ
ｌ（ＮＯ3 ）3 ・９Ｈ2 Ｏ）１５０ｇ、８５％リン酸水
溶液４６ｇ、純水８００ｇを混合し水溶液Ａを調製し
た。別の５リットルビーカーに純水１０００ｇを計り取
り、撹拌装置をセットした。この純水を入れた５リット
ルビーカーに、水溶液Ａと、水溶液Ａを中和しうる量の
１０％アンモニア水とを、同時に１０時間かけて滴下し
ｐＨ７に調整した。できた沈殿を１６時間放置熟成し
た。沈殿を濾取した後、純水で濾過洗浄を、濾液の電導
度が１ｍｓ／ｃｍになるまで繰り返した。得た固形物を
乾燥器に入れ、１２０℃にて２０時間乾燥した。更に１
０００℃の温度にて５時間、空気焼成した。得られた固
形物を粉砕して、１４〜３２メッシュに整粒し触媒とし
て用いた。ＢＥＴ比表面積は１３２ｍ2 ／ｇ、ＸＲＤで
はアモルファスであることがわかった。
【００２２】（触媒調製例２（リン酸マグネシウムの調
製法））硝酸アルミニウムに変えて、硝酸マグネシウム
（Ｍｇ（ＮＯ3 ）2 ・６Ｈ2 Ｏ）１０３ｇを用いた他
は、触媒調製例１と同様に調製した。ＢＥＴ比表面積は
６３ｍ2 ／ｇ、ＸＲＤではアモルファスであることがわ
かった。
【００２３】（触媒調製例３（リン酸カルシウムの調製
法））硝酸アルミニウムに変えて、硝酸カルシウム（Ｃ
ａ（ＮＯ3 ）2 ・４Ｈ2 Ｏ）９４ｇを用いた他は、触媒
調製例１と同様に調製した。ＢＥＴ比表面積は５１ｍ2
／ｇ、ＸＲＤではアモルファスであることがわかった。
【００２４】（触媒調製例４（リン酸ホウ素の調製
法））磁製蒸発皿に８５％リン酸水溶液４６．１ｇを計
り取り、これにホウ酸２４．７ｇを少量ずつ加えた。全
てのホウ酸を加えた後、撹拌しながら、白色の半固体に
なるまで８０℃で加熱した。次いで１００℃で２４時間
乾燥し、さらに空気中で４００℃、３時間焼成を行っ
た。ＢＥＴ比表面積は２４ｍ2 ／ｇであった。
【００２５】（触媒調製例５〜１０（複合リン酸塩の調
製））硝酸アルミニウムに変えて、表１に示した金属塩
Ａ及びＢを合わせて用いた他は、触媒調製例１と同様に
調製した。
【００２６】
【表１】
【００２７】（触媒調製例１１（リン酸アルミニウムに
金属を添加した調製））硝酸セリウム（Ｃｅ（ＮＯ3 ）
3 ・６Ｈ2 Ｏ）１５．５ｇを純水５０ｇに溶解した水溶
液に、触媒調製例１で得たリン酸アルミニウム５０ｇ
を、室温下で撹拌しつつ少量ずつ加えた。リン酸アルミ
ニウムの全量を加え終わった後、徐々に室温から８０℃
まで水浴で加熱し、含浸乾固した。次いで１２０℃で２
０時間乾燥し、さらに空気中で１０００℃、５時間焼成
を行った。得られた固形物を一度打錠し、その後粉砕し
て、１４〜３２メッシュに整粒し触媒として用いた。
【００２８】（実施例１〜１６（反応例））反応には、
常圧固定床流通型反応装置を用いた。反応管は内径１６
ｍｍのステンレス管に内径１３ｍｍのステンレス管を連
結させて使用した。窒素、酸素、フッ化炭素のテロラフ
ルオロメタン（ＣＦ4 ）の３種類のガスをミキサーで混
合した後、反応管中の触媒層に送り込んだ。また、水は
マイクロフィーダーで注入した。反応後のガスは、まず
分解で生成した酸をアルカリトラップで捕捉し、酸を除
去したガスは、ＴＣＤガスクロマトグラフィーにて分析
した。触媒調製例１〜１１にて調製した触媒を上記反応
管に１３．５ｇ仕込み、パーフルオロ化合物としてはＣ
Ｆ4 を用い、供給ガスの組成は、ＣＦ4 ：Ｏ2 ：Ｎ2：
Ｈ2 Ｏ＝０．５：９．３：３７．４：５７．８（ｍｌ／
分）（ＣＦ4 は０．５ｍｏｌ％、Ｈ2 Ｏは５５ｍｏｌ
％、残りは空気）とした。反応温度と結果を表２、表３
に示す。
【００２９】
【表２】
【００３０】
【表３】
【００３１】（比較例１（水蒸気の効果））触媒調製例
１にて調製した触媒を１３．５ｇ仕込み、供給ガス組成
は、ＣＦ4:O2 ：Ｎ2 ：Ｈ2 Ｏ＝０．５：２０．９：８
３．６：０（ｍｌ／分）とした。反応温度と結果を表４
に示す。
【００３２】
【表４】
【００３３】（実施例１７（酸素の効果））酸素を供給
しない系での触媒寿命を検討した。触媒調製例１の触媒
で反応温度は７００℃、供給ガス組成は、ＣＦ4 ：Ｏ
2 ：Ｎ2 ：Ｈ2 Ｏ＝０．５：０：４６．７：５７．８
（ｍｌ／分）とした。ＣＦ4 転化率は２１．１％であっ
た。
【００３４】（実施例１８（触媒作用））実施例２の条
件で１００時間反応を継続して、触媒を取り出したとこ
ろ、ＸＲＤで見る限り、ＡｌＰＯ4 の結晶化が少し進行
していたものの、ＡｌＦ3 の結晶は全く見られなかっ
た。
【００３５】（実施例１９（ヘキサフルオロエタンの分
解反応））触媒調製例１の触媒で反応温度は７００℃、
供給ガス組成は、Ｃ2 Ｆ6 ：Ｏ2：Ｎ2 ：Ｈ2 Ｏ＝０．
５：９．３：３７．４：５７．８（ｍｌ／分）とした。
Ｃ2 Ｆ6 の転化率は４４．６％であった。
【００３６】（実施例２０（シクロオクタブタンの分
解））触媒調製例７の触媒で反応温度６５０℃、供給ガ
ス組成は、Ｃ4 Ｆ8 ：Ｏ2 ：Ｎ2 ：Ｈ2 Ｏ＝０．２５：
９．３：３７．４：５７．８（ｍｌ／分）とした。Ｃ4
Ｆ8 の転化率は定量的（ほぼ１００％）であった。
【００３７】（実施例２１（ＨＦＣガスとＣＦ4 の混合
ガス））触媒調製例７の触媒で反応温度７００℃で、Ｃ
Ｆ4 の代わりに１３４ａ（ＣＦ3 ＣＨ2 Ｆ）、１４３ａ
（ＣＦ3 ＣＨ3 ）、ＣＦ4 のフッ化炭素混合物（ＨＦＣ
が約６０％の組成）を、また窒素ガスの代わりに炭酸ガ
ス（ＣＯ2 ）を使用した。供給ガス組成は、フッ化炭素
混合物：Ｏ2 ：ＣＯ2 ：Ｈ2 Ｏ＝０．２５：９．３：３
７．４：５７．８（ｍｌ／分）とした。フッ化炭素混合
物の転化率は定量的（ほぼ１００％）であった。
【００３８】（実施例１７（ＮＦ3 の分解））触媒調製
例７の触媒で反応温度３５０℃、供給ガス組成は、ＮＦ
3 ：Ｏ2 ：Ｎ2 ：Ｈ2 Ｏ＝０．２５：９．３：３７．
４：５７．８（ｍｌ／分）とした。ＮＦ3 の転化率は定
量的（ほぼ１００％）であった。
【００３９】（実施例１８（ＳＦ6 の分解））触媒調製
例７の触媒で反応温度６５０℃、供給ガス組成は、ＳＦ
6 ：Ｏ2 ：Ｎ2 ：Ｈ2 Ｏ＝０．２５：９．３：３７．
４：５７．８（ｍｌ／分）とした。ＳＦ6 の転化率は定
量的（ほぼ１００％）であった。
【００４０】
【発明の効果】本発明によれば、パーフルオロ化合物を
水蒸気、場合によっては酸素の存在下、リン酸塩触媒を
用いることで分解反応を効率良く、長寿命に実施するこ
とができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 滝田 祐作 大分県大分市宮崎台３−４−33

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 気相で、水蒸気、または水蒸気と分子状
    酸素の存在下、パーフルオロ化合物を分解する反応にお
    いて、リン酸塩を触媒に用いることを特徴とするパーフ
    ルオロ化合物の分解方法。
  2. 【請求項２】 リン酸塩がアルミニウム、ホウ素、アル
    カリ土類金属、チタン、ジルコニウム、ランタン、セリ
    ウム、イットリウム、希土類金属、バナジウム、ニオ
    ブ、クロム、マンガン、鉄、コバルト、ニッケルからな
    る群より選ばれた少なくとも１種の元素と、リンの酸化
    物とからなることを特徴とする請求項１記載のパーフル
    オロ化合物の分解方法。
  3. 【請求項３】 リン酸塩がリン酸アルミニウム、リン酸
    ホウ素、リン酸チタン、リン酸ジルコニウム、リン酸ク
    ロムからなる群より選ばれた少なくとも１種または複合
    種を含むことを特徴とする、請求項１〜２のいずれかに
    記載のパーフルオロ化合物の分解方法。
  4. 【請求項４】 供給ガス中の水分濃度が、５ｍｏｌ％〜
    ８０ｍｏｌ％の範囲であることを特徴とする請求項１〜
    ３のいずれかに記載のパーフルオロ化合物の分解方法。
  5. 【請求項５】 供給ガス中の水分濃度が２０ｍｏｌ％〜
    ７０ｍｏｌ％の範囲であることを特徴とする請求項１〜
    ３のいずれかに記載のパーフルオロ化合物の分解方法。
  6. 【請求項６】 分解生成ガスの一部、または全部を供給
    ガス中に戻すことを特徴とする請求項１〜５のいずれか
    に記載のパーフルオロ化合物の分解方法。
  7. 【請求項７】 供給ガス中の分子状酸素の濃度が０ｍｏ
    ｌ％〜３０ｍｏｌ％である請求項１〜６のいずれかに記
    載のパーフルオロ化合物の分解方法。
  8. 【請求項８】 供給ガス中の分子状酸素の濃度が１ｍｏ
    ｌ％〜２０ｍｏｌ％である請求項１〜６のいずれかに記
    載のパーフルオロ化合物の分解方法。
  9. 【請求項９】 供給ガス中のパーフルオロ化合物の濃度
    が０. ０１ｍｏｌ％〜５０ｍｏｌ％であることを特徴と
    する請求項１〜８のいずれかに記載のパーフルオロ化合
    物の分解方法。
  10. 【請求項１０】 反応温度が３００℃〜１０００℃であ
    ることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載のパ
    ーフルオロ化合物の分解方法。
  11. 【請求項１１】 パーフルオロ化合物が、炭素、硫黄ま
    たは窒素を含むパーフルオロ化合物である請求項１〜１
    ０のいずれかに記載のパーフルオロ化合物の分解方法。
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