JPH08129708A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 接合強度の高い磁気コア基板より、信頼性に
優れた磁気ヘッドを生産性良く製造する。 【構成】 一方の面に予め切欠き部２を形成し、反対の
面に金属磁性膜３を形成してなる非磁性基板１を、その
両面に接合膜を介して複数配列し、熱処理を施して接合
一体化する。このとき、各非磁性基板１に形成された切
欠き部２に棒状をなす融着ガラス４を配し、この融着ガ
ラス４も同時に溶融して、この切欠き部２内に充填させ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばビデオテープレ
コーダ（以下、ＶＴＲという。）やディジタルデータレ
コーダー等の如き高密度記録可能な磁気記録再生装置に
搭載して有用な磁気ヘッドの製造方法に関し、特に金属
磁性膜を非磁性基板により挟み込んでなる磁気ヘッドの
製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、ＶＴＲ等の磁気記録再生装置に
おいては、高画質化等を目的として情報信号の短波長記
録化が進められており、これに対応して磁性粉に強磁性
体粉末を用いた，いわゆるメタルテープやベースフィル
ム上に強磁性金属材料を直接被着した，いわゆる蒸着テ
ープ等の高抗磁力磁気記録媒体が使用されるようになっ
てきている。

【０００３】一方、これに対処すべく磁気ヘッドの分野
においても研究が進められており高抗磁力磁気記録媒体
に対して良好に記録再生するために、磁気コア材料に金
属磁性材料を用いると共に、狭トラック化を図った磁気
ヘッドが開発されている。かかる磁気ヘッドとしては、
非磁性材料よりなる基板で高透磁率、且つ高飽和磁束密
度を有する金属磁性膜を挟み込み、その金属磁性膜間に
磁気ギャップを形成してなる，いわゆるラミネートタイ
プの磁気ヘッド（以下、単にラミネートヘッドとい
う。）が提案されている。

【０００４】ラミネートヘッドとしては、例えば図１３
に示すように、ガード材として機能する一対の非磁性基
板１０１，１０２及び１０３，１０４により金属磁性膜
１０５，１０６をその膜厚方向より挟み込んでなる一対
の磁気コア半体１０７，１０８から構成され、その金属
磁性膜１０５，１０６の端面同士を突き合わせ、その突
き合わせ面間に記録及び／又は再生ギャップとして動作
する磁気ギャップｇを形成してなる。

【０００５】上記磁気ギャップｇのトラック幅は、金属
磁性膜１０５，１０６を挟み込む非磁性基板１０１，１
０２及び１０３，１０４が非磁性材料からなるため、こ
の金属磁性膜１０５，１０６の膜厚によって規制されて
いる。また、上記磁気コア半体１０７，１０８の突き合
わせ面には、当該磁気ギャップｇのデプスＤｐを規制す
ると共に、コイルを巻回させるための巻線溝１０９，１
１０が形成されている。この巻線溝１０９，１１０内の
上部には、これら磁気コア半体１０７，１０８の接合強
度を確保するための補強ガラス１１１が充填されてい
る。

【０００６】このように構成された磁気ヘッドにおいて
は、金属磁性膜１０５，１０６の膜厚がすなわち磁気ギ
ャップｇのトラック幅となるものであるから、当該金属
磁性膜１０５，１０６の膜厚を制御することで簡単に狭
トラック化が図れること、及び構造的に疑似ギャップが
発生しないこと、さらに金属磁性膜１０５，１０６を膜
厚の薄い金属磁性膜とＳｉＯ₂ 、Ａｌ₂ Ｏ₃ 、Ｓｉ₃ Ｎ
₄ 等の酸化物や窒化物等の如き電気的絶縁膜を交互に積
層させることで渦電流損失を回避できることにより高周
波帯域での高出力化が望めるなど、種々の利点を有す
る。

【０００７】次に、このラミネートヘッドの製造工程に
ついて説明する。先ず、図１４に示すように、両面が鏡
面加工された非磁性材からなる短冊状をなす基板１１２
を用意する。そして、この基板１１２の片面に、図１５
に示すように、強磁性金属材料からなる金属磁性膜１１
３をスパッタ等の真空薄膜形成法により形成する。次い
で、図１６に示すように、金属磁性膜１３の形成された
短冊状をなす基板１１２を複数並べ、これらを接合一体
化して平面矩形状をなす磁気コア基板１１４を作製す
る。これら基板１１２を接合するには、その両面にスパ
ッタ等で融着用ガラス膜またはＡｕ，Ａｇ，Ｐｄ等の貴
金属膜を形成し、これらをガラス融着法、或は低温金属
接合法により接合する。

【０００８】次に、この磁気コア基板１１４を、図１６
中線Ａ−Ａ’、線Ｂ−Ｂ’、線Ｃ−Ｃ’に沿って切断
し、図１７に示すような互いに略対称な一対の磁気コア
半体ブロック１１５，１１６を作製する。そして、この
磁気コア半体ブロック１１５，１１６の突き合わせ面と
なる面に、図１８に示すように、その長手方向に沿って
伸びる巻線溝１１７，１１８を形成した後、鏡面加工を
行う。

【０００９】次いで、鏡面加工が施された研磨面にギャ
ップスペーサー兼接合膜として融着用ガラス膜、或いは
Ａｕ，Ａｇ，Ｐｄ等の貴金属膜をスパッタ等の真空薄膜
形成法により成膜する。次に、これら磁気コア半体ブロ
ック１１５，１１６を、図１９に示すように、各磁気コ
ア半体ブロック１１５，１１６に形成されたそれぞれの
金属磁性膜１１３，１１３同士を相対向させて突き合わ
せ、ガラス融着法、或いは低温金属接合法により接合一
体化させる。

【００１０】この接合時においては、図２０に示すよう
に、これら磁気コア半体ブロック１１５，１１６をひっ
くり返して、巻線溝１１７，１１８内に設置した融着ガ
ラス棒１１９を溶融して巻線溝１１７，１１８内上部に
充填させ補強ガラスとする。その結果、各磁気コア半体
ブロック１１５，１１６にそれぞれ形成された金属磁性
膜１１３，１１３の突き合わせ面間に、記録再生ギャッ
プとして動作する磁気ギャップｇが形成された磁気コア
ブロック１２０が形成される。

【００１１】そして、図２１に示すように、この磁気コ
アブロック１２０に対し、ある曲率を持った媒体摺動面
を形成する。また、巻線溝１１７，１１８に巻装される
コイルの巻装状態を良好なものとするために、巻線用ガ
イド溝１２１，１２２を形成する。次いで、図２２に示
すように、媒体摺動面に媒体との当たりを確保するため
の当たり幅規制溝１２３を金属磁性膜１１３と平行に形
成する。そして最後に、図２３に示すように、線Ｄ−
Ｄ’、線Ｅ−Ｅ’、線Ｆ−Ｆ’、線Ｇ−Ｇ’、線Ｈ−
Ｈ’に沿ってチップ切断することで、ラミネートヘッド
を完成する。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】上述の製造方法におい
ては、図１６に示すように、複数枚の短冊状をなす基板
１１２を薄い接合膜により接合一体化して磁気コア基板
１１４となすため、接合面に異物が介在した場合、面接
触が不十分となり接合強度が充分に確保できず、接合不
良となる虞れがある。そのため、磁気コア基板１１４の
歩留りが低下し、生産性の低下にもつながる。

【００１３】そこで本発明は、上述の従来技術の有する
課題を解消するために提案されたものであって、非磁性
基板を複数枚並べて接合する際の接合強度を充分なもの
とし、接合不良を回避し、歩留りの向上を達成し得る磁
気ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】磁気ヘッドを製造するに
は、先ず、短冊状をなす非磁性基板の一主面に切欠き部
を形成する。次に、この非磁性基板の切欠き部が形成さ
れる面とは反対側の面に、金属磁性膜をスパッタ法等の
真空薄膜形成法により形成する。続いて、その非磁性基
板の両面に接合膜を成膜した後、一方の非磁性基板に形
成された金属磁性膜と他方の非磁性基板に形成された切
欠き部を対向させるようにして、この非磁性基板を複数
並べて加圧固定する。

【００１５】次に、それぞれの切欠き部に融着ガラスを
配し熱処理を施して、これら複数の非磁性基板を接合一
体化する。そして、その接合一体化された磁気コア基板
を切断して一対の磁気コア半体ブロックを形成する。続
いて、各磁気コア半体ブロックに形成されるそれぞれの
金属磁性膜の端面同士を相対向させてギャップ接合す
る。そして最後に、ギャップ接合された磁気コアブロッ
クを金属磁性膜と略平行にチップ切断して、一対の非磁
性基板により金属磁性膜を挟み込み、相対向する金属磁
性膜間に磁気ギャップを形成してなる磁気ヘッドを形成
する。

【００１６】

【作用】本発明においては、複数並べて接合一体化され
る非磁性基板の一主面に、この基板の一部を切り欠く切
欠き部を形成し、その切欠き部に融着ガラスを配し溶融
充填させているので、異物が関与して十分な接合状態が
得られない接合部においても、この切欠き部に充填され
たガラスにより充分な接合強度が得られる。従って、磁
気コア基板の接合不良が回避され、歩留り及び生産性が
向上する。

【００１７】

【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて図面を参照しながら詳細に説明する。先ず、図１に
示すように、両面が鏡面加工された短冊状をなす非磁性
基板１の一主面１ａに切欠き部２を形成する。切欠き部
２は、長手方向における一側縁部に沿って、その一主面
１ａに対して垂直に切り欠かれている。

【００１８】次に、この非磁性基板１の切欠き部２が形
成されていない他方の面１ｂに、図２に示すように、ス
パッタ等の真空薄膜形成法により、金属磁性膜３を形成
する。金属磁性膜３としては、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ、Ｆｅ
−Ｎｉ−Ａｌ−Ｓｉ、Ｆｅ−Ｇａ−Ｓｉ、Ｆｅ−Ａｌ−
Ｇｅ等、及びそれらに８原子％以下のＣｏ、Ｔｉ、Ｃ
ｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｒｕ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｎ、Ｃ、Ｏ
等を一種または数種添加した結晶質材料、またはＣｏに
主としてＺｒ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ａｕ、
Ｐｄ、Ｒｕ等の一種または数種添加して構成されたアモ
ルファス材料、或いはＣｏ、Ｆｅに主としてＮｉ、Ｚ
ｒ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｂ、
Ｇａ、Ｇｅ、Ｃｕ、Ｓｎ、Ｒｕ、Ｂ等の一種または数種
と、Ｎ、Ｃ、Ｏの一種または数種を添加して構成された
微結晶材料等からなる膜が用いられる。

【００１９】なお、上記金属磁性膜３は、高周波帯域で
の渦電流損失を回避させるために、膜厚の薄い金属磁性
膜とＳｉＯ₂ 、Ａｌ₂ Ｏ₃ 、Ｓｉ₃ Ｎ₄ 等の酸化物や窒
化物等の如き電気的絶縁膜を介して絶縁層を交互に積層
させた，いわゆる積層膜としても良い。次に、この非磁
性基板１の両面に接合膜として融着ガラス薄膜、または
Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ等の貴金属薄膜をスパッタ等により形
成する。すなわち、非磁性基板１の一主面１ａと金属磁
性膜３の面上にそれぞれ融着ガラス薄膜または貴金属薄
膜を成膜する。

【００２０】次いで、図３に示すように、切欠き部２を
上向きとし、且つ一方の非磁性基板１に形成された金属
磁性膜３と他方の非磁性基板１に形成された切欠き部２
を対向させるようにして、この非磁性基板１を複数並べ
て加圧固定する。続いて、各非磁性基板１に形成された
切欠き部２に丸棒とされた融着ガラス４を配置する。こ
の実施例では、非磁性基板１の充分な接合強度を確保す
べく、切欠き部２に３本の融着ガラス４を配した。

【００２１】そして、この融着ガラス４を溶融させるに
足るだけの熱を加える。すると、この熱で接合膜部での
接合が行われると共に、切欠き部２に配された融着ガラ
ス４が溶けて、当該切欠き部２に融着ガラス４が充填さ
れる。このように、非磁性基板１は接合膜により接合さ
れるだけでなく、切欠き部２に溶融充填された融着ガラ
ス４によっても接合されるため、充分な接合強度が確保
される。

【００２２】そして、その接合一体化された磁気コア基
板５を、図４中線Ａ−Ａ’、線Ｂ−Ｂ’、線Ｃ−Ｃ’に
沿って切断する。ここでは、磁気ギャップｇにアジマス
角を付与するために、非磁性基板１の突き合わせ方向に
対して若干斜めに切断する。その結果、図５に示すよう
に、同一形状とされた一対の磁気コア半体ブロック６，
７が形成される。

【００２３】次に、これら各磁気コア半体ブロック６，
７の突き合わせ面となる面に、コイルを巻装させるため
の巻線溝８，９をそのブロック長手方向に形成する。そ
して、この巻線溝８，９が形成された面を鏡面加工す
る。そして、鏡面加工を施した研磨面にギャップスペー
サー兼接合膜として機能する融着用ガラス膜、またはＡ
ｕ、Ａｇ、Ｐｄ等の貴金属膜をスパッタ等の真空薄膜形
成法により形成する。

【００２４】その後、これら磁気コア半体ブロック６，
７を、図７に示すように、各磁気コア半体ブロック６，
７に形成されたそれぞれの金属磁性膜３同士を相対向さ
せるようにして突き合わせ、ガラス融着法、或いは低温
金属接合法により接合一体化させる。この熱処理時に
は、図９に示すように、巻線溝８，９内に配した丸棒と
された融着ガラス１０を溶融させ、巻線溝８，９内上部
にこの融着ガラス１０を充填させて補強ガラスとする。

【００２５】その結果、各磁気コア半体ブロック６，７
にそれぞれ形成された金属磁性膜３の突き合わせ面間
に、記録再生ギャップとして動作する磁気ギャップｇが
形成される。次に、この接合一体化された磁気コアブロ
ック１１に対し、図９に示すように、ある曲率を持った
媒体摺動面１２を形成する。続いて、この磁気コアブロ
ック１１の巻線溝８，９と相対向する側面に、コイルの
巻装状態を良好なものとなすための巻線用ガイド溝１
３，１４を形成する。

【００２６】次いで、図１０に示すように、磁気記録媒
体に対するヘッドの当たりを確保しスペーシングロスに
よる出力低下を防止すべく、媒体摺動面１２に金属磁性
膜３と平行に当たり幅規制溝１５を入れる。その後、こ
の磁気コアブロック１１を、図１１中線Ｄ−Ｄ’、線Ｅ
−Ｅ’、線Ｆ−Ｆ’、線Ｇ−Ｇ’、線Ｈ−Ｈ’に沿って
金属磁性膜３と平行にチップ切断する。

【００２７】その結果、図１２に示すように、一対の非
磁性基板１により金属磁性膜３をその膜厚方向より挟み
込んでなる一対の磁気コア半体１６，１７を有し、これ
ら磁気コア半体１６，１７の突き合わせ面に呈する各金
属磁性膜３の端面同士が突き合わされ、その突き合わせ
面間に記録再生ギャップとして動作する磁気ギャップｇ
が形成された、ラミネートヘッドが完成される。

【００２８】

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明の方法においては、磁気コア基板を作製するに際し
て、予め非磁性基板の一部に切欠き部を設け、その切欠
き部に融着ガラス棒を配し、これら非磁性基板を複数並
べて接合するときに、その融着ガラス棒も同時に溶融さ
せているので、これら非磁性基板同士の接合強度をこの
切欠き部に溶融充填した融着ガラスによって高めること
ができ、接合不良を無くすことができる。従って、この
磁気コア基板を用いてその後の工程を進めることで、信
頼性の高い磁気ヘッドを歩留りよく生産することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例における磁気ヘッドの製造方法を順次
示すもので、非磁性基板に切欠き部を形成する工程を示
す斜視図。

【図２】本実施例における磁気ヘッドの製造方法を順次
示すもので、金属磁性膜を成膜する工程を示す斜視図。

【図３】本実施例における磁気ヘッドの製造方法を順次
示すもので、複数の非磁性基板を加圧固定し切り欠き部
に融着ガラス棒を配置させた工程を示す斜視図。

【図４】本実施例における磁気ヘッドの製造方法を順次
示すもので、複数の非磁性基板を接合一体化して形成し
た磁気コア基板から磁気コア半体ブロックを切り出す工
程を示す斜視図。

【図５】本実施例における磁気ヘッドの製造方法を順次
示すもので、磁気コア基板から切り出された一対の磁気
コア半体ブロックを示す斜視図。

【図６】本実施例における磁気ヘッドの製造方法を順次
示すもので、磁気コア半体ブロックに巻線溝を形成する
工程を示す斜視図。

【図７】本実施例における磁気ヘッドの製造方法を順次
示すもので、磁気コア半体ブロックをそれぞれの金属磁
性膜同士が相対向するように突き合わせる工程を示す斜
視図。

【図８】本実施例における磁気ヘッドの製造方法を順次
示すもので、突き合わせた磁気コア半体ブロックの巻線
溝内に補強用ガラス棒を配置した工程を示す斜視図。

【図９】本実施例における磁気ヘッドの製造方法を順次
示すもので、磁気コアブロックにある曲率を持った媒体
摺動面を形成すると共に、巻線用ガイド溝を形成する工
程を示す斜視図。

【図１０】本実施例における磁気ヘッドの製造方法を順
次示すもので、磁気コアブロックに当り幅規制溝を形成
する工程を示す斜視図。

【図１１】本実施例における磁気ヘッドの製造方法を順
次示すもので、磁気コアブロックを切断しヘッドチップ
に切り出す工程を示す斜視図。

【図１２】本実施例によって製造された磁気ヘッドの斜
視図である。

【図１３】従来の方法により製造されたラミネートタイ
プの磁気ヘッドの斜視図である。

【図１４】従来の磁気ヘッドの製造方法を順次示すもの
で、非磁性基板の製造工程を示す斜視図。

【図１５】従来の磁気ヘッドの製造方法を順次示すもの
で、金属磁性膜を成膜する工程を示す斜視図。

【図１６】従来の磁気ヘッドの製造方法を順次示すもの
で、複数の非磁性基板を接合一体化して形成した磁気コ
ア基板から磁気コア半体ブロックを切り出す工程を示す
斜視図。

【図１７】従来の磁気ヘッドの製造方法を順次示すもの
で、磁気コア基板から切り出された一対の磁気コア半体
ブロックを示す斜視図。

【図１８】従来の磁気ヘッドの製造方法を順次示すもの
で、磁気コア半体ブロックに巻線溝を形成する工程を示
す斜視図。

【図１９】従来の磁気ヘッドの製造方法を順次示すもの
で、磁気コア半体ブロックをそれぞれの金属磁性膜同士
が相対向するように突き合わせる工程を示す斜視図。

【図２０】従来の磁気ヘッドの製造方法を順次示すもの
で、突き合わせた磁気コア半体ブロックの巻線溝内に補
強用ガラス棒を配置する工程を示す斜視図。

【図２１】従来の磁気ヘッドの製造方法を順次示すもの
で、磁気コアブロックにある曲率を持った媒体摺動面を
形成すると共に、巻線用ガイド溝を形成する工程を示す
斜視図。

【図２２】従来の磁気ヘッドの製造方法を順次示すもの
で、磁気コアブロックに当り幅規制溝を形成する工程を
示す斜視図。

【図２３】従来の磁気ヘッドの製造方法を順次示すもの
で、磁気コアブロックを切断しヘッドチップに切り出す
工程を示す斜視図。

【符号の説明】

１ 非磁性基板 ２ 切欠き部 ３ 金属磁性膜 ４ 融着ガラス ５ 磁気コア基板 ６，７ 磁気コア半体ブロック ８，９ 巻線溝 １１ 磁気コアブロック １２ 媒体摺動面 １３，１４ 巻線用ガイド溝

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 短冊状をなす非磁性基板の一主面に切欠
   き部を形成する工程と、 非磁性基板の切欠き部が形成される面とは反対側の面に
   金属磁性膜を形成する工程と、 この非磁性基板の両面に接合膜を形成する工程と、 一方の非磁性基板に形成された金属磁性膜と他方の非磁
   性基板に形成された切欠き部を対向させるようにして、
   この非磁性基板を複数並べて加圧固定する工程と、 それぞれの切欠き部に融着ガラスを配し熱処理を施し
   て、これら複数の非磁性基板を接合一体化する工程と、 その接合一体化された磁気コア基板を切断して一対の磁
   気コア半体ブロックを形成し、その各磁気コア半体ブロ
   ックに形成されるそれぞれの金属磁性膜の端面同士を相
   対向させてギャップ接合する工程と、 そのギャップ接合された磁気コアブロックを金属磁性膜
   と略平行にチップ切断して、一対の非磁性基板により金
   属磁性膜を挟み込み、相対向する金属磁性膜間に磁気ギ
   ャップを形成してなる磁気ヘッドを形成する工程とから
   なる磁気ヘッドの製造方法。