JPH08190430A - 位置決めテーブル - Google Patents
位置決めテーブルInfo
- Publication number
- JPH08190430A JPH08190430A JP348095A JP348095A JPH08190430A JP H08190430 A JPH08190430 A JP H08190430A JP 348095 A JP348095 A JP 348095A JP 348095 A JP348095 A JP 348095A JP H08190430 A JPH08190430 A JP H08190430A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base plate
- positioning
- slide block
- roller
- rollers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
- B23Q1/623—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair followed perpendicularly by a single rotating pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q3/00—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine
- B23Q3/18—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine for positioning only
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 安価で小型で高速位置決め可能な位置決めテ
ーブルを提供する。 【構成】 載置平面を有するテーブル１と、テーブル１
をその載置平面と平行な一平面内で移動自在に支持する
手段と、テーブル１の周縁から突出するように配設され
た垂直軸芯回りに回転自在な３個のローラ５ａ〜５ｃ
と、各ローラ５ａ〜５ｃに各々当接配置され、テーブル
１に対して遠近方向に移動自在なスライドブロック６ａ
〜６ｃと、各スライドブロック６ａ〜６ｃに当接配置さ
れた回転カム７ａ〜７ｃとを備え、２つのスライドブロ
ック６ａ、６ｂは平行で、これに対して他の１つのスラ
イドブロック６ｃが垂直となるようにローラ５ａ〜５
ｃ、スライドブロック６ａ〜６ｃ及び回転カム７ａ〜７
ｃを配設した。
ーブルを提供する。 【構成】 載置平面を有するテーブル１と、テーブル１
をその載置平面と平行な一平面内で移動自在に支持する
手段と、テーブル１の周縁から突出するように配設され
た垂直軸芯回りに回転自在な３個のローラ５ａ〜５ｃ
と、各ローラ５ａ〜５ｃに各々当接配置され、テーブル
１に対して遠近方向に移動自在なスライドブロック６ａ
〜６ｃと、各スライドブロック６ａ〜６ｃに当接配置さ
れた回転カム７ａ〜７ｃとを備え、２つのスライドブロ
ック６ａ、６ｂは平行で、これに対して他の１つのスラ
イドブロック６ｃが垂直となるようにローラ５ａ〜５
ｃ、スライドブロック６ａ〜６ｃ及び回転カム７ａ〜７
ｃを配設した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体製造プロ
セスの露光工程において、パターンマスクにウェハを合
わせるために行なうウェハの位置決めなどに利用される
位置決めテーブルに関するものである。
セスの露光工程において、パターンマスクにウェハを合
わせるために行なうウェハの位置決めなどに利用される
位置決めテーブルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、位置決めテーブルは高精度化とと
もに、小型・軽量化、位置決めの高速化、及び低コスト
化が強く求められている。
もに、小型・軽量化、位置決めの高速化、及び低コスト
化が強く求められている。
【０００３】従来のこの種位置決めテーブルとしては、
例えば特公平４−８１２１１号公報に開示されているよ
うなものが知られている。以下、その位置決めテーブル
について図３〜図５を参照して説明する。１１はベース
板、１２は下テーブル、１３は上テーブルであり、下テ
ーブル１２はベース板１１上に固定されている。上テー
ブル１３は３群のボール群１４ａ、１４ｂ、１４ｃを介
して下テーブル１２の上に載置されている。３群のボー
ル群１４ａ、１４ｂ、１４ｃはリテーナ１５ａ、１５
ｂ、１５ｃ、１６によりボール同士が適当な間隔を保た
れている。ただしリテーナ１５ｂ、１５ｃは図中には示
されていない。下テーブル１２と３群のボール群１４
ａ、１４ｂ、１４ｃは、上テーブル１３を一平面内で移
動自在に支持する手段である。
例えば特公平４−８１２１１号公報に開示されているよ
うなものが知られている。以下、その位置決めテーブル
について図３〜図５を参照して説明する。１１はベース
板、１２は下テーブル、１３は上テーブルであり、下テ
ーブル１２はベース板１１上に固定されている。上テー
ブル１３は３群のボール群１４ａ、１４ｂ、１４ｃを介
して下テーブル１２の上に載置されている。３群のボー
ル群１４ａ、１４ｂ、１４ｃはリテーナ１５ａ、１５
ｂ、１５ｃ、１６によりボール同士が適当な間隔を保た
れている。ただしリテーナ１５ｂ、１５ｃは図中には示
されていない。下テーブル１２と３群のボール群１４
ａ、１４ｂ、１４ｃは、上テーブル１３を一平面内で移
動自在に支持する手段である。
【０００４】上テーブル１３には３カ所にブラケット１
７ａ、１７ｂ、１７ｃとピン１８ａ、１８ｂ、１８ｃに
よりローラ１９ａ、１９ｂ、１９ｃが取付けられてい
る。ここでローラ１９ａ、１９ｂ、１９ｃはピン１８
ａ、１８ｂ、１８ｃを軸として回転可能に取付けられて
いる。
７ａ、１７ｂ、１７ｃとピン１８ａ、１８ｂ、１８ｃに
よりローラ１９ａ、１９ｂ、１９ｃが取付けられてい
る。ここでローラ１９ａ、１９ｂ、１９ｃはピン１８
ａ、１８ｂ、１８ｃを軸として回転可能に取付けられて
いる。
【０００５】一方、ベース板１１上にはガイドブロック
２０ａ、２０ｂ、２０ｃが固定され、このガイドブロッ
ク２０ａ、２０ｂ、２０ｃにスライドガイド２１ａ、２
１ｂ、２１ｃ（２１ｃは図中省略）を介してクサビブロ
ック２２ａ、２２ｂ、２２ｃが摺動可能に取付けられて
いる。クサビブロック２２ａ、２２ｂ、２２ｃを駆動す
る手段２３ａ、２３ｂ、２３ｃを構成するボールネジ２
４ａ、２４ｂ、２４ｃとパルスモータ２５ａ、２５ｂ、
２５ｃはコネクタ２６ａ、２６ｂ、２６ｃで軸同士が固
定されている。ボールネジ２４ａ、２４ｂ、２４ｃはベ
アリング２７ａ、２７ｂ、２７ｃ（２７ｂ、２７ｃは図
中省略）とブラケット２８ａ、２８ｂ、２８ｃを介して
ガイドブロック２０ａ、２０ｂ、２０ｃに取付けられ、
パルスモータ２５ａ、２５ｂ、２５ｃもブラケット２９
ａ、２９ｂ、２９ｃを介してガイドブロック２０ａ、２
０ｂ、２０ｃに取付けられている。さらにボールネジの
ナット３０ａ、３０ｂ、３０ｃはクサビブロック２２
ａ、２２ｂ、２２ｃにそれぞれ固定されている。
２０ａ、２０ｂ、２０ｃが固定され、このガイドブロッ
ク２０ａ、２０ｂ、２０ｃにスライドガイド２１ａ、２
１ｂ、２１ｃ（２１ｃは図中省略）を介してクサビブロ
ック２２ａ、２２ｂ、２２ｃが摺動可能に取付けられて
いる。クサビブロック２２ａ、２２ｂ、２２ｃを駆動す
る手段２３ａ、２３ｂ、２３ｃを構成するボールネジ２
４ａ、２４ｂ、２４ｃとパルスモータ２５ａ、２５ｂ、
２５ｃはコネクタ２６ａ、２６ｂ、２６ｃで軸同士が固
定されている。ボールネジ２４ａ、２４ｂ、２４ｃはベ
アリング２７ａ、２７ｂ、２７ｃ（２７ｂ、２７ｃは図
中省略）とブラケット２８ａ、２８ｂ、２８ｃを介して
ガイドブロック２０ａ、２０ｂ、２０ｃに取付けられ、
パルスモータ２５ａ、２５ｂ、２５ｃもブラケット２９
ａ、２９ｂ、２９ｃを介してガイドブロック２０ａ、２
０ｂ、２０ｃに取付けられている。さらにボールネジの
ナット３０ａ、３０ｂ、３０ｃはクサビブロック２２
ａ、２２ｂ、２２ｃにそれぞれ固定されている。
【０００６】パルスモータ２５ａ、２５ｂ、２５ｃを駆
動するとクサビブロック２２ａ、２２ｂ、２２ｃはボー
ルネジ２４ａ、２４ｂ、２４ｃの軸方向に移動する。な
お、クサビブロック２２ａ、２２ｂ、２２ｃはローラ１
９ａ、１９ｂ、１９ｃと当接する平面である当接面３１
ａ、３１ｂ、３１ｃを有している。この当接面３１ａ、
３１ｂ、３１ｃはボールネジ２４ａ、２４ｂ、２４ｃの
回転軸に対して一定の角度αで傾斜している。
動するとクサビブロック２２ａ、２２ｂ、２２ｃはボー
ルネジ２４ａ、２４ｂ、２４ｃの軸方向に移動する。な
お、クサビブロック２２ａ、２２ｂ、２２ｃはローラ１
９ａ、１９ｂ、１９ｃと当接する平面である当接面３１
ａ、３１ｂ、３１ｃを有している。この当接面３１ａ、
３１ｂ、３１ｃはボールネジ２４ａ、２４ｂ、２４ｃの
回転軸に対して一定の角度αで傾斜している。
【０００７】一方、上テーブル１３にはブラケット３
２、３３、３４、３５とバネカケピン３６、３７、３
８、３９が設けられ、ベース板１１にはバネカケピン４
０、４１、４２、４３が固定されている。これらバネカ
ケピン３６〜３９と４０〜４３間には引張バネ４４〜４
７がそれぞれ張設され、ローラ１９ａは引張バネ４５、
４７によりクサビブロック２２ａの当接面３１ａに、ロ
ーラ１９ｂは引張バネ４４によりクサビブロック２２ｂ
の当接面３１ｂに、ローラ１９ｃは引張バネ４６により
クサビブロック２２ｃの当接面３１ｃにそれぞれ押圧さ
れている。
２、３３、３４、３５とバネカケピン３６、３７、３
８、３９が設けられ、ベース板１１にはバネカケピン４
０、４１、４２、４３が固定されている。これらバネカ
ケピン３６〜３９と４０〜４３間には引張バネ４４〜４
７がそれぞれ張設され、ローラ１９ａは引張バネ４５、
４７によりクサビブロック２２ａの当接面３１ａに、ロ
ーラ１９ｂは引張バネ４４によりクサビブロック２２ｂ
の当接面３１ｂに、ローラ１９ｃは引張バネ４６により
クサビブロック２２ｃの当接面３１ｃにそれぞれ押圧さ
れている。
【０００８】ここでクサビブロック２２ａ、２２ｂ、２
２ｃの配置は、図３に示すように、クサビブロック２２
ａの当接面３１ａと他のクサビブロック２２ｂ、２２ｃ
の当接面３１ｂ、３１ｃは直角に、クサビブロック２２
ｂの当接面３１ｂとクサビブロック２２ｃの当接面３１
ｃとは互いに平行で上テーブル１３を挟む位置になるよ
うに設定されている。また、このときローラ１９ｂ、１
９ｃの位置は、ローラ１９ｂの中心を通って当接面３１
ｂに降ろした垂線Ｄと、ローラ１９ｃの中心を通って当
接面３１ｃに降ろした垂線Ｅとの間の距離ＬがＬ＞０と
なるように決められている。
２ｃの配置は、図３に示すように、クサビブロック２２
ａの当接面３１ａと他のクサビブロック２２ｂ、２２ｃ
の当接面３１ｂ、３１ｃは直角に、クサビブロック２２
ｂの当接面３１ｂとクサビブロック２２ｃの当接面３１
ｃとは互いに平行で上テーブル１３を挟む位置になるよ
うに設定されている。また、このときローラ１９ｂ、１
９ｃの位置は、ローラ１９ｂの中心を通って当接面３１
ｂに降ろした垂線Ｄと、ローラ１９ｃの中心を通って当
接面３１ｃに降ろした垂線Ｅとの間の距離ＬがＬ＞０と
なるように決められている。
【０００９】ここで、当接面３１ａに平行な方向をｘ、
垂直な方向をｙとし、当接面３１ａとボールネジ２４ａ
の回転軸との成す角αを、α＝ｓｉｎ- （１／２０）と
し、ボールネジ２４ａのリードを２mmとすると、パルス
モータ２４ａを駆動してボールネジ２４ａを１／１００
０回転だけ回した場合、クサビブロック２２ａは２μｍ
移動し、ローラ１９ａはｙ方向に０．１μｍ移動する。
ローラ１９ｂ、１９ｃについてもローラ１９ａと同様で
あり、これらローラ１９ａ、１９ｂ、１９ｃの位置決め
により上テーブル１３をｘ、ｙ、θ方向に対して０．１
μｍの分解能で位置決めできる。
垂直な方向をｙとし、当接面３１ａとボールネジ２４ａ
の回転軸との成す角αを、α＝ｓｉｎ- （１／２０）と
し、ボールネジ２４ａのリードを２mmとすると、パルス
モータ２４ａを駆動してボールネジ２４ａを１／１００
０回転だけ回した場合、クサビブロック２２ａは２μｍ
移動し、ローラ１９ａはｙ方向に０．１μｍ移動する。
ローラ１９ｂ、１９ｃについてもローラ１９ａと同様で
あり、これらローラ１９ａ、１９ｂ、１９ｃの位置決め
により上テーブル１３をｘ、ｙ、θ方向に対して０．１
μｍの分解能で位置決めできる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構成では、ボールネジ２４ａ、２４ｂ、２４ｃが
高価でコスト高となり、また構成上可動ストロークに比
して装置全体の投影面積が大きくなって装置が大型化
し、またボールネジとテーパカム方式の機械的減速機構
を用いているために所定のストロークの移動時間に長時
間を要する等の問題点を有していた。
ような構成では、ボールネジ２４ａ、２４ｂ、２４ｃが
高価でコスト高となり、また構成上可動ストロークに比
して装置全体の投影面積が大きくなって装置が大型化
し、またボールネジとテーパカム方式の機械的減速機構
を用いているために所定のストロークの移動時間に長時
間を要する等の問題点を有していた。
【００１１】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、低コ
スト、小面積、高速位置決め可能な位置決めテーブルを
提供することを目的としている。
スト、小面積、高速位置決め可能な位置決めテーブルを
提供することを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の位置決めテーブ
ルは、載置平面を有するテーブルと、テーブルをその載
置平面と平行な一平面内で移動自在に支持する手段と、
テーブルの周縁から突出するように配設された垂直軸芯
回りに回転自在な３個のローラと、各ローラに各々当接
配置されかつテーブルに対して遠近方向に移動自在なス
ライドブロックと、各スライドブロックのローラとの当
接端とは反対側端に当接配置された回転カムとを備え、
２つのスライドブロックは平行で、これに対して他の１
つのスライドブロックが垂直となるようにローラ、スラ
イドブロック及び回転カムを配設したことを特徴とす
る。
ルは、載置平面を有するテーブルと、テーブルをその載
置平面と平行な一平面内で移動自在に支持する手段と、
テーブルの周縁から突出するように配設された垂直軸芯
回りに回転自在な３個のローラと、各ローラに各々当接
配置されかつテーブルに対して遠近方向に移動自在なス
ライドブロックと、各スライドブロックのローラとの当
接端とは反対側端に当接配置された回転カムとを備え、
２つのスライドブロックは平行で、これに対して他の１
つのスライドブロックが垂直となるようにローラ、スラ
イドブロック及び回転カムを配設したことを特徴とす
る。
【００１３】好適には、支持手段は、テーブルを支持す
るベース板と、テーブル下面にベース板を貫通させて一
体的に取付けられ、その下端にベース板を間に挟んで対
向する規制板を備えた規制手段と、テーブルとベース板
の間及びベース板と規制板の間に介装された鋼球とを備
え、テーブルと規制板にて鋼球を介してベース板を挟持
した構成とされる。また、回転カムの外周カム面が等速
曲線に形成される。
るベース板と、テーブル下面にベース板を貫通させて一
体的に取付けられ、その下端にベース板を間に挟んで対
向する規制板を備えた規制手段と、テーブルとベース板
の間及びベース板と規制板の間に介装された鋼球とを備
え、テーブルと規制板にて鋼球を介してベース板を挟持
した構成とされる。また、回転カムの外周カム面が等速
曲線に形成される。
【００１４】
【作用】本発明によれば、回転カムを小径高精度に加工
することによって装置全体の投影面積を小さくできて装
置の小型・軽量化を達成でき、また最大回転カム１回転
で所定の移動量を確保することができて位置決めを高速
化でき、また構成部品が少なく簡単であるため低コスト
化を実現できる。
することによって装置全体の投影面積を小さくできて装
置の小型・軽量化を達成でき、また最大回転カム１回転
で所定の移動量を確保することができて位置決めを高速
化でき、また構成部品が少なく簡単であるため低コスト
化を実現できる。
【００１５】また、支持手段を、テーブルと規制板にて
鋼球を介してベース板を挟持した構成とすることによ
り、テーブルがあらゆる方向の引張や曲げに対して高い
剛性を持ち、また回転カムを等速曲線に形成することに
より、回転角と変位量がリニア変化し、制御が容易とな
る。
鋼球を介してベース板を挟持した構成とすることによ
り、テーブルがあらゆる方向の引張や曲げに対して高い
剛性を持ち、また回転カムを等速曲線に形成することに
より、回転角と変位量がリニア変化し、制御が容易とな
る。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の一実施例の位置決めテーブル
について、図１、図２を参照して説明する。
について、図１、図２を参照して説明する。
【００１７】１はテーブルで、ベース板２上に移動自在
に配設されている。テーブル１の下面にはベース板２を
貫通させて規制手段３が一体的に取付けられている。規
制手段３の下端にベース板２を間に挟んでテーブル１と
対向する規制板３ａが設けられるととともに、テーブル
１とベース板２の間、及びベース板２と規制板３ａの間
にそれぞれ鋼球４ａ、４ｂが介装され、テーブル１と規
制板３ａにて鋼球４ａ、４ｂを介してベース板２が挟持
されている。これにより、テーブル１はベース板２にて
その載置平面と平行な一平面内で移動自在に支持されて
いる。
に配設されている。テーブル１の下面にはベース板２を
貫通させて規制手段３が一体的に取付けられている。規
制手段３の下端にベース板２を間に挟んでテーブル１と
対向する規制板３ａが設けられるととともに、テーブル
１とベース板２の間、及びベース板２と規制板３ａの間
にそれぞれ鋼球４ａ、４ｂが介装され、テーブル１と規
制板３ａにて鋼球４ａ、４ｂを介してベース板２が挟持
されている。これにより、テーブル１はベース板２にて
その載置平面と平行な一平面内で移動自在に支持されて
いる。
【００１８】テーブル１の外周縁の適当な位置の３箇所
にそれぞれローラ５ａ、５ｂ、５ｃが配設されている。
各ローラ５ａ、５ｂ、５ｃにそれぞれ当接可能にかつテ
ーブル１の外周縁に対して垂直な遠近方向に摺動自在に
スライドブロック６ａ、６ｂ、６ｃが配設され、かつ各
スライドブロック６ａ、６ｂ、６ｃのローラ５ａ、５
ｂ、５ｃとの当接端とは反対側端に回転カム７ａ、７
ｂ、７ｃが当接配置されている。これら回転カム７ａ、
７ｂ、７ｃはそれぞれのモータ８ａ、８ｂ、８ｃ（８ｃ
は図中省略）と直結されている。９は引張バネであり、
各ローラ５ａ、５ｂ、５ｃがスライドブロック６ａ、６
ｂ、６ｃに当接するようにテーブル１を付勢している。
にそれぞれローラ５ａ、５ｂ、５ｃが配設されている。
各ローラ５ａ、５ｂ、５ｃにそれぞれ当接可能にかつテ
ーブル１の外周縁に対して垂直な遠近方向に摺動自在に
スライドブロック６ａ、６ｂ、６ｃが配設され、かつ各
スライドブロック６ａ、６ｂ、６ｃのローラ５ａ、５
ｂ、５ｃとの当接端とは反対側端に回転カム７ａ、７
ｂ、７ｃが当接配置されている。これら回転カム７ａ、
７ｂ、７ｃはそれぞれのモータ８ａ、８ｂ、８ｃ（８ｃ
は図中省略）と直結されている。９は引張バネであり、
各ローラ５ａ、５ｂ、５ｃがスライドブロック６ａ、６
ｂ、６ｃに当接するようにテーブル１を付勢している。
【００１９】次に、以上の構成の位置決めテーブルの動
作を説明する。テーブル１はローラ５ａ、５ｂ、５ｃ及
びスライドブロック６ａ、６ｂ、６ｃを介して回転カム
７ａ、７ｂ、７ｃに押し付けられるように引張バネ９に
て付勢されているので、モータ８ａ、８ｂ、８ｃにて各
回転カム７ａ、７ｂ、７ｃを任意の回転位置に回転する
ことにより、テーブル１はベース板２に対してｘ、ｙ方
向及びθ方向の任意の位置に移動して位置決めされる。
作を説明する。テーブル１はローラ５ａ、５ｂ、５ｃ及
びスライドブロック６ａ、６ｂ、６ｃを介して回転カム
７ａ、７ｂ、７ｃに押し付けられるように引張バネ９に
て付勢されているので、モータ８ａ、８ｂ、８ｃにて各
回転カム７ａ、７ｂ、７ｃを任意の回転位置に回転する
ことにより、テーブル１はベース板２に対してｘ、ｙ方
向及びθ方向の任意の位置に移動して位置決めされる。
【００２０】また、回転カム７ａ、７ｂ、７ｃの外周カ
ム面を等速曲線（アルキメデス曲線）に形成することに
よって回転カム７ａ、７ｂ、７ｃの回転角度とその変位
を直線的に選定することが可能となる。また、テーブル
１とこれに一体的に設けられた規制板３ａとの間に鋼球
４ａ、４ｂを介してベース板２を挟持しているので、テ
ーブル１の高さ方向を含めて移動方向以外のあらゆる方
向の剛性が高く、かつ移動方向にはころがり摩擦である
ため低摩擦にて変位させることができる。
ム面を等速曲線（アルキメデス曲線）に形成することに
よって回転カム７ａ、７ｂ、７ｃの回転角度とその変位
を直線的に選定することが可能となる。また、テーブル
１とこれに一体的に設けられた規制板３ａとの間に鋼球
４ａ、４ｂを介してベース板２を挟持しているので、テ
ーブル１の高さ方向を含めて移動方向以外のあらゆる方
向の剛性が高く、かつ移動方向にはころがり摩擦である
ため低摩擦にて変位させることができる。
【００２１】以上のように、本実施例によれば載置平面
を有するテーブル１の外周縁の３点を、各点に配設した
３つのローラ５ａ、５ｂ、５ｃとスライドブロック６
ａ、６ｂ、６ｃを介して回転カム７ａ、７ｂ、７ｃによ
って駆動することによって、テーブル１の３軸方向の位
置決めを行なうことができ、従来のボールネジ送り機構
とテーパカム機構を用いた構成に比較して所定の移動範
囲の中で高速にて位置決めすることができ、また装置の
全体の設置面積を小面積とすることができる。
を有するテーブル１の外周縁の３点を、各点に配設した
３つのローラ５ａ、５ｂ、５ｃとスライドブロック６
ａ、６ｂ、６ｃを介して回転カム７ａ、７ｂ、７ｃによ
って駆動することによって、テーブル１の３軸方向の位
置決めを行なうことができ、従来のボールネジ送り機構
とテーパカム機構を用いた構成に比較して所定の移動範
囲の中で高速にて位置決めすることができ、また装置の
全体の設置面積を小面積とすることができる。
【００２２】
【発明の効果】本発明の位置決めテーブルによれば、以
上の説明から明らかなように、載置平面を有するテーブ
ルと、テーブルをその載置平面と平行な一平面内で移動
自在に支持する手段と、テーブルの周縁に配設された３
個のローラと、各ローラに各々当接配置されるとともに
テーブルに対して遠近方向に移動自在なスライドブロッ
クと、各スライドブロックに当接配置された回転カムと
から成るので、回転カムを小径高精度に加工することに
よって装置全体の投影面積を小さくできて装置の小型・
軽量化を達成でき、また回転カム１回転で所定の移動量
を確保することができて高速位置決めを実現でき、また
構成部品が少なく簡単であるため低コスト化を実現でき
る。
上の説明から明らかなように、載置平面を有するテーブ
ルと、テーブルをその載置平面と平行な一平面内で移動
自在に支持する手段と、テーブルの周縁に配設された３
個のローラと、各ローラに各々当接配置されるとともに
テーブルに対して遠近方向に移動自在なスライドブロッ
クと、各スライドブロックに当接配置された回転カムと
から成るので、回転カムを小径高精度に加工することに
よって装置全体の投影面積を小さくできて装置の小型・
軽量化を達成でき、また回転カム１回転で所定の移動量
を確保することができて高速位置決めを実現でき、また
構成部品が少なく簡単であるため低コスト化を実現でき
る。
【００２３】また、支持手段を、テーブルと規制板にて
鋼球を介してベース板を挟持した構成とすることにより
あらゆる方向に対して高い剛性を持たせることができ、
また回転カムを等速曲線に形成することにより、回転角
と変位量がリニアに変化し、制御が容易となる。
鋼球を介してベース板を挟持した構成とすることにより
あらゆる方向に対して高い剛性を持たせることができ、
また回転カムを等速曲線に形成することにより、回転角
と変位量がリニアに変化し、制御が容易となる。
【図１】本発明の一実施例の位置決めテーブルの平面図
である。
である。
【図２】同実施例の縦断面図である。
【図３】従来例の位置決めテーブルの斜視図である。
【図４】同従来例の平面図である。
【図５】同従来例の縦断面図である。
１ テーブル ２ ベース板 ３ 規制手段 ３ａ 規制板 ４ａ、４ｂ 鋼球 ５ａ〜５ｃ ローラ ６ａ〜６ｃ スライドブロック ７ａ〜７ｃ 回転カム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｋ
Claims (3)
- 【請求項１】 載置平面を有するテーブルと、テーブル
をその載置平面と平行な一平面内で移動自在に支持する
支持手段と、テーブルの周縁から突出するように配設さ
れた垂直軸芯回りに回転自在な３個のローラと、各ロー
ラに各々当接配置されかつテーブルに対して遠近方向に
移動自在なスライドブロックと、各スライドブロックの
ローラとの当接端とは反対側端に当接配置された回転カ
ムとを備え、２つのスライドブロックは平行で、これに
対して他の１つのスライドブロックが垂直となるように
ローラ、スライドブロック及び回転カムを配設したこと
を特徴とする位置決めテーブル。 - 【請求項２】 支持手段は、テーブルを支持するベース
板と、テーブル下面にベース板を貫通させて一体的に取
付けられ、その下端にベース板を間に挟んで対向する規
制板を備えた規制手段と、テーブルとベース板の間及び
ベース板と規制板の間に介装された鋼球とを備え、テー
ブルと規制板にて鋼球を介してベース板を挟持して成る
ことを特徴とする請求項１記載の位置決めテーブル。 - 【請求項３】 回転カムの外周カム面が等速曲線に形成
されていることを特徴とする請求項１記載の位置決めテ
ーブル。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP348095A JPH08190430A (ja) | 1995-01-12 | 1995-01-12 | 位置決めテーブル |
| US08/582,314 US5836080A (en) | 1995-01-12 | 1996-01-03 | Positioning table |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP348095A JPH08190430A (ja) | 1995-01-12 | 1995-01-12 | 位置決めテーブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08190430A true JPH08190430A (ja) | 1996-07-23 |
Family
ID=11558510
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP348095A Pending JPH08190430A (ja) | 1995-01-12 | 1995-01-12 | 位置決めテーブル |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5836080A (ja) |
| JP (1) | JPH08190430A (ja) |
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1995
- 1995-01-12 JP JP348095A patent/JPH08190430A/ja active Pending
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1996
- 1996-01-03 US US08/582,314 patent/US5836080A/en not_active Expired - Fee Related
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| US5836080A (en) | 1998-11-17 |
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