JPH03130912A - 複合型浮動磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
複合型浮動磁気ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH03130912A JPH03130912A JP26772389A JP26772389A JPH03130912A JP H03130912 A JPH03130912 A JP H03130912A JP 26772389 A JP26772389 A JP 26772389A JP 26772389 A JP26772389 A JP 26772389A JP H03130912 A JPH03130912 A JP H03130912A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- block
- floating
- forming
- head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007667 floating Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims abstract description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 5
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 13
- 239000002994 raw material Substances 0.000 abstract description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 229910017082 Fe-Si Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910017133 Fe—Si Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 abstract 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 24
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N calcium titanate Chemical compound [Ca+2].[O-][Ti]([O-])=O AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 230000002500 effect on skin Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
【産業上の利用分野］
本発明は磁気記録再生装置に用いられる磁気ヘッドに関
するものである。
するものである。
［従来の技術］
最近の磁気記録再生装置の高密度化に対応して磁気ヘッ
ドにおいては、非磁性体からなるスライダー体に真空薄
膜形成技術により磁性膜を磁気記録媒体進行方向に垂直
な方向に積層し、さらに非磁性体ブロックを磁性膜をス
ライダー体と挟むように接合した複合型浮動磁気ヘッド
が考えられている。この磁気ヘッドの従来の製造方法を
第２図に示す斜視図を用いて説明する。第２図（ａ）（
ｂ＞に示す様にチタン酸カルシウム等の非磁性材料に電
気磁気変換用のコイル線を巻くための溝７の加工を施し
第一のスライダー体５と第二のスライダー体６を得る。
ドにおいては、非磁性体からなるスライダー体に真空薄
膜形成技術により磁性膜を磁気記録媒体進行方向に垂直
な方向に積層し、さらに非磁性体ブロックを磁性膜をス
ライダー体と挟むように接合した複合型浮動磁気ヘッド
が考えられている。この磁気ヘッドの従来の製造方法を
第２図に示す斜視図を用いて説明する。第２図（ａ）（
ｂ＞に示す様にチタン酸カルシウム等の非磁性材料に電
気磁気変換用のコイル線を巻くための溝７の加工を施し
第一のスライダー体５と第二のスライダー体６を得る。
次に第２図（ｃ）（ｄ）に示すようにそれぞれのスライ
ダー体の側面に磁性１１２を一層２から３μｍ程度の厚
みで数層スバッ夕法等により形成する。次に第２図（ｅ
）（ｆ）に示す様に先の磁性膜を挟み込む様にスライダ
ー体と同一材料からなる非磁性体ブロック３を融着ガラ
スＡ４を用いてそれぞれに接合する。次に第２図（ｇ）
に示す様にそれぞれ接合された第一のスライダー体５と
第二のスライダー体６を磁性膜２が対向するように融着
ガラスＢｌｌを用いて接合し積層コア１３を得るととも
に一体とする。このようにして得られたスライダーブロ
ック１４に第２図（ｈ）に示す様に所定の浮上量を得る
ように浮動面１５を形成しさらにコイル＃＋１６を巻き
付は複合型浮動磁気ヘッド１７を得る。
ダー体の側面に磁性１１２を一層２から３μｍ程度の厚
みで数層スバッ夕法等により形成する。次に第２図（ｅ
）（ｆ）に示す様に先の磁性膜を挟み込む様にスライダ
ー体と同一材料からなる非磁性体ブロック３を融着ガラ
スＡ４を用いてそれぞれに接合する。次に第２図（ｇ）
に示す様にそれぞれ接合された第一のスライダー体５と
第二のスライダー体６を磁性膜２が対向するように融着
ガラスＢｌｌを用いて接合し積層コア１３を得るととも
に一体とする。このようにして得られたスライダーブロ
ック１４に第２図（ｈ）に示す様に所定の浮上量を得る
ように浮動面１５を形成しさらにコイル＃＋１６を巻き
付は複合型浮動磁気ヘッド１７を得る。
［発明が解決しようとする課題及び目的１しかし、前述
の従来技術では第一のスライダー体５と第二のスライダ
ー体６それぞれに磁性膜２を形成するためその厚みばら
つきにより磁性Ｆｌ！２を対向させ一体とした場合に磁
気ギャップ部１２でトラックずれを生じ安くまたスライ
ダー体の寸法も異なるため位置合わせもし難いという課
題を有する。また、磁性膜を形成する場合やスライダー
体と非磁性体ブロックをガラスボンディングする場合に
それぞれで行なわなければならないので多大な工数が掛
かるとともに作業もしずらく歩留りも悪いという課題を
有する。そこで本発明はこの様な課題を解決するもので
、その目的とするところはトラック精度が高く高品質な
磁気ヘッドを各工程の作業が簡易になることより高歩留
りで安価に提供するところにある。
の従来技術では第一のスライダー体５と第二のスライダ
ー体６それぞれに磁性膜２を形成するためその厚みばら
つきにより磁性Ｆｌ！２を対向させ一体とした場合に磁
気ギャップ部１２でトラックずれを生じ安くまたスライ
ダー体の寸法も異なるため位置合わせもし難いという課
題を有する。また、磁性膜を形成する場合やスライダー
体と非磁性体ブロックをガラスボンディングする場合に
それぞれで行なわなければならないので多大な工数が掛
かるとともに作業もしずらく歩留りも悪いという課題を
有する。そこで本発明はこの様な課題を解決するもので
、その目的とするところはトラック精度が高く高品質な
磁気ヘッドを各工程の作業が簡易になることより高歩留
りで安価に提供するところにある。
［課題を解決するための手段］
本発明の複合型浮動磁気ヘッドの製造方法は、非磁性体
からなるスライダー体に磁気ギャップを有する磁性体コ
アを具備し、該磁性体コアが磁気記録媒体進行方向に対
して垂直な方向に磁性膜を積層した積層コアからなり、
非磁性体からなり浮動面を形成するブロックを具備する
複合型浮動磁気ヘッドの製造方法において、前記スライ
ダー体の側面に磁性膜を形成する第一の工程と前記第一
の工程で得られたスライダー体と前記非磁性体からなり
浮動面を形成するブロックを接合する第二の工程と、第
二の工程で一体となった磁気ブロックをギャップ形成面
で切断する第三の工程と第三の工程で切断した導体の磁
気ブロックのギャップ形成面を研磨するとともにコイル
巻き線用の溝加工を施す第四の工程と前記導体の磁気ブ
ロックを磁気ギャップを形成しつつ一体に接合する第五
の工程と浮動面を形成する第六の工程からなる事を特徴
とする。
からなるスライダー体に磁気ギャップを有する磁性体コ
アを具備し、該磁性体コアが磁気記録媒体進行方向に対
して垂直な方向に磁性膜を積層した積層コアからなり、
非磁性体からなり浮動面を形成するブロックを具備する
複合型浮動磁気ヘッドの製造方法において、前記スライ
ダー体の側面に磁性膜を形成する第一の工程と前記第一
の工程で得られたスライダー体と前記非磁性体からなり
浮動面を形成するブロックを接合する第二の工程と、第
二の工程で一体となった磁気ブロックをギャップ形成面
で切断する第三の工程と第三の工程で切断した導体の磁
気ブロックのギャップ形成面を研磨するとともにコイル
巻き線用の溝加工を施す第四の工程と前記導体の磁気ブ
ロックを磁気ギャップを形成しつつ一体に接合する第五
の工程と浮動面を形成する第六の工程からなる事を特徴
とする。
［実施例］
第１図は本発明の実施例における複合型浮動磁気ヘッド
の製造方法を示す斜視図である。第１図（ａ）に示す様
に非磁性材料からなる原料ブロックｌの側面にスパッタ
法等により磁性膜２を各層１から３μｍの厚みで数層形
成する。この磁性膜２としてはＦｅ−８ｉ、Ｆｅ−Ｎｉ
、Ｆｅ−Ａｌ−５ｉ、Ｃｏ−Ｚｒ−Ｎｂ等を用いる。こ
れらの磁性膜２は一般に電気的に導体であるから磁束の
流れにともなう表皮効果により渦電流を発生する。
の製造方法を示す斜視図である。第１図（ａ）に示す様
に非磁性材料からなる原料ブロックｌの側面にスパッタ
法等により磁性膜２を各層１から３μｍの厚みで数層形
成する。この磁性膜２としてはＦｅ−８ｉ、Ｆｅ−Ｎｉ
、Ｆｅ−Ａｌ−５ｉ、Ｃｏ−Ｚｒ−Ｎｂ等を用いる。こ
れらの磁性膜２は一般に電気的に導体であるから磁束の
流れにともなう表皮効果により渦電流を発生する。
この渦電流により磁束が乱れ結果として高周波透磁率が
悪化する。これを防止するためには膜厚を薄くすれば良
く１から３μｍの厚みとしたが６μｍ以下であれば任意
に設定しても問題はない。また、非磁性材料としてはチ
タン酸カルシウム等の非磁性材であれば特に制約は受け
ないが使用する磁性膜２の熱膨張率に近い材質を選定す
るのが良い。次に第１図（ｂ）に示すように先に得られ
た磁性膜２を挟み込む様に原料ブロック１と同一材質の
非磁性体ブロック３を融着ガラスＡ４を用いて接合する
。この時に用いる融着ガラスＡとしては使用する磁性膜
２の特性を劣化させない範囲で出来るだけ高温の作業温
度のものを選定する。次にこの一体となったブロックを
第１図（Ｃ）に示す様に所望の磁気ギャップ位置で導体
に分割し第一のスライダー体５と第二のスライダー体６
を得る。この様に導体としたところで第１図（ｄ）にし
めすように、電気信号と磁気信号を相互変換するための
コイル線を巻き線するための溝７の加工を施すとともに
磁気ギャップ面８となるそれぞれの面を研磨加工等によ
って鏡面に仕上げこの面に所望の磁気ギャップ長の厚み
に非磁性膜９を形成する。この場合、工程を簡易にする
ためには第一のスライダー体５のみに非磁性膜９を形成
する方が良い。非磁性膜９としては酸化珪素をスパッタ
法によって緻密な膜に形成するとギャップ精度の優れた
磁気ヘッドが得られる。但し、本発明はこれに限られた
ものではない。この後、第１図（ｅ）に示す様に第一の
スライダー体５と第二のスライダー体６を任意のそれぞ
れの側面１０を基準に磁性膜２を対向させ突き合わせ融
着ガラスＢ１１を用いて一体として磁気ギャップ１２を
形成しつつ積層コア１３を得るとともにスライダーブロ
ック１４を得る。このようにすると、もともと一体であ
ったスライダーブロック１４を磁気ギャップ面８で分割
して再度接合するので磁性膜２の総厚で規定されるトラ
ック幅の長さが等しく高精度のトラックが得られるとと
もに第一のスライダー体５と第二のスライダー体６の側
面１０を基準にした時の磁性ｌ１１２までの距離も等し
いので、この側面１０を基準にして簡単にトラックの位
置合わせが出来る。この接合に用いる融着ガラスＢｌｌ
は先に原料ブロック１と非磁性体ブロック３を接合した
際に用いた融着ガラスＡ４の融点よりも作業温度が低い
ガラスを用いる。次に第１図（ｆ）に示すように所望の
浮上量を得るために浮動面１５を形成するとともに所定
の加工を施しさらに電気磁気変換用のコイル線１６を巻
き線し複合型浮動磁気ヘッド１７を得る。この様な製造
方法をとると作業がし安く高性能な磁気ヘッドを高歩留
りで安価に製造することが出来る。
悪化する。これを防止するためには膜厚を薄くすれば良
く１から３μｍの厚みとしたが６μｍ以下であれば任意
に設定しても問題はない。また、非磁性材料としてはチ
タン酸カルシウム等の非磁性材であれば特に制約は受け
ないが使用する磁性膜２の熱膨張率に近い材質を選定す
るのが良い。次に第１図（ｂ）に示すように先に得られ
た磁性膜２を挟み込む様に原料ブロック１と同一材質の
非磁性体ブロック３を融着ガラスＡ４を用いて接合する
。この時に用いる融着ガラスＡとしては使用する磁性膜
２の特性を劣化させない範囲で出来るだけ高温の作業温
度のものを選定する。次にこの一体となったブロックを
第１図（Ｃ）に示す様に所望の磁気ギャップ位置で導体
に分割し第一のスライダー体５と第二のスライダー体６
を得る。この様に導体としたところで第１図（ｄ）にし
めすように、電気信号と磁気信号を相互変換するための
コイル線を巻き線するための溝７の加工を施すとともに
磁気ギャップ面８となるそれぞれの面を研磨加工等によ
って鏡面に仕上げこの面に所望の磁気ギャップ長の厚み
に非磁性膜９を形成する。この場合、工程を簡易にする
ためには第一のスライダー体５のみに非磁性膜９を形成
する方が良い。非磁性膜９としては酸化珪素をスパッタ
法によって緻密な膜に形成するとギャップ精度の優れた
磁気ヘッドが得られる。但し、本発明はこれに限られた
ものではない。この後、第１図（ｅ）に示す様に第一の
スライダー体５と第二のスライダー体６を任意のそれぞ
れの側面１０を基準に磁性膜２を対向させ突き合わせ融
着ガラスＢ１１を用いて一体として磁気ギャップ１２を
形成しつつ積層コア１３を得るとともにスライダーブロ
ック１４を得る。このようにすると、もともと一体であ
ったスライダーブロック１４を磁気ギャップ面８で分割
して再度接合するので磁性膜２の総厚で規定されるトラ
ック幅の長さが等しく高精度のトラックが得られるとと
もに第一のスライダー体５と第二のスライダー体６の側
面１０を基準にした時の磁性ｌ１１２までの距離も等し
いので、この側面１０を基準にして簡単にトラックの位
置合わせが出来る。この接合に用いる融着ガラスＢｌｌ
は先に原料ブロック１と非磁性体ブロック３を接合した
際に用いた融着ガラスＡ４の融点よりも作業温度が低い
ガラスを用いる。次に第１図（ｆ）に示すように所望の
浮上量を得るために浮動面１５を形成するとともに所定
の加工を施しさらに電気磁気変換用のコイル線１６を巻
き線し複合型浮動磁気ヘッド１７を得る。この様な製造
方法をとると作業がし安く高性能な磁気ヘッドを高歩留
りで安価に製造することが出来る。
［発明の効果］
以上述べたように本発明によれば、原料ブロックにあら
かじめ磁性膜を形成した後に所定の加工を施していき磁
気ヘッドを製造することによって狭トラツクヘツドのト
ラック精度が高く高性能な複合型浮動磁気ヘッドを簡単
に高歩留りで安価に製造出来るという効果を有する。
かじめ磁性膜を形成した後に所定の加工を施していき磁
気ヘッドを製造することによって狭トラツクヘツドのト
ラック精度が高く高性能な複合型浮動磁気ヘッドを簡単
に高歩留りで安価に製造出来るという効果を有する。
第１図（ａ）〜（ｆ）は本発明の複合型浮動磁気ヘッド
の製造方法の一実施例を示す斜視図。 第２図（ａ）〜（ｈ）は従来の複合型浮動磁気ヘッドの
製造方法を示す斜視図。 ｌ・・・原料ブロック ２・・・磁性膜 ３・・・非磁性体ブロック ４・・・融着ガラスＡ ５・・・第一のスライダー体 ６・・・第二のスライダー体 ７・・・コイル線を巻き線するための溝８・・・磁気ギ
ャップ面 ９・・・非磁性膜 Ｏ・・・スライダー側面 １・・・融着ガラスＢ ２・・・磁気ギャップ ３・・・ｆｊＩ層コア ４・・・スライダーブロック ５・・・浮動面 ６・・・コイル線 ７・・・複合型浮動磁気ヘッド 以上
の製造方法の一実施例を示す斜視図。 第２図（ａ）〜（ｈ）は従来の複合型浮動磁気ヘッドの
製造方法を示す斜視図。 ｌ・・・原料ブロック ２・・・磁性膜 ３・・・非磁性体ブロック ４・・・融着ガラスＡ ５・・・第一のスライダー体 ６・・・第二のスライダー体 ７・・・コイル線を巻き線するための溝８・・・磁気ギ
ャップ面 ９・・・非磁性膜 Ｏ・・・スライダー側面 １・・・融着ガラスＢ ２・・・磁気ギャップ ３・・・ｆｊＩ層コア ４・・・スライダーブロック ５・・・浮動面 ６・・・コイル線 ７・・・複合型浮動磁気ヘッド 以上
Claims (1)
- 非磁性体からなるスライダー体に磁気ギャップを有する
磁性体コアを具備し、該磁性体コアが磁気記録媒体進行
方向に対して垂直な方向に磁性膜を積層した積層コアか
らなり、非磁性体からなり浮動面を形成するブロックを
具備する複合型浮動磁気ヘッドの製造方法において、前
記スライダー体の側面に磁性膜を形成する第一の工程と
前記第一の工程で得られたスライダー体と前記非磁性体
からなり浮動面を形成するブロックを接合する第二の工
程と、第二の工程で一体となった磁気ブロックをギャッ
プ形成面で切断する第三の工程と第三の工程で切断した
二体の磁気ブロックのギャップ形成面を研磨するととも
にコイル巻き線用の溝加工を施す第四の工程と前記二体
の磁気ブロックを磁気ギャップを形成しつつ一体に接合
する第五の工程と浮動面を形成する第六の工程からなる
事を特徴とする複合型浮動磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26772389A JPH03130912A (ja) | 1989-10-13 | 1989-10-13 | 複合型浮動磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26772389A JPH03130912A (ja) | 1989-10-13 | 1989-10-13 | 複合型浮動磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03130912A true JPH03130912A (ja) | 1991-06-04 |
Family
ID=17448673
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26772389A Pending JPH03130912A (ja) | 1989-10-13 | 1989-10-13 | 複合型浮動磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03130912A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0600280A2 (en) * | 1992-11-30 | 1994-06-08 | Minebea Co.,Ltd. | Floating magnetic head |
| JPH0652010U (ja) * | 1992-11-30 | 1994-07-15 | ミツミ電機株式会社 | 磁気ヘッド |
| WO1996013033A1 (fr) * | 1994-10-21 | 1996-05-02 | Japan Energy Corporation | Tete magnetique flottante et sa fabrication |
-
1989
- 1989-10-13 JP JP26772389A patent/JPH03130912A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0600280A2 (en) * | 1992-11-30 | 1994-06-08 | Minebea Co.,Ltd. | Floating magnetic head |
| JPH0652010U (ja) * | 1992-11-30 | 1994-07-15 | ミツミ電機株式会社 | 磁気ヘッド |
| EP0600280A3 (en) * | 1992-11-30 | 1995-07-26 | Minebea Kk | Floating magnetic head. |
| WO1996013033A1 (fr) * | 1994-10-21 | 1996-05-02 | Japan Energy Corporation | Tete magnetique flottante et sa fabrication |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH03130912A (ja) | 複合型浮動磁気ヘッドの製造方法 | |
| JP2633097B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS60231903A (ja) | 複合型磁気ヘツドおよびその製造方法 | |
| US4868972A (en) | Method for manufacturing a magnetic head for performing high density recording and reproducing | |
| JP2618860B2 (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH03130913A (ja) | 複合型浮動磁気ヘッド | |
| JP2900635B2 (ja) | 複合型磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS63239607A (ja) | 磁気ヘツドコアの製造方法 | |
| JPS63279406A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH0585962B2 (ja) | ||
| JPH0240113A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS63288407A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH0283807A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH03266206A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPS6280808A (ja) | 磁気ヘツドおよびその製造方法 | |
| JPH0896316A (ja) | 磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
| JPS63112813A (ja) | 複合磁気ヘツド及びその製法 | |
| JPH07282415A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH0689407A (ja) | 磁気ヘッドと製造法 | |
| JPH01260609A (ja) | 複合型磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPS63103405A (ja) | 複合型磁気ヘッドとその製造方法 | |
| JPH01282712A (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH04195805A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPS6276013A (ja) | 磁気コア | |
| JPH05101360A (ja) | 薄膜磁気ヘツドスライダとその製造方法 |