JPH1018033A

JPH1018033A - 基板の保持部材、基板の収納体、基板の搬送方法及び基板の処理装置

Info

Publication number: JPH1018033A
Application number: JP8191366A
Authority: JP
Inventors: Kaoru Matsuda; 薫松田
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1996-07-02
Filing date: 1996-07-02
Publication date: 1998-01-20

Abstract

(57)【要約】【課題】基板のサイズが大きくなっても、これを無理
なく保持しかつカセット内に複数収納する。【解決手段】一対の挟持部材２１、２２と、付勢部材
３０とによって構成された保持部材１０を用い、付勢さ
れた先端部の挟持部でガラス基板Ｐの縁部を挟持して、
これを垂直に吊下させる。保持部材１０自体は、カセッ
ト４０内に水平に渡されたバー４６に係止される。ガラ
ス基板Ｐをカセット４０内に垂直状態で並列して収納さ
せることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板の保持部材、
基板の収納体、基板の搬送方法及び基板の処理装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば基板としてＬＣＤ（Liquid Cryst
al Display；液晶表示装置）用のガラス基板を例にとっ
て説明すると、従来からこのガラス基板上にＬＣＤに必
要な半導体デバイスを製造するため、エッチングやアッ
シングなどの各種の処理が行われている。

【０００３】例えばエッチング処理についていえば、カ
セットと呼ばれる収納体のスロットに、例えば２５枚の
ガラス基板が水平状態で上下に整列して収納され、搬送
アームによって処理すべきガラス基板を１枚ずつ取り出
し、これを水平状態のままエッチング装置の処理容器内
に搬入して、エッチング処理を施すようにしている。

【０００４】搬送する場合、ガラス基板を落下させない
ように保持することはもちろんであるが、汚染等を考慮
してなるべく基板との接触面積を小さくする必要があ
る。そのため従来の搬送アームは、ステンレス鋼やアル
ミニウムで構成された載置部本体の表面の数カ所に、摩
擦係数の高い材質、例えばフッ素系のゴムやＰＥＥＫ
（ポリ・エーテル・エーテル・ケトン）からなる支持部
材を３〜５カ所程度配置し、ガラス基板はこれら支持部
材の上に載置させるようになっていた。

【０００５】またカセットについては、スロット内の周
縁部に水平に形成されている突部に、ガラス基板におけ
るデバイスの影響の少ない縁部（通常二辺又は三辺の縁
部）を載置させるようにして、ガラス基板を収納する構
造になっていた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで今日、ＬＣＤ
の大きさは拡大しつつあり、それに伴ってガラス基板の
大きさも、５５０mm×６５０mm以上の大きさのものが出
現している。そうすると、従来のように基板を水平にし
た状態でその裏面を数カ所の支持部材で支持することで
基板を保持し、搬送する方法では、次のような問題が生
ずる。

【０００７】まず大きさの拡大によって自重が増大する
ため、基板が下に撓む度合いが大きくなるので、支持す
る箇所を従来よりも増加させる必要がある。しかしそう
すると、基板との接触部分、接触面積も大きくなって好
ましくない。しかも従来はなるべく周辺部で支持するよ
うにしていたが、基板の拡大によって中心部を含めてな
るべく均等に支持部材を配置することが要求される。そ
うすると搬送アーム全体を大きくしなければならず、ま
た構造上アーム自体の強度も挙げる必要がある。さらに
水平状態で搬送すると、それだけ余分な広さを装置全体
に渡って必要とする。

【０００８】またカセットについてみても、ガラス基板
の二辺又は三辺の縁部を突部に載置させて収納する方法
では、基板の拡大と重量の増大により、そのままでは基
板を支持できず、載置させる縁部をより中心側へと入り
込んだ部分まで広げる必要がある。しかしながらそうす
ると、結局中心部寄りの部分を載置させることとなり、
好ましくない。

【０００９】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
あり、前記したガラス基板のような基板が大きくなって
も、これを縁部で挟持して保持し、そのまま搬送するこ
とができる保持部材を提供することを第１の目的とす
る。また本発明の第２の目的は、従来の基板を水平状態
で収納するカセットに代えて、前記保持部材を用いて基
板を垂直状態で収納可能な収納体を提供することにあ
る。さらに本発明の第３の目的は、前記保持部材を用い
て基板を垂直に吊下させた状態で搬送する搬送方法を提
供することにある。そして本発明の第４の目的は、前記
保持部材を用いて、基板を垂直に吊下させた状態で搬送
する搬送装置を用いて、基板に処理を施す処理装置を提
供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記第１の目的を達成す
るため、請求項１によれば、基板の縁部を挟持すること
で当該基板を保持して、当該基板を吊下するための部材
であって、一対の挟持部材と、付勢部材とによって構成
され、挟持部材の先端部側には挟持部が構成され、挟持
部材の後端部側には被加圧部が構成され、挟持部と被加
圧部との間の位置には、回動部が構成され、前記回動部
を中心として各挟持部材が回動することで、各挟持部材
の挟持部が接触・離隔自在であり、さらに前記付勢部材
によって、常態では各挟持部材の挟持部相互が接触する
ように構成されたことを特徴とする、基板の保持部材が
提供される。

【００１１】かかる基板の保持部材によれば、常態で
は、付勢部材によって挟持部が相互に接触しているが、
この付勢に抗して被加圧部に対して加圧することによ
り、回動部を中心として挟持部が離隔し、その間に例え
ば前出ガラス基板の縁部を位置させ、その後前記加圧を
解除すれば、付勢部材による付勢によって、当該ガラス
基板を挟持部で挟持することができる。従って、そのま
まガラス基板を吊下させることが可能である。そのうえ
基板の縁のみを挟持するので、基板との接触面積が小さ
くてよい。また、保持部材の基板保持の方向に複数のノ
ズル、例えば帯電防止のためのイオナイザーや表面のゴ
ミを除去するエアーのノズルなどを設けてもよい。さら
に基板が落下しないように、保持時の接触圧を感知でき
るセンサなどを設けてもよい。そしてこのセンサからの
出力に基づき、接触圧が所定圧力以上になった時点で、
搬送を行うように制御してもよい。

【００１２】このような作用を鑑みると、基板と直接接
する挟持部の材料は、基板との密着性を保つことがで
き、摩擦係数が高い材質、例えば樹脂やゴムが好まし
い。また基板自体が帯電しやすい場合には、さらに挟持
部の材質に導電性を有する材質を選択し、この挟持部か
ら挟持部材を経て接地させる構成を持たせることが好ま
しい。例えば樹脂などに導電性の材料をちりばめた導電
性樹脂や導電性ゴムを用いれば、そのような接地構成を
容易に実現できる。

【００１３】かかる基板の保持部材における付勢部材
は、弾性によって付勢させる付勢部材が最も簡易でかつ
コストを下げることができる。もちろん空気圧を利用し
たエアシリンダーや、磁力を利用した付勢部材を用いて
もよい。請求項２のように、バネ部材を用いれば、より
簡易な構成を実現させることができる。バネ部材の例と
しては、コイルスプリングや板バネが挙げられる。さら
に請求項３のように、バネ部材として略Ｃ型の形状をも
のを用いるとともに、その開放端が挟持部材における回
動部よりも先端部側に固定され、かつ円弧部の中点は回
動部よりも後端部側に位置させるようにしてもよい。か
かる構成によれば、開放端に収縮による付勢をかけるこ
とができ、しかも構造は極めて簡易となる。

【００１４】そして以上の構成にかかる基板の保持部材
において、請求項４に記載したように、シャフト状の搬
送治具が挿通自在な挿通部を設けたり、請求項５に記載
したように、シャフト状の搬送治具に係止自在な係止部
を設ければ、なお好ましい効果が得られる。

【００１５】即ち、例えば複数の保持部材で前出ガラス
基板を挟持して、保持部材によってこの基板を吊下させ
た状態で、各保持部材の挿通部にシャフト状の搬送治具
を挿入すれば、この搬送治具で保持部材ごと持ち上げる
ことで、基板を垂直状態にして任意の場所に搬送するこ
とができる。この場合、請求項５のようなシャフト状の
搬送治具に係止自在な係止部を備えた保持部材であれ
ば、より安定した状態で搬送することができる。

【００１６】前出第２の目的を達成するため、請求項６
によれば、請求項１、２、３、４又は５のいずれかに記
載の基板の保持部材によって保持された基板を収納する
収納体であって、基板を収納し得る大きさを有する収納
体本体内の上部に、挟持部材を係止する係止部材が、所
定間隔で設けられたことを特徴とする、基板の収納体が
提供される。

【００１７】この収納体によれば、基板を吊下した状態
で収納体内に収納させることになるので、基板を垂直に
した状態で並列させて収納させることができる。係止部
材としては、水平に設ける適宜のバー（棒体）が最も簡
易である。

【００１８】この場合、請求項７に記載したように、収
納体本体内の下部に、基板の下端縁部相互間に位置する
スペーサを所定間隔で設けるようにすれば吊下している
基板の下端部近傍相互が、振動風等によって接触するこ
とを防止できる。従って、スペーサとしては、例えばフ
ッ素系の樹脂等適宜の弾性を有するものが好ましい。

【００１９】前出第３の目的を達成するため、請求項８
によれば、請求項４に記載の基板の保持部材によって保
持された基板を搬送する方法であって、挟持部材の挿通
部にシャフト状の搬送治具を挿通させ、その状態で基板
を吊下させ、前記保持部材ごと前記吊下された基板を搬
送することを特徴とする、基板の搬送方法が提供され
る。

【００２０】また請求項９によれば、請求項５に記載の
基板の保持部材によって保持された基板を搬送する方法
であって、挟持部材の係止部をシャフト状の搬送治具に
係止させ、その状態で基板を吊下させ、前記保持部材ご
と前記吊下された基板を搬送することを特徴とする、基
板の搬送方法が提供される。

【００２１】以上の請求項８、９の搬送方法によれば、
基板を垂直にした状態で搬送することができる。従って
搬送スペースが狭くて済み、しかも基板が大きくなって
もこれを安全に搬送することができ、そのうえ基板との
接触部分も小さくてよい。

【００２２】さらに前出第４の目的を達成するため、請
求項１０によれば、搬送装置と処理容器とを備え、基板
を収納した収納体から未処理基板を取り出し、前記搬送
装置によってこの未処理基板を所定位置まで搬送し、処
理容器内で前記未処理基板に対して所定の処理を施すよ
うに構成された装置において、前記搬送装置は、請求項
４に記載の基板の保持部材における挿通部を挿通自在な
シャフト状の搬送治具を備え、かつ当該保持部材よって
保持された基板を、当該保持部材ごと前記搬送治具によ
って前記所定位置まで搬送するように構成されたことを
特徴とする、処理装置が提供される。

【００２３】そして請求項１１によれば、搬送装置と処
理容器とを備え、基板を収納した収納体から未処理基板
を取り出し、前記搬送装置によってこの未処理基板を所
定位置まで搬送し、処理容器内で前記未処理基板に対し
て所定の処理を施すように構成された装置において、前
記搬送装置は、請求項５に記載の基板の保持部材におけ
る係止部が係止されるシャフト状の搬送治具を備え、か
つ当該保持部材よって保持された基板を、当該保持部材
ごと前記搬送治具によって前記所定位置まで搬送するよ
うに構成されたことを特徴とする、処理装置が提供され
る。

【００２４】これら請求項１０、１１の処理装置によれ
ば、保持部材によって垂直に吊下させた収納体内の基板
を、保持部材ごとそのまま垂直の状態で搬送治具によっ
て所定位置まで搬送することができる。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図に
基づいて説明すると、図１は本実施の形態にかかる保持
部材１０の外観、図２は正面をそれぞれを示しており、
この保持部材１０は、一対の挟持部材２１、２２と、付
勢部材３０とによって構成されている。

【００２６】挟持部材２１、２２は、概ね同形同大であ
って、挟持部２１についていえば、先端部寄りと後端部
寄りで、それぞれ適宜折曲した板材によって構成され、
該先端側の折曲部から先端寄り部分が挟持部２１ａ、該
後端部側の折曲部から後端寄りの部分が被加圧部２１ｂ
を構成している。挟持部材２２の方も同様に、先端部側
に挟持部２２ａ、後端部側に被加圧部２２ｂが構成され
ている。そして挟持部材２１、２２における中間点から
先端よりの内側には、回動部２３が構成されている。こ
の回動部２３は、例えば挟持部材２１、２２の内側に回
動部材２１ｃ、２２ｃを形成し、これら回動部材２１
ｃ、２２ｃをピン２４で回動自在に連結させている。従
って、挟持部材２１、２２は、この回動部２３を回動支
点として回動自在である。

【００２７】なお、挟持部材２１、２２の材質として
は、発塵の少ないセラミックスやフッ素系の樹脂、その
他石英等の材質を用いて構成することができるが、挟持
部２１ａ、２２ａにおける内面、即ち直接基板と接触す
る部分には、特に摩擦係数の高いフッ素系のゴム材を用
いてもよい。また挟持部材２１、２２全体をアルミ材で
構成し、前記挟持部２１ａ、２２ａにおける内面を、フ
ッ素系の樹脂やフッ素系のゴム材を用いてもよい。

【００２８】付勢部材３０は、各挟持部材２１、２２に
おける被加圧部２１ｂ、２２ｂの内側に当接して、これ
らを外側に付勢する突子３０ａ、３０ｂと、前記付勢を
与えるための弾性部材、例えばバネ部材（図示せず）を
内部に収納した本体３０ｃとによって構成されている。
そしてこの弾性部材によって、突子３０ａ、３０ｂは図
２の矢印に示したように、常態において被加圧部２１
ｂ、２２ｂを外側に付勢している。またこの付勢部材３
０の付勢に抗して、図３に示したように、被加圧部２１
ｂ、２２ｂに加圧すれば、挟持部２１ａ、２２ａは、回
動部２３を支点として離隔する。なお付勢部材３０にお
ける先端部側には、係止部を構成する適宜の凹部３０ｄ
が形成されている。

【００２９】以上の構成にかかる保持部材１０によれ
ば、被加圧部２１ｂ、２２ｂに加圧することで挟持部２
１ａ、２２ａを離隔させ、その間に基板の縁部を挟み込
み、その後前記加圧を解除すれば、付勢部材３０の付勢
によって、基板を挟持することができ、基板を吊下させ
ることができる。このように本実施形態にかかる保持部
材１０によれば、保持部材１０でガラス基板Ｐの縁部を
例えば数カ所で挟持することで、ガラス基板Ｐを垂直に
吊下させることができる。したがってガラス基板Ｐのサ
イズが大きくなっても、これを好適に保持することがで
きる。しかも縁部のみを挟持するので、基板の中心部や
パターンが形成されるエリアには全く影響を与えること
はない。

【００３０】図４は、そのようにして保持部材１０によ
って、ＬＣＤ用のガラス基板の縁部の２カ所を挟持した
まま、これを保持部材１０ごと収納する収納体であるカ
セット４０の外観を示している。

【００３１】このカセット４０の外形は、ガラス基板Ｐ
を出し入れするため、前方みが開口した板六面体の形態
をなしている。即ちカセット４０の外形は、天板４１、
底板４２、及び３つの側板４３、４４、４５とによって
構成されている。そしてこのカセット４０の内部には、
前記保持部材１０を係止するための係止部材となる複数
のバー４６が適宜間隔の下で平行に並列配置されてい
る。バー４６の設置間隔は、保持部材１０における回動
部２３が位置するところの外側の幅にほぼ相当するよう
に設定されている。従って、図４、図５に示したよう
に、保持部材１０は、２つのバー４６、４６間に、その
回動部２３の外側部分で係止されるようになっている。
なおバー４６の形状は、本実施形態においては、その断
面が円形であるが、これに限らず、三角形をはじめとす
る適宜の形状のものを使用することができる。特に断面
が三角形や台形などの形態のものを使用すれば、保持部
材１０を係止させた際に、保持部材１０が揺動せず、安
定して係止させることができる。

【００３２】前記バー４６は、例えば底板４２上に接地
された支持基台４７上に立設された支持柱４８によって
支持されている。もちろんこれに限らず、天板４１から
吊下された適宜の吊下部材４９によって吊下させる構成
としてもよく、また支持柱４８と吊下部材４９とを併用
してもよい。

【００３３】前記支持基台４７は、突条部４７ａと溝４
７ｂが交互に形成された形態を有し、前記突条部４７ａ
がスペーサを構成する。即ち、図５に示したように、バ
ー４６によって係止されている各保持部材１０によって
挟持されたガラス基板Ｐの各下端が、各溝４７ｂ内に位
置し、隣接する該ガラス基板Ｐの下端縁部相互間に、突
条部４７ａが位置するようになっている。スペーサとし
ては、このような突条構成に限らず、ガラス基板Ｐの下
端縁部の長手方向に沿って、適宜の突起や突部を数カ所
設けるようにしてもよい。

【００３４】以上の構成にかかるカセット４０によれ
ば、図５に示したように、ガラス基板Ｐの上端縁部数カ
所を、保持部材１０で挟持して吊下させた状態で、ガラ
ス基板Ｐを垂直にして複数枚数収納することができる。
従って、ガラス基板Ｐのサイズが大きくなっても、これ
を安全にかつ無理なく収納することができる。

【００３５】またこのようにしてカセット４０内に収納
されているガラス基板Ｐを取り出したり、取り出したガ
ラス基板Ｐを搬送したり、あるいは処理が終了したガラ
ス基板Ｐを再びカセット４０内に収納するために用いる
搬送装置としては、例えば図６に示した搬送装置５０が
提案できる。

【００３６】この搬送装置５０は、シャフト状の搬送治
具５１を備えた支持部５２、この支持部５２を昇降させ
る昇降部５３、昇降部５３を支持して、所定間搬送路上
やカセット４０の前面においてＸ−Ｙ方向に移動自在な
移動基台５４とによって構成されている。搬送治具５１
の上面には凹部５１ａ、５１ｂが形成されている。また
移動基台５４上に支持されている昇降部５３を適宜θ回
転自在に構成してもよい。

【００３７】このような構成にかかる搬送装置５０を用
いて、例えばカセット４０内に収容されている未処理の
ガラス基板Ｐを取り出すプロセスについて説明すると、
まず移動基台５４が、カセット４０の前面に移動し、図
６に示したように、搬送しようとするガラス基板Ｐの前
面で停止する。次いで移動基台５４が前進し、図７に示
したように、搬送治具５１を、前記ガラス基板Ｐを保持
している保持部材１０における挟持部材２１、２２と付
勢部材３０に囲まれた略三角形の空間内に進入し、所定
位置、即各保持部材１０、１０の各付勢部材３０、３０
に形成されている凹部３０ｄ、３０ｄに、搬送治具５１
の凹部５１ａ、５１ｂと応対する位置で停止する。

【００３８】その状態で今度は昇降部５３が上昇して、
搬送治具５１が保持部材１０、１０を凹部５１ａ、５１
ｂで係止させて、図８に示したように、ガラス基板Ｐを
バー４６に係止されていた保持機構１０、１０ごとつり
上げる。その後移動基台５４が後退することにより、図
９に示したように、前記ガラス基板Ｐは、これを挟持し
ている保持機構１０、１０ごと、カセット４０内から取
り出される。

【００３９】このように前記搬送装置５０を用いれば、
ガラス基板Ｐを垂直にしたままカセット４０から取り出
したり、搬送することができ、ガラス基板Ｐのサイズが
大きくなっても、これを無理なくかつ安全に取り出し、
搬送することが可能である。しかも垂直状態で搬送可能
であるから、搬送スペースが従来よりも狭くてすみ、空
間を有効に使用することができる。また搬送治具５１自
体も極めて簡易な構造とすることができるから、搬送装
置５０全体の構成もコンパクトにしたり、簡素化するこ
とが可能である。

【００４０】前記した保持部材１０、カセット４０、搬
送装置５０は、例えば図１０に示したエッチング装置６
０に組み込まれて使用することができる。このエッチン
グ装置６０は、処理容器内で、ガラス基板Ｐに対して所
定のエッチング処理を施すように構成されたエッチング
チャンバ６１と、このエッチングチャンバ６１とはゲー
トバルブ６２を介して隣接しているロードロックチャン
バ６３とを備えており、さらにロードロックチャンバ６
３への搬入出口前に配置されているフロートチャック装
置６４と、前記搬送装置５０とを備えている。そしてロ
ーダー／アンローダー部に前記カセット４０が載置され
る構成を採っている。

【００４１】前記フロートチャック装置６４は、図１１
に示したように、ガラス基板Ｐを非接触で保持し得る公
知の（例えば特開昭６３−２６７１７８号、特開昭６３
−２６７１８６号）フロートチャック６４ａと、このフ
ロートチャック６４ａ全体を支持してかつ回転自在なア
ーム６４ｂと、アーム６４ｂをステージ６４ｃ上で水平
方向のθ回転させたり、適宜上下動させたり、所定の搬
送路上を移動する支持部６４ｃとによって構成されてい
る。

【００４２】以上の構成にかかるエッチング装置６０に
よれば、前出図６〜９に示したプロセスに従ってカセッ
ト４０から取り出された未処理のガラス基板Ｐが、搬送
装置５０によって所定位置Ｄまで保持部材１０ごと搬送
されると、まず当該所定位置Ｄで停止する。

【００４３】次いでフロートチャック装置６４のフロー
トチャック６４ａが搬送装置５０の搬送治具５１に保持
部材１０ごと垂直に吊下されているガラス基板Ｐに接近
し、図１２に示したように、当該ガラス基板Ｐを非接触
で保持する。その状態で今度はフロートチャック６４ａ
を９０度起こして、図１３に示したように、ガラス基板
Ｐを水平に保持させる。このとき搬送治具５１自体の同
時に回転させれば、引き起こしが円滑に行える。その後
図１４に示したように、適宜の加圧装置（図示せず）に
よって、ガラス基板Ｐを挟持している保持部材１０にお
ける各挟持部材２１、２２の被加圧部２１ｂ、２２ｂを
加圧して、挟持状態を解除させる。なおこのような保持
部材１０の挟持状態の解除は、いったんフロートチャッ
ク６４ａがガラス基板Ｐを保持した後であれば、図１２
の状態のときに行ってもよい。

【００４４】その後ガラス基板Ｐを水平状態で保持して
いるフロートチャック６４ａが、そのままロードロック
チャンバ６３内の所定の載置台上に、未処理のガラス基
板Ｐを搬送すれば、後はロードロックチャンバ６３内に
設けられている従前の搬送アーム（図示せず）が、この
ガラス基板Ｐをエッチングチャンバ６１内に搬送し、そ
こで所定のエッチング処理がガラス基板Ｐに対して施さ
れるのである。なおエッチング処理が終了したガラス基
板Ｐをカセット４０内に再び収納させるには、前記した
プロセスと逆の手順でフロートチャック装置６４、搬送
装置５０によってカセット４０内に収納させればよい。

【００４５】このように前記エッチング装置６０では、
カセット４０内に垂直に収容されているガラス基板Ｐを
垂直の状態のまま、取り出してこれを搬送することがで
き、装置全体が設置される場所を有効に使用できる。し
かもガラス基板Ｐのサイズが大きくなっても、その縁部
のみを挟持した状態で所定位置まで移動させることがで
きる。

【００４６】なお前記実施形態にかかる保持部材１０に
おいては、挟持部材２１、２２における挟持部２１ａ、
２２ａが直接基板の縁部を挟持するようになっていた
が、これに代えて図１５に示したように、挟持部２１
ａ、２２ａの内側に、各々揺動自在な挟持体２１ｅ、２
２ｅを設けてもよい。即ち、これら各挟持体２１ｅ、２
２ｅは、適宜の支持ピン２１ｆ、２２ｆを介して、いわ
ゆる「遊び」を持って挟持部２１ａ、２２ａに取り付け
られ、図１５の矢印に示したように、これら各挟持体２
１ｅ、２２ｅは揺動自在である。このような「遊び」を
持って挟持部２１ａ、２２ａに取り付けられた挟持体２
１ｅ、２２ｅを付加すれば、被加圧部２１ｂ、２２ｂに
対する加圧を解除して、ガラス基板Ｐを挟持する際、複
数の保持部材１０で挟持させる場合でも、同期させて挟
持させることが容易になり、基板に対して過度の負担が
かからない。

【００４７】また前記実施形態にかかる保持部材１０に
おいては、付勢力を与える部材として付勢部材３０を用
いていたが、これに代えて、図１６に示した保持部材１
１のように、コイルスプリング３１を使用したり、図１
７に示した保持部材１２のように、略Ｃ型のバネ部材３
２を用いてもよい。即ち、この保持部材１２において
は、挟持部材２１、２２に窓部２１ｇ、２２ｇを形成
し、これら窓部２１ｇ、２２ｇを通してバネ部材３２の
開放端を挟持部２１ａ、２２ａの近傍に固定した構成を
採っている。かかる構成の保持部材１２によれば、バネ
部材３２と回動部２３とによって囲まれた空間が、本発
明でいうところの挿通部を構成することができ、全体と
しても極めて簡易な構成となっている。

【００４８】なお前記説明において、基板はＬＣＤ用の
ガラス基板を例に取って説明したが、基板としては、も
ちろんＰＤＰ（Plasma Display Panel）用の基板であっ
てもよい。また前記実施形態においては、処理装置とし
てエッチング装置を例にとって説明したが、もちろんこ
れに限らず、他の成膜装置、アッシング装置、洗浄装置
として具体化することも可能である。

【００４９】

【発明の効果】請求項１〜５に記載の基板の保持部材に
よれば、基板の縁部を挟持して吊下させることができ、
基板を垂直な状態で保持できる。しかも基板の周辺縁部
のみに接触するので、基板に与える影響は殆どない。基
板のサイズが大きくなっても好適に対応することができ
る。特に請求項２の場合には、より簡易な構成を実現さ
せることができ、請求項３の場合には、構造は極めて簡
易となる。請求項４、５の場合には、さらにシャフト状
の搬送治具でそのまま基板を垂直状態で搬送することが
でき、特に請求項５の場合には、より安定した状態で基
板を搬送することが可能である。

【００５０】請求項６、７の基板の収納体によれば、基
板を垂直にした状態で並列させて収納させることができ
る。もちろんその場合でも、基板は保持部材によって縁
部のみが挟持されているので、保持部材と基板との接触
部分の面積は小さく、かつ接触しているのは縁部のみで
ある。特に請求項７の場合には、吊下している基板の下
端部近傍相互が、振動風等によって接触することが防止
される。

【００５１】請求項８、９の搬送方法によれば、基板を
垂直にした状態で搬送することができるので、従来の水
平搬送の場合よりも搬送スペースが狭くて済み、しかも
基板が大きくなってもこれを安全に搬送することがで
き、そのうえ基板との接触部分も小さくてよい。また搬
送治具を移動させるための搬送部材もコンパクトにする
こことができる。

【００５２】請求項１０、１１の処理装置によれば、保
持部材によって垂直に吊下させた収納体内の基板を、保
持部材ごとそのまま垂直の状態で搬送治具によって所定
位置まで搬送することができる。従って、従来の水平搬
送の場合よりも搬送スペースが狭くて済み、しかも基板
のサイズが大きくなってもこれを安全に搬送することが
でき、そのうえ基板との接触部分も小さくてよい。また
搬送治具を移動させるための搬送機構もコンパクトにす
るこことができるから、処理装置全体としてもコンパク
トにすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態にかかる保持部材の斜視図
である。

【図２】図１の保持部材の正面図である。

【図３】挟持部が離隔した状態にあるときの図１の保持
部材の正面図である。

【図４】実施形態にかかる基板の収納体の斜視図であ
る。

【図５】図４の収納体の要部正面断面図である。

【図６】図４の収納体からガラス基板を取り出すプロセ
スの説明図である。

【図７】図４の収納体からガラス基板を取り出すプロセ
スの説明図である。

【図８】図４の収納体からガラス基板を取り出すプロセ
スの説明図である。

【図９】図４の収納体からガラス基板を取り出すプロセ
スの説明図である。

【図１０】本発明の実施形態にかかるエッチング装置の
構成の概略を示す説明図である。

【図１１】図１０のエッチング装置に用いたフロートチ
ャック装置の斜視図である。

【図１２】図１１のフロートチャック装置のフロートチ
ャックで垂直状態のガラス基板を保持する際の説明図で
ある。

【図１３】図１１のフロートチャック装置のフロートチ
ャックで保持したガラス基板を水平状態にしたときの説
明図である。

【図１４】図１１のフロートチャック装置のフロートチ
ャックで保持したガラス基板を水平状態にした後、保持
部材の挟持状態を解除した様子を示す説明図である。

【図１５】挟持部に挟持体を取り付けた他の実施形態に
かかる保持部材の正面図である。

【図１６】付勢部材にコイルスプリングを用いた他の実
施形態にかかる保持部材の斜視図である。

【図１７】付勢部材に略Ｃ型のバネ部材を用いた他の実
施形態にかかる保持部材の斜視図である。

【符号の説明】

１０保持部材２１、２２挟持部材２１ａ、２２ａ挟持部２１ｂ、２２ｂ被加圧部２３回動部３０付勢部材４０カセット４６バー４７ａ突条部５０搬送装置５１搬送治具５１ａ、５１ｂ凹部６０エッチング装置Ｐガラス基板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板の縁部を挟持することで当該基板を
保持して、当該基板を吊下するための部材であって、一
対の挟持部材と、付勢部材とによって構成され、挟持部
材の先端部側には挟持部が構成され、挟持部材の後端部
側には被加圧部が構成され、挟持部と被加圧部との間の
位置には、回動部が構成され、前記回動部を中心として
各挟持部材が回動することで、各挟持部材の挟持部が接
触・離隔自在であり、さらに前記付勢部材によって、常
態では各挟持部材の挟持部相互が接触するように構成さ
れたことを特徴とする、基板の保持部材。
【請求項２】前記付勢部材は、バネ部材であることを
特徴とする、請求項１に記載の基板の保持部材。
【請求項３】バネ部材は全体として略Ｃ型の形状をな
し、その開放端が挟持部材における回動部よりも先端部
側に固定され、かつ円弧部中点は回動部よりも後端部側
に位置していることを特徴とする、請求項２に記載の基
板の保持部材。
【請求項４】シャフト状の搬送治具が挿通自在な挿通
部が形成されたことを特徴とする、請求項１、２又は３
に記載の基板の保持部材。
【請求項５】シャフト状の搬送治具に係止される係止
部が形成されたことを特徴とする、請求項１、２又は３
に記載の基板の保持部材。
【請求項６】請求項１、２、３、４又は５のいずれか
に記載の基板の保持部材によって保持された基板を収納
する収納体であって、基板を収納し得る大きさを有する
収納体本体内の上部に、挟持部材を係止する係止部材
が、所定間隔で設けられたことを特徴とする、基板の収
納体。
【請求項７】収納体本体内の下部に、基板の下端縁部
相互間に位置するスペーサが所定間隔で設けられたこと
を特徴とする、請求項６に記載の基板の収納体。
【請求項８】請求項４に記載の基板の保持部材によっ
て保持された基板を搬送する方法であって、挟持部材の
挿通部にシャフト状の搬送治具を挿通させ、その状態で
基板を吊下させ、前記保持部材ごと前記吊下された基板
を搬送することを特徴とする、基板の搬送方法。
【請求項９】請求項５に記載の基板の保持部材によっ
て保持された基板を搬送する方法であって、挟持部材の
係止部をシャフト状の搬送治具に係止させ、その状態で
基板を吊下させ、前記保持部材ごと前記吊下された基板
を搬送することを特徴とする、基板の搬送方法。
【請求項１０】搬送装置と処理容器とを備え、基板を
収納した収納体から未処理基板を取り出し、前記搬送装
置によってこの未処理基板を所定位置まで搬送し、処理
容器内で前記未処理基板に対して所定の処理を施すよう
に構成された装置において、前記搬送装置は、請求項４
に記載の基板の保持部材における挿通部を挿通自在なシ
ャフト状の搬送治具を備え、かつ当該保持部材よって保
持された基板を、当該保持部材ごと前記搬送治具によっ
て前記所定位置まで搬送するように構成されたことを特
徴とする、処理装置。
【請求項１１】搬送装置と処理容器とを備え、基板を
収納した収納体から未処理基板を取り出し、前記搬送装
置によってこの未処理基板を所定位置まで搬送し、処理
容器内で前記未処理基板に対して所定の処理を施すよう
に構成された装置において、前記搬送装置は、請求項５
に記載の基板の保持部材における係止部が係止されるシ
ャフト状の搬送治具を備え、かつ当該保持部材よって保
持された基板を、当該保持部材ごと前記搬送治具によっ
て前記所定位置まで搬送するように構成されたことを特
徴とする、処理装置。