JP3222230B2 - 微小移動ＸＹθテーブル - Google Patents

微小移動ＸＹθテーブル

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JP3222230B2
JP3222230B2 JP33324292A JP33324292A JP3222230B2 JP 3222230 B2 JP3222230 B2 JP 3222230B2 JP 33324292 A JP33324292 A JP 33324292A JP 33324292 A JP33324292 A JP 33324292A JP 3222230 B2 JP3222230 B2 JP 3222230B2
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cams
cam
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rotating
pair
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JP33324292A
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宏 臣 小笠原
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小笠原 宏臣
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＸＹ座標におけるＸ軸方
向およびＹ軸方向に沿う微小距離の直線運動およびＸ、
Ｙ両軸に対する微小角度θの回転運動を行うＸＹθテー
ブルに係り、とくに剛性の高いものに関する。
【０００２】
【従来の技術】ＸＹθテーブルを構成する場合、Ｘ、Ｙ
各軸が独立した送り系および回転系にネジや歯車などに
よる送り機構とウォーム、ウォームホイルなどの減速機
構とを結合し、各テーブルを独立駆動しているのが通例
である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この構成では、直動案
内とか回転軸の剛性をはじめネジの剛性、ウォームとウ
ォームホイルとの噛み合い剛性および各軸受けの剛性な
どにより高剛性のＸＹθテーブルを製作することは困難
である。
【０００４】本発明は上述の点を考慮してなされたもの
で、高剛性を持ったＸＹθテーブルを提供することを目
的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上述の点を考慮
してなされたもので、それぞれが一対の同一形状の回転
カムを有し正方形の各隅部に配された４対のカム組から
なり、これらカム組の隣り合うもの同士の距離がともに
等しく、且つ対向するもの同士の距離がともに等しくな
るように配置されており、これらカムが所定方向に等角
度づつ回転するとき相互間距離が所定値を保つように配
されたカム組と、それぞれが、前記カムの周面に接する
一対の転がりリニアガイド、これら転がりリニアガイド
間に転がり要素を介して配されるガイドバーを有し、前
記カム組のカム相互間に配されて前記カム組のカムが回
転することにより移動する４個の移動部材と、前記ガイ
ドバーに固着された移動テーブルと、前記４対のカムの
うち少なくとも２対を選択して所定方向に同期的に回転
させる駆動手段とをそなえる微小移動ＸＹθテーブル、
を提供するものである。
【０００６】
【作用】駆動手段により、４対のカム組のうち対向関係
にあるいづれか一方の２対のみをカム相互間距離がＸ軸
またはＹ軸に沿って直進移動するように方向を揃えて同
期回転させると、移動部材を介して作用力が伝達されＸ
軸またはＹ軸に沿って移動テーブルが移動する。
【０００７】また、駆動手段により４対のカム組全部を
カム相互間距離がＸ軸およびＹ軸に対して回転移動する
ように方向を揃えて同期回転させると、移動部材を介し
て作用力が伝達されＸ軸およびＹ軸に対して移動テーブ
ルが回転する。
【０００８】
【発明の効果】本発明は上述のように、４対の回転カム
組のカム対相互間に転がりリニアガイド、転がり要素お
よびガイドバーからなる４個の移動部材を設け、ガイド
バーを移動テーブルに固着して構成するものであり、回
転カムを回転させることにより移動テーブルをＸ軸、Ｙ
軸に沿って直動させたりこれら両軸に対して回転させた
りすることができる。
【０００９】
【実施例】図は、本発明の一実施例の移動テーブルの底
面形状を示したものである。同図において、１０は移動
テーブルであり、平面案内ボールガイドとか平面静圧ガ
イドなどでＸ−Ｙ平面に支持される。移動テーブル１０
は、その中心にある原点を中心にして図示のＸ軸方向、
Ｙ軸方向への直進運動ならびにＸ軸およびＹ軸に対する
回転運動を行うものである。
【００１０】移動テーブル１０の底面には、そのＸ軸お
よびＹ軸に位置が一致するように４個のガイドバー１１
が固着されている。このガイドバー１１は、平板状であ
って移動テーブル１０に底面に立設されており、その両
側面が転がり要素１２を介してガイドバー１１に対して
平行に対向配置された転がりリニアガイド１３に係合し
ている。
【００１１】リニアガイド１３は、一面で転がり要素１
２を介してガイドバー１１に対向し、反対面で回転カム
Ｃ１ないしＣ８に当接している。カムＣ１ないしＣ８
は、たとえばインボリュートカムであり、高剛性のスピ
ンドル軸に取り付けられて各別に駆動モータＭに連結さ
れている。各駆動モータＭは、パルスモータとかサーボ
モータであり、図示しないコンピュータを用いた制御装
置により駆動制御されて正逆転する。
【００１２】８個の回転カムは、Ｃ１とＣ２、Ｃ３とＣ
４、Ｃ５とＣ６、Ｃ７とＣ８とが対をなしており、各対
は正方形の各隅部に配されている。そして各対におい
て、一方の回転カムたとえばＣ１が反時計方向に回転す
るとき他方の回転カムＣ２が時計方向に同角度だけ回転
すると、両カムのカム面間の距離が一定のまま両カムＣ
１、Ｃ２の間隔が図示下方に向かって移動していく。
【００１３】両カムＣ１、Ｃ２の間隔には、ガイドバー
１１、転がり要素１２および転がりリニアガイド１３か
らなる移動部材が挿入されており、この移動部材が図示
下方に移動する。この結果、ガイドバー１１に固着され
ている移動テーブル１０の図示右側部分には、図示下方
への作用力が働く。
【００１４】上記とは反対にＣ１を時計方向に、Ｃ２を
反時計方向に回転させると両カムＣ１、Ｃ２の間隔が図
示上方に向かって移動していく。これと同様のことがカ
ムＣ５、Ｃ６のカム組でも起きる。
【００１５】したがって、カムＣ１とＣ２の組、および
カムＣ５とＣ６の組を同時に同様に動作させると、カム
対間の間隔が図示上下方向に移動する。そして、移動部
材が図示上下方向に移動して移動テーブルを同様に図示
上下方向に移動させる。このとき他の２つのカム組は動
作させないでおく。
【００１６】カムＣ３とＣ４、およびＣ７とＣ８は、や
はり同様にカム対を形成しており、図示左右方向に移動
部材１１ないし１３、移動テーブル１０を移動させる。
【００１７】これに対して４対のカム組を、Ｘ軸に沿う
２つのカム対Ｃ１とＣ２、Ｃ５とＣ６につき、Ｃ１とＣ
２のカム対は図示下方に、Ｃ５とＣ６のカム対は図示上
方に移動させれば移動テーブル１０が時計方向の回転運
動を行なうようになる。これに合わせてＹ軸に沿う２つ
のカム対Ｃ３とＣ４、Ｃ７とＣ８につき、Ｃ３とＣ４の
カム対は図示左方に、Ｃ７とＣ８のカム対は図示右方に
移動させればよい。
【００１８】上記実施例では、回転カムをインボリュー
トカムとしたが、カムを所定量回転させたときにカム対
間の間隔を一定に保ちつつ移動させることができれば、
他の特性カムを用いてもよいことはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の底面形状を示す図。
【符号の説明】
１０ 移動テーブル １１ ガイドバー １２ 転がり要素 １３ 転がりリニアガイド Ｃ 回転カム Ｍ モータ

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】それぞれが一対の同一形状の回転カムを有
    し正方形の各隅部に配された４対のカム組からなり、こ
    れらカム組の隣り合うもの同士の距離がともに等しく、
    且つ対向するもの同士の距離がともに等しくなるように
    配置されており、これらカムが所定方向に等角度づつ回
    転するとき相互間距離が所定値を保つように配されたカ
    ム組と、 それぞれが、前記カムの周面に接する一対の転がりリニ
    アガイド、これら転がりリニアガイド間に転がり要素を
    介して配されるガイドバーを有し、前記カム組のカム相
    互間に配されて前記カム組のカムが回転することにより
    移動する４個の移動部材と、 前記ガイドバーに固着された移動テーブルと、 前記４対のカムのうち少なくとも２対を選択して所定方
    向に同期的に回転させる駆動手段とをそなえる微小移動
    ＸＹθテーブル。
  2. 【請求項２】請求項１のテーブルにおいて、 前記回転カムはインボリュートカムである微小移動ＸＹ
    θテーブル。
JP33324292A 1992-12-14 1992-12-14 微小移動ＸＹθテーブル Expired - Lifetime JP3222230B2 (ja)

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JP33324292A JP3222230B2 (ja) 1992-12-14 1992-12-14 微小移動ＸＹθテーブル

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JPH06180381A JPH06180381A (ja) 1994-06-28
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JPH08190430A (ja) * 1995-01-12 1996-07-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 位置決めテーブル
JP2759912B2 (ja) * 1996-02-07 1998-05-28 和也 廣瀬 多自由度テーブル機構用支持ユニット並びに多自由度テーブル機構

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