JPH07110302A - 透明板の欠陥検出装置 - Google Patents
透明板の欠陥検出装置Info
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- JPH07110302A JPH07110302A JP25606593A JP25606593A JPH07110302A JP H07110302 A JPH07110302 A JP H07110302A JP 25606593 A JP25606593 A JP 25606593A JP 25606593 A JP25606593 A JP 25606593A JP H07110302 A JPH07110302 A JP H07110302A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】被検査物体内の欠陥を容易に検出できる安価な
透明板の検出装置の提供を目的とする。 【構成】透明板の被検査物体１の欠陥を検出３する透明
板の欠陥検出装置において、被検査物体１の一方の側よ
り照明光を当てる照明光源４と、照明光源４による被検
査物体１の透過光を他方の側より撮像するテレビカメラ
２と、被検査物体１と照明光源４の間に透明部１１ａと
不透明部１１ｂを有するマスク１１とを設けたものであ
る。
透明板の検出装置の提供を目的とする。 【構成】透明板の被検査物体１の欠陥を検出３する透明
板の欠陥検出装置において、被検査物体１の一方の側よ
り照明光を当てる照明光源４と、照明光源４による被検
査物体１の透過光を他方の側より撮像するテレビカメラ
２と、被検査物体１と照明光源４の間に透明部１１ａと
不透明部１１ｂを有するマスク１１とを設けたものであ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、ガラスあるい
はプラスチックなどの板状の透明物体における種々の欠
陥を検出する検出装置に使用して好適な透明板の欠陥検
出装置に関する。
はプラスチックなどの板状の透明物体における種々の欠
陥を検出する検出装置に使用して好適な透明板の欠陥検
出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、板状透明の被検査物体に照明
光を当て、その反射光または透過光をテレビカメラによ
り撮像し、その信号を電子回路により検出し、被検査物
体の欠陥を検出する欠陥検出装置が提案されている。
光を当て、その反射光または透過光をテレビカメラによ
り撮像し、その信号を電子回路により検出し、被検査物
体の欠陥を検出する欠陥検出装置が提案されている。
【０００３】図４および図５に、従来の板状透明物体の
欠陥検査に用いられる透明板の欠陥検出装置の側面図を
示す。図４および図５において、１は板状透明の被検査
物体であり、図示しない搬送装置により所定方向に搬送
される。２はテレビカメラであり、一般の白黒用テレビ
カメラである。３は欠陥検出回路であり、微分回路等で
構成され、テレビカメラ２の撮像信号から被検査物体１
の欠陥を検出する回路である。
欠陥検査に用いられる透明板の欠陥検出装置の側面図を
示す。図４および図５において、１は板状透明の被検査
物体であり、図示しない搬送装置により所定方向に搬送
される。２はテレビカメラであり、一般の白黒用テレビ
カメラである。３は欠陥検出回路であり、微分回路等で
構成され、テレビカメラ２の撮像信号から被検査物体１
の欠陥を検出する回路である。
【０００４】４は照明光源であり、例えば、ストロボ光
からなり、図示しない搬送装置により搬送される被検査
物体１に対して、テレビカメラ２の撮像信号に同期しな
がら発光するものである。５は光拡散板であり、すりガ
ラスなどで構成され、照明光源４のストロボ光を拡散さ
せるものである。
からなり、図示しない搬送装置により搬送される被検査
物体１に対して、テレビカメラ２の撮像信号に同期しな
がら発光するものである。５は光拡散板であり、すりガ
ラスなどで構成され、照明光源４のストロボ光を拡散さ
せるものである。
【０００５】図４は反射型の透明板の欠陥検出装置であ
り、図５は透過型の透明板の欠陥検出装置であり、図５
に示す透明板の欠陥検出装置が、図４に示す透明板の欠
陥検出装置と異なる点は、テレビカメラ２および欠陥検
出回路３を被検査物体１に対して照明光源４および光拡
散板５を設けた側と反対の側に設けた点である。
り、図５は透過型の透明板の欠陥検出装置であり、図５
に示す透明板の欠陥検出装置が、図４に示す透明板の欠
陥検出装置と異なる点は、テレビカメラ２および欠陥検
出回路３を被検査物体１に対して照明光源４および光拡
散板５を設けた側と反対の側に設けた点である。
【０００６】上述の図４に示した反射型の透明板の欠陥
検出装置は、照明光源４よりの光を被検査物体１に照射
し、その被検査物体１の表面の反射光をテレビカメラ２
でとらえて欠陥を検出するもので、主として被検査物体
１の表面上の欠陥、例えば、表面の凹凸等の有無を検査
するものである。
検出装置は、照明光源４よりの光を被検査物体１に照射
し、その被検査物体１の表面の反射光をテレビカメラ２
でとらえて欠陥を検出するもので、主として被検査物体
１の表面上の欠陥、例えば、表面の凹凸等の有無を検査
するものである。
【０００７】また、上述の図５に示した透過型の欠陥検
出装置は照明光源４による被検査物体１の透過光をテレ
ビカメラ２でとらえて欠陥を検出するもので、主として
被検査物体１内の黒い異物などを検出するものに用いら
れるものである。図４および図５に示したいずれの欠陥
検出装置においても、照明光源４と被検査物体１との間
には、光拡散板５を設けて、被検査物体１には拡散光が
照射されるように構成されている。
出装置は照明光源４による被検査物体１の透過光をテレ
ビカメラ２でとらえて欠陥を検出するもので、主として
被検査物体１内の黒い異物などを検出するものに用いら
れるものである。図４および図５に示したいずれの欠陥
検出装置においても、照明光源４と被検査物体１との間
には、光拡散板５を設けて、被検査物体１には拡散光が
照射されるように構成されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した図４
に示した従来の反射型の欠陥検出装置では、被検査物体
１の表面の反射光をテレビカメラ２でとらえて欠陥を検
出するので、被検査物体１の表面の欠陥しか検出できな
いという不都合があった。また、図６に示すように、上
述した図５に示した従来の透過型の欠陥検出装置では、
被検査物体１内の欠陥として表面の凸部６および凹部７
そして内部の気泡８が存在するとすると、これらの欠陥
は、図６の矢印に示すように、被検査物体１内における
欠陥部に対して、その周辺により照明光源４よりの透過
された光の乱反射光により、明るく照射され、明暗のコ
ントラストがつかず、欠陥部としての区別がつかない。
従って、気泡の検出ができず、黒い異物の検出しかでき
ないという不都合があった。
に示した従来の反射型の欠陥検出装置では、被検査物体
１の表面の反射光をテレビカメラ２でとらえて欠陥を検
出するので、被検査物体１の表面の欠陥しか検出できな
いという不都合があった。また、図６に示すように、上
述した図５に示した従来の透過型の欠陥検出装置では、
被検査物体１内の欠陥として表面の凸部６および凹部７
そして内部の気泡８が存在するとすると、これらの欠陥
は、図６の矢印に示すように、被検査物体１内における
欠陥部に対して、その周辺により照明光源４よりの透過
された光の乱反射光により、明るく照射され、明暗のコ
ントラストがつかず、欠陥部としての区別がつかない。
従って、気泡の検出ができず、黒い異物の検出しかでき
ないという不都合があった。
【０００９】本発明は、かかる点に鑑みてなされたもの
であり、被検査物体内の欠陥を容易に検出できる安価な
透明板の検出装置の提供を目的とする。
であり、被検査物体内の欠陥を容易に検出できる安価な
透明板の検出装置の提供を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の透明板の欠陥検
出装置は、例えば、図１から図３に示す如く、透明板の
被検査物体１の欠陥を検出する透明板の欠陥検出装置に
おいて、被検査物体１の一方の側より照明光を当てる照
明光源４と、照明光源４による被検査物体１の透過光を
他方の側より撮像するテレビカメラ２と、被検査物体１
と照明光源４の間に透明部１１ａと不透明部１１ｂを有
するマスク１１とを設けたものである。
出装置は、例えば、図１から図３に示す如く、透明板の
被検査物体１の欠陥を検出する透明板の欠陥検出装置に
おいて、被検査物体１の一方の側より照明光を当てる照
明光源４と、照明光源４による被検査物体１の透過光を
他方の側より撮像するテレビカメラ２と、被検査物体１
と照明光源４の間に透明部１１ａと不透明部１１ｂを有
するマスク１１とを設けたものである。
【００１１】また、本発明の透明板の欠陥検出装置は、
例えば、図１から図３に示す如く、マスク１１の不透明
部１１ｂはストライプ状に設けられたものである。
例えば、図１から図３に示す如く、マスク１１の不透明
部１１ｂはストライプ状に設けられたものである。
【００１２】また、本発明の透明板の欠陥検出装置は、
例えば、図１から図３に示す如く、マスク１１の不透明
部１１ｂはメッシュ状に設けられたものである。
例えば、図１から図３に示す如く、マスク１１の不透明
部１１ｂはメッシュ状に設けられたものである。
【００１３】
【作用】本発明によれば、被検査物体１と照明光源４の
間に透明部１１ａと不透明部１１ｂを有するマスク１１
を設けたので、被検査物体内１にマスク１１の透明部１
１ａによる明部９とマスク１１の不透明部１１ｂによる
暗部１０とを生じさせ、被検査物体１内の気泡８に暗部
１０からは光が当たらないので、これが陰影となり、気
泡８の輪郭をコントラストのある像として検出すること
ができる。
間に透明部１１ａと不透明部１１ｂを有するマスク１１
を設けたので、被検査物体内１にマスク１１の透明部１
１ａによる明部９とマスク１１の不透明部１１ｂによる
暗部１０とを生じさせ、被検査物体１内の気泡８に暗部
１０からは光が当たらないので、これが陰影となり、気
泡８の輪郭をコントラストのある像として検出すること
ができる。
【００１４】また、本発明によれば、マスク１１の不透
明部１１ｂはストライプ状に設けられたので、被検査物
体内１にマスク１１の透明部１１ａによる明部９とマス
ク１１の不透明部１１ｂによる暗部１０とをストライプ
状に生じさせ、被検査物体１内の気泡８に暗部１０から
は光が当たらないので、これが陰影となり、気泡８の輪
郭をコントラストのある像として検出することができ
る。
明部１１ｂはストライプ状に設けられたので、被検査物
体内１にマスク１１の透明部１１ａによる明部９とマス
ク１１の不透明部１１ｂによる暗部１０とをストライプ
状に生じさせ、被検査物体１内の気泡８に暗部１０から
は光が当たらないので、これが陰影となり、気泡８の輪
郭をコントラストのある像として検出することができ
る。
【００１５】また、本発明によれば、マスク１１の不透
明部１１ｂはメッシュ状に設けられたので、被検査物体
１内に透明部１１ａによる明部９と不透明部１１ｂによ
る暗部１０とをメッシュ状に生じさせ、被検査物体１内
の気泡８に暗部１０からは光が当たらないので、これが
陰影となり、気泡８の輪郭をコントラストのある像とし
て検出することができる。
明部１１ｂはメッシュ状に設けられたので、被検査物体
１内に透明部１１ａによる明部９と不透明部１１ｂによ
る暗部１０とをメッシュ状に生じさせ、被検査物体１内
の気泡８に暗部１０からは光が当たらないので、これが
陰影となり、気泡８の輪郭をコントラストのある像とし
て検出することができる。
【００１６】
【実施例】以下本発明に係る検出装置の一実施例を、図
１から図３に従い詳細に説明する。なお、図４から図６
において示した従来の透明板の欠陥検出装置に対応する
部分には同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。
１から図３に従い詳細に説明する。なお、図４から図６
において示した従来の透明板の欠陥検出装置に対応する
部分には同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。
【００１７】図１に本発明の透明板の欠陥検出装置の実
施例の一つの構成を示す。１は板状透明の被検査物体で
あり、図示しない搬送装置により所定方向に搬送され
る。２はテレビカメラであり、一般の白黒用テレビカメ
ラである。３は欠陥検出回路であり、微分回路等で構成
され、テレビカメラ２の撮像信号から被検査物体１の欠
陥を検出する回路である。
施例の一つの構成を示す。１は板状透明の被検査物体で
あり、図示しない搬送装置により所定方向に搬送され
る。２はテレビカメラであり、一般の白黒用テレビカメ
ラである。３は欠陥検出回路であり、微分回路等で構成
され、テレビカメラ２の撮像信号から被検査物体１の欠
陥を検出する回路である。
【００１８】４は照明光源であり、例えば、ストロボ光
からなり、図示しない搬送装置により搬送される被検査
物体１に対して、テレビカメラ２の撮像信号に同期しな
がら発光するものである。５は光拡散板であり、すりガ
ラスなどで構成され、照明光源４のストロボ光を拡散さ
せるものである。
からなり、図示しない搬送装置により搬送される被検査
物体１に対して、テレビカメラ２の撮像信号に同期しな
がら発光するものである。５は光拡散板であり、すりガ
ラスなどで構成され、照明光源４のストロボ光を拡散さ
せるものである。
【００１９】図１に示した本発明の透明板の欠陥検出装
置の実施例が、図４および図５で示した従来の透明板の
欠陥検出装置と異なる点は、被検査物体１と光拡散板５
との間に透明部１１ａおよび不透明部１１ｂを有するス
トライプ状またはメッシュ状のマスク１１を設けた点で
ある。図２Ａはストライプ状のマスク、図２Ｂはメッシ
ュ状のマスクを示すものである。
置の実施例が、図４および図５で示した従来の透明板の
欠陥検出装置と異なる点は、被検査物体１と光拡散板５
との間に透明部１１ａおよび不透明部１１ｂを有するス
トライプ状またはメッシュ状のマスク１１を設けた点で
ある。図２Ａはストライプ状のマスク、図２Ｂはメッシ
ュ状のマスクを示すものである。
【００２０】上述のように、図２Ａに示したようなスト
ライプ状のマスクを用いた場合には、光拡散板５により
拡散された照明光源４のストロボ光がマスク１１に照射
されるので、被検査物体１にはマスク１１の透明部１１
ａおよび不透明部１１ｂによるストライプ状のパターン
の照明がなされる。
ライプ状のマスクを用いた場合には、光拡散板５により
拡散された照明光源４のストロボ光がマスク１１に照射
されるので、被検査物体１にはマスク１１の透明部１１
ａおよび不透明部１１ｂによるストライプ状のパターン
の照明がなされる。
【００２１】これにより、図３に示すように、被検査物
体１内にマスク１１の透明部１１ａによる明部９とマス
ク１１の不透明部１１ｂによる暗部１０とを交互にスト
ライプ状に生じ、被検査物体１内の気泡８に暗部１０か
らは光が当たらないので、これが陰影となり、気泡８の
輪郭をコントラストのある像として検出することができ
る。
体１内にマスク１１の透明部１１ａによる明部９とマス
ク１１の不透明部１１ｂによる暗部１０とを交互にスト
ライプ状に生じ、被検査物体１内の気泡８に暗部１０か
らは光が当たらないので、これが陰影となり、気泡８の
輪郭をコントラストのある像として検出することができ
る。
【００２２】さらに、被検査物体１は、その先端から終
端まで、図示しない搬送装置によりマスク１１の透明部
１１ａおよび不透明部１１ｂによるストライプと直行す
る方向に搬送される。ここで、搬送のピッチは、透明部
１１ａおよび不透明部１１ｂのストライプのピッチと一
致させることにより、被検査物体１の先端から終端まで
をすべて検査することができる。つまり、マスク１１の
透明部１１ａによる明部９が被検査物体１内にすべて生
じるように搬送する。
端まで、図示しない搬送装置によりマスク１１の透明部
１１ａおよび不透明部１１ｂによるストライプと直行す
る方向に搬送される。ここで、搬送のピッチは、透明部
１１ａおよび不透明部１１ｂのストライプのピッチと一
致させることにより、被検査物体１の先端から終端まで
をすべて検査することができる。つまり、マスク１１の
透明部１１ａによる明部９が被検査物体１内にすべて生
じるように搬送する。
【００２３】また、上述のように、図２Ｂに示したよう
なメッシュ状のマスクを用いた場合には、光拡散板５に
より拡散された照明光源４のストロボ光がマスク１１に
照射されるので、被検査物体１にはマスク１１の透明部
１１ａおよび不透明部１１ｂによるメッシュ状のパター
ンの照明がなされる。
なメッシュ状のマスクを用いた場合には、光拡散板５に
より拡散された照明光源４のストロボ光がマスク１１に
照射されるので、被検査物体１にはマスク１１の透明部
１１ａおよび不透明部１１ｂによるメッシュ状のパター
ンの照明がなされる。
【００２４】これにより、図３に示すように、被検査物
体１内にマスク１１の透明部１１ａによる明部９とマス
ク１１の不透明部１１ｂによる暗部１０とをメッシュ状
に生じ、被検査物体１内の気泡８に暗部１０からは光が
当たらないので、これが陰影となり、気泡８の輪郭をコ
ントラストのある像として検出することができる。
体１内にマスク１１の透明部１１ａによる明部９とマス
ク１１の不透明部１１ｂによる暗部１０とをメッシュ状
に生じ、被検査物体１内の気泡８に暗部１０からは光が
当たらないので、これが陰影となり、気泡８の輪郭をコ
ントラストのある像として検出することができる。
【００２５】さらに、被検査物体１は、その先端から終
端まで、図示しない搬送装置により所定方向に搬送され
る。ここで、搬送のピッチは、透明部１１ａおよび不透
明部１１ｂのメッシュのピッチと一致させることによ
り、被検査物体１の先端から終端までをすべて検査する
ことができる。つまり、マスク１１の透明部１１ａによ
る明部９が被検査物体１内にすべて生じるように搬送す
る。
端まで、図示しない搬送装置により所定方向に搬送され
る。ここで、搬送のピッチは、透明部１１ａおよび不透
明部１１ｂのメッシュのピッチと一致させることによ
り、被検査物体１の先端から終端までをすべて検査する
ことができる。つまり、マスク１１の透明部１１ａによ
る明部９が被検査物体１内にすべて生じるように搬送す
る。
【００２６】この場合、メッシュ状のマスク１１はスト
ライプ状のマスク１１に比べて、欠陥部分の周囲をスポ
ット状に暗部１０で取り囲むので、更に欠陥部分の輪郭
に一層明暗のコントラストが強まり、欠陥部分の検出を
容易にすることができる。
ライプ状のマスク１１に比べて、欠陥部分の周囲をスポ
ット状に暗部１０で取り囲むので、更に欠陥部分の輪郭
に一層明暗のコントラストが強まり、欠陥部分の検出を
容易にすることができる。
【００２７】また、上例では、メッシュ状のマスク１１
はストライプ状のマスク１１を直行させるようにして作
成してメッシュの形状を４角形とした例を示したが、メ
ッシュの形状は６角形、８角形、その他の多角形、およ
び丸でも良い。
はストライプ状のマスク１１を直行させるようにして作
成してメッシュの形状を４角形とした例を示したが、メ
ッシュの形状は６角形、８角形、その他の多角形、およ
び丸でも良い。
【００２８】また、マスク１１は被検査物体１から充分
に離れた距離に設けるのがよい。被検査物体１に接近し
てテレビカメラ２の焦点の合致部分に入ると、マスク１
１のストライプ状またはメッシュ状のパターンの白黒の
境界線が欠陥検出回路３によって誤って欠陥部分として
検知されてしまうからである。
に離れた距離に設けるのがよい。被検査物体１に接近し
てテレビカメラ２の焦点の合致部分に入ると、マスク１
１のストライプ状またはメッシュ状のパターンの白黒の
境界線が欠陥検出回路３によって誤って欠陥部分として
検知されてしまうからである。
【００２９】従って、テレビカメラ２からみたマスク１
１は焦点の外れた、ぼけた像として写ることがよい。つ
まり、マスク１１を被検査物体１に接近して、テレビカ
メラ２の焦点の合致部分に設けた場合には、この白黒の
境界線を検出してしまう現象を阻止するために、図２Ｃ
に示すように、白黒の境界のはっきりした線ではなく、
透明部１１ａおよび不透明部１１ｂの間を徐々にぼかし
てマスク１１を構成すれば良い。
１は焦点の外れた、ぼけた像として写ることがよい。つ
まり、マスク１１を被検査物体１に接近して、テレビカ
メラ２の焦点の合致部分に設けた場合には、この白黒の
境界線を検出してしまう現象を阻止するために、図２Ｃ
に示すように、白黒の境界のはっきりした線ではなく、
透明部１１ａおよび不透明部１１ｂの間を徐々にぼかし
てマスク１１を構成すれば良い。
【００３０】なお、マスク１１の不透明部１１ｂの大き
さは検出すべき欠陥の大きさに対応させればよいが、マ
スク１１の不透明部１１ｂの黒線の太さは、通常の場
合、１ミリメートル乃至２ミリメートルくらいが適切で
あることがわかった。
さは検出すべき欠陥の大きさに対応させればよいが、マ
スク１１の不透明部１１ｂの黒線の太さは、通常の場
合、１ミリメートル乃至２ミリメートルくらいが適切で
あることがわかった。
【００３１】また、上例では、被検査物体１を図示しな
い搬送装置により搬送する例を示したが、被検査物体１
を固定してマスク１１を被検査物体１を図示しない搬送
装置により搬送して、両者を相対的にずらせて検査を行
うようにしてもよいことはいうまでもない。
い搬送装置により搬送する例を示したが、被検査物体１
を固定してマスク１１を被検査物体１を図示しない搬送
装置により搬送して、両者を相対的にずらせて検査を行
うようにしてもよいことはいうまでもない。
【００３２】このように、メッシュ状またはストライプ
状のマスク１１を被検査物体１と照明光源４の間に挿入
することにより、透明板の被検査物体１内の欠陥を容易
に検出でき、安価に装置を構成することができる。
状のマスク１１を被検査物体１と照明光源４の間に挿入
することにより、透明板の被検査物体１内の欠陥を容易
に検出でき、安価に装置を構成することができる。
【００３３】また、本発明は上述の実施例に限らず本発
明の要旨を逸脱することなく種々の構成を取り得ること
はいうまでもない。
明の要旨を逸脱することなく種々の構成を取り得ること
はいうまでもない。
【００３４】
【発明の効果】本発明によれば、被検査物体と照明光源
の間に透明部と不透明部を有するマスクを設けたので、
被検査物体内にマスクの透明部による明部とマスクの不
透明部による暗部とを生じさせ、被検査物体内の気泡に
暗部からは光が当たらないので、これが陰影となり、気
泡の輪郭をコントラストのある像として検出することが
できる。
の間に透明部と不透明部を有するマスクを設けたので、
被検査物体内にマスクの透明部による明部とマスクの不
透明部による暗部とを生じさせ、被検査物体内の気泡に
暗部からは光が当たらないので、これが陰影となり、気
泡の輪郭をコントラストのある像として検出することが
できる。
【００３５】また、本発明によれば、マスクの不透明部
はストライプ状に設けられたので、被検査物体内にマス
クの透明部による明部とマスクの不透明部による暗部と
を交互にストライプ状に生じさせ、被検査物体内の気泡
に暗部からは光が当たらないので、これが陰影となり、
気泡の輪郭をコントラストのある像として検出すること
ができる。
はストライプ状に設けられたので、被検査物体内にマス
クの透明部による明部とマスクの不透明部による暗部と
を交互にストライプ状に生じさせ、被検査物体内の気泡
に暗部からは光が当たらないので、これが陰影となり、
気泡の輪郭をコントラストのある像として検出すること
ができる。
【００３６】また、本発明によれば、マスクの不透明部
はメッシュ状に設けられたので、被検査物体内に透明部
による明部と不透明部による暗部とをメッシュ状に生じ
させ、被検査物体内の気泡に暗部からは光が当たらない
ので、これが陰影となり、気泡の輪郭をコントラストの
ある像として検出することができる。
はメッシュ状に設けられたので、被検査物体内に透明部
による明部と不透明部による暗部とをメッシュ状に生じ
させ、被検査物体内の気泡に暗部からは光が当たらない
ので、これが陰影となり、気泡の輪郭をコントラストの
ある像として検出することができる。
【図１】本発明の透明板の欠陥検出装置の一実施例の構
成を示す側面図である。
成を示す側面図である。
【図２】本発明の透明板の欠陥検出装置の一実施例のマ
スクを示す図であり、図２Ａはストライプ状マスク、図
２Ｂはメッシュ状マスク、図２Ｃは白黒の境界のぼけた
ストライプ状マスクである。
スクを示す図であり、図２Ａはストライプ状マスク、図
２Ｂはメッシュ状マスク、図２Ｃは白黒の境界のぼけた
ストライプ状マスクである。
【図３】本発明の透明板の欠陥検出装置の一実施例の動
作を説明する図である。
作を説明する図である。
【図４】従来の透明板の欠陥検出装置の例の構成を示す
側面図である。
側面図である。
【図５】従来の透明板の欠陥検出装置の他の例の構成を
示す側面図である。
示す側面図である。
【図６】従来の透明板の欠陥検出装置の動作を説明する
図である。
図である。
１ 被検査物体 ２ テレビカメラ ３ 欠陥検出回路 ４ 照明光源 ５ 光拡散板 ６ 凸部 ７ 凹部 ８ 気泡 ９ 明部 １０ 暗部 １１ マスク １１ａ 透明部 １１ｂ 不透明部
Claims (3)
- 【請求項１】 透明板の被検査物体の欠陥を検出する透
明板の欠陥検出装置において、 前記被検査物体の一方の側より照明光を当てる照明光源
と、 前記照明光源による前記被検査物体の透過光を他方の側
より撮像するテレビカメラと、 前記被検査物体と前記照明光源の間に透明部と不透明部
を有するマスクとを設けたことを特徴とする透明板の欠
陥検出装置。 - 【請求項２】 前記マスクの前記不透明部はストライプ
状に設けられたことを特徴とする請求項１記載の透明板
の欠陥検出装置。 - 【請求項３】 前記マスクの前記不透明部はメッシュ状
に設けられたことを特徴とする請求項１記載の透明板の
欠陥検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25606593A JPH07110302A (ja) | 1993-10-13 | 1993-10-13 | 透明板の欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25606593A JPH07110302A (ja) | 1993-10-13 | 1993-10-13 | 透明板の欠陥検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07110302A true JPH07110302A (ja) | 1995-04-25 |
Family
ID=17287417
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25606593A Pending JPH07110302A (ja) | 1993-10-13 | 1993-10-13 | 透明板の欠陥検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07110302A (ja) |
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- 1993-10-13 JP JP25606593A patent/JPH07110302A/ja active Pending
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