JPH11277351A - 直動テーブル - Google Patents
直動テーブルInfo
- Publication number
- JPH11277351A JPH11277351A JP8435598A JP8435598A JPH11277351A JP H11277351 A JPH11277351 A JP H11277351A JP 8435598 A JP8435598 A JP 8435598A JP 8435598 A JP8435598 A JP 8435598A JP H11277351 A JPH11277351 A JP H11277351A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moving
- moving table
- base
- linear
- ball screw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】移動テーブルを安定姿勢で移動できる直動テー
ブルであって、テーブル幅が大きい場合でも薄型とする
ことができ、組立時の調整が容易なものを提供する。 【解決手段】移動テーブル１とテーブルベース２との間
に、ボールねじ３とリニアガイド４とエアパッド６を設
けた。テーブル幅方向の配置は、ボールねじ３を中心、
リニアガイド４を両端、エアパッド６をボールねじ３と
リニアガイド４との間とした。エアパッド６は、移動テ
ーブル１側からテーブルベース２に向けてエアを吹き付
けるものであり、移動テーブル１のテーブルベース２側
の面に、移動テーブル１の移動方向全体に渡って固定し
てある。
ブルであって、テーブル幅が大きい場合でも薄型とする
ことができ、組立時の調整が容易なものを提供する。 【解決手段】移動テーブル１とテーブルベース２との間
に、ボールねじ３とリニアガイド４とエアパッド６を設
けた。テーブル幅方向の配置は、ボールねじ３を中心、
リニアガイド４を両端、エアパッド６をボールねじ３と
リニアガイド４との間とした。エアパッド６は、移動テ
ーブル１側からテーブルベース２に向けてエアを吹き付
けるものであり、移動テーブル１のテーブルベース２側
の面に、移動テーブル１の移動方向全体に渡って固定し
てある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、精密測定装置や精
密加工装置で使用される高精度な直動テーブルに関し、
テーブルの上面が自重や積載物の荷重によって変形する
ことなく、安定姿勢で移動できるようにする技術に関す
る。
密加工装置で使用される高精度な直動テーブルに関し、
テーブルの上面が自重や積載物の荷重によって変形する
ことなく、安定姿勢で移動できるようにする技術に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の直動テーブルとしては、例えば図
２に示すようなものがある。この直動テーブルは、移動
テーブル１、テーブルベース２、ボールねじ３、２本の
リニアガイド４を備えている。ボールねじ３は、移動テ
ーブル１とテーブルベース２との間の、テーブル幅方向
（直動方向に垂直な方向）の中心に設けてある。リニア
ガイド４は、移動テーブル１とテーブルベース２との間
の、テーブル幅方向の両端に設けてある。移動テーブル
１の上には、固定体や移動体（移動方向が異なる移動テ
ーブル等）５が載置される。
２に示すようなものがある。この直動テーブルは、移動
テーブル１、テーブルベース２、ボールねじ３、２本の
リニアガイド４を備えている。ボールねじ３は、移動テ
ーブル１とテーブルベース２との間の、テーブル幅方向
（直動方向に垂直な方向）の中心に設けてある。リニア
ガイド４は、移動テーブル１とテーブルベース２との間
の、テーブル幅方向の両端に設けてある。移動テーブル
１の上には、固定体や移動体（移動方向が異なる移動テ
ーブル等）５が載置される。
【０００３】このような直動テーブルにおいては、テー
ブル幅が大きいほど、移動テーブル１の幅方向端部から
リニアガイド４の取付位置までの距離Ａが大きくなる傾
向にある。テーブル幅が大きくて距離Ａが大きい移動テ
ーブル１の上に移動体５を置く場合には、移動体５の移
動に伴い移動テーブル１の重心位置が移動するため、移
動体５の重さによっては移動テーブル１が変形する恐れ
がある。移動テーブル１が変形することにより移動方向
でボールねじ３の芯高さに変化が生じると、移動テーブ
ル１が安定姿勢で移動されない恐れがある。
ブル幅が大きいほど、移動テーブル１の幅方向端部から
リニアガイド４の取付位置までの距離Ａが大きくなる傾
向にある。テーブル幅が大きくて距離Ａが大きい移動テ
ーブル１の上に移動体５を置く場合には、移動体５の移
動に伴い移動テーブル１の重心位置が移動するため、移
動体５の重さによっては移動テーブル１が変形する恐れ
がある。移動テーブル１が変形することにより移動方向
でボールねじ３の芯高さに変化が生じると、移動テーブ
ル１が安定姿勢で移動されない恐れがある。
【０００４】ここで、上述のような移動テーブル１の変
形を抑えるために、移動テーブル１の板厚を厚くする
と、移動テーブルの重量が重くなるため、リニアガイド
４、ボールねじ３、およびモータ等を、より高荷重に耐
えられる大きなものとする必要がある。その結果、テー
ブルベース２の下面から移動テーブル１の上面までの高
さＢも高くなる。
形を抑えるために、移動テーブル１の板厚を厚くする
と、移動テーブルの重量が重くなるため、リニアガイド
４、ボールねじ３、およびモータ等を、より高荷重に耐
えられる大きなものとする必要がある。その結果、テー
ブルベース２の下面から移動テーブル１の上面までの高
さＢも高くなる。
【０００５】また、図３に示すように、移動テーブル１
の厚さはそのままで、リニアガイド４をテーブル幅方向
の両端に配置するとともに、これらのリニアガイド４と
ボールねじ３との間に、さらにリニアガイド４１または
リニアガイド以外の転がり案内機構を設けて、移動テー
ブル１を安定姿勢で移動できるようにした直動テーブル
がある。しかしながら、このような直動テーブルでは、
４本の案内機構について高さおよび移動方向の調整を精
度良く行う必要があり、組立時の調整が非常に難しいと
いう問題がある。
の厚さはそのままで、リニアガイド４をテーブル幅方向
の両端に配置するとともに、これらのリニアガイド４と
ボールねじ３との間に、さらにリニアガイド４１または
リニアガイド以外の転がり案内機構を設けて、移動テー
ブル１を安定姿勢で移動できるようにした直動テーブル
がある。しかしながら、このような直動テーブルでは、
４本の案内機構について高さおよび移動方向の調整を精
度良く行う必要があり、組立時の調整が非常に難しいと
いう問題がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
従来技術の問題点に着目してなされたものであり、上に
載せた移動体の移動等により重心位置が移動しても、移
動テーブルの変形が生じ難く、移動テーブルを安定姿勢
で移動できる直動テーブルであって、テーブル幅が大き
い場合でも薄型とすることができ、且つ組立時の調整が
容易なものを提供することを課題とする。
従来技術の問題点に着目してなされたものであり、上に
載せた移動体の移動等により重心位置が移動しても、移
動テーブルの変形が生じ難く、移動テーブルを安定姿勢
で移動できる直動テーブルであって、テーブル幅が大き
い場合でも薄型とすることができ、且つ組立時の調整が
容易なものを提供することを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、移動テーブルとテーブルベースとの間
に、送り伝達機構と直動案内機構を有する直動テーブル
において、送り伝達機構をテーブル幅方向の中心または
中心付近に配置し、直動案内機構としてリニアガイドを
テーブル幅方向の両端部に配置し、移動テーブル側から
テーブルベースに向けてエアを吹き付けるエアパッド
を、送り伝動機構とリニアガイドとの間となる配置で、
移動テーブルのテーブルベース側の面に固定したことを
特徴とする直動テーブルを提供する。
に、本発明は、移動テーブルとテーブルベースとの間
に、送り伝達機構と直動案内機構を有する直動テーブル
において、送り伝達機構をテーブル幅方向の中心または
中心付近に配置し、直動案内機構としてリニアガイドを
テーブル幅方向の両端部に配置し、移動テーブル側から
テーブルベースに向けてエアを吹き付けるエアパッド
を、送り伝動機構とリニアガイドとの間となる配置で、
移動テーブルのテーブルベース側の面に固定したことを
特徴とする直動テーブルを提供する。
【０００８】この直動テーブルによれば、テーブル幅方
向の両端部にリニアガイドが配置され、このリニアガイ
ドと送り伝動機構との間に、移動テーブル側からテーブ
ルベースに向けてエアを吹き付けるエアパッドが設けて
ある。そのため、移動テーブルの自重および上に載せる
物体の重さ等に応じてエアパッドのエア吹き付け圧を調
整することにより、移動テーブルとテーブルベースとの
間隔をテーブル幅方向全体で一定となるようにすること
ができる。これにより、上に載せた移動体の移動等によ
り重心位置が移動しても、移動テーブルに変形が生じ難
くなる。
向の両端部にリニアガイドが配置され、このリニアガイ
ドと送り伝動機構との間に、移動テーブル側からテーブ
ルベースに向けてエアを吹き付けるエアパッドが設けて
ある。そのため、移動テーブルの自重および上に載せる
物体の重さ等に応じてエアパッドのエア吹き付け圧を調
整することにより、移動テーブルとテーブルベースとの
間隔をテーブル幅方向全体で一定となるようにすること
ができる。これにより、上に載せた移動体の移動等によ
り重心位置が移動しても、移動テーブルに変形が生じ難
くなる。
【０００９】上記作用は、エアパッドをテーブルベース
側に固定して、テーブルベース側から移動テーブルに向
けてエアを吹き付ける構成でも得ることができるが、本
発明のように、エアパッドを移動テーブルに固定する構
成とすることによって、エアパッドの設置長さを必要最
小限にすることができる。
側に固定して、テーブルベース側から移動テーブルに向
けてエアを吹き付ける構成でも得ることができるが、本
発明のように、エアパッドを移動テーブルに固定する構
成とすることによって、エアパッドの設置長さを必要最
小限にすることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。図１は、本発明の一実施形態に相当する直動
テーブルを示す概略構成図であり、この直動テーブル
は、移動テーブル１、テーブルベース２、ボールねじ
（送り伝達機構）３、２本のリニアガイド（直動案内機
構）４、および２本のエアパッド６を備えている。ま
た、移動テーブル１上には、移動方向がこの移動テーブ
ル１のテーブル幅方向である移動テーブル５が固定され
ている。
説明する。図１は、本発明の一実施形態に相当する直動
テーブルを示す概略構成図であり、この直動テーブル
は、移動テーブル１、テーブルベース２、ボールねじ
（送り伝達機構）３、２本のリニアガイド（直動案内機
構）４、および２本のエアパッド６を備えている。ま
た、移動テーブル１上には、移動方向がこの移動テーブ
ル１のテーブル幅方向である移動テーブル５が固定され
ている。
【００１１】ボールねじ３は、移動テーブル１とテーブ
ルベース２との間の、テーブル幅方向の中心に設けてあ
る。リニアガイド４は、移動テーブル１とテーブルベー
ス２との間の、テーブル幅方向の両端に設けてある。
ルベース２との間の、テーブル幅方向の中心に設けてあ
る。リニアガイド４は、移動テーブル１とテーブルベー
ス２との間の、テーブル幅方向の両端に設けてある。
【００１２】エアパッド６は、移動テーブル１側からテ
ーブルベース２に向けてエアを吹き付けるものであり、
テーブル幅方向でボールねじ３とリニアガイド４との間
となる配置で、移動テーブル１の長さ方向（移動方向）
全体に渡って、移動テーブル１のテーブルベース２側の
面に固定してある。エアパッド６のテーブルベース２側
の面には、多数のエア吹き出し口が長さ方向全体に渡っ
て均一な間隔で設けてある。また、各エアパッド６のエ
ア導入口（図示せず）には圧力調整弁または流量調整弁
が設けてあり、エアの導入量を調整できるようになって
いる。
ーブルベース２に向けてエアを吹き付けるものであり、
テーブル幅方向でボールねじ３とリニアガイド４との間
となる配置で、移動テーブル１の長さ方向（移動方向）
全体に渡って、移動テーブル１のテーブルベース２側の
面に固定してある。エアパッド６のテーブルベース２側
の面には、多数のエア吹き出し口が長さ方向全体に渡っ
て均一な間隔で設けてある。また、各エアパッド６のエ
ア導入口（図示せず）には圧力調整弁または流量調整弁
が設けてあり、エアの導入量を調整できるようになって
いる。
【００１３】したがって、移動テーブル１，５の自重お
よび上に載せる物体の重さ等に応じて、エアパッド６へ
のエア導入量を調整することにより、移動テーブル１と
テーブルベース２との間隔を、移動テーブル１の移動方
向全体に渡って、テーブル幅方向全体で一定となるよう
にすることができる。これにより、移動テーブル５の移
動により移動テーブル１の重心位置が変化しても、移動
テーブル１に変形が生じ難くなる。その結果、ボールね
じ３の芯高さが変化し難くなるため、移動テーブル１を
安定姿勢で移動できる。
よび上に載せる物体の重さ等に応じて、エアパッド６へ
のエア導入量を調整することにより、移動テーブル１と
テーブルベース２との間隔を、移動テーブル１の移動方
向全体に渡って、テーブル幅方向全体で一定となるよう
にすることができる。これにより、移動テーブル５の移
動により移動テーブル１の重心位置が変化しても、移動
テーブル１に変形が生じ難くなる。その結果、ボールね
じ３の芯高さが変化し難くなるため、移動テーブル１を
安定姿勢で移動できる。
【００１４】また、エアパッド６が、ボールねじ３とリ
ニアガイド４の間の中間位置よりボールねじ３側に配置
されていると、移動テーブル１に変形が生じてもボール
ねじ３の芯高さの変化を最小限に抑えることができるた
め好ましい。
ニアガイド４の間の中間位置よりボールねじ３側に配置
されていると、移動テーブル１に変形が生じてもボール
ねじ３の芯高さの変化を最小限に抑えることができるた
め好ましい。
【００１５】また、エアパッド６は、移動テーブル１と
テーブルベース２との間の、移動テーブル１の面に垂直
な方向への移動を拘束するが、移動テーブル１の移動方
向への移動を拘束するものではないため、組立の際に、
移動テーブル１の移動方向での調整をリニアガイド４に
合わせて行う必要がない。また、テーブル幅が大きい場
合でも、移動テーブル１の厚さを厚くする必要がないた
め、テーブルベース２の下面から移動テーブル１の上面
までの高さＢを小さくすることができる。
テーブルベース２との間の、移動テーブル１の面に垂直
な方向への移動を拘束するが、移動テーブル１の移動方
向への移動を拘束するものではないため、組立の際に、
移動テーブル１の移動方向での調整をリニアガイド４に
合わせて行う必要がない。また、テーブル幅が大きい場
合でも、移動テーブル１の厚さを厚くする必要がないた
め、テーブルベース２の下面から移動テーブル１の上面
までの高さＢを小さくすることができる。
【００１６】以上のように、この実施形態の直動テーブ
ルによれば、移動テーブル５の移動等により重心位置が
移動しても移動テーブル１の変形が生じ難いため、移動
テーブル１を安定姿勢で移動できる。また、組立時の調
整も容易であり、テーブル幅が大きい場合でも薄型とす
ることができる。
ルによれば、移動テーブル５の移動等により重心位置が
移動しても移動テーブル１の変形が生じ難いため、移動
テーブル１を安定姿勢で移動できる。また、組立時の調
整も容易であり、テーブル幅が大きい場合でも薄型とす
ることができる。
【００１７】なお、前記実施形態では、送り伝動機構と
してボールねじを使用しているが、本発明で使用される
送り伝動機構はこれに限定されない。また、エアパッド
の設置数は、移動テーブルの大きさや自重、上に載せる
物体の荷重等に応じて、テーブル幅全体で移動テーブル
とテーブルベースとの間隔が一定になるように設定され
るものであり、リニアガイドと送り伝動機構との間に複
数個ずつ設置されていてもよい。
してボールねじを使用しているが、本発明で使用される
送り伝動機構はこれに限定されない。また、エアパッド
の設置数は、移動テーブルの大きさや自重、上に載せる
物体の荷重等に応じて、テーブル幅全体で移動テーブル
とテーブルベースとの間隔が一定になるように設定され
るものであり、リニアガイドと送り伝動機構との間に複
数個ずつ設置されていてもよい。
【００１８】また、前記実施形態では、移動テーブルの
移動方向全体に渡ってエアパッドを設置しているが、本
発明の構成はこれに限定されず、所定長さのエアパッド
を前記移動方向に沿って間隔を開けて複数個設置しても
よい。
移動方向全体に渡ってエアパッドを設置しているが、本
発明の構成はこれに限定されず、所定長さのエアパッド
を前記移動方向に沿って間隔を開けて複数個設置しても
よい。
【００１９】また、本発明の直動テーブルを移動方向が
直交するように重ねて一体化したＸＹテーブルは、従来
の同じ精度のＸＹテーブルより薄型で移動範囲が大きな
ものとなる。
直交するように重ねて一体化したＸＹテーブルは、従来
の同じ精度のＸＹテーブルより薄型で移動範囲が大きな
ものとなる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
上に載せた移動体の移動等により重心位置が移動して
も、移動テーブルを安定姿勢で移動できるようにするこ
とができるとともに、テーブル幅が大きい場合でも薄型
にでき、組立時の調整も容易な直動テーブルが得られ
る。
上に載せた移動体の移動等により重心位置が移動して
も、移動テーブルを安定姿勢で移動できるようにするこ
とができるとともに、テーブル幅が大きい場合でも薄型
にでき、組立時の調整も容易な直動テーブルが得られ
る。
【図１】本発明の一実施形態に相当する直動テーブルを
示す概略構成図である。
示す概略構成図である。
【図２】直動テーブルの従来例を示す概略構成図であ
る。
る。
【図３】直動テーブルの別の従来例を示す概略構成図で
ある。
ある。
１ 移動テーブル ２ テーブルベース ３ ボールねじ（送り伝達機構） ４ リニアガイド（直動案内機構） ５ 移動体（移動テーブル） ６ エアパッド ４１ リニアガイド
Claims (1)
- 【請求項１】 移動テーブルとテーブルベースとの間
に、送り伝達機構と直動案内機構を有する直動テーブル
において、 送り伝達機構をテーブル幅方向の中心または中心付近に
配置し、直動案内機構としてリニアガイドをテーブル幅
方向の両端部に配置し、移動テーブル側からテーブルベ
ースに向けてエアを吹き付けるエアパッドを、送り伝動
機構とリニアガイドとの間となる配置で、移動テーブル
のテーブルベース側の面に固定したことを特徴とする直
動テーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8435598A JPH11277351A (ja) | 1998-03-30 | 1998-03-30 | 直動テーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8435598A JPH11277351A (ja) | 1998-03-30 | 1998-03-30 | 直動テーブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11277351A true JPH11277351A (ja) | 1999-10-12 |
Family
ID=13828219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8435598A Pending JPH11277351A (ja) | 1998-03-30 | 1998-03-30 | 直動テーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11277351A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7239161B2 (en) | 2004-07-30 | 2007-07-03 | Laserfront Technologies, Inc. | Gantry-type XY stage |
| JP2013096516A (ja) * | 2011-11-01 | 2013-05-20 | Nsk Ltd | 移動テーブル装置、露光装置、及びエアパッド |
| KR101427811B1 (ko) * | 2007-03-28 | 2014-08-07 | 비아 메카닉스 가부시키가이샤 | 프린트기판 가공기 |
-
1998
- 1998-03-30 JP JP8435598A patent/JPH11277351A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7239161B2 (en) | 2004-07-30 | 2007-07-03 | Laserfront Technologies, Inc. | Gantry-type XY stage |
| KR101427811B1 (ko) * | 2007-03-28 | 2014-08-07 | 비아 메카닉스 가부시키가이샤 | 프린트기판 가공기 |
| JP2013096516A (ja) * | 2011-11-01 | 2013-05-20 | Nsk Ltd | 移動テーブル装置、露光装置、及びエアパッド |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040615 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20041221 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20050419 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |