JPH08129708A - Production of magnetic head - Google Patents
Production of magnetic headInfo
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- JPH08129708A JPH08129708A JP26681294A JP26681294A JPH08129708A JP H08129708 A JPH08129708 A JP H08129708A JP 26681294 A JP26681294 A JP 26681294A JP 26681294 A JP26681294 A JP 26681294A JP H08129708 A JPH08129708 A JP H08129708A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、例えばビデオテープレ
コーダ（以下、ＶＴＲという。）やディジタルデータレ
コーダー等の如き高密度記録可能な磁気記録再生装置に
搭載して有用な磁気ヘッドの製造方法に関し、特に金属
磁性膜を非磁性基板により挟み込んでなる磁気ヘッドの
製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a magnetic head which is useful when mounted on a magnetic recording / reproducing apparatus capable of high density recording such as a video tape recorder (hereinafter referred to as VTR) or a digital data recorder. In particular, the present invention relates to a method of manufacturing a magnetic head in which a metal magnetic film is sandwiched between non-magnetic substrates.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば、ＶＴＲ等の磁気記録再生装置に
おいては、高画質化等を目的として情報信号の短波長記
録化が進められており、これに対応して磁性粉に強磁性
体粉末を用いた，いわゆるメタルテープやベースフィル
ム上に強磁性金属材料を直接被着した，いわゆる蒸着テ
ープ等の高抗磁力磁気記録媒体が使用されるようになっ
てきている。2. Description of the Related Art For example, in a magnetic recording / reproducing apparatus such as a VTR, a shorter wavelength recording of an information signal has been promoted for the purpose of improving the image quality. A high coercive force magnetic recording medium such as a so-called metal tape or a so-called vapor-deposited tape in which a ferromagnetic metal material is directly deposited on a base film has been used.
【０００３】一方、これに対処すべく磁気ヘッドの分野
においても研究が進められており高抗磁力磁気記録媒体
に対して良好に記録再生するために、磁気コア材料に金
属磁性材料を用いると共に、狭トラック化を図った磁気
ヘッドが開発されている。かかる磁気ヘッドとしては、
非磁性材料よりなる基板で高透磁率、且つ高飽和磁束密
度を有する金属磁性膜を挟み込み、その金属磁性膜間に
磁気ギャップを形成してなる，いわゆるラミネートタイ
プの磁気ヘッド（以下、単にラミネートヘッドとい
う。）が提案されている。On the other hand, research has been conducted also in the field of magnetic heads to deal with this, and in order to satisfactorily record / reproduce on / from a high coercive force magnetic recording medium, a metal magnetic material is used as a magnetic core material, and Magnetic heads with narrower tracks have been developed. As such a magnetic head,
A so-called laminate type magnetic head (hereinafter simply referred to as a laminate head) in which a metal magnetic film having high magnetic permeability and high saturation magnetic flux density is sandwiched between substrates made of a non-magnetic material, and a magnetic gap is formed between the metal magnetic films. That is) is proposed.
【０００４】ラミネートヘッドとしては、例えば図１３
に示すように、ガード材として機能する一対の非磁性基
板１０１，１０２及び１０３，１０４により金属磁性膜
１０５，１０６をその膜厚方向より挟み込んでなる一対
の磁気コア半体１０７，１０８から構成され、その金属
磁性膜１０５，１０６の端面同士を突き合わせ、その突
き合わせ面間に記録及び／又は再生ギャップとして動作
する磁気ギャップｇを形成してなる。As a laminating head, for example, FIG.
As shown in FIG. 5, a pair of non-magnetic substrates 101, 102 and 103, 104 function as a guard member, and a pair of magnetic core halves 107, 108 are formed by sandwiching the metal magnetic films 105, 106 from the thickness direction. The end faces of the metal magnetic films 105 and 106 are butted against each other, and a magnetic gap g that operates as a recording and / or reproducing gap is formed between the butted faces.
【０００５】上記磁気ギャップｇのトラック幅は、金属
磁性膜１０５，１０６を挟み込む非磁性基板１０１，１
０２及び１０３，１０４が非磁性材料からなるため、こ
の金属磁性膜１０５，１０６の膜厚によって規制されて
いる。また、上記磁気コア半体１０７，１０８の突き合
わせ面には、当該磁気ギャップｇのデプスＤｐを規制す
ると共に、コイルを巻回させるための巻線溝１０９，１
１０が形成されている。この巻線溝１０９，１１０内の
上部には、これら磁気コア半体１０７，１０８の接合強
度を確保するための補強ガラス１１１が充填されてい
る。The track width of the magnetic gap g is such that the non-magnetic substrates 101 and 1 sandwich the metal magnetic films 105 and 106.
Since 02, 103 and 104 are made of a non-magnetic material, they are regulated by the film thickness of the metal magnetic films 105 and 106. Further, on the abutting surfaces of the magnetic core halves 107, 108, the winding grooves 109, 1 for controlling the depth Dp of the magnetic gap g and winding the coil are provided.
10 are formed. The upper part of the winding grooves 109, 110 is filled with a reinforcing glass 111 for ensuring the bonding strength of these magnetic core halves 107, 108.
【０００６】このように構成された磁気ヘッドにおいて
は、金属磁性膜１０５，１０６の膜厚がすなわち磁気ギ
ャップｇのトラック幅となるものであるから、当該金属
磁性膜１０５，１０６の膜厚を制御することで簡単に狭
トラック化が図れること、及び構造的に疑似ギャップが
発生しないこと、さらに金属磁性膜１０５，１０６を膜
厚の薄い金属磁性膜とＳｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 、Ｓｉ3 Ｎ
4 等の酸化物や窒化物等の如き電気的絶縁膜を交互に積
層させることで渦電流損失を回避できることにより高周
波帯域での高出力化が望めるなど、種々の利点を有す
る。In the magnetic head thus constructed, the film thickness of the metal magnetic films 105 and 106 is the track width of the magnetic gap g, so that the film thickness of the metal magnetic films 105 and 106 is controlled. By doing so, it is possible to easily narrow the track, structurally no pseudo gap is generated, and the metal magnetic films 105 and 106 are formed of a thin metal magnetic film and SiO 2 , Al 2 O 3 , Si 3 N 3.
By alternately laminating electrical insulating films such as oxides and nitrides such as 4 and the like, it is possible to avoid eddy current loss, so that high output in a high frequency band can be expected and various advantages are obtained.
【０００７】次に、このラミネートヘッドの製造工程に
ついて説明する。先ず、図１４に示すように、両面が鏡
面加工された非磁性材からなる短冊状をなす基板１１２
を用意する。そして、この基板１１２の片面に、図１５
に示すように、強磁性金属材料からなる金属磁性膜１１
３をスパッタ等の真空薄膜形成法により形成する。次い
で、図１６に示すように、金属磁性膜１３の形成された
短冊状をなす基板１１２を複数並べ、これらを接合一体
化して平面矩形状をなす磁気コア基板１１４を作製す
る。これら基板１１２を接合するには、その両面にスパ
ッタ等で融着用ガラス膜またはＡｕ，Ａｇ，Ｐｄ等の貴
金属膜を形成し、これらをガラス融着法、或は低温金属
接合法により接合する。Next, the manufacturing process of this laminating head will be described. First, as shown in FIG. 14, a strip-shaped substrate 112 made of a non-magnetic material whose both surfaces are mirror-finished.
To prepare. Then, on one surface of the substrate 112, as shown in FIG.
As shown in FIG. 3, the metal magnetic film 11 made of a ferromagnetic metal material is used.
3 is formed by a vacuum thin film forming method such as sputtering. Next, as shown in FIG. 16, a plurality of strip-shaped substrates 112 on which the metal magnetic film 13 is formed are arranged and joined together to form a planar rectangular magnetic core substrate 114. To bond these substrates 112, a glass film for fusion or a noble metal film of Au, Ag, Pd or the like is formed on both surfaces by sputtering or the like, and these are bonded by a glass fusion method or a low temperature metal bonding method.
【０００８】次に、この磁気コア基板１１４を、図１６
中線Ａ−Ａ’、線Ｂ−Ｂ’、線Ｃ−Ｃ’に沿って切断
し、図１７に示すような互いに略対称な一対の磁気コア
半体ブロック１１５，１１６を作製する。そして、この
磁気コア半体ブロック１１５，１１６の突き合わせ面と
なる面に、図１８に示すように、その長手方向に沿って
伸びる巻線溝１１７，１１８を形成した後、鏡面加工を
行う。Next, the magnetic core substrate 114 shown in FIG.
By cutting along the midline AA ′, the line BB ′, and the line CC ′, a pair of magnetic core half blocks 115 and 116 which are substantially symmetrical to each other as shown in FIG. 17 are manufactured. Then, as shown in FIG. 18, winding grooves 117 and 118 extending along the longitudinal direction of the magnetic core half blocks 115 and 116, which are to be the abutting surfaces, are formed, and then mirror finishing is performed.
【０００９】次いで、鏡面加工が施された研磨面にギャ
ップスペーサー兼接合膜として融着用ガラス膜、或いは
Ａｕ，Ａｇ，Ｐｄ等の貴金属膜をスパッタ等の真空薄膜
形成法により成膜する。次に、これら磁気コア半体ブロ
ック１１５，１１６を、図１９に示すように、各磁気コ
ア半体ブロック１１５，１１６に形成されたそれぞれの
金属磁性膜１１３，１１３同士を相対向させて突き合わ
せ、ガラス融着法、或いは低温金属接合法により接合一
体化させる。Then, a glass film for fusion or a noble metal film such as Au, Ag, or Pd as a gap spacer / bonding film or a noble metal film such as Au, Ag, or Pd is formed on the mirror-polished polished surface by a vacuum thin film forming method such as sputtering. Next, as shown in FIG. 19, the magnetic core half blocks 115 and 116 are abutted by causing the metal magnetic films 113 and 113 formed on the magnetic core half blocks 115 and 116 to face each other. They are joined and integrated by a glass fusion method or a low temperature metal joining method.
【００１０】この接合時においては、図２０に示すよう
に、これら磁気コア半体ブロック１１５，１１６をひっ
くり返して、巻線溝１１７，１１８内に設置した融着ガ
ラス棒１１９を溶融して巻線溝１１７，１１８内上部に
充填させ補強ガラスとする。その結果、各磁気コア半体
ブロック１１５，１１６にそれぞれ形成された金属磁性
膜１１３，１１３の突き合わせ面間に、記録再生ギャッ
プとして動作する磁気ギャップｇが形成された磁気コア
ブロック１２０が形成される。At the time of this joining, as shown in FIG. 20, these magnetic core half blocks 115 and 116 are turned over and the fused glass rod 119 installed in the winding grooves 117 and 118 is melted and wound. The upper part of the wire grooves 117 and 118 is filled to obtain a reinforced glass. As a result, a magnetic core block 120 is formed in which a magnetic gap g that operates as a read / write gap is formed between the abutting surfaces of the metal magnetic films 113 and 113 formed on the magnetic core half blocks 115 and 116, respectively. .
【００１１】そして、図２１に示すように、この磁気コ
アブロック１２０に対し、ある曲率を持った媒体摺動面
を形成する。また、巻線溝１１７，１１８に巻装される
コイルの巻装状態を良好なものとするために、巻線用ガ
イド溝１２１，１２２を形成する。次いで、図２２に示
すように、媒体摺動面に媒体との当たりを確保するため
の当たり幅規制溝１２３を金属磁性膜１１３と平行に形
成する。そして最後に、図２３に示すように、線Ｄ−
Ｄ’、線Ｅ−Ｅ’、線Ｆ−Ｆ’、線Ｇ−Ｇ’、線Ｈ−
Ｈ’に沿ってチップ切断することで、ラミネートヘッド
を完成する。Then, as shown in FIG. 21, a medium sliding surface having a certain curvature is formed on the magnetic core block 120. In addition, the winding guide grooves 121 and 122 are formed in order to improve the winding state of the coils wound around the winding grooves 117 and 118. Next, as shown in FIG. 22, a contact width regulating groove 123 for ensuring contact with the medium is formed on the medium sliding surface in parallel with the metal magnetic film 113. And finally, as shown in FIG. 23, the line D-
D ', line EE', line FF ', line GG', line H-
The laminate head is completed by cutting chips along H '.
【００１２】[0012]
【発明が解決しようとする課題】上述の製造方法におい
ては、図１６に示すように、複数枚の短冊状をなす基板
１１２を薄い接合膜により接合一体化して磁気コア基板
１１４となすため、接合面に異物が介在した場合、面接
触が不十分となり接合強度が充分に確保できず、接合不
良となる虞れがある。そのため、磁気コア基板１１４の
歩留りが低下し、生産性の低下にもつながる。In the above manufacturing method, as shown in FIG. 16, since a plurality of strip-shaped substrates 112 are joined and integrated by a thin joining film to form a magnetic core substrate 114, the joining is performed. If a foreign matter is present on the surface, the surface contact may be insufficient and sufficient bonding strength may not be ensured, resulting in poor bonding. Therefore, the yield of the magnetic core substrate 114 is reduced, which leads to a reduction in productivity.
【００１３】そこで本発明は、上述の従来技術の有する
課題を解消するために提案されたものであって、非磁性
基板を複数枚並べて接合する際の接合強度を充分なもの
とし、接合不良を回避し、歩留りの向上を達成し得る磁
気ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。Therefore, the present invention has been proposed in order to solve the above-mentioned problems of the prior art, and has a sufficient bonding strength when a plurality of non-magnetic substrates are arranged and bonded to each other to prevent defective bonding. It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a magnetic head that can avoid the above and achieve an improvement in yield.
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】磁気ヘッドを製造するに
は、先ず、短冊状をなす非磁性基板の一主面に切欠き部
を形成する。次に、この非磁性基板の切欠き部が形成さ
れる面とは反対側の面に、金属磁性膜をスパッタ法等の
真空薄膜形成法により形成する。続いて、その非磁性基
板の両面に接合膜を成膜した後、一方の非磁性基板に形
成された金属磁性膜と他方の非磁性基板に形成された切
欠き部を対向させるようにして、この非磁性基板を複数
並べて加圧固定する。To manufacture a magnetic head, first, a notch is formed on one main surface of a strip-shaped non-magnetic substrate. Next, a metal magnetic film is formed on the surface of the non-magnetic substrate opposite to the surface on which the notch is formed by a vacuum thin film forming method such as a sputtering method. Then, after forming a bonding film on both surfaces of the non-magnetic substrate, the metal magnetic film formed on one non-magnetic substrate and the notch formed on the other non-magnetic substrate are opposed to each other, A plurality of these non-magnetic substrates are arranged and fixed under pressure.
【００１５】次に、それぞれの切欠き部に融着ガラスを
配し熱処理を施して、これら複数の非磁性基板を接合一
体化する。そして、その接合一体化された磁気コア基板
を切断して一対の磁気コア半体ブロックを形成する。続
いて、各磁気コア半体ブロックに形成されるそれぞれの
金属磁性膜の端面同士を相対向させてギャップ接合す
る。そして最後に、ギャップ接合された磁気コアブロッ
クを金属磁性膜と略平行にチップ切断して、一対の非磁
性基板により金属磁性膜を挟み込み、相対向する金属磁
性膜間に磁気ギャップを形成してなる磁気ヘッドを形成
する。Next, fused glass is placed in each of the notches and heat treatment is performed to join and integrate these plural non-magnetic substrates. Then, the magnetic core substrate integrally bonded is cut to form a pair of magnetic core half blocks. Then, the end faces of the respective metal magnetic films formed on the respective magnetic core half blocks are opposed to each other to perform gap junction. Finally, the gap-bonded magnetic core block is cut into chips substantially parallel to the metal magnetic film, the metal magnetic film is sandwiched by a pair of nonmagnetic substrates, and a magnetic gap is formed between the opposing metal magnetic films. Forming a magnetic head.
【００１６】[0016]
【作用】本発明においては、複数並べて接合一体化され
る非磁性基板の一主面に、この基板の一部を切り欠く切
欠き部を形成し、その切欠き部に融着ガラスを配し溶融
充填させているので、異物が関与して十分な接合状態が
得られない接合部においても、この切欠き部に充填され
たガラスにより充分な接合強度が得られる。従って、磁
気コア基板の接合不良が回避され、歩留り及び生産性が
向上する。In the present invention, a cutout portion is formed on one main surface of a non-magnetic substrate which is joined and integrated by arranging them side by side, and a fused glass is placed in the cutout portion. Since the glass is melt-filled, sufficient bonding strength can be obtained by the glass filled in the notch even in the bonded portion where foreign matter is involved and a sufficient bonded state cannot be obtained. Therefore, defective joining of the magnetic core substrate is avoided, and yield and productivity are improved.
【００１７】[0017]
【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて図面を参照しながら詳細に説明する。先ず、図１に
示すように、両面が鏡面加工された短冊状をなす非磁性
基板１の一主面１ａに切欠き部２を形成する。切欠き部
２は、長手方向における一側縁部に沿って、その一主面
１ａに対して垂直に切り欠かれている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Specific embodiments to which the present invention is applied will be described in detail below with reference to the drawings. First, as shown in FIG. 1, a notch 2 is formed on one main surface 1a of a strip-shaped non-magnetic substrate 1 whose both surfaces are mirror-finished. The cutout portion 2 is cut out along one side edge portion in the longitudinal direction perpendicular to the one main surface 1a.
【００１８】次に、この非磁性基板１の切欠き部２が形
成されていない他方の面１ｂに、図２に示すように、ス
パッタ等の真空薄膜形成法により、金属磁性膜３を形成
する。金属磁性膜３としては、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ、Ｆｅ
−Ｎｉ−Ａｌ−Ｓｉ、Ｆｅ−Ｇａ−Ｓｉ、Ｆｅ−Ａｌ−
Ｇｅ等、及びそれらに８原子％以下のＣｏ、Ｔｉ、Ｃ
ｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｒｕ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｎ、Ｃ、Ｏ
等を一種または数種添加した結晶質材料、またはＣｏに
主としてＺｒ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ａｕ、
Ｐｄ、Ｒｕ等の一種または数種添加して構成されたアモ
ルファス材料、或いはＣｏ、Ｆｅに主としてＮｉ、Ｚ
ｒ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｂ、
Ｇａ、Ｇｅ、Ｃｕ、Ｓｎ、Ｒｕ、Ｂ等の一種または数種
と、Ｎ、Ｃ、Ｏの一種または数種を添加して構成された
微結晶材料等からなる膜が用いられる。Next, as shown in FIG. 2, a metal magnetic film 3 is formed on the other surface 1b of the non-magnetic substrate 1 where the notch 2 is not formed by a vacuum thin film forming method such as sputtering. . As the metal magnetic film 3, Fe-Al-Si, Fe
-Ni-Al-Si, Fe-Ga-Si, Fe-Al-
Ge, etc., and Co, Ti, C of 8 atomic% or less
r, Nb, Mo, Ta, Ru, Au, Pd, N, C, O
And the like, or a crystalline material in which one or more of these are added, or mainly Co to Zr, Ta, Ti, Hf, Mo, Nb, Au,
An amorphous material formed by adding one or several kinds of Pd, Ru, etc., or mainly Ni, Z to Co, Fe
r, Ta, Ti, Hf, Mo, Nb, Si, Al, B,
A film made of a microcrystalline material or the like formed by adding one or several kinds of Ga, Ge, Cu, Sn, Ru, B and the like, and one or several kinds of N, C, O is used.
【００１９】なお、上記金属磁性膜３は、高周波帯域で
の渦電流損失を回避させるために、膜厚の薄い金属磁性
膜とＳｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 、Ｓｉ3 Ｎ4 等の酸化物や窒
化物等の如き電気的絶縁膜を介して絶縁層を交互に積層
させた，いわゆる積層膜としても良い。次に、この非磁
性基板１の両面に接合膜として融着ガラス薄膜、または
Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ等の貴金属薄膜をスパッタ等により形
成する。すなわち、非磁性基板１の一主面１ａと金属磁
性膜３の面上にそれぞれ融着ガラス薄膜または貴金属薄
膜を成膜する。The metal magnetic film 3 has a thin metal magnetic film and oxides such as SiO 2 , Al 2 O 3 and Si 3 N 4 in order to avoid eddy current loss in the high frequency band. It may be a so-called laminated film in which insulating layers are alternately laminated through an electrically insulating film such as a nitride. Next, a fused glass thin film or a noble metal thin film of Au, Ag, Pd or the like is formed as a bonding film on both surfaces of the non-magnetic substrate 1 by sputtering or the like. That is, a fused glass thin film or a noble metal thin film is formed on each of the main surface 1a of the non-magnetic substrate 1 and the surface of the metal magnetic film 3.
【００２０】次いで、図３に示すように、切欠き部２を
上向きとし、且つ一方の非磁性基板１に形成された金属
磁性膜３と他方の非磁性基板１に形成された切欠き部２
を対向させるようにして、この非磁性基板１を複数並べ
て加圧固定する。続いて、各非磁性基板１に形成された
切欠き部２に丸棒とされた融着ガラス４を配置する。こ
の実施例では、非磁性基板１の充分な接合強度を確保す
べく、切欠き部２に３本の融着ガラス４を配した。Next, as shown in FIG. 3, the metal magnetic film 3 formed on one non-magnetic substrate 1 and the notch 2 formed on the other non-magnetic substrate 1 with the notch 2 facing upward.
The non-magnetic substrates 1 are arranged side by side so as to face each other and fixed under pressure. Then, the fused glass 4 in the form of a round bar is placed in the notch 2 formed in each non-magnetic substrate 1. In this example, in order to secure a sufficient bonding strength of the non-magnetic substrate 1, three fused glasses 4 were arranged in the cutout portion 2.
【００２１】そして、この融着ガラス４を溶融させるに
足るだけの熱を加える。すると、この熱で接合膜部での
接合が行われると共に、切欠き部２に配された融着ガラ
ス４が溶けて、当該切欠き部２に融着ガラス４が充填さ
れる。このように、非磁性基板１は接合膜により接合さ
れるだけでなく、切欠き部２に溶融充填された融着ガラ
ス４によっても接合されるため、充分な接合強度が確保
される。Then, heat sufficient to melt the fused glass 4 is applied. Then, the heat is used to perform bonding in the bonding film portion, and the fused glass 4 arranged in the cutout portion 2 is melted to fill the cutout portion 2 with the fused glass 4. Thus, the non-magnetic substrate 1 is not only bonded by the bonding film, but also by the fused glass 4 melt-filled in the notch portion 2, so that sufficient bonding strength is secured.
【００２２】そして、その接合一体化された磁気コア基
板５を、図４中線Ａ−Ａ’、線Ｂ−Ｂ’、線Ｃ−Ｃ’に
沿って切断する。ここでは、磁気ギャップｇにアジマス
角を付与するために、非磁性基板１の突き合わせ方向に
対して若干斜めに切断する。その結果、図５に示すよう
に、同一形状とされた一対の磁気コア半体ブロック６，
７が形成される。Then, the magnetic core substrate 5 integrated and joined is cut along the line AA ', the line BB', and the line CC 'in FIG. Here, in order to give an azimuth angle to the magnetic gap g, the non-magnetic substrate 1 is cut slightly obliquely with respect to the abutting direction. As a result, as shown in FIG. 5, a pair of magnetic core half blocks 6, 6 of the same shape are formed.
7 is formed.
【００２３】次に、これら各磁気コア半体ブロック６，
７の突き合わせ面となる面に、コイルを巻装させるため
の巻線溝８，９をそのブロック長手方向に形成する。そ
して、この巻線溝８，９が形成された面を鏡面加工す
る。そして、鏡面加工を施した研磨面にギャップスペー
サー兼接合膜として機能する融着用ガラス膜、またはＡ
ｕ、Ａｇ、Ｐｄ等の貴金属膜をスパッタ等の真空薄膜形
成法により形成する。Next, each of these magnetic core half blocks 6,
Winding grooves 8 and 9 for winding a coil are formed in the block longitudinal direction on the surface which becomes the abutting surface of 7. Then, the surface on which the winding grooves 8 and 9 are formed is mirror-finished. Then, a glass film for fusing which functions as a gap spacer and a bonding film on the mirror-polished polished surface, or A
A noble metal film of u, Ag, Pd or the like is formed by a vacuum thin film forming method such as sputtering.
【００２４】その後、これら磁気コア半体ブロック６，
７を、図７に示すように、各磁気コア半体ブロック６，
７に形成されたそれぞれの金属磁性膜３同士を相対向さ
せるようにして突き合わせ、ガラス融着法、或いは低温
金属接合法により接合一体化させる。この熱処理時に
は、図９に示すように、巻線溝８，９内に配した丸棒と
された融着ガラス１０を溶融させ、巻線溝８，９内上部
にこの融着ガラス１０を充填させて補強ガラスとする。Thereafter, these magnetic core half blocks 6,
7, each magnetic core half block 6, 6, as shown in FIG.
The metal magnetic films 3 formed in 7 are abutted so as to face each other, and are joined and integrated by a glass fusion method or a low temperature metal joining method. At the time of this heat treatment, as shown in FIG. 9, the fused glass 10 which is a round bar arranged in the winding grooves 8 and 9 is melted, and the fused glass 10 is filled in the upper portion of the winding grooves 8 and 9. Let it be reinforced glass.
【００２５】その結果、各磁気コア半体ブロック６，７
にそれぞれ形成された金属磁性膜３の突き合わせ面間
に、記録再生ギャップとして動作する磁気ギャップｇが
形成される。次に、この接合一体化された磁気コアブロ
ック１１に対し、図９に示すように、ある曲率を持った
媒体摺動面１２を形成する。続いて、この磁気コアブロ
ック１１の巻線溝８，９と相対向する側面に、コイルの
巻装状態を良好なものとなすための巻線用ガイド溝１
３，１４を形成する。As a result, each magnetic core half block 6, 7
A magnetic gap g, which operates as a recording / reproducing gap, is formed between the abutting surfaces of the metal magnetic films 3 respectively formed in the above. Next, as shown in FIG. 9, a medium sliding surface 12 having a certain curvature is formed on the magnetic core block 11 which is joined and integrated. Then, on the side surface of the magnetic core block 11 opposite to the winding grooves 8 and 9, the winding guide groove 1 for improving the winding state of the coil is provided.
3 and 14 are formed.
【００２６】次いで、図１０に示すように、磁気記録媒
体に対するヘッドの当たりを確保しスペーシングロスに
よる出力低下を防止すべく、媒体摺動面１２に金属磁性
膜３と平行に当たり幅規制溝１５を入れる。その後、こ
の磁気コアブロック１１を、図１１中線Ｄ−Ｄ’、線Ｅ
−Ｅ’、線Ｆ−Ｆ’、線Ｇ−Ｇ’、線Ｈ−Ｈ’に沿って
金属磁性膜３と平行にチップ切断する。Next, as shown in FIG. 10, in order to secure the contact of the head with the magnetic recording medium and prevent the output from decreasing due to spacing loss, the contact width regulating groove 15 is made parallel to the metal magnetic film 3 on the medium sliding surface 12. Put in. After that, the magnetic core block 11 is changed to line D-D ', line E in FIG.
The chip is cut parallel to the metal magnetic film 3 along -E ', line FF', line GG ', and line H-H'.
【００２７】その結果、図１２に示すように、一対の非
磁性基板１により金属磁性膜３をその膜厚方向より挟み
込んでなる一対の磁気コア半体１６，１７を有し、これ
ら磁気コア半体１６，１７の突き合わせ面に呈する各金
属磁性膜３の端面同士が突き合わされ、その突き合わせ
面間に記録再生ギャップとして動作する磁気ギャップｇ
が形成された、ラミネートヘッドが完成される。As a result, as shown in FIG. 12, there is a pair of magnetic core halves 16 and 17 in which the metal magnetic film 3 is sandwiched by a pair of non-magnetic substrates 1 from the thickness direction. The end faces of the metal magnetic films 3 present on the abutting faces of the bodies 16 and 17 are abutted with each other, and the magnetic gap g that operates as a recording / reproducing gap is provided between the abutting faces.
The laminating head, in which is formed, is completed.
【００２８】[0028]
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明の方法においては、磁気コア基板を作製するに際し
て、予め非磁性基板の一部に切欠き部を設け、その切欠
き部に融着ガラス棒を配し、これら非磁性基板を複数並
べて接合するときに、その融着ガラス棒も同時に溶融さ
せているので、これら非磁性基板同士の接合強度をこの
切欠き部に溶融充填した融着ガラスによって高めること
ができ、接合不良を無くすことができる。従って、この
磁気コア基板を用いてその後の工程を進めることで、信
頼性の高い磁気ヘッドを歩留りよく生産することができ
る。As is apparent from the above description, in the method of the present invention, when a magnetic core substrate is manufactured, a cutout portion is previously provided in a part of a nonmagnetic substrate, and the cutout portion is melted. When arranging a glass-stick glass rod and joining a plurality of these non-magnetic substrates side by side, the fusion-bonded glass rods are also melted at the same time, so the bonding strength between these non-magnetic substrates is melted and filled in this notch. It can be increased by the glassing, and defective bonding can be eliminated. Therefore, by using this magnetic core substrate to proceed the subsequent steps, a highly reliable magnetic head can be produced with a high yield.
【図１】本実施例における磁気ヘッドの製造方法を順次
示すもので、非磁性基板に切欠き部を形成する工程を示
す斜視図。FIG. 1 is a perspective view showing a method of manufacturing a magnetic head according to an embodiment of the present invention, showing a step of forming a cutout portion in a non-magnetic substrate.
【図２】本実施例における磁気ヘッドの製造方法を順次
示すもので、金属磁性膜を成膜する工程を示す斜視図。FIG. 2 is a perspective view showing a step of forming a metal magnetic film, which sequentially shows the method of manufacturing the magnetic head in the present embodiment.
【図３】本実施例における磁気ヘッドの製造方法を順次
示すもので、複数の非磁性基板を加圧固定し切り欠き部
に融着ガラス棒を配置させた工程を示す斜視図。FIG. 3 is a perspective view sequentially showing a method of manufacturing a magnetic head in the present embodiment, showing a process of fixing a plurality of non-magnetic substrates under pressure and arranging a fused glass rod in the notch.
【図４】本実施例における磁気ヘッドの製造方法を順次
示すもので、複数の非磁性基板を接合一体化して形成し
た磁気コア基板から磁気コア半体ブロックを切り出す工
程を示す斜視図。FIG. 4 is a perspective view showing a method of manufacturing a magnetic head in the present embodiment sequentially, showing a step of cutting out a magnetic core half block from a magnetic core substrate formed by joining and integrating a plurality of non-magnetic substrates.
【図５】本実施例における磁気ヘッドの製造方法を順次
示すもので、磁気コア基板から切り出された一対の磁気
コア半体ブロックを示す斜視図。FIG. 5 is a perspective view showing a pair of magnetic core half blocks cut out from the magnetic core substrate, sequentially showing the method of manufacturing the magnetic head in the embodiment.
【図６】本実施例における磁気ヘッドの製造方法を順次
示すもので、磁気コア半体ブロックに巻線溝を形成する
工程を示す斜視図。FIG. 6 is a perspective view showing the method of manufacturing the magnetic head in the present embodiment in order, showing a step of forming a winding groove in the magnetic core half block.
【図７】本実施例における磁気ヘッドの製造方法を順次
示すもので、磁気コア半体ブロックをそれぞれの金属磁
性膜同士が相対向するように突き合わせる工程を示す斜
視図。FIG. 7 is a perspective view sequentially showing the method of manufacturing the magnetic head in the present embodiment, showing a step of butting the magnetic core half blocks so that the metal magnetic films face each other.
【図８】本実施例における磁気ヘッドの製造方法を順次
示すもので、突き合わせた磁気コア半体ブロックの巻線
溝内に補強用ガラス棒を配置した工程を示す斜視図。FIG. 8 is a perspective view sequentially showing the method of manufacturing the magnetic head in the present embodiment, showing a step of arranging a reinforcing glass rod in the winding groove of the magnetic core half blocks which are butted.
【図９】本実施例における磁気ヘッドの製造方法を順次
示すもので、磁気コアブロックにある曲率を持った媒体
摺動面を形成すると共に、巻線用ガイド溝を形成する工
程を示す斜視図。FIG. 9 is a perspective view showing a method of manufacturing a magnetic head in the present embodiment in sequence, showing a step of forming a medium sliding surface having a certain curvature on a magnetic core block and forming a winding guide groove. .
【図１０】本実施例における磁気ヘッドの製造方法を順
次示すもので、磁気コアブロックに当り幅規制溝を形成
する工程を示す斜視図。FIG. 10 is a perspective view sequentially showing the method of manufacturing the magnetic head according to the present embodiment, showing a step of forming a contact width regulating groove in the magnetic core block.
【図１１】本実施例における磁気ヘッドの製造方法を順
次示すもので、磁気コアブロックを切断しヘッドチップ
に切り出す工程を示す斜視図。FIG. 11 is a perspective view sequentially showing the method of manufacturing the magnetic head in the present embodiment, showing a step of cutting the magnetic core block and cutting it into a head chip.
【図１２】本実施例によって製造された磁気ヘッドの斜
視図である。FIG. 12 is a perspective view of a magnetic head manufactured according to this embodiment.
【図１３】従来の方法により製造されたラミネートタイ
プの磁気ヘッドの斜視図である。FIG. 13 is a perspective view of a laminate type magnetic head manufactured by a conventional method.
【図１４】従来の磁気ヘッドの製造方法を順次示すもの
で、非磁性基板の製造工程を示す斜視図。FIG. 14 is a perspective view showing a method of manufacturing a conventional magnetic head in sequence and showing a manufacturing process of a non-magnetic substrate.
【図１５】従来の磁気ヘッドの製造方法を順次示すもの
で、金属磁性膜を成膜する工程を示す斜視図。FIG. 15 is a perspective view sequentially showing a method of manufacturing a conventional magnetic head, showing a step of forming a metal magnetic film.
【図１６】従来の磁気ヘッドの製造方法を順次示すもの
で、複数の非磁性基板を接合一体化して形成した磁気コ
ア基板から磁気コア半体ブロックを切り出す工程を示す
斜視図。FIG. 16 is a perspective view sequentially showing a method of manufacturing a conventional magnetic head, showing a step of cutting out a magnetic core half block from a magnetic core substrate formed by joining and integrating a plurality of non-magnetic substrates.
【図１７】従来の磁気ヘッドの製造方法を順次示すもの
で、磁気コア基板から切り出された一対の磁気コア半体
ブロックを示す斜視図。FIG. 17 is a perspective view showing a pair of magnetic core half blocks cut out from a magnetic core substrate, sequentially showing a conventional method of manufacturing a magnetic head.
【図１８】従来の磁気ヘッドの製造方法を順次示すもの
で、磁気コア半体ブロックに巻線溝を形成する工程を示
す斜視図。FIG. 18 is a perspective view sequentially showing a method of manufacturing a conventional magnetic head, showing a step of forming a winding groove in a magnetic core half block.
【図１９】従来の磁気ヘッドの製造方法を順次示すもの
で、磁気コア半体ブロックをそれぞれの金属磁性膜同士
が相対向するように突き合わせる工程を示す斜視図。FIG. 19 is a perspective view showing a method of manufacturing a conventional magnetic head in sequence, showing a step of butting the magnetic core half blocks so that the metal magnetic films face each other.
【図２０】従来の磁気ヘッドの製造方法を順次示すもの
で、突き合わせた磁気コア半体ブロックの巻線溝内に補
強用ガラス棒を配置する工程を示す斜視図。FIG. 20 is a perspective view showing a method of manufacturing a conventional magnetic head in sequence, showing a step of arranging a reinforcing glass rod in a winding groove of a magnetic core half block which is butted.
【図２１】従来の磁気ヘッドの製造方法を順次示すもの
で、磁気コアブロックにある曲率を持った媒体摺動面を
形成すると共に、巻線用ガイド溝を形成する工程を示す
斜視図。FIG. 21 is a perspective view sequentially showing a method of manufacturing a conventional magnetic head, showing a step of forming a medium sliding surface having a curvature in a magnetic core block and forming a winding guide groove.
【図２２】従来の磁気ヘッドの製造方法を順次示すもの
で、磁気コアブロックに当り幅規制溝を形成する工程を
示す斜視図。FIG. 22 is a perspective view sequentially showing a method of manufacturing a conventional magnetic head, showing a step of forming a contact width regulating groove in a magnetic core block.
【図２３】従来の磁気ヘッドの製造方法を順次示すもの
で、磁気コアブロックを切断しヘッドチップに切り出す
工程を示す斜視図。FIG. 23 is a perspective view sequentially showing a method of manufacturing a conventional magnetic head, showing a step of cutting a magnetic core block and cutting it into a head chip.
１ 非磁性基板 ２ 切欠き部 ３ 金属磁性膜 ４ 融着ガラス ５ 磁気コア基板 ６，７ 磁気コア半体ブロック ８，９ 巻線溝 １１ 磁気コアブロック １２ 媒体摺動面 １３，１４ 巻線用ガイド溝 1 Non-Magnetic Substrate 2 Notch 3 Metal Magnetic Film 4 Fused Glass 5 Magnetic Core Substrate 6,7 Magnetic Core Half Block 8,9 Winding Groove 11 Magnetic Core Block 12 Medium Sliding Surface 13,14 Winding Guide groove
Claims (1)
き部を形成する工程と、 非磁性基板の切欠き部が形成される面とは反対側の面に
金属磁性膜を形成する工程と、 この非磁性基板の両面に接合膜を形成する工程と、 一方の非磁性基板に形成された金属磁性膜と他方の非磁
性基板に形成された切欠き部を対向させるようにして、
この非磁性基板を複数並べて加圧固定する工程と、 それぞれの切欠き部に融着ガラスを配し熱処理を施し
て、これら複数の非磁性基板を接合一体化する工程と、 その接合一体化された磁気コア基板を切断して一対の磁
気コア半体ブロックを形成し、その各磁気コア半体ブロ
ックに形成されるそれぞれの金属磁性膜の端面同士を相
対向させてギャップ接合する工程と、 そのギャップ接合された磁気コアブロックを金属磁性膜
と略平行にチップ切断して、一対の非磁性基板により金
属磁性膜を挟み込み、相対向する金属磁性膜間に磁気ギ
ャップを形成してなる磁気ヘッドを形成する工程とから
なる磁気ヘッドの製造方法。1. A step of forming a notch in one main surface of a strip-shaped non-magnetic substrate and a step of forming a metal magnetic film on the surface of the non-magnetic substrate opposite to the surface where the notch is formed. And the step of forming bonding films on both sides of this non-magnetic substrate, and the metal magnetic film formed on one non-magnetic substrate and the notch formed on the other non-magnetic substrate are opposed to each other. ,
A step of arranging a plurality of these non-magnetic substrates side by side and fixing them under pressure, a step of arranging fused glass in each of the notches and subjecting them to heat treatment to join and integrate these non-magnetic substrates, and A step of cutting the magnetic core substrate to form a pair of magnetic core half blocks, and gap-bonding by making the end faces of the respective metal magnetic films formed in the magnetic core half blocks face each other; A magnetic head is formed by cutting a gap-bonded magnetic core block into chips substantially parallel to a metal magnetic film, sandwiching the metal magnetic film between a pair of nonmagnetic substrates, and forming a magnetic gap between opposing metal magnetic films. A method of manufacturing a magnetic head, which comprises a step of forming.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26681294A JPH08129708A (en) | 1994-10-31 | 1994-10-31 | Production of magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26681294A JPH08129708A (en) | 1994-10-31 | 1994-10-31 | Production of magnetic head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08129708A true JPH08129708A (en) | 1996-05-21 |
Family
ID=17436022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26681294A Withdrawn JPH08129708A (en) | 1994-10-31 | 1994-10-31 | Production of magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08129708A (en) |
-
1994
- 1994-10-31 JP JP26681294A patent/JPH08129708A/en not_active Withdrawn
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Legal Events
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