JP2005197263A - 電界放出型バックライトユニット及びその駆動方法、並びに下部パネルの製造方法 - Google Patents

電界放出型バックライトユニット及びその駆動方法、並びに下部パネルの製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】 電界放出型バックライトユニット及びその駆動方法と下部パネルの製造方法を提供すること。
【解決手段】 下部基板と、下部基板上に形成され、一つずつ交互に複数の平行なライン状に配列された第1電極及び第2電極と、第1電極と第2電極のうち少なくとも第1電極に配置されたエミッタと、下部基板と所定間隔をおいて相互対向するように配置された上部基板と、上部基板の底面に形成された第3電極と、第3電極の表面に形成された蛍光体層とを備える電界放出型バックライトユニット。このようなバックライトユニットは、3極管方式の電界放出構造を有することによって、より安定した電界放出を行え、第1電極と第2電極とが同一平面上に形成されることによって、輝度の均一性が向上し、製造工程が単純化される。そして、第1電極と第2電極の全てにエミッタを配置し、第1電極と第2電極とに交互にカソード電圧とゲート電圧とを印加すれば、エミッタの寿命と輝度を向上させることができる。
【選択図】 図7

Description

本発明は、液晶表示装置用バックライトユニットに係り、より詳細には電界放出型バックライトユニットに関する。
通常、平板表示装置は、発光型と受光型とに大別される。発光型としては、陰極線管(CRT:Cathode Ray Tube)、プラズマ表示装置(PDP:Plasma Display Panel)及び電界放出表示装置(FED:Field Emission Display)などがあり、受光型としては液晶表示装置(LCD:Liquid Crystal Display)がある。そのうち、液晶表示装置は軽量でかつ消費電力の少ない長所があるが、それ自体が発光して画像を形成することができず、外部から光が入射されて画像を形成する受光型表示装置であるため、暗い所では画像の観察できない問題点がある。このような問題点を解決するために液晶表示装置の背面にバックライトユニットを設置して光を照射する。これにより、暗い所でも画像が形成できる。
従来のバックライトユニットとしては、線光源として冷陰極蛍光ランプ(CCFL:Cold カソード Fluorescent Lamp)と、点光源として発光ダイオード(LED:Light Emitting Diode)とが主に使われてきた。しかし、このような従来のバックライトユニットは、一般的にその構成が複雑で製造コストが高く、光源が側面にあるので光の反射と透過による電力消耗が大きい短所がある。特に、液晶表示装置が大型化するほど輝度の均一性を確保し難い問題点がある。
これにより、最近では前記問題点を解消するために平面発光構造の電界放出型(field emission type)のバックライトユニットが提案されている。このような電界放出型バックライトユニットは、既存の冷陰極蛍光ランプなどを利用したバックライトユニットに比べて電力消耗が少なく、かつ広範囲の発光領域でも比較的均一な輝度を表す長所がある。
図1には特許文献1に開示された従来の電界放出型バックライトユニットの一例を示す。図1を参照すると、上部基板1の底面にはITO(Indium Tin Oxide)電極層2と蛍光体層3とが順次に積層されており、下部基板7の上面には金属薄膜層6と炭素ナノチューブ層4が順次に積層されている。そして、上部基板1と下部基板7とはスペーサ5を介在して密封接合され、下部基板7には真空排気のためのガラス管8が設けられている。
このような構造のバックライトユニットにおいて、ITO電極層2と金属薄膜層6との間に電圧を印加すれば、炭素ナノチューブ層4から電子が放出され、放出された電子は蛍光体層3に衝突する。これにより、蛍光体層3内の蛍光物質が励起されて可視光を発散するようになる。
ところが、前記従来の電界放出型バックライトユニットは、上部基板1にアノード電極としてITO電極層2を配置し、下部基板7にカソード電極として金属薄膜層6を配置したダイオード方式の電界放出構造である。このような構造によれば、アノード電極とカソード電極間に電子放出のための高電圧が直接印加されるので局部的にアークが発生しやすい。このように局部的なアークが発生すれば、バックライトユニットの全面にかけて輝度の均一性を保障し難いだけでなく、電極、蛍光体層3、及び炭素ナノチューブ層4がアークにより損傷されてバックライトユニットの寿命が短縮される。
大韓民国公開特許第2002-33948号公報
本発明は、前記問題点を解決するためになされたものであって、特に、輝度の均一性及び寿命を向上させうる3極管方式の電界放出構造を有する電界放出型バックライトユニットを提供することを目的とする。
また、本発明の他の目的は、輝度の均一性及び寿命を向上させうる電界放出型バックライトユニットの駆動方法を提供することである。
また、本発明のさらに他の目的は、前記電界放出型バックライトユニットの下部パネルの望ましい製造方法を提供することである。
前記目的を達成するための本発明に係る電界放出型バックライトユニットは、下部基板と、前記下部基板上に形成されるものであって、一つずつ交互に複数の平行なライン状に配列された第1電極及び第2電極と、前記第1電極と第2電極のうち少なくとも前記第1電極に配置されたエミッタと、前記下部基板と所定間隔をおいて相互対向するように配置された上部基板と、前記上部基板の底面に形成された第3電極と、前記第3電極の表面に形成された蛍光体層と、を備えることを特徴とする。
ここで、前記エミッタはCNTからなることが望ましく、前記第1電極と第2電極のそれぞれは、前記下部基板上に形成されたITO電極層と前記ITO電極層上に形成された金属薄膜層とから構成することが望ましい。
本発明の一特徴によれば、前記エミッタは、前記第1電極にのみ配置することによって、前記第1電極がカソード電極としての役割を果たし、前記第2電極はゲート電極、前記第3電極はアノード電極としての役割を果たす。
この場合、前記エミッタは、前記第1電極の両縁部に沿って所定間隔をおいて多数配置しうる。そして、前記第1電極の両縁部には複数のエミッタ形成溝が形成され、前記複数のエミッタ形成溝内に前記エミッタが形成されることが望ましい。
本発明の一特徴によれば、前記エミッタは、前記第1電極と第2電極のそれぞれに配置することによって、前記第1電極及び前記第2電極はカソード電極とゲート電極としての役割を交互に果たし、前記第3電極はアノード電極としての役割を果たす。
この場合、前記エミッタは、前記第1電極と第2電極のそれぞれの両縁部に沿って所定間隔をおいて多数配置しうる。そして、前記第1電極に配置されたエミッタと前記第2電極に配置されたエミッタとは互いに間隔を置いて配列されることが望ましい。また、前記第1電極と第2電極のそれぞれの両縁部には複数のエミッタ形成溝が形成され、前記複数のエミッタ形成溝内に前記エミッタが形成されることが望ましい。
前記目的を達成するための本発明に係る電界放出型バックライトユニットの駆動方法は、第1電極、第2電極、及び前記第1電極と第2電極のそれぞれに配置されたエミッタを有する下部パネルと、第3電極を有する上部パネルと、を備えた3極管方式の電界放出型バックライトユニットの駆動方法において、(a)前記第1電極にはカソード電圧、前記第2電極にはゲート電圧、前記第3電極にはアノード電圧を印加して前記第1電極に配置されたエミッタから電子を放出させる段階と、(b)前記第1電極にはゲート電圧、前記第2電極にはカソード電圧、前記第3電極にはアノード電圧を印加して前記第2電極に配置されたエミッタから電子を放出させる段階と、(c)前記(a)段階と(b)段階とを繰り返して行う段階と、を備えることを特徴とする。
前記目的を達成するための本発明に係る電界放出型バックライトユニットの下部パネルの製造方法は、(a)透明基板上に導電性物質層を形成する段階と、(b)前記導電性物質層を複数の平行なライン状にパターニングして一つずつ交互に配列された第1電極と第2電極とを形成しつつ、少なくとも前記第1電極の両縁部に沿って所定間隔をおいて複数のエミッタ形成溝を形成する段階と、(c)前記第1電極と第2電極とが形成された前記基板上にフォトレジストを塗布する段階と、(d)前記フォトレジストをパターニングして前記エミッタ形成溝を露出させる段階と、(e)前記フォトレジストの上面及び前記エミッタ形成溝の内部にCNTペーストを塗布する段階と、(f)前記CNTペーストを選択的に露光させて前記エミッタ形成溝の内部にCNTエミッタを形成する段階と、(g)前記フォトレジストをストリップしつつ前記CNTペーストのうち露光されていない部分を除去する段階と、を備えることを特徴とする。
ここで、前記(a)段階は、前記基板の上面にITO電極層を形成する段階と、前記ITO電極層の上面に金属薄膜層を形成する段階と、を含みうる。
そして、前記(b)段階において、前記第1電極と第2電極のそれぞれの両縁部に前記エミッタ形成溝を形成しうる。
前記(b)段階は、前記導電性物質層の上面にフォトレジストを塗布する段階と、前記フォトレジストをフォトリソグラフィ工程によりパターニングする段階と、前記パターニングされたフォトレジストをエッチングマスクとして前記導電性物質層をエッチングする段階と、前記フォトレジストをストリップする段階と、を含みうる。
前記(e)段階において、前記CNTペーストは、スクリーン印刷法により塗布しうる。
前記(f)段階において、前記基板の背面で前記CNTペーストに対する露光がなされることが望ましい。
本発明に係るバックライトユニットは、3極管方式の電界放出構造を有することによって、より安定した電界放出を行うことができる。
また、カソード電極とゲート電極としての役割を果たす第1電極と第2電極とが同一平面上に形成されることによって、CNTエミッタから放出された電子が第3電極に向けて進行しつつ広く発散されるので、上部パネルの発光面全体に亘って均一な輝度を呈する。
また、第1電極と第2電極とが同一平面上に形成されることによって、第1電極と第2電極とを同一物質で同時に形成可能になり、その製造工程が単純化され、製造コストも低減される。
また、エミッタとしてCNTを使用することによって、比較的低い駆動電圧でも電子が円滑に放出できる。
また、本発明に係るバックライトユニットの駆動方法によれば、第1電極と第2電極のそれぞれに印加されるゲート電圧の時間間隔を調節することによって、CNTエミッタの寿命を延ばし、輝度を向上しうる長所がある。
また、本発明の望ましい製造方法によれば、CNTペーストを使用することによって大面積の基板上にCNTエミッタがより容易に形成でき、また背面露光方法を利用することによって別途の露光マスクが不要となる。したがって、本発明に係るバックライトユニットの下部パネルの製造工程が単純化され、その製造コストが低減される。
以下、添付した図面に基づき、本発明に係る電界放出型バックライトユニットの望ましい実施形態を詳細に説明する。各図面に示された同じ参照符号は同じ構成要素を示す。
図2は、本発明の第1実施形態による電界放出型バックライトユニットの構造を示す部分断面図であり、図3は、図2に示す本発明の第1実施形態によるバックライトユニットの下部パネルを示した部分斜視図である。
図2と図3を参照すれば、本発明に係る電界放出型バックライトユニットは、所定間隔をおいて相互対向するように配置された下部パネル120と上部パネル120とからなり、前記下部パネル110及び上部パネル120には3極管方式の電界放出に適した構成が設けられる。
具体的に、前記下部パネル110は、透明基板、例えばガラス基板からなる下部基板111と、前記下部基板111上に形成されてそれぞれカソード電極とゲート電極としての役割を果たす第1電極112及び第2電極114と、前記第1電極112に配置されたCNTエミッタ116と、を備える。
そして、前記上部パネル120は、透明基板、例えばガラス基板からなる上部基板121と、前記上部基板121の底面に形成されてアノード電極としての役割を果たす第3電極122と、前記第3電極122の表面に形成された蛍光体層123と、を備える。
前記のように構成された下部パネル110と上部パネル120とは互いに所定間隔をおいて対向するように配置され、その周りに塗布されるシーリング物質(図示せず)により互いに封着される。この時、前記下部パネル110と上部パネル120との間にはこれらの間隔を維持させるためのスペーサ130が設置される。
詳細に説明すれば、下部パネル110の下部基板111の上面には複数の平行なライン状に配列されてカソード電極としての役割を果たす第1電極112と、やはり複数の平行なライン状に配列されてゲート電極としての役割を果たす第2電極114とが形成される。そして、前記複数の第1電極112と複数の第2電極114とは同一平面上で一つずつ交互に配列される。このような第1電極112及び第2電極114は、それぞれ下部基板111の上面に形成された透明な導電性物質であるITOからなるITO電極層112a、114aと、ITO電極層112a、114aの上面に形成された導電性の金属物質、例えばクロム(Cr)からなる金属薄膜層112b、114bと、から構成しうる。
一方、前記第1電極112及び第2電極114は、それぞれ前記ITO電極層112a、114aのみで構成しても良い。ところが、ITO電極層112a、114aはライン抵抗が比較的高い短所がある。したがって、大面積のバックライトユニットを構成するためには、前記のようにITO電極層112a、114aのライン抵抗を減らすためのバス電極の役割を果たす金属薄膜層112b、114bをITO電極層112a、114aの上面に形成することが望ましい。
前記のように、本発明によれば複数の第1電極112と複数の第2電極114とが同一物質で同一平面上に形成される。したがって、後述する製造工程で説明するように、第1電極112と第2電極114とが同時に形成可能になってその製造工程が単純化され、製造コストも低減される長所がある。
そして、カソード電極としての役割を果たす第1電極112にはエミッタ116が形成される。前記エミッタ116は、第1電極112と第2電極114とに印加される電圧により形成される電界によって電子を放出する役割を果たすものであって、炭素ナノチューブ(CNT:Carbon Nano Tube)からなる。CNTは比較的低い駆動電圧でも電子を円滑に放出できる長所がある。また、後述する製造工程で説明するように、ペースト形態のCNTを使用すれば、広い基板にCNTエミッタ116が容易に形成できるので、大面積のバックライトユニットの製作が可能である。
そして、本実施形態において、前記CNTエミッタ116は、第1電極112の両縁部に沿ってその長手方向に所定間隔をおいて多数配置される。具体的に、第1電極112の両縁部にはその長手方向に所定間隔をおいて複数のエミッタ形成溝115が形成され、この形成溝115内に前記CNTエミッタ116が配置される。このような構成によれば、CNTエミッタ116の下面は透明な下部基板111の上面に接触するので、後述する製造工程で説明するように下部基板111の背面でCNTペーストに対する露光によりCNTエミッタ116の形成が可能である。
一方、図4は図3に示す本発明の第1実施形態による下部パネルの変形例を示す。図4に示す下部パネル110においては、CNTエミッタ116′が第1電極112の両縁部に沿ってその上面に形成される。したがって、図3に示すエミッタ形成溝115が不要になって、第1電極112の構造がさらに簡単になる長所がある。ただし、このようなCNTエミッタ116′は、前記背面露光を用いた形成が困難なので、露光マスクを用いて前面露光によって形成しなければならない。
そして、前記CNTエミッタ116、116′は、前記CNTペーストを使用した背面露光方法と前面露光方法外にも公知の多様な方法により形成しうる。その一例として、化学気相蒸着(CVD:Chemical Vapor Deposition)方法があるが、この方法はエミッタが形成される部位にNiまたはFeよりなる触媒金属層を形成した後、CH、CまたはCOのような炭素を含有したガスを注入して触媒金属層の表面からCNTを鉛直に成長させてエミッタを形成する方法である。
さらに、図2及び図3を参照すれば、前記上部基板121の底面に形成される前記第3電極122はアノード電極としての役割を果たすものであって、前記蛍光体層123から発散される可視光が透過できるように透明な導電性物質であるITOからなる。このような第3電極122は、上部基板121の底面全体に薄膜形態に形成しても良く、または上部基板121の底面に所定のパターン、例えばストライプパターンに形成しても良い。
前記蛍光体層123は、前記第3電極122の底面に形成され、R、G、B蛍光物質からなる。この時、R、G、B蛍光物質がそれぞれ第3電極122の底面に所定のパターンに塗布されて前記蛍光体層123を構成しても良く、またはR、G、B蛍光物質が混合された状態で第3電極122の底面全体に塗布されて前記蛍光体層123を構成しても良い。
以下、前記のように構成された本発明の第1実施形態による電界放出型バックライトユニットの動作を説明する。
本発明の第1実施形態による電界放出型バックライトユニットにおいて、前記第1電極112、第2電極114、及び第3電極122のそれぞれに所定の電圧が印加されれば、前記電極112、114、122の間に電界が形成されつつ前記CNTエミッタ116から電子が放出される。この時、前記第1電極112には0〜―数十ボルトのカソード電圧、前記第2電極114には数〜数百ボルトのゲート電圧、前記第3電極122には数百〜数千ボルトのアノード電圧が印加される。前記エミッタ116から放出された電子は電子ビーム化して前記蛍光体層123へ誘導されて前記蛍光体層123に衝突する。これにより、前記蛍光体層123のR、G、B蛍光物質が励起されて白色の可視光を発散する。
前記のように、本発明に係る電界放出型バックライトユニットは、3極管方式の電界放出構造を有することによって、2極管方式の電界放出構造を有する従来のバックライトユニットに比べて安定した電界放出が可能である。
図5は、図2に示す本発明の第1実施形態によるバックライトユニットにおける電子ビーム放出に対するシミュレーション結果を示す図面であり、図6は、図2に示す本発明の第1実施形態によるバックライトユニットにおける発光テスト結果を示す写真である。この時、第1電極は接地し、第2電極には100ボルトのゲート電圧が印加され、第3電極には2,000ボルトのアノード電圧が印加された。
まず、図5を参照すれば、カソード電極としての役割を果たす第1電極とゲート電極としての役割を果たす第2電極とが同じ平面上に形成されることによって、CNTエミッタから放出された電子がアノード電極としての役割を果たす第3電極に向けて進行しながら広く発散されることが分かる。このように、電子が広く発散されれば、第3電極の表面に形成された蛍光体層の全面をより均一に励起しうる。
その結果、図6に示すように、上部パネルの発光面全体にかけて均一な輝度を表すようになる。そして、この時の輝度は約7,000cd/mを表す。
図7は、本発明の第2実施形態による電界放出型バックライトユニットの構造を示す部分断面図であり、図8は、図7に示す本発明の第2実施形態によるバックライトユニットの下部パネルを示す部分斜視図である。
図7と図8を参照すれば、本実施例によるバックライトユニットもスペーサ230によって所定間隔が維持される下部パネル210と上部パネル220とを備える。前記下部パネル210は、下部基板211と、下部基板211上に形成された第1電極212及び第2電極214と、前記第1及び第2電極212、214に配置されたCNTエミッタ216、218と、を備える。
本実施形態において、前記第1電極212及び第2電極214は前述した第1実施形態と同じ形態に配列され、また第1実施形態のように下部基板211の上面に形成されたITO電極層212a、214aと、ITO電極層212a、214aの上面に形成された金属薄膜層212b、214bとにより構成しうる。
ただし、本実施形態では、第1電極212及び第2電極214は、カソード電極とゲート電極としての役割を交互に果たし、このために第1電極212と第2電極214のそれぞれにCNTエミッタ216、218が形成される。前記CNTエミッタ216、218は、第1電極212と第2電極214のそれぞれの両縁部に沿ってその長手方向に所定間隔をおいて多数配置される。そして、背面露光によるCNTエミッタ216、218の形成が容易に第1電極212と第2電極214のそれぞれの両縁部には複数のエミッタ形成溝215、216が形成され、このエミッタ形成溝215、216内にCNTエミッタ216、218が配置される。特に、第1電極212に配置されるCNTエミッタ216と第2電極214とに配置されるCNTエミッタ218は互いに隔てて配列されることが望ましい。これにより、第1電極212に形成されたCNTエミッタ216と第2電極214とが互いに対向し、第2電極214に形成されたCNTエミッタ218と第1電極212とが互いに対向するようになることによって、CNTエミッタ216、218から電子がさらに円滑に放出できる。
一方、本実施形態においても図4に示す変形形態を適用しうる。
前記上部パネル220は、上部基板221と、上部基板221の底面に形成されてアノード電極としての役割を果たす第3電極222と、前記第3電極222の表面に形成された蛍光体層223とを備える。このような上部パネル220の詳細な構成は前述した第1実施形態と同一なので、その説明は省略する。
以下、図9を参照して前記本発明の第2実施形態によるバックライトユニットの駆動方法を説明する。
図9を参照すれば、前記のように下部基板210上に形成された複数の第1電極212は電圧の印加のために一つの第1配線241に連結され、複数の第1電極212と交互に配列された複数の第2電極214も電圧の印加のために一つの第2配線242に連結される。このような第1電極212と第2電極214とは前述のようにカソード電極とゲート電極としての役割を交互に果たす。
詳細に説明すれば、図7に示す上部基板221に形成された第3電極222に数百〜数千ボルト程度のアノード電圧を印加すると同時に、前記第1配線241を通じて第1電極212に0〜―数十ボルト程度のカソード電圧を印加し、前記第2配線242を通じて第2電極214に数〜数百ボルト程度のゲート電圧を印加すれば、前記第1電極212がカソード電極の役割をして第1電極212に形成されたCNTエミッタ216から電子が放出される。次に、前記第1配線241を通じて第1電極212にゲート電圧を印加し、前記第2配線242を通じて前記第2電極214にカソード電圧を印加すれば、前記第2電極214がカソード電極の役割をして第2電極214に形成されたCNTエミッタ218から電子が放出される。そして、このような過程を繰り返せば、第1電極212に形成されたCNTエミッタ216と第2電極214に形成されたCNTエミッタ218とから電子が交互に放出される。このように放出された電子は電子ビーム化して図7に示す上部基板221に形成された蛍光体層223へ誘導されて前記蛍光体層223に衝突する。これにより、前記蛍光体層223の蛍光物質が励起されて白色の可視光を発散する。
前記のような本発明の第2実施形態によるバックライトユニットの駆動方法によれば、第1電極212に形成されたCNTエミッタ216と第2電極214に形成されたCNTエミッタ218とから電子が交互に放出されるので、CNTエミッタ216、218の寿命が前述した第1実施形態に比べて伸びる。すなわち、第1電極212と第2電極214のそれぞれに印加されるゲート電圧の時間間隔を前述した第1実施形態の2倍に増加させれば、CNTエミッタ216、218に加えられる負荷が軽減してその寿命はそれほど伸び、かつ前述した第1実施形態と同じ輝度が得られる。一方、第1電極212と第2電極214のそれぞれに印加されるゲート電圧の時間間隔を前述した第1実施形態と同一に維持する場合には、CNTエミッタ216、218の寿命は前述した第1実施形態と同一であるが、同じ時間内に放出される電子が増加して輝度はさらに向上できる。
このように、本発明の第2実施形態によるバックライトユニットの駆動方法によれば、第1電極212と第2電極214のそれぞれに印加されるゲート電圧の時間間隔を調節することによって、CNTエミッタ216、218の寿命と輝度を適正に調節できる長所がある。
以下、図10Aないし図10Iを参照して本発明に係るバックライトユニットの下部パネルの望ましい製造方法を段階的に説明する。
前記のように、本発明の第1実施形態及び第2実施形態における下部パネルはほとんど類似する構成を有する。ただし、本発明の第1実施形態によるバックライトユニットの下部パネルでは、第1電極にのみCNTエミッタが形成される一方、本発明の第2実施形態によるバックライトユニットの下部パネルでは、第1電極と第2電極との何れにもCNTエミッタが形成される差があるだけである。したがって、以下の製造方法は図3に示す本発明の第1実施形態によるバックライトユニットの下部パネルを基準に説明し、図8に示す本発明の第2実施形態によるバックライトユニットの下部パネルについては前記差異点のみ説明する。
まず、図10Aを参照すれば、下部基板111として所定厚さを有する透明基板、例えばガラス基板を準備する。次いで、準備された下部基板111上にITO電極層112a、114aを形成する。前記ITO電極層112a、114aは透明な導電性物質であるITOを下部基板111の全面に所定厚さ、例えば数百Å〜数千Å程度の厚さに蒸着することによって形成しうる。
次に、図10Bに示すように、前記ITO電極層112a、114a上に金属薄膜層112b、114bを形成する。前記金属薄膜層112b、114bは導電性金属物質、例えばCrをITO電極層112a、114aの全面に所定厚さでスパッタリングすることで形成しうる。
次に、図10Cに示すように、金属薄膜層112b、114bの全面にフォトレジスト(PR)を塗布する。
次いで、図10Dに示すように、前記PRを、露光及び現像を含むフォトリソグラフィ工程により複数の平行なライン状にパターニングする。この時、奇数番目または偶数番目ラインの両縁部に沿って所定間隔をおいて図3に示すエミッタ形成溝115に対応する複数の溝115′を形成する。
一方、図8に示す本発明の第2実施形態によるバックライトユニットの下部パネルを製造する場合には、PRの複数の全体ラインの両縁部に沿って前記溝115′を形成する。この時、互いに隣接するラインに形成される溝115′は互いにずれて配列されることが望ましい。
次に、前記のようにパターニングされたPRをエッチングマスクとして金属薄膜層112b、114bとITO電極層112a、114aとをエッチングした後、PRをストリップする。その結果、図10Eに示すように、下部基板111上には、それぞれ、ITO電極層112a、114a、金属薄膜層112b、及び114bからなる第1電極112と第2電極114が複数の平行なライン状に配列されて形成される。そして、第1電極112の両縁部には複数のエミッタ形成溝115が形成される。
一方、図10Dの段階において、図8に示す本発明の第2実施形態によるバックライトユニットの下部パネルを製造するためにPRの複数の全体ラインの両縁部に沿って前記溝115′を形成した場合には、第1電極112と第2電極114との全ての両縁部に前記エミッタ形成溝115が形成される。
次に、図10Fに示すように、図10Eの結果物の全面にさらにPRを塗布する。
次いで、図10Gに示すように、前記PRを、露光及び現像を含むフォトリソグラフィ工程によりパターニング化して、エミッタ形成溝115を露出させる。
次に、図10Hに示すように、図10Gの結果物の表面に感光性のCNTペースト119をスクリーン印刷方法により所定厚さで塗布する。次いで、下部基板110の背面で光、例えば紫外線(UV)を照射してCNTペースト119を選択的に露光させる。この時、エミッタ形成溝115内部のCNTペースト119だけが紫外線により露光されて硬化(curing)する。
一方、下部基板110の前面でCNTペースト119に対する露光をなしうるが、この場合には露光マスクを使用しなければならない不便さがある。しかし、前記のように背面露光方法を利用すれば、別途の露光マスクが不要となる。
次に、アセトンなどの現像剤を用いてPRを除去すれば、PRが除去されつつ露光されていないCNTペースト119も共にリフトオフ(lift−off)される。これにより、図10Iに示すように、エミッタ形成溝115の内部に露光されたCNTペーストだけ残ってCNTエミッタ116を形成する。
これにより、図10Iに示すように、本発明の第1実施形態によるバックライトユニットの下部パネル110が完成する。
本発明を開示された実施形態に基づいて説明してきたが、これは例示的なものに過ぎず、当業者であれば、これより多様な変形及び均等な他実施形態が可能であることを理解しうる。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は特許請求の範囲によってのみ決まるべきである。
本発明は、液晶表示装置用バックライトユニットに利用され、具体的に輝度の均一性と寿命を向上しうる3極管方式の電界放出構造を有する電界放出型バックライトユニットに利用しうる。
従来の電界放出型バックライトユニットの一例を示した断面図である。 本発明の第1実施形態による電界放出型バックライトユニットの構造を示した部分断面図である。 図2に示された本発明の第1実施形態によるバックライトユニットの下部パネルを示した部分斜視図である。 図3に示された本発明の第1実施形態による下部パネルの変形例を示した部分斜視図である。 図2に示された本発明の第1実施形態によるバックライトユニットにおける電子ビーム放出に対するシミュレーション結果を示す図面である。 図2に示された本発明の第1実施形態によるバックライトユニットにおける発光テスト結果を示す写真である。 本発明の第2実施形態による電界放出型バックライトユニットの構造を示した部分断面図である。 図7に示された本発明の第2実施形態によるバックライトユニットの下部パネルを示した部分斜視図である。 図7に示された本発明の第2実施形態によるバックライトユニットの駆動方法を説明するための下部パネルの概略的な平面図である。 本発明に係るバックライトユニットの下部パネルの望ましい製造方法を段階的に説明するための図である。 本発明に係るバックライトユニットの下部パネルの望ましい製造方法を段階的に説明するための図である。 本発明に係るバックライトユニットの下部パネルの望ましい製造方法を段階的に説明するための図である。 本発明に係るバックライトユニットの下部パネルの望ましい製造方法を段階的に説明するための図である。 本発明に係るバックライトユニットの下部パネルの望ましい製造方法を段階的に説明するための図である。 本発明に係るバックライトユニットの下部パネルの望ましい製造方法を段階的に説明するための図である。 本発明に係るバックライトユニットの下部パネルの望ましい製造方法を段階的に説明するための図である。 本発明に係るバックライトユニットの下部パネルの望ましい製造方法を段階的に説明するための図である。 本発明に係るバックライトユニットの下部パネルの望ましい製造方法を段階的に説明するための図である。
符号の説明
210 下部パネル
211 下部基板
212 第1電極
214 第2電極
212a、214a ITO電極層
212b、214b 金属薄膜層
216、218 CNTエミッタ
220 上部パネル
221 上部基板
222 第3電極
223 蛍光体層
230 スペーサ

Claims (21)

  1. 下部基板と、
    前記下部基板上に形成され、一つずつ交互に複数の平行したライン状に配列された第1電極及び第2電極と、
    前記第1電極と第2電極のうち少なくとも前記第1電極に配置されたエミッタと、
    前記下部基板と所定間隔をおいて相互対向するように配置された上部基板と、
    前記上部基板の底面に形成された第3電極と、
    前記第3電極の表面に形成された蛍光体層と、を備えることを特徴とする電界放出型バックライトユニット。
  2. 前記エミッタは、炭素ナノチューブからなることを特徴とする、請求項1に記載の電界放出型バックライトユニット。
  3. 前記第1電極と第2電極のそれぞれは、前記下部基板上に形成されたITO電極層からなることを特徴とする、請求項1に記載の電界放出型バックライトユニット。
  4. 前記第1電極と第2電極のそれぞれは、前記下部基板上に形成されたITO電極層と、前記ITO電極層上に形成された金属薄膜層と、からなることを特徴とする、請求項1に記載の電界放出型バックライトユニット。
  5. 前記金属薄膜層は、Crからなることを特徴とする、請求項4に記載の電界放出型バックライトユニット。
  6. 前記エミッタを前記第1電極にのみ配置することによって、前記第1電極がカソード電極としての役割を果たし、
    前記第2電極はゲート電極、前記第3電極はアノード電極としての役割を果たすことを特徴とする、請求項1に記載の電界放出型バックライトユニット。
  7. 前記エミッタは、前記第1電極の両縁部に沿って所定間隔をおいて多数配置されたことを特徴とする、請求項6に記載の電界放出型バックライトユニット。
  8. 前記第1電極の両縁部には複数のエミッタ形成溝が形成され、前記複数のエミッタ形成溝内に前記エミッタが形成されたことを特徴とする、請求項7に記載の電界放出型バックライトユニット。
  9. 前記エミッタは、前記第1電極の上面に形成されたことを特徴とする、請求項7に記載の電界放出型バックライトユニット。
  10. 前記エミッタを前記第1電極と第2電極のそれぞれに配置することによって、前記第1電極及び前記第2電極はカソード電極とゲート電極としての役割を交互に果たし、前記第3電極はアノード電極としての役割を果たすことを特徴とする、請求項1に記載の電界放出型バックライトユニット。
  11. 前記エミッタは、前記第1電極と第2電極のそれぞれの両縁部に沿って所定間隔をおいて多数配置されたことを特徴とする、請求項10に記載の電界放出型バックライトユニット。
  12. 前記第1電極に配置されるエミッタと前記第2電極に配置されるエミッタとは互いに間隔をおいて配列されたことを特徴とする、請求項11に記載の電界放出型バックライトユニット。
  13. 前記第1電極と第2電極のそれぞれの両縁部には複数のエミッタ形成溝が形成され、前記複数のエミッタ形成溝内に前記エミッタが形成されたことを特徴とする、請求項11に記載の電界放出型バックライトユニット。
  14. 前記エミッタは、前記第1電極と第2電極のそれぞれの上面に形成されたことを特徴とする、請求項11に記載の電界放出型バックライトユニット。
  15. 第1電極、第2電極、及び前記第1電極と第2電極のそれぞれに配置されたエミッタを有する下部パネルと、第3電極を有する上部パネルと、を備えた3極管方式の電界放出型バックライトユニットの駆動方法において、
    (a)前記第1電極にはカソード電圧、前記第2電極にはゲート電圧、前記第3電極にはアノード電圧を印加して前記第1電極に配置されたエミッタから電子を放出させる段階と、
    (b)前記第1電極にはゲート電圧、前記第2電極にはカソード電圧、前記第3電極にはアノード電圧を印加して前記第2電極に配置されたエミッタから電子を放出させる段階と、
    (c)前記(a)段階と(b)段階とを繰り返して行う段階と、を備えることを特徴とする電界放出型バックライトユニットの駆動方法。
  16. (a)透明基板上に導電性物質層を形成する段階と、
    (b)前記導電性物質層を複数の平行なライン状にパターニングして一つずつ交互に配列された第1電極と第2電極とを形成しつつ、少なくとも前記第1電極の両縁部に沿って所定間隔をおいて複数のエミッタ形成溝を形成する段階と、
    (c)前記第1電極と第2電極とが形成された前記基板上にフォトレジストを塗布する段階と、
    (d)前記フォトレジストをパターニングして前記エミッタ形成溝を露出させる段階と、
    (e)前記フォトレジストの上面及び前記エミッタ形成溝の内部にCNTペーストを塗布する段階と、
    (f)前記CNTペーストを選択的に露光させて前記エミッタ形成溝の内部にCNTエミッタを形成する段階と、
    (g)前記フォトレジストをストリップしつつ前記CNTペーストのうち露光されていない部分を除去する段階と、を備えることを特徴とする電界放出型バックライトユニットの下部パネルの製造方法。
  17. 前記(a)段階は、
    前記基板の上面にITO電極層を形成する段階と、
    前記ITO電極層の上面に金属薄膜層を形成する段階と、を含むことを特徴とする、請求項16に記載の電界放出型バックライトユニットの下部パネルの製造方法。
  18. 前記(b)段階において、前記第1電極と第2電極のそれぞれの両縁部に前記エミッタ形成溝を形成することを特徴とする、請求項16に記載の電界放出型バックライトユニットの下部パネルの製造方法。
  19. 前記(b)段階は、
    前記導電性物質層の上面にフォトレジストを塗布する段階と、
    前記フォトレジストをフォトリソグラフィ工程によりパターニングする段階と、
    前記パターニングされたフォトレジストをエッチングマスクとして前記導電性物質層をエッチングする段階と、
    前記フォトレジストをストリップする段階と、を含むことを特徴とする、請求項16に記載の電界放出型バックライトユニットの下部パネルの製造方法。
  20. 前記(e)段階において、前記CNTペーストは、スクリーンプリンティング法により塗布されることを特徴とする、請求項16に記載の電界放出型バックライトユニットの下部パネルの製造方法。
  21. 前記(f)段階において、前記基板の背面で前記CNTペーストに対する露光がなされることを特徴とする、請求項16に記載の電界放出型バックライトユニットの下部パネルの製造方法。
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