JP2000018922A - 厚み欠陥検査装置及びその検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 透明な被検査物の厚みの均一性についての欠
陥を容易かつ確実に検査することができる厚み欠陥検査
装置及びその検査方法を提供する。 【解決手段】 エリアセンサ２のフォーカス位置を基準
パターン１とし、透明フィルム３を通してその基準パタ
ーン１を撮像し、透明フィルム３の厚みの変化に応じた
撮像パターンの歪みの度合をパターンマッチングによっ
て検出する。また、光源４の配置箇所は、透明フィルム
３からの反射光がエリアセンサ２に取込まれない位置と
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば透明なフィ
ルム等の被検査物の厚みが均一性を欠くような場合を欠
陥として検出する厚み欠陥検査装置及びその検査方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、シート状のフィルム等の被検
査物は、異物、孔、汚れ等の欠陥を検査することで、製
品の良否が判定されている。この場合、被検査物に光源
からの光を照射させつつ、被検査物を一定の速度で送り
ながら、エリアセンサやラインセンサ等によって被検査
物を撮像し、この撮像情報を画像処理して異物、孔、汚
れ等の欠陥を検査している。

【０００３】ちなみに、上記のシート状のフィルム等の
被検査物の良否を検査する装置に関連する技術として、
例えば特公平７−９９３５５号公報に示される検査装置
が知られている。これは、液晶ディスプレイ用のカラー
フィルタ等の斑を検査するものであって、センサによっ
て得られた被検査物の輝度情報から斑を強調させる演算
処理を行い、この強調した輝度情報の変化量に応じて斑
を検査するようにしたものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した先
行技術に示される検査方法により、シート状のフィルム
等の被検査物の厚みの良否を検査する場合、半透明なも
のにあっては、センサによって撮像された輝度情報の輝
度の変化から被検査物の厚みの良否を検査することは可
能である。この場合、被検査物に背面から光を当てるこ
とにより、厚みに応じて光の透過率が異なるため、その
透過率の変化に応じて被検査物の厚みの良否を検査する
ことができる。

【０００５】ところが、透明な被検査物の厚みの良否を
検査する場合、仮に被検査物に背面から光を当てたとし
ても、厚みに応じた光の透過率の変化が極めて小さいた
めに、センサによって撮像された輝度情報の輝度の変化
が小さくなり、被検査物の厚みの均一性の良否を検査す
ることは不可能となっている。

【０００６】ちなみに、透明な被検査物に対し斜め方向
から光を当てて被検査物の厚みを検査することはある程
度可能ではあるが、被検査物の送り時に被検査物にバタ
付き等が生じるため、厚みに応じた光の反射率の変化が
被検査物のバタ付きによる影響を受けてしまうという問
題があった。

【０００７】また、被検査物に対して照射した反射光を
目視により確認する方法もあるが、これは熟練を要する
ばかりか、見落しをも生じるため、被検査物の厚みの欠
陥を確実に検査することは不可能となっている。

【０００８】この発明は、このような従来の問題点を解
決するためになされたもので、透明な被検査物の厚みの
均一性についての欠陥を容易かつ確実に検査することが
できる厚み欠陥検査装置及びその検査方法を提供するこ
とを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、本発明の厚み欠陥検査装置は、基準パターンと、
前記基準パターンを透明な被検査物を通して撮像する撮
像手段と、前記撮像手段によって撮像された撮像パター
ンの変形量に基づいて、前記被検査物の厚みの均一性に
ついての欠陥検査を行う欠陥検査手段とを具備すること
を特徴としている。

【００１０】ここで、透明な被検査物としては、例えば
フィルムやガラス板等のように、光を透過する平面状の
透明体である。また、基準パターンと透明な被検査物と
の間隔は、特に限定されるものではないが、基準パター
ンと透明な被検査物との間隔によって、被検査物の画像
情報に生じる被検査物の厚みの変化（非均一性）に応じ
た歪みの度合が変化するため、例えばセンサと基準パタ
ーンとの間隔をＬとしたとき、基準パターンと透明な被
検査物との間隔を１／３・Ｌとすることが好ましい。

【００１１】このような構成では、撮像手段（センサ）
のフォーカス位置を基準パターンとし、透明な被検査物
を通してその基準パターンを撮像すると、被検査物の厚
みの変化に応じて撮像パターンに歪みが生じるため、そ
の変形量（歪み）の程度を検出することにより、被検査
物の厚みの均一性についての欠陥検査を行うことができ
る。この変形量（歪み）の程度は、基準パターン上に設
けられた線の変形、変位、あるいはこれらに伴う基準パ
ターン上の所定領域の面積変化などを検出することによ
り検出できる。また、パターンについて相関などのパタ
ーンマッチングなどを適用することもできる。なお、帯
状の透明な被検査物の厚みの欠陥検査を行う場合にあっ
ては、その被検査物を所定の速度で一方向に送ることに
より、順次被検査物の先端から後端にかけて効率よく厚
みの欠陥検査を行うことができる。

【００１２】また、本発明に係る厚み欠陥検査装置は、
前記基準パターンの背面側に光源を配置し、この光源か
らの照射光を前記基準パターン及び前記透明な被検査物
を通して前記撮像手段（センサ）側に進行させることを
特徴としている。ここで、光源としては、可視光線を発
するものであればよく、例えば蛍光灯や白熱電球等を用
いることができる。

【００１３】このような構成では、基準パターンの背面
側に光源を配置することで、センサにより、基準パター
ン及び透明な被検査物を通過した光を取込むことがで
き、透明な被検査物の厚みの欠陥検査を確実に行うこと
ができる。この理由は、透明な被検査物からの反射光が
取込まれないので、例えば帯状の被検査物を所定の速度
で一方向に送りつつ厚みの欠陥検査を行うに際して、そ
の被検査物の送り時のバタ付きよる影響を受けないため
である。

【００１４】また、本発明に係る厚み欠陥検査装置は、
前記基準パターンと前記透明な被検査物との間に光源を
配置し、前記基準パターンからの反射光を前記透明な被
検査物を通して前記撮像手段側に進行させることを特徴
としている。

【００１５】このような構成では、上記と同様に、撮像
手段には透明な被検査物の反射光が取込まれないので、
被検査物の送り時によるバタ付きよる影響を受けず、透
明な被検査物の厚みの欠陥検査を確実に行うことができ
る。

【００１６】また、本発明に係る厚み欠陥検査装置にお
いて、前記基準パターンは二次元的に等間隔に行列配置
された格子模様であり、前記撮像手段はエリアセンサで
あることを特徴としている。

【００１７】ここで、基準パターンの各格子模様の寸法
を小さくすることで、微細な被検査物の厚みの変化を検
査することは可能であるが、その寸法を小さくしすぎる
と、パターンマッチングに要する時間が長引くため、例
えばセンサの分解能を０．１〜０．５ｍｍとしたとき、
５×５ｍｍ程度が好ましい。

【００１８】このような構成では、撮像手段をエリアセ
ンサとすることで、撮像範囲を広くすることができるた
め、透明な被検査物を通しての基準パターンの取込み時
間を短くすることができるとともに、基準パターンを撮
像した撮像パターンの格子模様のエッジ部分の歪みによ
って被検査物の厚みの変化をとらえることができる。

【００１９】また、本発明に係る厚み欠陥検査装置にお
いて、前記基準パターンは前記撮像手段の走査方向に対
して直交する１列配置された格子模様であり、前記撮像
手段はラインセンサであることを特徴としている。

【００２０】このような構成では、撮像手段をラインセ
ンサとすることで、基準パターンを撮像した撮像パター
ンにおける検出エリアの幅をラインセンサの視野に応じ
て変えることができるとともに、撮像パターンの格子模
様の歪みによって被検査物の厚みの変化をとらえること
ができる。

【００２１】また、本発明に係る厚み欠陥検査装置にお
いて、前記基準パターンは図形であり、前記変形量はパ
ターンマッチングにより検出されることを特徴としてい
る。ここで、図形は、幾何学模様であったり、人物の顔
や絵等を用いることができる。

【００２２】このような構成では、図形である基準パタ
ーンを撮像した撮像パターンに被検査物の厚みの変化に
応じた歪みが生じるため、上記同様に、透明な被検査物
の厚みの欠陥検査を確実に行うことができる。

【００２３】また、本発明に係る厚み欠陥検査装置の欠
陥検査手段において、前記欠陥検査手段は、前記撮像手
段によって撮像された等間隔に配列された格子状の撮像
パターンを面積の等しい複数の検出エリアに区分すると
ともに、これら区分された各検出エリアにおける輝度情
報を積算する輝度情報積算部と、前記輝度情報積算部に
より積算された複数の検出エリア相互の積算輝度情報を
順次減算する輝度情報減算部と、前記輝度情報減算部に
よって減算された減算結果に基づき、前記被検査物の厚
みの均一性についての欠陥を検出する欠陥検出部とを具
備していることを特徴としている。

【００２４】ここで、輝度情報積算部は、画像上で面積
の大きさが等しく区画された複数の検出エリアの輝度情
報を積分処理によって求めることができる。また、検出
エリアの面積（大きさ）は任意であるが、被検査物の厚
みの均一性欠陥の検出精度を上げる場合には、その検出
エリアを小さくすることが好ましい。輝度情報減算部
は、輝度情報積算部によって積算された各検出エリアの
輝度情報を順次減算して微分処理することにより、変形
量の大きさを検出することができる。この微分処理を施
すことで、被検査物の厚みの欠陥の度合が極めて小さい
場合であっても、確実にその欠陥を検出することができ
る。さらに、被検査物の厚みの均一性についての欠陥を
検出する欠陥検出部は、変形量の許容範囲を示すしきい
値を有し、このしきい値を輝度情報減算部の減算結果と
比較する。このしきい値は、それぞれ製品の良否を判定
する許容範囲に応じて変更可能である。

【００２５】このような構成では、撮像手段によって撮
像された撮像パターンから輝度情報積算部が１検出エリ
ア毎の輝度情報を積分して求める。そして輝度情報減算
部がそれぞれ隣合う各検出エリア毎に、輝度情報の減算
処理による微分処理を行うと、欠陥検出部がその微分処
理によって得られた値としきい値とを比較し、微分処理
結果がしきい値を越える場合に厚み欠陥（均一性につい
ての欠陥）を判断し、透明な被検査物の厚み欠陥検出
（非均一性検出）を行う。これにより、自動的な欠陥検
出が可能となることから、従来のような目視検査による
熟練を必要としないばかりか、欠陥の見落し等も防止す
ることができる。

【００２６】また、本発明に係る厚み欠陥検査方法は、
基準パターンを透明な被検査物を通して撮像し、撮像さ
れた撮像パターンの変形量に基づいて、前記被検査物の
厚みの均一性についての欠陥検査を行うことを特徴とし
ている。

【００２７】このような検査方法では、撮像手段（セン
サ）のフォーカス位置を基準パターンとし、透明な被検
査物を通してその基準パターンを撮像するとともに、透
明な被検査物の厚みの変化に応じた撮像パターンの歪み
の度合を撮像パターンの変形量を検出することにより、
被検査物の厚みの均一性についての欠陥検査を行うこと
ができる。

【００２８】また、本発明に係る厚み欠陥検査方法は、
前記基準パターンを二次元的に等間隔に行列配置された
格子模様とし、前記撮像手段によって撮像された撮像パ
ターンを面積の等しい複数の検出エリアに区分するとと
もに、これら区分された各検出エリアにおける輝度情報
を積算し、積算された複数の検出エリア相互の積算輝度
情報を順次減算して、その減算結果に基づき、前記被検
査物の厚みの均一性についての欠陥を検出することを特
徴としている。

【００２９】このような検査方法では、上述したよう
に、自動的な欠陥検出が可能となることから、従来のよ
うな目視検査による熟練を必要とせず、被検査物の厚み
の欠陥を確実に検査することができる。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を用いて説明する。図１は、本発明の厚み欠陥検査装置
の一実施の形態を示す図、図２は、基準パターンの一例
を示す平面図、図３は、欠陥検査手段を示すブロック
図、図４は、図１の厚み欠陥検査装置による厚み欠陥の
検査方法を示すフローチャートである。

【００３１】図１に示す厚み欠陥検査装置は、基準パタ
ーン１とエリアセンサ２とを備え、これら基準パターン
１とエリアセンサ２との間を一定の速度で送られる透明
な被検査物としての透明フィルム３の厚みの欠陥検査を
行う構成となっている。

【００３２】エリアセンサ２のフォーカスは、基準パタ
ーン１に合わせられている。基準パターン１の背面側に
は、光源４が配置されており、光源４からの透過光が基
準パターン１及び透明フィルム３を経てエリアセンサ２
側に進行するようになっている。これにより、エリアセ
ンサ２には、透明フィルム３からの反射光が取込まれな
いようになっている。

【００３３】ここで、基準パターン１と透明フィルム３
との間隔は、特に限定されるものではないが、基準パタ
ーン１とエリアセンサ２との間隔をＬとしたとき、１／
３・Ｌとすることが望ましい。これは、適切な歪みの度
合を得るための間隔であり、基準パターン１と透明フィ
ルム３との間隔を１／３・Ｌより小さくすると、後述す
る撮像パターン１ａにおいて、透明フィルム３の厚みの
変化に応じた歪みの度合が大きくなり、逆にその間隔を
１／３・Ｌより大きくすると、透明フィルム３の厚みの
変化に応じた歪みの度合が小さくなるためである。

【００３４】基準パターン１は、図２に示すように、二
次元的に等間隔に行列配置された格子模様とされてい
る。また、各格子模様の斜線部Ａと白抜き部Ｂにおける
それぞれの寸法は、特に限定されるものではないが、例
えば５×５ｍｍとすることでエリアセンサ２における分
解能に応じた後述の撮像パターン１ａが得られる。

【００３５】ここで、透明フィルム３の厚みの許容範囲
は、透明フィルム３の厚みを１ｍｍとしたとき、本実施
の形態では、±１０％としている。この範囲を超えた箇
所に対しては厚み欠陥として検出されるが、その詳細は
後述する。また、同図における撮像パターン１ａにおい
て、波線ａ，ｂで示すものは、透明フィルム３の厚みの
変化に応じた歪み（変形）を示すものである。この歪み
は、透明フィルム３の厚みの変化に応じた光の屈折率の
相違によってもたらされるものであって、特に撮像パタ
ーン１ａの斜線部Ａや白抜き部Ｂのエッジ部分に生じ易
いものである。また、波線ａは水平方向の歪みを示し、
波線ｂは垂直方向の歪みをそれぞれ示している。

【００３６】さらに、上記のエリアセンサ２における分
解能にあっては、特に限定されるものではないが、各格
子模様の斜線部Ａ及び白抜き部Ｂを１検出エリアとした
とき、０．１〜０．５ｍｍとすることが望ましい。

【００３７】エリアセンサ２によって撮像された撮像パ
ターン１ａに基づいて厚み欠陥検査を行う欠陥検査手段
は、図３に示すように、輝度情報積算部５ａ、輝度情報
減算部５ｂ、欠陥検出部５ｃとを備えて構成されてい
る。

【００３８】輝度情報積算部５ａは、図２の撮像パター
ン１ａを面積が等しい複数の検出エリアに区画し、これ
ら複数の検出エリア毎に輝度情報を積分する。すなわ
ち、上記の基準パターン１の格子模様の斜線部Ａと白抜
き部Ｂに相当する（ｘ１，ｙ１＋ｙ２）を１検出エリア
としたとき、それぞれの検出エリア毎に輝度情報を積分
して積分値Σ11，Σ21，Σ31，Σ41・・・Σmnを求め
る。

【００３９】輝度情報減算部５ｂは、輝度情報積算部５
ａにより、各検出エリアで積分された輝度情報を順次減
算し、減算値である（Σ11−Σ21），（Σ21−Σ31），
（Σ31−Σ41）・・・（Σm-1,n-1 −Σmn）を求める微
分処理を行うものである。なお、積分、微分処理によ
り、透明フィルム３の厚みの欠陥の度合が極めて小さい
場合であっても、確実にその欠陥を検出することができ
る。

【００４０】欠陥検出部５ｃは輝度情報減算部５ｂによ
って求められた減算値（微分処理結果）より、変形量の
大きさが所定値（しきい値）より大きいか否かを判定
し、透明フィルム３の厚みの均一性（厚みが均一にでき
ているか否か）についての欠陥検出を行うものである。
すなわち、輝度情報減算部５ｂによって求められた値
（厚さの変化比率に対応する）の絶対値がしきい値（変
化比率において±１０％）以下であれば、透明フィルム
３の厚みが許容範囲内であると判定され、その誤差が±
１０％を超えている場合には、透明フィルム３の厚みが
許容範囲外、すなわちＮＧと判定される。

【００４１】続いて、以上のような構成の厚み欠陥検査
装置による透明フィルム３の厚み欠陥検出方法を、図４
を用いて説明する。

【００４２】まず、透明フィルム３を通してエリアセン
サ２により、基準パターン１を撮像し、図２に示した撮
像パターン１ａを得た後、各検出エリアの輝度情報を積
分によって求める（ステップ４０１）。すなわち、上述
したように、基準パターン１の格子模様の斜線部Ａと白
抜き部Ｂに相当する（ｘ１，ｙ１＋ｙ２）を１つの検出
エリアとしたとき、それぞれの検出エリアを積分して積
分値Σ11，Σ21，Σ31，Σ41・・・Σmnを求める。

【００４３】次いで、隣合う各検出エリア毎に、（Σ11
−Σ21），（Σ21−Σ31），（Σ31−Σ41）・・・（Σ
m-1,n-1 −Σmn）とした減算処理を行い、微分値を求め
る（ステップ４０２）。次に、その求めた微分値（減算
値）の絶対値と、しきい値とを比較し、透明フィルム３
の厚み欠陥検出を行う（ステップ４０３）。

【００４４】ここで、（ステップ４０２）で求めた微分
値の絶対値がしきい値より小さい場合は、透明フィルム
３の厚みが許容範囲（例えば厚さの変化比率が±１０
％）内であると判定され、そのしきい値を超えている場
合には、透明フィルム３の厚みが許容範囲外、すなわち
ＮＧと判定される。

【００４５】図５は、図１のエリアセンサ２をラインセ
ンサ２Ａに変えた場合の他の実施の形態を示す図であ
る。

【００４６】同図に示す基準パターン１Ａは、斜線部Ａ
と白抜き部Ｂを縦に交互に配列した格子模様となってい
る。各格子模様の斜線部Ａと白抜き部Ｂにおけるそれぞ
れの寸法は、特に限定されるものではないが、上記同様
に、例えば５×５ｍｍとされている。

【００４７】また、透明フィルム３を通しラインセンサ
２Ａによって撮像された撮像パターン１ｂは、同図に示
すように、ストライプ状のパターンとなる。同図におけ
る撮像パターン１ｂにおいて、波線ａで示すものは、透
明フィルム３の厚みの変化に応じた歪みを示すものであ
る。この歪みは、上述したように、透明フィルム３の厚
みの変化に応じた光の屈折率の相違によってもたらされ
るものであり、波線ａは水平方向の歪みを示している。

【００４８】そして、ラインセンサ２Ａによって撮像さ
れた撮像パターン１ｂに基づき、図３に示した輝度情報
積算部５ａ、輝度情報減算部５ｂ、欠陥検出部５ｃとを
備えて構成される欠陥検査手段５により、透明フィルム
３の厚みの欠陥検査が行われる。

【００４９】すなわち、ラインセンサ２Ａにより透明フ
ィルム３を通した基準パターン１Ａの撮像パターン１ｂ
を得た後、各検出エリアの輝度情報を積分によって求め
る。ここでは、撮像パターン１ｂにおける各検出エリア
を設定するために、例えばラインセンサ２Ａのスキャン
レートによって走査幅Ｖを設定している。そして、上述
したように、基準パターン１Ａの格子模様の斜線部Ａと
白抜き部Ｂに相当する（ｘ１，ｙ１＋ｙ２）を１つの検
出エリアとし、それぞれの検出エリアを積分して積分値
Σ11，Σ21，Σ31，Σ41・・・Σmnを求める。

【００５０】次いで、隣合う各検出エリア毎に、（Σ11
−Σ21），（Σ21−Σ31），（Σ31−Σ41）・・・（Σ
m-1,n-1 −Σmn）とした減算処理を行い、その減算値と
しきい値とを比較することで、透明フィルム３の厚み欠
陥の検出が行われる。

【００５１】すなわち、微分処理された値がしきい値以
下であれば、上述したように、透明フィルム３の厚みが
許容範囲内であると判定され、その値がしきい値を超え
ている場合には、透明フィルム３の厚みが許容範囲外、
すなわちＮＧと判定される。なお、しきい値は、例えば
厚さの不均一性が±１０％となる値に設定されている。

【００５２】このように、以上の各実施の形態では、エ
リアセンサ２及びラインセンサ２Ａのフォーカス位置を
基準パターン１，１Ａとし、透明な被検査物である透明
フィルム３を通してその基準パターン１，１Ａを撮像す
るとともに、透明フィルム３の厚みの変化に応じた撮像
パターンの歪みの度合を撮像パターンの変形によって検
出するようにしたので、透明フィルム３の厚みの欠陥検
査を容易かつ確実に行うことができる。

【００５３】また、光源４の配置箇所を、基準パターン
１，１Ａの背面側あるいは基準パターン１，１Ａと透明
フィルム３との間とし、エリアセンサ２及びラインセン
サ２Ａには透明フィルム３からの反射光が取込まれない
ようにしたので、透明フィルム３の送り時のバタ付きよ
る影響を受けず、透明フィルム３の厚みの欠陥検査を確
実に行うことができる。

【００５４】なお、図１に示した厚み欠陥検査装置にお
いては、光源４を基準パターン１の背面側に配置した場
合について説明したが、この例に限らず、例えば図６に
示すように、透明フィルム３の背面側でかつ基準パター
ン１の表面を照射する位置に配置してもよい。

【００５５】この場合も、上記同様に、エリアセンサ２
及びラインセンサ２Ａには透明フィルム３からの反射光
が取込まれないので、透明フィルム３の送り時のバタ付
きよる影響を受けず、透明フィルム３の厚みの欠陥検査
を確実に行うことができる。

【００５６】また、以上の各実施の形態の説明から明ら
かなように、透明フィルム３の厚みに変化が生じた場合
には、図２及び図５で説明した撮像パターン１ａ，１ｂ
に歪みが生じることから、上述した格子模様に限らず、
例えば図７に示すような幾何学模様の基準パターン１Ｂ
を用いることができる。さらには、このような幾何学模
様の基準パターン１Ｂに限らず、人物の顔や絵等の図形
による他の基準パターンを用い、相関などによる、その
パターンと画像パターンとのパターンマッチングによ
り、厚さの均一性についての検査を行うことも可能であ
る。

【００５７】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明の厚み欠
陥検査装置によれば、センサのフォーカス位置を基準パ
ターンとし、透明な被検査物を通してその基準パターン
を撮像すると、透明な被検査物の厚みの変化に応じて撮
像パターンに歪みが生じるため、パターンマッチングに
よってその歪みの度合を検出することにより、被検査物
の厚みの均一性についての欠陥検査を容易かつ確実に行
うことができる。

【００５８】また、本発明の厚み欠陥検査方法によれ
ば、センサのフォーカス位置を基準パターンとし、透明
な被検査物を通してその基準パターンを撮像するととも
に、透明な被検査物の厚みの変化に応じた撮像パターン
の歪みの度合を検出することにより、被検査物の厚みの
均一性についての欠陥検査を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の厚み欠陥検査装置の一実施の形態を示
す図である。

【図２】図１の厚み欠陥検査装置において用いられる基
準パターンの一例を示す平面図である。

【図３】図１の厚み欠陥検査装置に備えられる欠陥検査
手段を示すブロック図である。

【図４】図１の厚み欠陥検査装置による厚み欠陥の検査
方法を示すフローチャートである。

【図５】図１のエリアセンサをラインセンサに変えた場
合の他の実施の形態を示す図である。

【図６】図１の厚み欠陥検査装置における光源の配置個
所を変えた場合の他の実施の形態を示す図である。

【図７】図２及び図５の基準パターンの他の例を示す図
である。

【符号の説明】

１，１Ａ，１Ｂ 基準パターン １ａ，１ｂ 撮像パターン ２ エリアセンサ ２Ａ ラインセンサ ３ 透明フィルム ５ 欠陥検査手段 ５ａ 輝度情報積算部 ５ｂ 輝度情報減算部 ５ｃ 欠陥検出部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA30 AA54 AA58 AA61 BB13 BB22 CC02 CC21 DD03 FF02 FF04 GG15 HH02 JJ02 JJ03 JJ25 JJ26 MM03 QQ08 QQ13 QQ14 QQ25 QQ27

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基準パターンと、 前記基準パターンを透明な被検査物を通して撮像する撮
   像手段と、 前記撮像手段によって撮像された撮像パターンの変形量
   に基づいて、前記被検査物の厚みの均一性についての欠
   陥検査を行う欠陥検査手段とを具備することを特徴とす
   る厚み欠陥検査装置。
2. 【請求項２】 前記基準パターンの背面側に光源を配置
   し、この光源からの照射光を前記基準パターン及び前記
   透明な被検査物を通して前記撮像手段側に進行させるこ
   とを特徴とする請求項１記載の厚み欠陥検査装置。
3. 【請求項３】 前記基準パターンと前記透明な被検査物
   との間に光源を配置し、前記基準パターンからの反射光
   を前記透明な被検査物を通して前記撮像手段側に進行さ
   せることを特徴とする請求項１記載の厚み欠陥検査装
   置。
4. 【請求項４】 前記基準パターンは二次元的に行列配置
   された格子模様であり、前記撮像手段はエリアセンサで
   あることを特徴とする請求項１記載の厚み欠陥検査装
   置。
5. 【請求項５】 前記基準パターンは前記撮像手段の走査
   方向に対して直交する１列配置された格子模様であり、
   前記撮像手段はラインセンサであることを特徴とする請
   求項１記載の厚み欠陥検査装置。
6. 【請求項６】 前記基準パターンは図形であり、前記変
   形量はパターンマッチングにより検出されることを特徴
   とする請求項１記載の厚み欠陥検査装置。
7. 【請求項７】 前記欠陥検査手段は、 前記撮像手段によって撮像された撮像パターンを面積の
   等しい複数の検出エリアに区分するとともに、これら区
   分された各検出エリアにおける輝度情報を積算する輝度
   情報積算部と、 前記輝度情報積算部により積算された複数の検出エリア
   相互の積算輝度情報を順次減算する輝度情報減算部と、 前記輝度情報減算部によって減算された減算結果に基づ
   き、前記被検査物の厚みの均一性についての欠陥を検出
   する欠陥検出部とを具備していることを特徴とする請求
   項４記載の厚み欠陥検査装置。
8. 【請求項８】 基準パターンを透明な被検査物を通して
   撮像し、撮像された撮像パターンの変形量に基づいて、
   前記被検査物の厚みの均一性についての欠陥検査を行う
   ことを特徴とする厚み欠陥検査方法。
9. 【請求項９】 前記基準パターンを二次元的に等間隔に
   行列配置された格子模様とし、前記撮像手段によって撮
   像された撮像パターンを面積の等しい複数の検出エリア
   に区分するとともに、これら区分された各検出エリアに
   おける輝度情報を積算し、積算された複数の検出エリア
   相互の積算輝度情報を順次減算して、その減算結果に基
   づき、前記被検査物の厚みの均一性についての欠陥を検
   出することを特徴とする請求項８記載の厚み欠陥検査方
   法。