JPH10247474A - 平面照明灯及びその製造方法 - Google Patents

平面照明灯及びその製造方法

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JPH10247474A
JPH10247474A JP9328763A JP32876397A JPH10247474A JP H10247474 A JPH10247474 A JP H10247474A JP 9328763 A JP9328763 A JP 9328763A JP 32876397 A JP32876397 A JP 32876397A JP H10247474 A JPH10247474 A JP H10247474A
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flat
substrate
lamp according
discharge
electrode
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JP9328763A
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English (en)
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Suehiro Nakamura
末広 中村
Hiroshi Mori
啓 森
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02Details
    • H01J61/30Vessels; Containers
    • H01J61/305Flat vessels or containers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2211/00Plasma display panels with alternate current induction of the discharge, e.g. AC-PDPs
    • H01J2211/20Constructional details
    • H01J2211/22Electrodes
    • H01J2211/24Sustain electrodes or scan electrodes
    • H01J2211/245Shape, e.g. cross section or pattern

Landscapes

  • Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
  • Discharge Lamp (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 平面照明灯において、薄型化を図ると共に、
明るい照明が得られるようにする。 【解決手段】 第1の基板22に複数の放電用の電極2
3,24が、電極間隔を50μm以下として形成され、
第1の基板22に対向する第2の基板25に蛍光体層2
6が形成され、第1及び第2の基板22及び25により
電極23,24及び蛍光体層26を内側とする密封容器
28が形成され、密封容器28内に封入ガス圧が0.8
〜3.0気圧となるように所定ガスが封入されて成り、
プラズマ放電により紫外線を発生させてこの紫外線によ
って蛍光体層26を発光させて照明光とするように構成
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば通常の照
明、或いは液晶表示等のバックライト等に適用し得る平
面照明灯に関する。
【0002】
【従来の技術】照明灯としては、各家庭で使用されてい
る蛍光灯、また液晶表示等におけるバックライトとして
のエレクトロルミネセンス(EL)等が知られている。
一方、プラズマ放電を利用した表示装置が知られてい
る。
【0003】図14及び図15は、プラズマ表示装置の
一例を示す。このプラズマ表示装置1は、内面に複数の
帯状電極、即ち透明電極からなる陽極2と陰極3が交互
に配列形成された透明基板例えばガラス基板4と、内面
に陽極2及び陰極3と直交する方向に延びる複数の帯状
のアドレス電極5及び蛍光体層6が形成されてなる背面
基板7とからなる。
【0004】両基板4及び7は、その陽極2及び陰極3
の面と、アドレス電極5及び蛍光体層6の面が内側とな
るように相対向し、周辺のスペーサ9を介して気密封止
され、密封容器10を構成している。
【0005】密封容器10内では、アドレス電極5間に
位置するように陽極2及び陰極3と直交する帯状の隔壁
11が設けられ、この隔壁11によって、各アドレス電
極5及び蛍光体層6が区画されている。
【0006】このプラズマ表示装置1においては、対を
なす陽極2及び陰極3間に放電維持電圧が印加され、例
えば陰極3とアドレス電極6間に放電開始電圧が印加さ
れると、之によって対応する対の陽極2及び陰極3間で
放電が生ずる。この放電によってプラズマ13が発生
し、このプラズマ13からの紫外線14によって蛍光体
層6が励起発光して所要の表示がなされる。通常、この
ようなプラズマ表示装置1における電極間隔、即ち陽極
2と陰極3との間隔は、精々100μm〜200μm程
度とされている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところで、照明灯につ
いてみると、従来の蛍光灯は円筒状であり、体積がある
ため、薄型にするには限界がある。また、エレクトロル
ミセンス(EL)は、明るさと色調において難点があ
る。一方、プラズマ放電を利用することも考えられる
が、明るさの点で難点がある。
【0008】本発明は、上述の点に鑑み、明るく且つ薄
型化を可能にした平面照明灯及びその製造方法を提供す
るものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明に係る平面照明灯
は、同一平面上に形成した複数の電極の電極間隔を50
μm以下とし、封入ガス圧を0.8〜3.0気圧とし
て、プラズマ放電により紫外線を発生させ、この紫外線
によって蛍光体を発光させて照明光とした構成とする。
【0010】この構成においては、薄い平面照明灯が得
られる。塗布する蛍光体の種類を選択することにより、
任意の色温度の照明が得られる。電極間隔を50μm以
下と小さくすることにより、封入ガス圧を0.8〜3.
0気圧と大きくすることができ、この結果、紫外線が多
量に発生し、蛍光体が明るく輝き、高輝度の照明が得ら
れる。
【0011】本発明に係る平面照明灯の製造方法は、放
電用電極を形成した第1の基板と、蛍光体層を形成した
第2の基板とを、電極と蛍光体層が内側となるように配
して密封容器を形成し、この密封容器内に気圧0.8〜
3.0の放電用ガスを封入する。
【0012】この製法により、高輝度の照明で且つ薄型
の平面照明灯を製造することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】第1の本発明に係る平面照明灯
は、第1の基板に複数の放電用の電極が、電極間隔を5
0μm以下として形成され、第1の基板に対向する第2
の基板に蛍光体層が形成され、第1及び第2の基板によ
り電極及び蛍光体層を内側とする密封容器が構成され、
この密封容器内に封入ガス圧が0.8〜3.0気圧とな
るようにHe,Ne,Ar,Xe,Krのうちの1種以
上のガスが封入された構成とする。
【0014】第2の本発明に係る平面照明灯は、第1の
発明の平面照明灯において、放電用の電極表面に誘電体
層、又は、誘電体層及び保護膜を形成した構成とする。
【0015】第3の本発明に係る平面照明灯は、第2の
発明の平面照明灯において、保護膜をMgOで構成した
構成とする。
【0016】第4の本発明に係る平面照明灯は、第1の
発明の平面照明灯において、電極の電圧印加を直流駆動
又は交流駆動とした構成とする。
【0017】第5の本発明に係る平面照明灯は、第2又
は第3の発明の平面照明灯において、電極への電圧印加
を交流駆動とした構成とする。
【0018】第6の本発明に係る平面照明灯は、第1の
発明の平面照明灯において、直流駆動では陰極となる電
極を酸化金属で形成し、陽極となる電極を金属で形成し
た構成とする。
【0019】第7の本発明に係る平面照明灯は、第1の
発明の平面照明灯において、交流駆動では陰極及び陽極
となる電極ともに酸化金属又は金属で形成した構成とす
る。
【0020】第8の本発明に係る平面照明灯は、第5の
発明において、陰極及び陽極となる電極ともに酸化金属
又は金属で形成した構成とする。
【0021】第9の本発明に係る平明照明灯は、第1、
第2、第3、第4、第5、第6、第7又は第8の発明の
平面照明灯において、密封容器内にHgガスを混合した
構成とする。
【0022】第10の本発明に係る平面照明灯は、第
1、第2、第3、第4、第5、第6、第7、第8又は第
9の発明の平面照明灯において、放電用の電極における
電極対のピッチをPとし、放電用の電極と蛍光体層間の
距離をLとし、放電角をθとするとき、 P≦2Ltanθ に設定した構成とする。
【0023】第11の本発明に係る平面照明灯は、第
1、第2、第3、第4、第5、第6、第7、第8、第9
又は第10の発明の平面照明灯において、同一平面上に
形成された対をなす放電用の電極の互いの対向面が非直
線状に形成された構成とする。
【0024】第12の本発明に係る平面照明灯の製造方
法は、第1の基板に放電用電極を形成する工程と、第2
の基板に蛍光体層を形成する工程と、放電用電極と蛍光
体層とが内側となるように、第1の基板と第2の基板を
配置して密封容器を構成する工程と、密封容器内に圧力
が0.8〜3.0気圧になるように放電用ガスを封入す
る工程を有する。
【0025】第13の本発明に係る平面照明灯の製造方
法は、第1の基板に放電用電極を形成する工程と、放電
電極上に誘電体層、又は誘電体層及び保護膜を形成する
工程と、第2の基板に蛍光体層を形成する工程と、放電
用電極と蛍光体層とが内側となるように、第1の基板と
第2の基板を配置して密封容器を構成する工程と、密封
容器内に圧力が0.8〜3.0気圧になるように放電用
ガスを封入する工程を有する。
【0026】第14の本発明に係る平面照明灯は、第1
の基板に複数の放電用の電極が、該電極間隔を50μm
以下として形成され、第1の基板に対向する第2の基板
に反射膜と蛍光体層が形成され、第1及び第2の基板に
より、電極及び蛍光体層を内側とする密封容器が構成さ
れ、密封容器内に封入ガス圧が0.8〜3.0気圧とな
るようにHe,Ne,Ar,Xe,Krのうちの1種以
上のガスが封入されてた構成とする。
【0027】第15の本発明に係る平面照明灯は、第1
4の発明の平面照明灯において、反射膜が第2の基板と
蛍光体層との間に形成された構成とする。
【0028】第16の本発明に係る平面照明灯は、第1
4又は第15の発明の平面照明灯において、反射膜が高
反射率材料で形成された構成とする。
【0029】第17の本発明に係る平面照明灯は、第1
6の発明の平面照明灯において、高反射率材料がアルミ
ニウムである構成とする。
【0030】第18の本発明に係る平面照明灯は、第1
4、第15、第16又は第17の発明の平面照明灯にお
いて、放電用の電極表面に誘電体層、又は、誘電体層及
び保護膜を形成した構成とする。
【0031】第19の本発明に係る平面照明灯は、第1
8の発明の平面照明灯において、保護膜をMgOで形成
した構成とする。
【0032】第20の本発明に係る平面照明灯は、第1
4、第15、第16又は第17の発明の平面照明灯にお
いて、電極への電圧印加を直流駆動又は交流駆動とした
構成とする。
【0033】第21の本発明に係る平面照明灯は、第1
8又は第19の発明の平面照明灯において、電極への電
圧印加を交流駆動とした構成とする。
【0034】第22の本発明に係る平面照明灯は、第1
4、第15、第16又は第17の発明の平面照明灯にお
いて、直流駆動では陰極となる電極を酸化金属で形成
し、陽極となる電極を金属で形成した構成とする。
【0035】第23の本発明に係る平面照明灯は、第1
4、第15、第16又は第17の発明の平面照明灯にお
いて、交流駆動では陰極及び陽極となる電極ともに酸化
金属又は金属で形成した構成とする。
【0036】第24の本発明に係る平面照明灯は、第2
1の発明において、陰極及び陽極となる電極ともに酸化
金属又は金属で形成した構成とする。
【0037】第25の本発明に係る平面照明灯は、第1
4、第15、第16、第17、第18、第19、第2
0、第21、第22、第23又は第24の発明の平面照
明灯において、密封容器内にHgガスを混合した構成と
する。
【0038】第26の本発明に係る平面照明灯は、第1
4、第15、第16、第17、第18、第19、第2
0、第21、第22、第23、第24又は第25の発明
の平面照明灯において、放電用の電極における電極対の
ピッチをPとし、放電用の電極と蛍光体層間の距離をL
とし、放電角をθとするとき、 P≦2Ltanθ に設定した構成とする。
【0039】第27の本発明に係る平面照明灯は、第1
4、第15、第16、第17、第18、第19、第2
0、第21、第22、第23、第24、第25又は第2
6の発明の平面照明灯において、同一平面上に形成され
た対をなす放電用の電極の互いの対向面が非直線状に形
成された構成とする。
【0040】第28の本発明に係る平面照明灯の製造方
法は、第1の基板に放電用電極を形成する工程と、第2
の基板に反射膜及び蛍光体層が形成する工程と、放電用
電極と蛍光体層とが内側となるように、第1の基板と第
2の基板を配置して密封容器を構成する工程と、密封容
器内に圧力が0.8〜3.0気圧になるように放電用ガ
スを封入する工程を有する。
【0041】第29の本発明に係る平面照明灯の製造方
法は、第1の基板に放電用電極を形成する工程と、放電
用電極上に誘電体層、又は誘電体層及び保護膜を形成す
る工程と、第2の基板に反射膜及び蛍光体層を形成する
工程と、放電用電極と蛍光体層とが内側となるように、
第1の基板と第2の基板を配置して密封容器を構成する
工程と、密封容器内に圧力が0.8〜3.0気圧になる
ように放電用ガスを封入する工程を有する。
【0042】第30の本発明に係る平面照明灯は、第1
の基板に反射膜と、複数の放電用の電極が該電極間隔を
50μm以下として形成され、第1の基板に対向する第
2の基板に蛍光体層が形成され、第1及び第2の基板に
より電極及び蛍光体層を内側とする密封容器が構成さ
れ、この密封容器内に封入ガス圧が0.8〜3.0気圧
となるようにHe,Ne,Ar,Xe,Krのうちの1
種以上のガスが封入された構成とする。
【0043】第31の本発明に係る平面照明灯は、第3
0の発明の平面照明灯において、反射膜が第1の基板と
放電用の電極との間に形成されると共に、反射膜と放電
用の電極との間に絶縁膜が形成された構成とする。
【0044】第32の本発明に係る平面照明灯は、第3
0又は第31の発明の平面照明灯において、反射膜が高
反射率材料で形成された構成とする。
【0045】第33の本発明に係る平面照明灯は、第3
2の発明の平面照明灯において、高反射率材料がアルミ
ニウムである構成とする。
【0046】第34の本発明に係る平面照明灯は、第3
0、第31、第32又は第33の発明の平面照明灯にお
いて、放電用の電極表面に誘電体層、又は、誘電体層及
び保護膜を形成した構成とする。
【0047】第35の本発明に係る平面照明灯は、第3
4の発明の平面照明灯において、保護膜をMgOで形成
した構成とする。
【0048】第36の本発明に係る平面照明灯は、第3
0、第31、第32又は第33の発明の平面照明灯にお
いて、電極への電圧印加を直流駆動又は交流駆動とした
構成する。
【0049】第37の本発明に係る平面照明灯は、第3
4又は第35の発明の平面照明灯において、電極への電
圧印加を交流駆動とした構成する。
【0050】第38の本発明に係る平面照明灯は、第3
0、第31、第32又は第33の発明の平面照明灯にお
いて、直流駆動では陰極となる電極を酸化金属で形成
し、陽極となる電極を金属で形成した構成とする。
【0051】第39の本発明に係る平面照明灯は、第3
0、第31、第32又は第33の発明の平面照明灯にお
いて、交流駆動では陰極及び陽極となる電極ともに酸化
金属又は金属で形成した構成とする。
【0052】第40の本発明に係る平面照明灯は、第3
7の発明において、陰極及び陽極となる電極ともに酸化
金属又は金属で形成した構成とする。
【0053】第41の本発明に係る平面照明灯は、第3
0、第31、第32、第33、第34、第35、第3
6、第37、第38、第39又は第40の発明の平面照
明灯において、密封容器内にHgガスを混合した構成と
する。
【0054】第42の本発明に係る平面照明灯は、第3
0、第31、第32、第33、第34、第35、第3
6、第37、第38、第39、第40又は第41の発明
の平明細書照明灯において、放電用の電極における電極
対のピッチをPとし、放電用の電極と蛍光体層間の距離
をLとし、放電角をθとするとき、 P≦2Ltanθ に設定した構成とする。
【0055】第43の本発明に係る平面照明灯は、第3
0、第31、第32、第33、第34、第35、第3
6、第37、第38、第39、第40、第41又は第4
2の発明の平面照明灯において、同一平面上に形成され
た対をなす放電用の電極の互いの対向面が非直線状に形
成された構成とする。
【0056】第44の本発明に係る平面照明灯の製造方
法は、第1の基板に反射膜を形成し、反射膜上に絶縁膜
を介して放電用電極を形成する工程と、第2の基板に蛍
光体層を形成する工程と、放電用電極と蛍光体層とが内
側となるように、第1の基板と第2の基板を配置して密
封容器を構成する工程と、密封容器内に圧力が0.8〜
3.0気圧になるように放電用ガスを封入する工程とを
有する。
【0057】本発明に係る平面照明灯の製造方法は、第
1の基板に反射膜を形成し、反射膜上に絶縁膜を介して
放電用電極を形成する工程と、放電用電極上に誘電体
層、又は誘電体層及び保護膜を形成する工程と、第2の
基板に蛍光体層を形成する工程と、放電用電極と蛍光体
層とが内側となるように、第1の基板と第2の基板を配
置して密封容器を構成する工程と、密封容器内に圧力が
0.8〜3.0気圧になるように放電用ガスを封入する
工程とを有する。
【0058】以下、図面を参照して本発明の実施の形態
を説明する。
【0059】図1及び図2は、本発明の一実施の形態の
原理的な構成を示す。この平面照明灯21は、図1及び
図2に示すように、第1の基板例えばガラス基板22の
一面22a上に、対をなす放電用の電極、即ち陽極23
及び陰極24を形成し、この第1のガラス基板22に対
向する第2の基板例えばガラス基板25の一面25a上
に蛍光体層26を塗布形成し、之等第1及び第2のガラ
ス基板22及び25をその電極即ち陽極23及び陰極2
4と、蛍光体層26が内側となるように相対向して配
し、スペーサ27を介して気密封止して構成される。こ
の第1のガラス基板22と、第2のガラス基板25と、
スペーサ27とによって密封容器28が構成される。
【0060】一方の陽極23は、複数の電極部23Aが
平行に配列され、一端において連結された櫛歯状に形成
され、他方の陰極24も同様に複数の電極部24Aが平
行に配列され一端において連結された櫛歯状に形成され
る。
【0061】これら陽極23及び陰極24は、ガラス基
板22上において、夫々の電極部23A及び24Aを相
手の電極部間に挿入するように、所定の電極間隔x1
もって形成される。即ち、陽極の複数の電極部23Aと
陰極の複数の電極部24Aは交互に配列された形にな
る。
【0062】電極間隔x1 は50μm以下、例えば5μ
m〜20μmに設定されている。さらには、電極間隔x
1 を5μm以下、1μm以下、例えば0.5μmに設定
することも可能である。一方、密封容器28内には、封
入ガス圧が0.8〜3.0気圧例えば0.9〜2.0気
圧となるように、例えばHe,Ne,Ar,Xe,Kr
等から選ばれた1種以上のガスが封入される。更に之に
Hgガスを混合するようにしてもよい。
【0063】一具体例としては、電極間隔x1 を10μ
mとし、封入ガス圧が1.0気圧となるようにXeNe
混合ガスを封入した構成とすることができる。
【0064】この平面照明灯21においては、陽極23
と陰極24間に所要電圧Vを印加して陽極23及び陰極
24間で面放電を起こす。この放電によってプラズマ3
0が発生し、このプラズマ30で発生した紫外線31に
よって蛍光体層26が励起発光し、照明光となる。この
とき、電極間隔x1 を50μm以下、例えば5μm〜2
0μm、さらには5μm以下、1μm以下と小さくし、
封入ガス圧を0.8〜3.0気圧と大きくすることによ
って、結果的に紫外線31が多量に発生し、蛍光体層2
6を明るく発光させることができる。
【0065】陽極23及び陰極24が第1のガラス基板
22の同一面22a上に並置形成され、これら陽極23
及び陰極24と対向するように、第2のガラス基板25
の面に蛍光体層26が形成されているので、放電によっ
て発生したプラズマ30が蛍光体層26に接することは
なく、従ってプラズマ30中の荷電粒子によって蛍光体
層26が叩かれることはなく、蛍光体層の劣化が回避さ
れる。
【0066】蛍光体層26の種類を選択することによ
り、任意の色温度の照明が得られる。
【0067】そして、この実施の形態では、第1及び第
2のガラス基板22及び25をスペーサ27を介して封
止して平面の密封容器28を構成するので、極めて薄い
平面照明灯を構成することができる。
【0068】ここで、蛍光体層26は、図6Bに示すよ
うに、陽極23及び陰極24からなる放電用電極対40
による放電によって生じた紫外線放射領域41に対応し
て図6Aの光量分布42をもって発光する。今、光とし
て明るく感じる領域を有効発光領域43と定義し、電極
23,24間の放電部から有効発光領域43端をのぞむ
角度θを放電角と定義する。
【0069】そして、図5に示すように陽極23及び陰
極24からなる放電用電極対40のピッチとをPとし、
放電空間の放電用電極(陽極23、陰極24)と蛍光体
層26間の距離をL、蛍光体層26において放電角θの
範囲で発光する領域の距離をDとするとき、放電用電極
対40のピッチPが次の数1のような条件にあれば、設
計上、蛍光体層26の全面が明るく発光する。但し、実
用上、電極間隔x1 は10μm前後、放電用電極と蛍光
体層間の距離Lは100μm以上とすることができるの
で、x1 <<Lである。よって、
【数1】D≒Ltanθ P=2D≒2Ltanθ
【0070】従って、この実施の形態では、放電用電極
対40のピッチPを P≦2Ltanθ の条件を満たすように設定して平面照明灯を構成する。
このようにすれば、全面均一性の良い発光が得られる。
例えば放電角θを70°としたときには、P≦L×3.
9となり、放電用電極対のピッチPを距離L(換言すれ
ばガラス基板22及び25間の距離)の3.9倍以下に
設定することにより、切れ目のない放電発光が得られる
ことになる。
【0071】一方、この種の平面照明灯では、輝度を挙
げようとする場合、放電用電極の長さを大きくすること
により、放電面積を広げ、それによって発光量を挙げる
ことが可能となる。
【0072】そこで、この実施の形態では、対をなす放
電用電極、即ち陽極23及び陰極24の形状を直線状か
ら非直線状に替えて形成して実効的に放電用電極の長さ
を大きくするようにした構成を採用することができる。
【0073】図7A〜図7Cにその例を示す。図7Aの
例は、同一平面上の1対の放電用電極、即ち陽極電極部
23Aと陰極電極部24Aの互いの対向面を波形の曲線
状に形成する。図7Bの例は、同一平面上の1対の放電
用電極、即ち陽極電極部23Aと陰極電極部24Aの互
いの対向面を矩形波となるような曲線状に形成する。図
7Cの例は、同一平面上の陽極電極部23Aと陰極電極
部24Aが交互に配置されて、各隣り合う陽極電極部2
3A及び陰極電極部23A間で放電を発生させる構成に
おいて、その各隣り合う両電極部23A及び24Aの対
向面を曲線状に形成する。
【0074】これらの曲線パターンの放電用の電極部2
3A,24Aは、印刷又はフォトリソグラフィ法によっ
て容易に形成することができる。
【0075】このように同一平面上の電極部23A,2
4Aを互いの対向面が曲線状に形成することにより、実
効的に電極部23A,24Aの長さを大きくすることが
でき、平面照明灯の輝度を向上することができる。ま
た、図7Cの電極パターンの場合には、放電用電極対の
ピッチPが細かいので、高輝度の照明が得られ、図7A
及び図7Bの電極パターンの場合には、放電用電極対の
ピッチPが粗いので、やわらかな照明が得られる。
【0076】この実施の形態においては、陽極23及び
陰極24への電圧印加として、直流駆動又は交流駆動を
採用することができる。
【0077】図3は、交流駆動方式の平面照明灯211
の例を示す。この平面照明灯211では、その電極間隔
1 を例えば10μmとした両電極23及び24上に例
えば0.1〜4.0μm厚の例えばガラスによる誘電体
層34を形成し、好ましくは更に誘電体層34上に保護
膜として、また放電開始電圧を下げる役割を有する例え
ば0.5μm厚のMgO層35を形成する。両電極23
及び24間に交流電圧VACが印加される。交流駆動であ
るので、両電極23及び24には、夫々プラス電圧とマ
イナス電圧が交互に印加されることになり、交互に陽
極、陰極となる。
【0078】そして、通常、放電によって陰極側の電極
は酸化され、陽極側の電極は還元される。しかし、交流
駆動方式の場合の電極23及び24は共に、酸化金属例
えばITO(InO3 +SnO2 )膜、SnO2 膜、I
2 3 膜等の透明電極で形成してもよく、或いは共に金
属、例えばAl,Cu,Ni,Fe,Cr,Zn,A
u,Ag,Pb、その他等の金属、或いは之等の合金で
形成してもよい。
【0079】図4は、直流駆動方式の平面照明灯212
の例を示す。この平面照明灯212では、陽極23及び
陰極24間に直流電圧VDCが印加される。この場合、陰
極24は酸化金属例えばITO膜、SnO2 膜、I2
3 膜等の透明電極で形成し、陽極23は例えば、Al,
Cu,Ni,Fe,Cr,Zn,Au,Ag,Pb、そ
の他等の金属、或いは之等の合金で形成する。これによ
って電極の寿命が延びることになる。
【0080】之等、図3及び図4の平面照明灯211及
び212の動作原理は、図1及び図2で説明したと同様
であるので、重複説明を省略する。
【0081】図3の交流駆動方式の平面照明灯は、次の
ようにして作製することができる。先ず、第1の基板で
ある例えばガラス基板22の一面上に、印刷又はフォト
リソグラフィ等によって放電用の電極である陽極23及
び陰極24を前述の所望の間隔x1 をもって並置するよ
うに形成する。次いで、この陽極23及び陰極24を覆
うように全面に例えばガラス層等による誘電体層34を
形成し、この誘電体層34上にさらに保護膜となる例え
ばMgO膜35を被着形成する。
【0082】次に、第2の基板である例えばガラス基板
25の一面上に蛍光体層26を形成する。次に、第1の
ガラス基板22と第2のガラス基板25を、電極23,
24と蛍光体層26とが内側となるように、したがって
互いのMgO膜35及び蛍光体層26が向かい合うよう
に配置し、スペーサ27により所定の間隔を保って気密
封止し、密封容器28を形成する。次いで、この密封容
器28内に圧力が0.8〜3.0気圧となるように放電
ガスを封入して交流駆動方式の平面照明灯211を得
る。
【0083】図4の直流駆動方式の平面照明灯は、次の
ようにして作製することができる。先ず、第1の基板で
ある例えばガラス基板22の一面上に印刷又はフォトリ
ソグラフィ等によって放電用の電極である陽極23及び
陰極24を前述の所望の間隔x1 をもって並置するよう
に形成する。次に、第2の基板である例えばガラス基板
25の一面上に蛍光体層26を塗布形成する。
【0084】次に、第1のガラス基板22と第2のガラ
ス基板25を、互いの電極23,24及び蛍光体層26
が向かい合うように配置し、スペーサ27により所定の
間隔を保って気密封止し、密封容器28を形成する。次
いで、この密封容器28内に圧力が0.8〜3.0気圧
となるように放電ガスを封入して直流駆動方式の平面照
明灯212を得る。
【0085】上述の平面照明灯211及び212におい
ては、高輝度に発光した光は、電極23,24が形成さ
れた第1のガラス基板22側及び蛍光体層26が形成さ
れた第2のガラス基板25側の双方より外部に放射され
る。従って、平面照明灯211及び212において、こ
の双方に放射する光を利用するときは、周囲を照らす照
明効果が得られる。勿論、この平面照明灯211及び2
12は第1の基板22側のみ、又は第2の基板25側の
み放射される光を利用する場合にもいずれか一方の放出
光を遮断することにより適用できる。
【0086】ここで、蛍光体層26を通る光は一部蛍光
体層26で吸収される。一般的に紫外線照射による蛍光
体の発光は、蛍光体層の厚さを20〜40μmとした
時、その蛍光体の表面からの発光輝度は蛍光体を透過し
た側からの発光輝度よりも2〜3倍程度大きい。
【0087】第1のガラス基板22又は第2のガラス基
板25のいずれか一方を通して放射される光のみを照明
として利用する場合、高輝度で発光した光の一部が反対
側のガラス基板を通して裏面に放射されるために発光し
た光の損失による輝度低下が生じる。次に、この点を改
善した本発明の他の実施の形態に係る平面照明灯につい
て説明する。
【0088】図8は、電極23,24が形成された第1
の基板22側より放射された光のみを利用する平面照明
灯51の原理的構成を示す。この実施の形態に係る平面
照明灯51は、図8に示すように、第1の基板例えばガ
ラス基板22の一面上に対をなす放電用の電極、即ち陽
極23及び陰極24を形成する。また、第2の基板例え
ばガラス基板25の一面上に、例えば蒸着法又はスパッ
タ法によりアルミニウム(Al)、ニッケル(Ni)、
銀(Ag)等の高反射率材料、本例ではアルミニウムを
成膜して反射膜53を形成した後、反射膜53上に蛍光
体層26を塗布形成する。そして、第1のガラス基板2
2と第2のガラス基板25とを、陽極23及び陰極24
と蛍光体層26とが内側となるように相対向して配置
し、スペーサ27により所定の間隔を保って気密封止す
ることにより密封容器28を構成する。その他の構成、
即ち、電極間隔x1 、封入ガスの種類、封入ガス圧、電
極対のピッチP、電極23,24の形状等の構成は、前
述の図1、図2、図5、図7で述べたと同様であるの
で、重複説明は省略する。
【0089】この平面照明灯51においては、陽極23
と陰極24間に所要電圧Vを印加することによって放電
が起こり、プラズマ30が発生し、このプラズマ30で
発生した紫外線31によって蛍光体層26が励起発生す
る。そして、この場合、発光した光のうち蛍光体層26
側の第2のガラス基板25に向かった光は、反射膜53
によって反射され、電極23,24側の第1のガラス基
板22に向かうことになる。従って、第2のガラス基板
25側に逃げる光の損失を防ぎ、第1のガラス基板22
側より放射される光の輝度が向上し、さらなる高輝度の
照明が得られる。
【0090】この実施の形態においても、陽極23及び
陰極24への電圧印加として、直流駆動又は交流駆動を
採用することができる。
【0091】図9は、交流駆動方式の平面照明灯511
の例を示す。この平面照明灯511では、その電極間隔
1 を例えば10μmとした両電極23及び24上に例
えば0.1〜4.0μm厚の例えばガラス層による誘電
体層34を形成し、好ましくは、更に誘電体層34上に
保護膜として、また放電開始電圧を下げる役割を有する
例えば0.5μm厚のMgO層35を形成する。両電極
23及び24間に交流電圧VACが印加される。この場合
も、電極23及び24は共に、酸化金属、例えばITO
膜、SnO2 膜、I2 3 膜等の透明電極で形成しても
よく、或いは共に金属、例えばAl,Cu,Ni,F
e,Cr,Zn,Au,Ag,Pb、その他等の金属、
或いは之等の合金で形成してもよい。両電極23,24
を金属で形成する場合、抵抗値が小さいので細く形成し
てガラス基板22を通過する光に対する開口率を上げる
ようにすることができる。
【0092】図10は、直流駆動方式の平面照明灯51
2の例を示す。この平面照明灯512では、陽極23及
び陰極24間に直流電圧VDCが印加される。また、同様
に、陰極24は酸化金属例えばITO膜、SnO2 膜、
2 3 膜等の透明電極で形成し、陽極23は金属、例
えばAl,Cu,Ni,Fe,Cr,Zn,Au,A
g,Pb、その他等の金属、或いは之等の合金で形成す
る。ここでも、ガラス基板22を透過する光に対する開
口率を上げるために金属で形成された陽極23を細く形
成することができる。
【0093】交流駆動方式の平面照明灯511は、次の
ようにして作製することができる。先ず、第1の基板で
ある例えばガラス基板22の一面上に印刷或いはフォト
リソグラフィ等によって放電用電極である陽極23及び
陰極24を前述の所望の電極間隔x1 をもって並置する
ように形成する。次いで、この陽極23及び陰極24を
覆うように全面に例えばガラス層等による誘電体層34
を形成し、この誘電体層34上にさらに保護膜となる例
えばMgO膜35を被着形成する。
【0094】次に、第2の基板である例えばガラス基板
25の一面上に、例えば蒸着法又はスパッタ法により高
反射率の金属例えばアルミニウムを成膜して厚さが10
00〜10000Å程度の反射膜53を形成した後、こ
の反射膜53上に蛍光体層26を塗布形成する。次に、
第1のガラス基板23と第2のガラス基板25を、電極
23,24と蛍光体層26が内側となるように、したが
って互いのMgO膜35及び蛍光体層26が向かい合う
ように配置し、スペーサ27により所定の間隔を保って
気密封止し、密封容器28を形成する。次いで、この密
封容器28内に圧力が0.8〜3.0気圧になるように
放電ガスを封入して交流駆動方式の平面照明灯511を
得る。
【0095】直流駆動方式の平面照明灯512は、次の
ようにして作製することができる。先ず、第1の基板で
ある例えばガラス基板22の一面上に、印刷或いはフォ
トリソグラフィ等によって放電用電極である陽極23及
び陰極24を前述の所望の電極間隔x1 をもって並置す
るように形成する。次に、第2の基板である例えばガラ
ス基板25の一面上に、例えば蒸着法又はスパッタ法に
より高反射率の金属例えばアルミニウムを成膜して厚さ
が1000〜10000Å程度の反射膜53を形成した
後、この反射膜53上に蛍光体層26を塗布形成する。
【0096】次に、第1のガラス基板22と第2のガラ
ス基板25を、互いの電極23,24と蛍光体層26が
向かい合うように配置し、スペーサ27により所定の間
隔を保って気密封止し、密封容器28を形成する。次い
で、この密封容器28内に圧力が0.8〜3.0気圧と
なるように放電ガスを封入して直流駆動方式の平面照明
灯512を得る。
【0097】図11は、蛍光体層26が形成された第2
のガラス基板25側より放射された光のみを利用する平
面照明灯61の原理的構成を示す。この実施の形態に係
る平面照明灯61は、図11に示すように、第1の基板
例えばガラス基板22の一面上に例えば蒸着又はスパッ
タ法によりアルミニウム(Al)、ニッケル(Ni)、
銀(Ag)等の高反射率材料、本例ではアルミニウムを
成膜して反射膜53を形成し、この反射膜53上に絶縁
膜54を形成し、絶縁膜54上に対をなす放電用の電
極、即ち陽極23及び陰極24を形成する。また、第2
の基板例えばガラス基板25の一面上に、蛍光体層26
を塗布形成する。そして、第1のガラス基板22と第2
のガラス基板25とを、陽極23及び陰極24と蛍光体
層26とが内側となるようにスペーサ27を介して密封
封止し、密封容器28を構成する。その他の構成、即
ち、電極間隔x1 、封入ガスの種類、封入ガス圧、電極
対のピッチP、電極23,24の形状等の構成は、前述
の図1、図2、図5、図7で述べたと同様であるので、
重複説明を省略する。
【0098】この平面照明灯61においては、前述の図
2と同様に陽極23と陰極24間に所要電圧Vを印加す
ることによって放電が起こり、プラズマ30が発生し、
このプラズマで発生した紫外線31によって蛍光体層2
6が励起発光する。この場合、発光した光のうち、電極
23,24側の第1のガラス基板22に向かった光は、
反射膜53によって反射され、蛍光体層26側の第2の
ガラス基板25に向かうことになる。従って、第1のガ
ラス基板22側に逃げる光の損失を防ぎ、第2のガラス
基板25側より放射される光の輝度が向上し、さらなる
高輝度の照明が得られる。
【0099】この実施の形態においても、陽極23及び
陰極24への電圧印加として、直流駆動又は交流駆動を
採用することができる。
【0100】図12は、交流駆動方式の平面照明灯61
1の例を示す。この平面照明灯611では、前述と同様
に、その電極間隔x1 を例えば10μmとした両電極2
3及び24上に例えば0.1〜4.0μm厚の例えばガ
ラス層による誘電体層34を形成し、好ましくは、更に
誘電体層34上に保護膜として、また放電開始電圧を下
げる役割を有する例えば0.5μm厚のMgO層35を
形成する。両電極23及び24間に交流電圧VACが印加
される。この場合も、電極23及び24は共に、前述の
図3及び図9で説明したと同様の酸化金属又は金属で形
成してもよい。
【0101】図13は、直流駆動方式の平面照明灯61
2の例を示す。この平面照明灯612は、前述と同様に
陽極23及び陰極24間に直流電圧VDCが印加される。
また、前述の図4及び図10で説明したと同様に、陰極
24は酸化金属で形成し、陽極23は金属で形成する。
【0102】交流駆動方式の平面照明灯611は、次の
ようにして作製することができる。先ず、第1の基板で
ある例えばガラス基板22の一面上に蒸着法又はスパッ
タ法で高反射率の金属、例えばアルミニウムを成膜して
厚さが1000〜10000Å程度の反射膜53を形成
する。次いで、この反射膜53上に例えば厚さが0.5
〜10.0μm程度の絶縁膜(例えばSiO2 膜)54
をCVD法或いは蒸着法により成膜する。
【0103】次いで、この絶縁膜54上に印刷或いはフ
ォトリソグラフィ等によって放電用電極である陽極23
及び陰極24を、前述の所望の電極間隔x1 をもって並
置するように形成する。次いで、この陽極23及び陰極
24を覆うように全面に例えばガラス等による誘電体層
34を形成し、この誘電体層34上にさらに保護膜とな
る例えばMgO膜35を被着形成する。
【0104】次に、第2の基板である例えばガラス基板
25の一面上に蛍光体層26を形成する。次に、第1の
ガラス基板23と第2のガラス基板25を、電極23,
24と蛍光体層26とが内側となるように、したがって
互いのMgO膜35及び蛍光体層26が向かい合うよう
に配置し、スペーサ27により所定の間隔を保って気密
封止し、密封容器28を形成する。次いで、この密封容
器28内に圧力が0.8〜3.0気圧となるように放電
ガスを封入して交流駆動方式の平面照明灯611を得
る。
【0105】直流駆動方式の平面照明灯612は、次の
ようにして作製することができる。先ず、第1の基板で
ある例えばガラス基板22の一面上に蒸着法又はスパッ
タ法で高反射率の金属、例えばアルミニウムを成膜して
厚さが1000〜10000Å程度の反射膜53を形成
する。次いで、この反射膜53上に例えば厚さが0.5
〜10.0μm程度の絶縁膜(例えばSiO2 膜)54
をCVD法或いは蒸着法により成膜する。
【0106】次いで、この絶縁膜54上に印刷或いはフ
ォトリソグラフィ等によって放電用電極である陽極23
及び陰極24を、前述の所望の電極間隔x1 をもって並
置するように形成する。次に、第2の基板である例えば
ガラス基板25の一面上に蛍光体層26を形成する。
【0107】次に、第1のガラス基板23と第2のガラ
ス基板25を、互いの電極23,24と蛍光体層26が
向かい合うように配置し、スペーサ27により所定の間
隔を保って気密封止し、密封容器28を形成する。次い
で、この密封容器内28に圧力が0.8〜3.0気圧と
なるように放電ガスを封入して直流駆動方式の平面照明
灯612を得る。
【0108】上述した本発明の実施の形態の平面照明灯
は、通常の照明に使用することが可能であり、また液晶
表示装置のバックライト等にも適用することができる。
【0109】
【発明の効果】本発明に係る平面照明灯によれば、薄い
平面照明灯が得られると共に、高輝度の照明が得られ
る。従って、通常の照明、或いは液晶表示装置のバック
ライト等にも適用することができる。
【0110】反射膜を蛍光体層側の第2の基板に形成す
ることにより、発光した光を全て放電用電極側の第1の
基板を通して放射することができ、より高輝度の平面照
明灯を提供することができる。
【0111】反射膜を放電用電極側の第1の基板に形成
することにより、発光した光を全て蛍光体層側の第2の
基板を通して放射することができ、より高輝度の平面照
明灯を提供することができる。
【0112】対をなす放電用電極の互いの対向面を非直
線状に形成することにより、実効的に電極の長さを大き
くでき、平面照明灯の輝度を向上することができる。
【0113】放電用電極対のピッチP、放電空間の放電
用電極と蛍光体層間の距離L、放電用θとするとき、 P≦2Ltanθ に設定することにより、全面均一性のよい発光が得られ
る。
【0114】封入ガスにHgガスを混合することによ
り、紫外線365nmの発生により蛍光体の発光輝度の
大幅な上昇が得られるという効果がある。
【0115】直流駆動では、陰極を酸化金属で形成する
と共に、陽極を金属で形成し、また交流駆動では、陰
極、陽極ともに酸化金属又は金属で形成することによ
り、電極の寿命を向上させることができる。
【0116】交流駆動型の場合、放電用電極の表面に誘
電体層を有することにより、放電用電極の劣化を防ぎ、
長寿命が図れる。さらに、誘電体の表面に保護膜、例え
ばMgO膜を形成することにより、誘電体層を保護する
と共に、放電開始電圧を下げることができる。
【0117】本発明に係る製造製造方法によれば、直流
駆動型、交流駆動型、さらには、夫々の駆動型で両面放
射型、片面放射型の高輝度発光の平面型照明灯を製造す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態に係る平面照明灯の原理
的構成を示す分解図である。
【図2】本発明の一実施の形態に係る平面照明灯の原理
的構成を示す断面図である。
【図3】本発明の一実施の形態に係る交流駆動方式の平
面照明灯の実施例を示す断面図である。
【図4】本発明の一実施の形態に係る直流駆動方式の平
面照明灯の実施例の断面図である。
【図5】本発明の実施の形態に係る平面照明灯の説明に
供する断面図である。
【図6】A 本発明の実施の形態に係る平面照明灯の説
明に供する光量分布図である。B 本発明の実施の形態
に係る平面照明灯の説明に供する要部の断面図である。
【図7】A〜C 本発明の実施の形態に係る放電電極の
形状を示す平面図である。
【図8】本発明の他の実施の形態に係る平面照明灯の原
理的構成を示す断面図である。
【図9】本発明の他の実施の形態に係る交流駆動方式の
平面照明灯の断面図である。
【図10】本発明の他の実施の形態に係る直流駆動方式
の平面照明灯の断面図である。
【図11】本発明の他の実施の形態に係る平面照明灯の
原理的構成を示す断面図である。
【図12】本発明の他の実施の形態に係る交流駆動方式
の平面照明灯の断面図である。
【図13】本発明の他の実施の形態に係る直流駆動方式
の平面照明灯の断面図である。
【図14】従来のプラズマ表示装置の一例を示す平面図
である。
【図15】従来のプラズマ表示装置の一例を示す断面図
である。
【符号の説明】
21,211,212,51,511,512,61,
611,612‥‥平面照明灯、22,25‥‥ガラス
基板、23,24‥‥電極、26‥‥蛍光体層、28‥
‥密封容器、30‥‥プラズマ、31‥‥紫外線、34
‥‥誘電体層、35‥‥保護膜
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01J 61/16 H01J 61/16 L 61/35 61/35 F

Claims (54)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の基板に複数の放電用の電極が、該
    電極間隔を50μm以下として形成され、 前記第1の基板に対向する第2の基板に蛍光体層が形成
    され、 前記第1及び第2の基板により、前記電極及び前記蛍光
    体層を内側とする密封容器が構成され、 前記密封容器内に封入ガス圧が0.8〜3.0気圧とな
    るようにHe,Ne,Ar,Xe,Krのうちの1種以
    上のガスが封入されて成ることを特徴とする平面照明
    灯。
  2. 【請求項2】 前記密封容器内にHgガスが混合されて
    成ることを特徴とする請求項1に記載の平面照明灯。
  3. 【請求項3】 前記電極への電圧印加を直流駆動又は交
    流駆動とすることを特徴とする請求項1に記載の平面照
    明灯。
  4. 【請求項4】 直流駆動では陰極となる前記電極が酸化
    金属で形成され、陽極となる前記電極が金属で形成され
    て成ることを特徴とする請求項1に記載の平面照明灯。
  5. 【請求項5】 交流駆動では陰極及び陽極となる前記電
    極ともに酸化金属又は金属で形成されて成ることを特徴
    とする請求項1に記載の平面照明灯。
  6. 【請求項6】 前記放電用の電極における電極対のピッ
    チをPとし、 前記放電用の電極と前記蛍光体層間の距離をLとし、 放電角をθとするとき、 P≦2Ltanθ に設定されて成ることを特徴とする請求項1に記載の平
    面照明灯。
  7. 【請求項7】 同一平面上に形成された対をなす前記放
    電用の電極の互いの対向面が非直線状に形成されて成る
    ことを特徴とする請求項1に記載の平面照明灯。
  8. 【請求項8】 前記放電用の電極表面に誘電体層、又
    は、誘電体層及び保護膜を形成して成ることを特徴とす
    る請求項1に記載の平面照明灯。
  9. 【請求項9】 前記保護膜がMgOから成ることを特徴
    とする請求項8に記載の平面照明灯。
  10. 【請求項10】 前記電極への電圧印加を交流駆動とす
    ることを特徴とする請求項8に記載の平面照明灯。
  11. 【請求項11】 前記密封容器内にHgガスが混合され
    て成ることを特徴とする請求項8に記載の平面照明灯。
  12. 【請求項12】 陰極及び陽極となる前記電極ともに酸
    化金属又は金属で形成されて成ることを特徴とする請求
    項10に記載の平面照明灯。
  13. 【請求項13】 前記放電用の電極における電極対のピ
    ッチをPとし、 前記放電用の電極と前記蛍光体層間の距離をLとし、 放電角をθとするとき、 P≦2Ltanθ に設定されて成ることを特徴とする請求項8に記載の平
    面照明灯。
  14. 【請求項14】 同一平面上に形成された対をなす前記
    放電用の電極の互いの対向面が非直線状に形成されて成
    ることを特徴とする請求項8に記載の平面照明灯。
  15. 【請求項15】 第1の基板に放電用電極を形成する工
    程と、 第2の基板に蛍光体層を形成する工程と、 前記放電用電極と前記蛍光体層とが内側となるように、
    前記第1の基板と前記第2の基板を配置して密封容器を
    構成する工程と、 前記密封容器内に圧力が0.8〜3.0気圧になるよう
    に放電用ガスを封入する工程とを有することを特徴とす
    る平面照明灯の製造方法。
  16. 【請求項16】 第1の基板に放電用電極を形成する工
    程と、 前記放電用電極上に誘電体層、又は誘電体層及び保護膜
    を形成する工程と、 第2の基板に蛍光体層を形成する工程と、 前記放電用電極と前記蛍光体層とが内側となるように、
    前記第1の基板と前記第2の基板を配置して密封容器を
    構成する工程と、 前記密封容器内に圧力が0.8〜3.0気圧になるよう
    に放電用ガスを封入する工程とを有することを特徴とす
    る平面照明灯の製造方法。
  17. 【請求項17】 第1の基板に複数の放電用の電極が、
    該電極間隔を50μm以下として形成され、 前記第1の基板に対向する第2の基板に反射膜と蛍光体
    層が形成され、 前記第1及び第2の基板により、前記電極及び前記蛍光
    体層を内側とする密封容器が構成され、 前記密封容器内に封入ガス圧が0.8〜3.0気圧とな
    るようにHe,Ne,Ar,Xe,Krのうちの1種以
    上のガスが封入されて成ることを特徴とする平面照明
    灯。
  18. 【請求項18】 前記反射膜が前記第2の基板と前記蛍
    光体層との間に形成されて成ることを特徴とする請求項
    17に記載の平面照明灯。
  19. 【請求項19】 前記反射膜が高反射率材料から成るこ
    とを特徴とする請求項17に記載の平面照明灯。
  20. 【請求項20】 前記高反射率材料がアルミニウムであ
    ることを特徴とする請求項19に記載の平面照明灯。
  21. 【請求項21】 前記密封容器内にHgガスが混合され
    て成ることを特徴とする請求項17に記載の平面照明
    灯。
  22. 【請求項22】 前記電極への電圧印加を直流駆動又は
    交流駆動とすることを特徴とする請求項17に記載の平
    面照明灯。
  23. 【請求項23】 直流駆動では陰極となる前記電極が酸
    化金属で形成され、陽極となる前記電極が金属で形成さ
    れて成ることを特徴とする請求項17に記載の平面照明
    灯。
  24. 【請求項24】 交流駆動では陰極及び陽極となる前記
    電極ともに酸化金属又は金属で形成されて成ることを特
    徴とする請求項17に記載の平面照明灯。
  25. 【請求項25】 前記放電用の電極における電極対のピ
    ッチをPとし、 前記放電用の電極と前記蛍光体層間の距離をLとし、 放電角をθとするとき、 P≦2Ltanθ に設定されて成ることを特徴とする請求項17に記載の
    平面照明灯。
  26. 【請求項26】 同一平面上に形成された対をなす前記
    放電用の電極の互いの対向面が非直線状に形成されて成
    ることを特徴とする請求項17に記載の平面照明灯。
  27. 【請求項27】 前記放電用の電極表面に誘電体層、又
    は誘電体層及び保護膜を形成して成ることを特徴とする
    請求項17に記載の平面照明灯。
  28. 【請求項28】 前記保護膜がMgOから成ることを特
    徴とする請求項27に記載の平面照明灯。
  29. 【請求項29】 前記電極への電圧印加を交流駆動とす
    ることを特徴とする請求項27に記載の平面照明灯。
  30. 【請求項30】 前記密封容器内にHgガスが混合され
    て成ることを特徴とする請求項27に記載の平面照明
    灯。
  31. 【請求項31】 陰極及び陽極となる前記電極ともに酸
    化金属又は金属で形成されて成ることを特徴とする請求
    項29に記載の平面照明灯。
  32. 【請求項32】 前記放電用の電極における電極対のピ
    ッチをPとし、 前記放電用の電極と前記蛍光体層間の距離をLとし、 放電角をθとするとき、 P≦2Ltanθ に設定されて成ることを特徴とする請求項27に記載の
    平面照明灯。
  33. 【請求項33】 同一平面上に形成された対をなす前記
    放電用の電極の互いの対向面が非直線状に形成されて成
    ることを特徴とする請求項27に記載の平面照明灯。
  34. 【請求項34】 第1の基板に放電用電極を形成する工
    程と、 第2の基板に反射膜及び蛍光体層を形成する工程と、 前記放電用電極と、前記蛍光体層とが内側となるよう
    に、前記第1の基板と前記第2の基板を配置して密封容
    器を構成する工程と、 前記密封容器内に圧力が0.8〜3.0気圧になるよう
    に放電用ガスを封入する工程とを有することを特徴とす
    る平面照明灯の製造方法。
  35. 【請求項35】 第1の基板に放電用電極を形成する工
    程と、 前記放電用電極上に誘電体層、又は誘電体層及び保護膜
    を形成する工程と、 第2の基板に反射膜及び蛍光体層を形成する工程と、 前記放電用電極と、前記蛍光体層とが内側となるよう
    に、前記第1の基板と前記第2の基板を配置して密封容
    器を構成する工程と、 前記密封容器内に圧力が0.8〜3.0気圧になるよう
    に放電用ガスを封入する工程とを有することを特徴とす
    る平面照明灯の製造方法。
  36. 【請求項36】 第1の基板に反射膜と、複数の放電用
    の電極が該電極間隔を50μm以下として形成され、 前記第1の基板に対向する第2の基板に蛍光体層が形成
    され、 前記第1及び第2の基板により、前記電極及び前記蛍光
    体層を内側とする密封容器が構成され、 前記密封容器内に圧力が0.8〜3.0気圧となるよう
    にHe,Ne,Ar,Xe,Krのうちの1種以上のガ
    スが封入されて成ることを特徴とする平面照明灯。
  37. 【請求項37】 前記反射膜が前記第1の基板と前記放
    電用の電極との間に形成されると共に、 前記反射膜と前記放電用の電極との間に絶縁膜が形成さ
    れて成ることを特徴とする請求項36に記載の平面照明
    灯。
  38. 【請求項38】 前記反射膜が高反射率材料から成るこ
    とを特徴とする請求項36に記載の平面照明灯。
  39. 【請求項39】 前記高反射率材料がアルミニウムであ
    ることを特徴とする請求項38に記載の平面照明灯。
  40. 【請求項40】 前記密封容器内にHgガスが混合され
    て成ることを特徴とする請求項36に記載の平面照明
    灯。
  41. 【請求項41】 前記電極への電圧印加を直流駆動又は
    交流駆動とすることを特徴とする請求項36に記載の平
    面照明灯。
  42. 【請求項42】 直流駆動では陰極となる前記電極が酸
    化金属で形成され、陽極となる前記電極が金属で形成さ
    れて成ることを特徴とする請求項36に記載の平面照明
    灯。
  43. 【請求項43】 交流駆動では陰極及び陽極となる前記
    電極ともに酸化金属又は金属で形成されて成ることを特
    徴とする請求項36に記載の平面照明灯。
  44. 【請求項44】 前記放電用の電極における電極対のピ
    ッチをPとし、 前記放電用の電極と前記蛍光体層間の距離をLとし、 放電角をθとするとき、 P≦2Ltanθ に設定されて成ることを特徴とする請求項36に記載の
    平面照明灯。
  45. 【請求項45】 同一平面上に形成された対をなす前記
    放電用の電極の互いの対向面が非直線状に形成されて成
    ることを特徴とする請求項36に記載の平面照明灯。
  46. 【請求項46】 前記放電用の電極表面に誘電体層、又
    は誘電体層及び保護膜を形成して成ることを特徴とする
    請求項36に記載の平面照明灯。
  47. 【請求項47】 前記保護膜がMgOから成ることを特
    徴とする請求項46に記載の平面照明灯。
  48. 【請求項48】 前記電極への電圧印加を交流駆動とす
    ることを特徴とする請求項46に記載の平面照明灯。
  49. 【請求項49】 前記密封容器内にHgガスが混合され
    て成ることを特徴とする請求項46に記載の平面照明
    灯。
  50. 【請求項50】 陰極及び陽極となる前記電極ともに酸
    化金属又は金属で形成されて成ることを特徴とする請求
    項48に記載の平面照明灯。
  51. 【請求項51】 前記放電用の電極における電極対のピ
    ッチをPとし、 前記放電用の電極と前記蛍光体層間の距離をLとし、 放電角をθとするとき、 P≦2Ltanθ に設定されて成ることを特徴とする請求項46に記載の
    平面照明灯。
  52. 【請求項52】 同一平面上に形成された対をなす前記
    放電用の電極の互いの対向面が非直線状に形成されて成
    ることを特徴とする請求項46に記載の平面照明灯。
  53. 【請求項53】 第1の基板に反射膜を形成し、該反射
    膜上に絶縁膜を介して放電用電極を形成する工程と、 第2の基板に蛍光体層を形成する工程と、 前記放電用電極と前記蛍光体層とが内側となるように、
    前記第1の基板と第2の基板を配置して密封容器を構成
    する工程と、 前記密封容器内に圧力が0.8〜3.0気圧になるよう
    に放電用ガスを封入する工程とを有することを特徴とす
    る平面照明灯の製造方法。
  54. 【請求項54】 第1の基板に反射膜を形成し、該反射
    膜上に絶縁膜を介して放電用電極を形成する工程と、 前記放電用電極上に誘電体層、又は誘電体層及び保護膜
    を形成する工程と、 第2の基板に蛍光体層を形成する工程と、 前記放電用電極と前記蛍光体層とが内側となるように、
    前記第1の基板と第2の基板を配置して密封容器を構成
    する工程と、 前記密封容器内に圧力が0.8〜3.0気圧になるよう
    に放電用ガスを封入する工程とを有することを特徴とす
    る平面照明灯の製造方法。
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