JPS6029385Y2 - Xy移動テ−ブル - Google Patents

Xy移動テ−ブル

Info

Publication number
JPS6029385Y2
JPS6029385Y2 JP1289980U JP1289980U JPS6029385Y2 JP S6029385 Y2 JPS6029385 Y2 JP S6029385Y2 JP 1289980 U JP1289980 U JP 1289980U JP 1289980 U JP1289980 U JP 1289980U JP S6029385 Y2 JPS6029385 Y2 JP S6029385Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
feed screw
nut
base
guide surfaces
guide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP1289980U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS56116125U (ja
Inventor
信雄 岩谷
Original Assignee
日本精工株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本精工株式会社 filed Critical 日本精工株式会社
Priority to JP1289980U priority Critical patent/JPS6029385Y2/ja
Priority to US06/216,259 priority patent/US4372223A/en
Publication of JPS56116125U publication Critical patent/JPS56116125U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS6029385Y2 publication Critical patent/JPS6029385Y2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Machine Tool Units (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は、ベース上に設けられた下テーブルと、この
下テーブル上に設けられた上テーブルを有し、この2つ
のテーブルが互いに直角な方向に夫々送りねじによって
移動可能とされているXY移動テーブルであって、上テ
ーブルを移動させる送りねじがベースに支承され、この
送りねじに螺合するナツトと上テーブル間に自由度を持
った接続機構を介在させて送りねじの回転変位に対応し
た正確な上テーブルの移動を可能としたXY移動テーブ
ルに関する。
ベースに設けられた第1の案内手段に支承され一方向に
移動可能とされている下テーブルと、この下テーブル上
に設けられた第2の案内手段により下テーブルの移動方
向と直角な方向に移動可能とされた上テーブルを有し、
前記夫々のテーブルが送りねじによって移動されるよう
にしたXY移動テーブルは、一般に下テーブルを移動さ
せる送りねじをベースに支承し、上テーブルを移動させ
る送りねじを下テーブルに支承するものとなっているが
、この形式スY移動テーブルは、上テーブルを駆動する
動力源であるモータ等がテーブルに取付けられるもので
あるため、下テーブルの重量が大きくなり、下テーブル
の慣性が大となる結果下テーブルを高速移動させること
が困難となるという欠点があった。
また、下テーブルにモータを取付けたものでは、モータ
から発生する振動によりテーブルが振動しモータを停止
させてもすぐにテーブルが安定化しないという欠点があ
った。
この様な欠点を解消したXY移動テーブルとしては、上
テーブルを移動させる送りねじをベースに支承し、この
送りねじに螺合させた滑動ブロックに一対のガイドロー
ラを設け、上テーブルの移動方向の一端を折曲してガイ
ドローラーにより挾持してなるXY移動テーブルが公知
である。
しかし、このXY移動テーブルは、滑動ブロックを用い
ているため、送りねじの偏心または送りねじを支承する
部分等に偏心が存在するとナツトに振れが生じ、滑動ブ
ロックの滑動面に加わる面圧が変化するので滑動ブロッ
クの摺動抵抗が変化し、テーブルの正確な位置決めが困
難となるという欠点があった。
この考案は、従来のXY移動テーブルがもつ前記欠点に
着目してなされたもので、その目的とするところは、テ
ーブルの高速動作が可能で、送りねじの偏心または送り
ねじを支承する部分等に若干の偏心が存在してもテーブ
ルの正確な位置決めが可能なXY移動テーブルを提供す
るにある。
この目的を遠戚するため、この考案は、上テーブルを移
動させる送りねじをベースに支承し、この送りねじの軸
方向と直交する一対の案内面をナツトまたは上テーブル
のいずれか一方の部材に設け、この案内面に係合するロ
ーラを両端部に有するアームを他方の部材に揺動自在に
取付けた第1の接続部と、送りねじの軸方向と平行な一
対の案内面をナツトま゛たはベースのいずれか一方の部
材に設け、この案内面に係合するローラを両端部に有す
るアームを他方の部材に揺動自在に取付けた第2の接続
部を設け、夫々のアームの弾性変形により前記夫々の案
内面を夫々2つのローラにて予圧して送りねじの回転に
対応した正確な上テーブルの位置決めを可能としたもの
である。
次にこの考案に係る実施例を図面により説明する。
下テーブル1は、ベース2に設けられた2組の第1の案
内手段3に支承された一方向に移動可能となっている。
この第1の案内手段3は、2つの案内ブロック4,5間
に軸線の向きを交互に直角方向に変えたころ6が配され
たクロスローラ直動案内が用いられているが他の形式の
案内手段であっても良い。
上テーブル7は、下テーブル1に設けられた2組の第2
の案内手段8に支承され下テーブル1の移動方向に対し
て直角な方向に移動可能とされている。
この第2の案内手段8は、2つの案内ブロック9,10
間に軸線の向きを交互に直角方向に変えたころ11が配
されたクロスローラ直動案内が用いられているが他の形
式の案内手段であっても良い。
送りねじ12は、軸線が上テーブル7の移動方向と平行
とされ軸受13とブラケット14に嵌合した2つの軸受
15,16により回転自在に支承されている。
送りねじ12の端部には、カップリング17が取付けら
れ、ブラケット14に間座18を介して取付けられたモ
ータ19の軸は、このカップリング17により送りねじ
12と結合されている。
ナツト20は、送りねじ12に螺合し、送りねじ12の
回転により送りねじ12の軸方向に移動可能となってい
る。
上テーブル7とナツト20の間には、ナツト20の変位
を上テーブル7に確実に伝達するための第1の接続部が
設けられ、ナツト20とベース2の間には、ナツト20
が送りねじ12に対して回転するのを阻止する第2の接
続部が設けられている。
この第1の接続部は、互いに平行且対向し背中合せとな
った案内面21.22を有するレール23をその案内面
が送りねじ12の軸線と直行するように上テーブル7に
ボルト24により固着し、ナツト20の上面に案内面2
1.22の夫々に対応し送りねじ12の軸線方向に離間
した支軸25.26を固着し、この支軸25に案内面2
1に係合する回転自在なローラ27を両端部に有するア
ーム28を揺動自在に嵌合させ、支軸26に案内面22
に係合する回転自在なローラ29を両端部に有するアー
ム30を揺動自在に嵌合させ、前記ローラの対27及び
29が各々反対方向から案内面21.22に圧接された
構成とされている。
支軸25の中心と支軸26の中心間距離から、支軸25
の中心からローラ27が案内面21に接する側の2つの
ローラ27の共通接線までの自由状態における距離と、
支軸26の中心からローラ29が案内面22に接する側
の2つのローラ29の共通接線までの自由状態における
距離を差し引いた寸法は、レール23の案内面21.2
2間の幅寸法より小さく選ばれているのでレール23は
、アーム28.30を弾性変形させ、対向するローラ2
7,29の間隔を押し広げた状態としてローラ27,2
9の間に組付けられる。
このためローラ27,29は、アーム28.30の弾性
変形によって案内面21.22に常に予圧された状態で
係合されている。
アーム28.30には、ローラ27,39を案内面21
.22に適当な予圧で係合させるため切欠31または3
2が設けられているが、適当な弾性を得る他の手段とし
ても良い。
第2の接続部は、互いに平行且対向し背中合せとなった
案内面33.34を有するキー35をその案内面が送り
ねじ12の軸線と平行するようにベース2にボルト36
により固着し、ナツト20の下面に案内面33.34の
夫々に対応し送りねじ12の軸線方向と直交する方向に
離間した支軸37.38を固着し、この支軸37に案内
面33に係合する回転自在なローラ39を両端部に有す
るアーム40を揺動自在に嵌合させ、支軸38に案内面
34に係合する回転自在なローラ41を両端部に有する
アーム42を揺動自在に嵌合させ、前記ローラの対39
及び41が各々反対方向から案内面33.34に圧接さ
れた構成とされている。
支軸37の中心と支軸38の中心間距離から、支軸37
の中心からローラ39が案内面33に接する側の2つの
ローラ29の共通接線までの自由状態における距離と、
支軸38の中心からローラ41が案内面34に接する側
の2つのローラ41の共通接線までの自由状態における
距離を差し引いた寸法は、前記第1の接続部と同様とさ
れている。
このためローラ39,41は、アーム40゜42の弾性
変形によって案内面33.34に常に予圧された状態で
係合されている。
アーム40.42には、アーム40.42に適当な弾性
を持たせるための切欠43または44が設けられている
下テーブル1を駆動するモータ45は、ベース2に固着
されている所のみが示しである。
以上の様に構成したこの考案のXY移動テーブルは、上
テーブル7を駆動するモータ19をベース2に固着した
構造としたので、下テーブル1に上テーブル7を駆動す
る機構を設ける必要がなく、下テーブル1の慣性が大き
くならないので下テーブル1の作動の高速化が可能であ
り、また、モータ19がベース2に支持されているので
、モータの振動によりテーブルが振動してテーブルの安
定時間が多くなるということが少いXY移動テーブルを
得ることができ、送りねじ12の軸線と直交する方向に
自由度を持たせた第1の接続部をナツト20と上テーブ
ル7の間に設け、送りねじ12の軸線と平行な方向に自
由度を持たせた第2の接続部をナツト20とベース2の
間に設けた構成とし、前記夫々の接続部は、予圧された
ローラによる係合としたので、ナツトに若干の振れがあ
ってもテーブルの位置決め精度が阻害されることが少く
正確な位置決めが可能なXY移動テーブルが得られると
いう効果を有する。
さらに、接続部の案内面に係合するローラをアームの両
端部に設ける構成としたので、係合部の剛性が大きく、
また、ローラに加える予圧力は、アームを両持梁とする
弾性変形を利用したので、ばね定数を小さく出来、製作
時の加工誤差による予圧力の変動が小さいので均一な製
品を容易に製造出来るという効果を有する。
この実施例では、上テーブル7の側に案内面21.22
を設け、ナツト20の側に支軸25,26を設けた第1
の接続部と、ベース2の側に案内面33.34を設け、
ナツト20の側に支軸37.38を設けた第2の接続部
を有するものを示したが、第1の接続部は、上テーブル
7の側に支軸25.26を設け、ナツト20の側に案内
面21.22を設ける構成としても良く、また、第2の
接続部は、ベース2の側に支軸37.38を設け、ナツ
ト20の側に案内面33.34を設ける構成としてもい
ずれも同様の作用効果が得られるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの考案のXY移動テーブルの一実施例を示す
正面図、第2図は、第1図の右側面図、第3図は、第1
図のA−A線断面図、第4図は、第1図のB−B線断面
図である。 1・・・・・・下テーブル、2・・・・・・ベース、7
・・・・・・上テーブル、12・・・・・・送りねじ、
20・・・・・・ナツト、21.22,33.34・・
・・・・案内面、25.26゜37.38・・・・・・
支軸、27,29,39.41・・・・・・ローラ、2
8,30,40,42・・・・・・アーム。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ベース2に設けられた第1の案内手段3に支承され一方
    向に移動可能とされた下テーブル1と、該下テーブル1
    に設けられた第2の案内手段8に支承され前記下テーブ
    ル1の移動方向と直角な方向に移動可能とされた上テー
    ブル7と、該上テーブル7の移動方向と平行にベース2
    に回転自在に支承された送りねじ12と、該送りねじに
    螺合するナツト20と、該ナツト20と前記上テーブル
    7間に設けられた第1の接続部と、前記ナツト20と前
    記ベース2間に設けられた第2の接続部を具え、前記第
    1の接続部は、前記ナツト20または上テーブル7のい
    ずれか一方の部材に設けられ前記送りねじ12の軸線に
    直交し互いに平行且対向し背中合せとなった一対の案内
    面21.22と、該案内面21.22の夫々に対応させ
    前記ナツト20または上テーブル7の他方の部材に前記
    送りねじ12の軸方向に互いに離間させて固着した2つ
    の支軸25.26と、該支軸の夫々に揺動自在に嵌合し
    前記案内面21.22の夫々に係合する回転自在なロー
    ラ27,29を両端部に有する2つのアーム28.30
    とを具え、前記第2の接続部は、前記ナツト20または
    ベース2のいずれか一方の部材に設けられ前記送りねじ
    12の軸線と平行で互いに平行且対向し背中合せとなっ
    た一対の案内面33.34と該案内面33.34の夫々
    に対応させ前記ナツト20またはベース2の他方の部材
    に前記送りねじ12の軸方向と直交する方向に離間させ
    て固着した2つの支軸37,38と、該支軸の夫々に揺
    動自在に嵌合し前記案内面33,34の夫々に係合する
    回転自在なローラ39.41を両端部に有する2つのア
    ーム40゜42とを具えてなり、前記アーム28,30
    ,40.42の弾性変形により前記ローラの対27゜2
    9及び39,41が各々反対方向から前記案内面21,
    22,33.34に圧接されていることを特徴とするX
    Y移動テーブル。
JP1289980U 1979-12-20 1980-02-06 Xy移動テ−ブル Expired JPS6029385Y2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1289980U JPS6029385Y2 (ja) 1980-02-06 1980-02-06 Xy移動テ−ブル
US06/216,259 US4372223A (en) 1979-12-20 1980-12-15 Moving table assembly

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1289980U JPS6029385Y2 (ja) 1980-02-06 1980-02-06 Xy移動テ−ブル

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS56116125U JPS56116125U (ja) 1981-09-05
JPS6029385Y2 true JPS6029385Y2 (ja) 1985-09-05

Family

ID=29609451

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1289980U Expired JPS6029385Y2 (ja) 1979-12-20 1980-02-06 Xy移動テ−ブル

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6029385Y2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5971812A (ja) * 1982-10-19 1984-04-23 松下電器産業株式会社 スライドテ−ブル

Also Published As

Publication number Publication date
JPS56116125U (ja) 1981-09-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4372223A (en) Moving table assembly
US4262974A (en) Linear bearing apparatus
JPH0620965Y2 (ja) 三次元測定機
JPS6029385Y2 (ja) Xy移動テ−ブル
JPH10186198A (ja) 平行・真直微動装置およびこれを用いたレンズ鏡筒の微小移動装置
JP2837756B2 (ja) 位置決ステージ
JPH0353192Y2 (ja)
JP3186188B2 (ja) テーブル送り装置
JPH0811336B2 (ja) Xyテーブル
JPS63185550A (ja) ねじ送り移動テ−ブル
JPS61249241A (ja) 送りメネジの支持機構
JP2525841Y2 (ja) エアースピンドルの駆動構造
JPS6243169Y2 (ja)
JPH0246336B2 (ja)
JPH10154012A (ja) ステージ機構
GB2139315A (en) Friction drive mechanism
JPH0590014U (ja) 送り機構
JPH06185594A (ja) 被駆動部材を駆動部材に接続する空気カップリング
JP2884165B2 (ja) 送りねじ支持機構
JP2585710Y2 (ja) ステージ
JPH0421073Y2 (ja)
JP2584982B2 (ja) ボ−ルねじ付中空軸モ−タ
JPH0222200Y2 (ja)
JPH022506B2 (ja)
JPH0529572Y2 (ja)