JP3677133B2 - 透明体検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばバックライト付きの液晶表示装置が備える透明ガラス基板、可撓性を有する合成樹脂基板等の透明体の欠点の有無を検査する透明体検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
バックライト付きの液晶表示装置が備える透明ガラス基板(以下液晶ガラスと略称する。)に、欠点、つまり、液晶ガラスの表面または裏面に生じた擦り傷(以下傷と略称する。)や泡またはカレット(泡の中での小さいもの)等があると、その欠点の部分でバックライトの光が屈折するので、カラー表示の場合には色むらとなってしまい、白黒表示の場合は黒っぽく見えてしまう等、液晶画面の発色阻害因子となることは知られている。
【0003】
こうした点を回避するために液晶ガラスの欠点の有無を検査する必要がある。そのために、従来では一般的に、クリーンルーム内において人間が目視することによって検査を行っており、その検査結果に基づいて、液晶ガラスを再研磨したり、廃棄処分するようにしている。
【0004】
また、液晶ガラスではないが透明フィルムの欠点の自動検査が次のように行われている。この自動検査は、透明体の検査位置において、透明体の一面と対向して検査カメラを設置するとともに、透明体の他面側に前記カメラの視野を照明する照明装置を設けている。照明装置の光源は前記カメラの光軸上に配置されていて、そこから発した光は透明体を屈折することなく透過して前記カメラに入射され、検査カメラはそれが有した一次元のCCDイメージセンサで透明体の移動方向に直角に交差する幅方向に沿って視野を走査して、検査情報を得るようになっている。このような光学検査は直接透過法と称されている。そして、この検査法を前記液晶ガラスの検査に適用することが考えられる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前記液晶ガラスの欠点は最小20μm相当と微小であり、それを拡大グラス等での視野拡大下において行うことを余儀なくされる目視検査では、その検査効率が非常に悪い。
【0006】
また、前記直接透過法による自動検査を本出願人は試みたが、次のような問題があることが分かった。すなわち、液晶ガラスの製造はクリーンルームで行われ、このクリーンルーム内で直接透過法により検査を実施するといえどもそこに作業者が出入りすることが原因となって、液晶ガラスの欠点サイズ程度の埃の侵入は避けることができず、この埃は液晶ガラスに付着する。
【0007】
こうして埃が付着した状態で前記自動検査がなされるから、検査カメラの走査においてガラス面に付着した埃は照明装置から検査カメラに入射しようとする透過光を遮って、液晶ガラス面の欠点とともに撮像される。そのため、検査カメラから出力される検査信号(検査情報)において前記欠点および埃についての信号成分は、欠点および埃がない正常な箇所についての信号成分のレベル(地合レベル)よりも電圧が低い、いわゆる暗情報となる。したがって、前記検査信号を電子回路で信号処理して欠点検出を自動的にしようとする場合、欠点と埃との弁別ができず、埃を欠点として誤って認識してしまうから、こうした直接透過法による自動検査は実用に適さないことが分かった。
【0008】
また、前記の直接透過法による自動検査では、欠点が液晶ガラスの表面、または裏面、或いは内部にあっても、すべて暗情報として検出されるので、その情報をもとに欠点の厚み方向位置(液晶ガラスの表面、裏面、または内部)を知ることはできない。そのため、例えば、液晶ガラスを再研磨する場合に、どちらの面を再研磨してよいか分からないという問題がある。
【0009】
したがって、本発明が解決しようとする課題は、透明体の欠点と透明体に付着した埃とを弁別して自動検出できるとともに、欠点の厚み方向位置も自動検出できる透明体検査装置を得ることにある。
【0020】
【課題を解決するための手段】
また、前記課題を解決するために、請求項1記載の透明体検査装置は、移動される透明体の一面側に対向配置されて前記透明体をその移動方向と直角に交差する方向に走査する検査カメラと、前記透明体の他面側に対向配置されて前記検査カメラの視野を照明する照明装置とからなる光学検査部を前記透明体の移動方向に位置をずらして2系統設けるとともに、前記照明装置は、前記検査カメラの光軸上に配置された遮光体と、前記光軸上から外れて前記遮光体の側方に配置された光源とを有してなり、かつ、前記2系統の光学検査部のうちの一方の光学検査部の照明装置の照明による前記視野での屈折光の屈折角よりも、他方の光学検査部の照明装置の照明による前記視野での屈折光の屈折角を小さくし、前記両検査部の検査カメラの撮像により得た検査信号から明情報と暗情報とを弁別するとともに、その明情報同志を比較する信号処理部を備えたことを特徴としている。
【0021】
この請求項1記載の透明体検査装置において、透明体の移動方向に位置をずらして2系統設けられた光学検査部は、既述の間接透過法による検査を夫々行う。この場合、一方の光学検査部による視野での屈折光の屈折角は、他方の光学検査部による視野での屈折光の屈折角より小さい。それにより、屈折角が大きい方の屈折光を受光した検査カメラの検査信号に含まれる欠点についての明情報は、透明体表面(検査カメラ側)の欠点については高い電圧レベルの明情報としてとらえられ、かつ、透明体裏面(照明装置側)の欠点については低い電圧レベルの明情報としてとらえられる。この逆に、屈折角が小さい方の屈折光を受光した検査カメラでの欠点についての明情報は、透明体表面(検査カメラ側)の欠点については低い電圧レベルの明情報としてとらえられ、かつ、透明体裏面(照明装置側)の欠点については高い電圧レベルの明情報としてとらえられる。
【0022】
そして、信号処理部は、両検査部の検査カメラから供給される検査信号を、そのアドレスを合わせて比較する。それによって、あるアドレスについて、両光学検査部からの検査信号が共に明情報である場合には欠点であると判定し、同様にあるアドレスについて、両光学検査部からの検査信号が共に暗情報である場合には埃であると判定する。
【0023】
しかも、信号処理部は、前記のように屈折角によって透明体の表面と裏面とでは信号レベルが異なる特徴的な明情報同志を比較する(言い換えれば、その信号レベルの大きさを比較する)から、それによって、欠点の透明体に対する厚み方向の位置を判別する。
【0024】
前記のように請求項1記載の透明体検査装置においては、間接透過法による検査をする2系統の光学検査部により欠点と埃について弁別可能な検査信号を得、それを信号処理部での回路処理により弁別し、かつ欠点についての明情報同志を比較するから、透明体の欠点と埃とを区別して自動検出できるとともに、こうして検出された欠点の透明体に対する厚み方向の位置も自動検出できる。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、図1および図2を参照して本発明の第1の実施の形態を説明する。
図1は第1の実施の形態に係る透明体検査装置の構成を示す図であって、透明な検査ガラス例えば液晶ガラス1の欠点検査に使用されるものである。液晶ガラス1の製造環境はクリーンルーム内であり、そして、液晶ガラス1はクリーンルーム内での検査区域に図示しない搬送手段により水平な姿勢を保って移動されて、前記検査区域に設置された本実施の形態に係る透明体検査装置で自動検査されるものである。なお、図4中矢印は液晶ガラス1の移動方向を示している。
【0026】
なお、液晶ガラス1の欠点には、図1に誇張して描いたように液晶ガラス1の表面(検査姿勢において上面)に付いた擦り傷等の表傷2と、液晶ガラス1の裏面(検査姿勢において下面)に付いた擦り傷等の裏傷3と、液晶ガラス1の内部の泡(泡の程度が小さいカレットも含む)4とがある。
【0027】
この検査装置は、第1〜第4の光学検査部と、ゲイン補正回路11と、検出手段としての信号処理部12とを備えている。
第1検査位置に設けられる第1光学検査部は、移動される液晶ガラス1の一面例えば表面に対向して配置された第1検査カメラ15と、液晶ガラス1を間に置いて第1検査カメラ15とは反対側に液晶ガラス1の他面に対向して配置された第1照明装置16とを備えている。
【0028】
第1検査カメラ15には、受光部15aに光−電変換形の視角センサとして一次元CCDイメージセンサ(CCDラインメージセンサとも、CCDリニアアレーイメージセンサとも称される。)を有したCCDカメラが採用されている。このカメラ15は液晶ガラス1をその移動方向と直交する幅方向に沿って走査する。
【0029】
第1照明装置16は、反射鏡16a内に一つの光源16bを収容してなる。光源16bには直管形の蛍光灯が使用され、この光源16bは液晶ガラス1の幅方向に延びて設けられる。この第1照明装置16は、その光源16bを第1検査カメラ15の光軸15c上に配置して設けられており、したがって、この光源16bから投射されて第1検査カメラ15の視野を照明する光は、検査ガラス1を屈折することなく厚み方向に直角に透過して第1検査カメラ15に受光されるようになっている。
【0030】
第1検査位置の例えば下流側の第2検査位置に設けられる第2光学検査部は、前記液晶ガラス1の一面例えば表面に対向して配置された第2検査カメラ18と、液晶ガラス1を間に置いて第2検査カメラ18とは反対側に液晶ガラス1の他面に対向して配置された第2照明装置19とを備えている。なお、この第2光学検査部は第1検査位置の上流側に設けてもよい。
【0031】
第2検査カメラ18には、受光部18aに光−電変換形の視角センサとして一次元CCDイメージセンサを有したCCDカメラが採用されている。このカメラ18は液晶ガラス1をその移動方向と直交する幅方向に沿って走査する。
【0032】
第2照明装置19は、反射鏡19a内に遮光体19bと二つの光源19cとを収容してなる。遮光体19bには、例えば黒色系の遮光板が採用されるが、油汚れなどを欠点として検出する場合には白色系の遮光板を用いてもよいとともに、板に限らない。この遮光体19bは第2検査カメラ18の光軸上18cに配置して設けられている。二つの光源19cには直管形の蛍光灯が使用され、これら光源19cは液晶ガラス1の幅方向に延びて設けられる。これら一対の光源19cは遮光体19bを間に置くようにしてその側方に夫々配置されている。したがって、これらの光源19cから投射されて第2検査カメラ18の視野を照明する光は、検査ガラス1内を屈折して厚み方向に透過して第2検査カメラ18に受光されるようになっている。
【0033】
第2検査位置の例えば下流側の第3検査位置に設けられる第3光学検査部は、第2光学検査部と同様に前記液晶ガラス1の一面例えば表面に対向して配置された第2検査カメラ21と、液晶ガラス1を間に置いて第2検査カメラ21とは反対側に液晶ガラス1の他面に対向して配置された第3照明装置22とを備えている。なお、この第3光学検査部は第1検査位置または第2検査位置の上流側に設けてもよい。
【0034】
第3検査カメラ21には、受光部21aに光−電変換形の視角センサとして一次元CCDイメージセンサを有したCCDカメラが採用されている。このカメラ21は液晶ガラス1をその移動方向と直交する幅方向に沿って走査する。
【0035】
第3照明装置22は、反射鏡22a内に遮光体22bと二つの光源22cとを収容してなる。遮光体22bには、例えば黒色系の遮光板が採用されるが、油汚れなどを欠点として検出する場合には白色系の遮光板を用いてもよいとともに、板に限らない。この遮光体22bは第3検査カメラ21の光軸21c上に配置して設けられている。また、二つの光源22cには直管形の蛍光灯が使用され、これら光源22cは液晶ガラス1の幅方向に延びて設けられる。これら一対の光源22cは遮光体22bを間に置くようにしてその側方に夫々配置されている。したがって、これらの光源22cから投射されて第3検査カメラ21の視野を照明する光は、検査ガラス1内を屈折して厚み方向に透過して第3検査カメラ21に受光されるようになっている。
【0036】
この第3光学検査部での2本の光源22c間の間隔d2は、第2光学検査部での2本の光源19c間の間隔d1より小さく、それにより、第2光学検査部での液晶ガラス1内の屈折光の屈折角よりも第3光学検査部での液晶ガラス1内の屈折光の屈折角が小さくなるようにしてある。
【0037】
前記第1〜第3の光学検査部よりも液晶ガラス1の移動方向下流側の第4検査位置に配置された第4光学検査部は、第1光学検査部と同じように、移動される液晶ガラス1の例えば表面に対向して配置された第4検査カメラ24と、液晶ガラス1の他面に対向して配置された第4照明装置25とを備えている。なお、本発明において第4光学検査部は省略してもよい。
【0038】
第4検査カメラ24には、受光部24aに光−電変換形の視角センサとして一次元CCDイメージセンサを有したCCDカメラが採用されている。このカメラ24は液晶ガラス1をその移動方向と直交する幅方向に沿って走査する。第4照明装置25は、第1照明装置16と同じ構成であって、反射鏡25a内に一つの光源25bを収容してなる。
【0039】
光源25bには直管形の蛍光灯が使用され、この光源25bは液晶ガラス1の幅方向に延びて設けられる。この第4照明装置25は、その光源25bを第4検査カメラ24の光軸24c上に配置して設けられており、したがって、この光源25bから投射されて第4検査カメラ24の視野を照明する光は、検査ガラス1を屈折することなく厚み方向に直角に透過して第4検査カメラ24に受光されるようになっている。
【0040】
前記のように液晶ガラス1の移動方向に位置をずらせて並設された第1〜第4の光学検査部において、その各受光部15a、18a、21a、24aには、一次元CCDイメージセンサに代えてエリア形の一次元CCDイメージセンサを有したCCDカメラを採用することもできる。なお、第1〜第4の光学検査部の各検査カメラ15、18、21、24は、夫々少なくとも一台使用されて液晶ガラス1の全幅についての必要な解像度を得るようになっている。また、図1に示されるように第1〜第4の光学検査部の各検査カメラ15、18、21、24を液晶ガラス1の一面側にまとめて配置することは、そのユニット化を図る上で有利であり、同様に各照明装置16、19、22、25を液晶ガラス1の他面側にまとめて配置することは、そのユニット化を図る上で有利であるが、これらの配置は本発明において制限されるものではない。
【0041】
なお、図1中28、29は本発明において省略することもできるイオン式除塵器である。これらの除塵器28、29は、第4光学検査部とその上流側の例えば第3光学検査部との間に設けられ、一方の除塵器28は液晶ガラス1の表面に近接して配置されるとともに、他方の除塵器29は液晶ガラス1の裏面に近接して配置されている。これらの除塵器28、29は、本発明の検査装置に同期して使用されるものであって、液晶ガラス1の表裏面に付着した埃を取り除くために用いられる。こうした除塵器28、29を用いることは、クリーンルーム内での空気の流動を抑制するので、空気で埃を吹き飛ばす場合のように気流によってクリーンルーム内に浮遊している埃を吸い寄せて液晶ガラス1に付着させる恐れがない点で優れている。
【0042】
前記各受光部15a、18a、21a、24aは例えばモノクロの検査信号(撮像信号)を出力する。この検査信号は、前記ゲイン補正回路11を介して信号処理部12に供給され、この処理部12が有する電子回路で信号処理される。正規化手段としてのゲイン補正回路11は、撮像レベルの利得変動を相殺して検出信号のレベルを適正化する処理を行う。
【0043】
図1に示されるように信号処理部12は、信号変換手段としての信号変換回路31と、メモリ手段としてのバッファメモリ32と、タイミング補正手段としてのタイミング補正回路33と、比較・判定手段としてのマッチング判定回路34とを具備している。
【0044】
信号変換回路31は、ゲイン補正回路11を通って供給された検査信号を2値化する回路であり、A/D変換器、または微分回路が用いられる。この第1の実施の形態においては、検査信号のうち欠点などの信号成分(明情報および暗情報)について増幅機能を有し、したがって、微小な欠点でも確実に2値化して、その検出・判定の信頼性を高め得る微分回路を採用している。
【0045】
この信号変換回路33の出力端に接続されたバッファメモリ32は、2値化された欠点等のアドレスを知るために用いられている。
このメモリ32の出力端に接続されたタイミング補正回路33は、前記各光学検査部が液晶ガラス1の移動方向にずれて(その位置ずれ距離を図1にL1、L2、L3で示す。)設置してあることに対応して、同じアドレスについて信号のマッチング判定ができるようにするタイミングをとるために設けられている。この補正回路33には前記図示しない搬送手段に設けられたロータリーエンコーダ等の距離センサからの位置信号が供給されるようになっている。なお、液晶ガラス1の幅方向のアドレスは、液晶ガラスの幅方向走査にしたがって各検査信号において得ることができる。
【0046】
タイミング補正回路33の出力端に接続されたマッチング判定回路34は、表1および表2のマッチング判定基準にしたがってタイミング補正された検査信号についてのマッチング判定を行うようになっている。
【0047】
【表1】
【0048】
【表2】
【0049】
表1のマッチング判定基準は、第1光学検査部と第2光学検査部の検査信号同志を比較し、または第1光学検査部と第3光学検査部との検査信号同志をするものであって、それにより、欠点と埃とを弁別するようになっている。また、表2のマッチング判定基準は、第2、第3の光学検査部の検査信号同志を比較するとともに、その電圧レベル相互の関係を判定するものであって、それにより、欠点と埃とを弁別するとともに、検出された欠点の液晶ガラス1の厚み方向の位置を弁別するようになっている。
【0050】
さらに、マッチング判定回路34は、前記の基準によって検出された欠点情報について、その大きさを評価する欠点認識回路部を有しており、所定以上の大きさの欠点情報のみを欠点として判定して出力するようになっている。
【0051】
また、マッチング判定回路34は、第1、第4の光学検査部の検査信号同志をも比較するものであって、それによって、液晶ガラス1の表裏面の除塵が適正になされたかどうかを監視するようになっている。
【0052】
前記構成の透明体検査装置は液晶ガラスの欠点を次のような手順したがって検査する。
図示しない搬送手段により移動される液晶ガラス1は、第1検査位置において第1光学検査部で直接透過法により撮像される。つまり、第1光学検査部を通過する際に、その第1照明装置16から投射されて液晶ガラス1において屈折することなく、このガラス1を厚み方向に真っ直ぐ上方に透過した直接透過光が第1検査カメラ15に入射するので、このカメラ15が液晶ガラス1の幅方向に走査することにより、第1照明装置16で照明された視野において液晶ガラス1が撮像される。
【0053】
この第1光学検査部での撮像において、液晶ガラス1の表傷2、裏傷3、泡4、および表裏面に付着した埃はいずれも前記透過光を遮るため、第1検査カメラ15から出力された第1検査信号は、図2(A)に示されるように前記各欠点2〜4および埃(図示しない)に夫々対応した暗情報2a(表傷2に対応)、暗情報3a(裏傷3に対応)、暗情報4a(泡4に対応)、暗情報5a(埃に対応)を含んでいる。
【0054】
次に、液晶ガラス1は第2検査位置において第2光学検査部で間接透過法により撮像される。つまり、第2光学検査部を通過する際に、その第2照明装置19から投射されて液晶ガラス1内において屈折して、このガラス1を厚み方向に透過した屈折光が第2検査カメラ18に入射するので、このカメラ18が液晶ガラス1の幅方向に走査することにより、第2照明装置19で照明された視野において液晶ガラス1が撮像される。
【0055】
この第2光学検査部での撮像において、第2検査カメラ18はその光軸18c上に傷が位置されない時には、遮光体19bを撮像するので、地合の電圧レベルが低くなった状態の第2検査信号を出力する。そして、光軸18c上に傷が位置された時には、その傷によって前記屈折光が散乱されるにともない第2検査カメラ18にとっては前記傷が光って見え、それを撮像するから、液晶ガラス1の表傷2、裏傷3、泡4についての情報は、いずれも図2に示されるように前記各地合レベルよりも電圧レベルが高い明情報となって第2検査信号に含まれる。図2中明情報2bは表傷2に対応し、明情報3bは裏傷3に対応し、明情報4bは泡4に対応している。また、液晶ガラス1の表裏面に付着した埃は前記屈折光を遮るため、第2検査カメラ18から出力された第2検査信号は、図2に示されるように埃に対応した暗情報5bを含んでいる。
【0056】
次に、液晶ガラス1は第3検査位置において第3光学検査部で間接透過法により撮像される。つまり、第3光学検査部を通過する際に、その第3照明装置22から投射されて液晶ガラス1内において屈折して、このガラス1を厚み方向に透過した屈折光が第3検査カメラ21に入射するので、このカメラ21が液晶ガラス1の幅方向に走査することにより、第3照明装置21で照明された視野において液晶ガラス1が撮像される。
【0057】
この第3光学検査部での撮像において、第3検査カメラ21はその光軸21c上に傷が位置されない時には、遮光体21bを撮像するので、地合の電圧レベルが低くなった状態の第3検査信号を出力する。そして、光軸21c上に傷が位置された時には、その傷によって前記屈折光が散乱されるにともない第3検査カメラ21にとっては前記傷が光って見え、それを撮像するから、液晶ガラス1の表傷2、裏傷3、泡4についての情報は、いずれも図2に示されるように前記各地合レベルよりも電圧レベルが高い明情報となって第2検査信号に含まれる。図2中明情報2cは表傷2に対応し、明情報3cは裏傷3に対応し、明情報4cは泡4に対応している。また、液晶ガラス1の表裏面に付着した埃は前記屈折光を遮るため、第3検査カメラ21から出力された第3検査信号は、図2に示されるように埃に対応した暗情報5cを含んでいる。
【0058】
ところで、こうした第2、第3の光学検査部においては、その照明装置19、22により液晶ガラス1内での屈折光の屈折角が第2光学検査部の方が大きく、第3光学検査部の方が小さく設定してあるから、傷に対する散乱の仕方が異なる。それによって、第2光学検査部での表傷2についての明情報2bはその電圧レベルが高く(例えば12V)、裏傷3についての明情報3bはその電圧レベルが低く(例えば 3.1V)検出されるとともに、第3光学検査部での表傷2についての明情報2cはその電圧レベルが低く(例えば 3.7V)、裏傷3についての明情報3cはその電圧レベルが高く(例えば11.5V)検出される。また、泡4については、その位置が液晶ガラス1の幅方向中央にあるので、図2に示されるように第2、第3光学検査部での泡4について明情報4b、4cは、その電圧レベルに差がなく(例えば8V)検出される。
【0059】
また、液晶ガラス1に付着した埃については、前記第1〜第3の各検査部での撮像にしたがって暗情報(その電圧値は例えば 8.0V)として検出される。なお、液晶ガラス1の表裏面の埃は、第3検査位置から第4検査位置に至る間に除塵器28、29により除塵される。また、第4検査位置においては前記第1検査位置での検査と同様に直接透過法による液晶ガラス1の検査が行われる。それにより、図2に示されるように各欠点2〜4の夫々に対応した暗情報2d(表傷2に対応)、暗情報3d(裏傷3に対応)、暗情報4d(泡4に対応)を得る。
【0060】
そして、以上のように各検査位置において夫々得た第1〜第4の検査信号は夫々、ゲイン補正回路11を経て信号処理部12に供給される。そのため、まず、検査信号は、信号変換回路31での微分処理により2値化された後に、その明暗各情報についてバッファメモリ32によりアドレスを付され、次にタイミング補正回路33によりマッチング判定回路34でのマッチング判定動作に適合するようにタイミングを補正されて、マッチング判定回路34に供給される。
【0061】
マッチング判定回路34では、表1または表2に示された基準にしたがって検査信号についてマッチング判定をする。
この判定においては、第1、第2の検査カメラ15、18で得た第1、第2の検査信号が、そのアドレスを合わせて比較されるので、表1のように、あるアドレスの検出情報について、その第1検査信号が暗情報であるとともに第2検査信号が明情報である場合に、前記検出情報が欠点であると判定できる。また、同様にあるアドレスの検出情報について、その第1、第2の検査信号がいずれも暗情報である場合に、前記検出情報が埃であると判定できる。
【0062】
このように前記直接透過法および間接透過法の組み合わせにより得た検査信号を比較するマッチング判定回路34での判定動作によって、液晶ガラス1の欠点2〜4と埃5とを弁別して自動検出できる。
【0063】
また、第2、第3の検査カメラ18、21から供給される検査信号を、そのアドレスを合わせて比較するマッチング判定回路34の判定においては、表2のように、あるアドレスの検出情報について、両光学検査部からの検査信号が共に明情報である場合に、前記検出情報が欠点であると判定する。また、同様にあるアドレスの検出情報について、両光学検査部からの検査信号が共に暗情報である場合に、前記検出情報が埃であると判定する。
【0064】
しかも、前記のように屈折角によって液晶ガラス1の表面と裏面とでは信号レベルが異なる特徴的な明情報同志を比較する(言い換えれば、その信号レベルの大きさを比較する)から、マッチング判定回路34は、表2のように、欠点の液晶ガラス1に対する厚み方向の位置を判別することができる。
【0065】
以上のように間接透過法による検査をする2系統の光学検査部により欠点と埃について弁別可能な検査信号を得、それを信号処理部12のマッチング判定回路34で比較するから、液晶ガラス1の欠点2〜4と埃5とを区別して自動検出できるとともに、こうして検出された欠点2〜4の液晶ガラス1に対する厚み方向の位置も自動検出できる。
【0066】
また、この第1の実施の形態においては、第4光学検査部を備えているから、第4光学検査部の前段に設けた除塵器28、29の動作後に、第4光学検査部によって得た検査信号と第1光学検査部によって得た検査信号とを、信号処理部12のマッチング判定回路34で比較することにより、欠点2〜4の位置や状態を正しく認識させて、再研磨や廃棄処分等の必要な対策を取らせる判断に供することができる。しかも、この比較によって同じアドレスについての両検査信号が暗信号である場合には、その暗信号が埃であったと判定できるとともに、前記両検査信号の一方が暗信号で他方が明信号である場合には、その暗情報が泡(カレット)であると判定できる。
【0067】
なお、本発明は、前記第1の実施の形態には制約されない。光学検査部は、例えば、第2、第3の光学検査部のみを備えて実施することもできる。
【0070】
【発明の効果】
請求項1記載の透明体検査装置によれば、間接透過法による検査をする2系統の光学検査部により欠点と埃について弁別可能な検査信号を得、それを信号処理部での回路処理により弁別し比較するから、透明体の欠点と埃とを区別して自動検出できるとともに、こうして検出された欠点の透明体に対する厚み方向の位置も自動検出できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る透明体検査装置の構成を示す図。
【図2】第1の実施の形態に係る透明体検査装置の各光学検査部で夫々得た検査信号の信号波形を示す図。
【符号の説明】
1…液晶ガラス(透明体)、
12…信号処理部、
18…第2検査カメラ(第2光学検査部)、
19…第2照明装置(第2光学検査部)、
19b…第2照明装置の光源、
19c…第2照明装置の遮光体、
21…第3検査カメラ(第3光学検査部)、
22…第3照明装置(第3光学検査部)、
21b…第3照明装置の光源、
21c…第3照明装置の遮光体、
35…マッチング判定回路、
18c、21c…光軸。
Claims (1)
- 移動される透明体の一面側に対向配置されて前記透明体をその移動方向と直角に交差する方向に走査する検査カメラと、前記透明体の他面側に対向配置されて前記検査カメラの視野を照明する照明装置とからなる光学検査部を前記透明体の移動方向に位置をずらして2系統設けるとともに、
前記照明装置は、前記検査カメラの光軸上に配置された遮光体と、前記光軸上から外れて前記遮光体の側方に配置された光源とを有してなり、
かつ、前記2系統の光学検査部のうちの一方の光学検査部の照明装置の照明による前記視野での屈折光の屈折角よりも、他方の光学検査部の照明装置の照明による前記視野での屈折光の屈折角を小さくし、
前記両検査部の検査カメラの撮像により得た検査信号から明情報と暗情報とを弁別するとともに、その明情報同志を比較する信号処理部を備えたことを特徴とする透明体検査装置。
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