JP2004309287A - 欠陥検出装置、および欠陥検出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】板状体の被検査体をある一方向に搬送する搬送機構と、ライン状照明器と、ラインセンサを備え、前記ライン状照明器により照射された光が、前記板状体に存在する欠陥で散乱され、その散乱光が前記ラインセンサに検出されることによって、前記欠陥を検出する暗視野型欠陥検出装置において、
前記ライン状照明器と前記ラインセンサとの走査方向が、互いに平行になるように配置された検出ユニットを少なくとも2組備え、前記検出ユニットがそれぞれ前記板状体の搬送方向に対して、異なる角度に配置されたことを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス、金属、フィルムなど、ある一方向に搬送される板状体に存在する線状傷などの欠陥検出装置、および検出方法に関するものである。特に、ガラス板の製造工程における外観検査を行う欠陥検出装置、および検出方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、例えばガラス板の製造工程において、ある一方向に搬送される板状体に存在する欠陥を検出するために、以下のような技術が適用されていた。まず、検査対象となるガラス板に光を照射する。そして、欠陥部位から生じる散乱光を検出する技術である。この散乱光を検出することによる欠陥検出技術では、微細な欠陥において、散乱する光が微弱である。そのため、微細な欠陥の確実な検出が困難となる。
【0003】
この対策として、例えば特開2002−148206号公報では、以下のような検査装置が開示されている。すなわち、この装置では散乱光を透明板状体に照射し、該透明板状体をCCDカメラで撮影する。そして、CCDカメラと透明板状体との間に、スリット状の遮光板を設けると共に、スリットを通して、光源の光が直接CCDカメラに入射しないように、透明板状体を多方向から照明するように光源を配置している。
【0004】
また、特開平7−234187号公報および特開平8−193955号公報では、以下のような検出装置が開示されている。すなわち、前者の装置では直線帯状の照明光の少なくとも3方向から互いに重なり合うように照射し、その中の少なくとも1つが、帯状に配列された光ファイバ列により導かれたものであって、ガラス基板の表面欠点からの散乱光を一次元カメラにて検出する。後者の装置は、平面内に光軸を有するレーザー光源により板ガラスの表面を照射し、レーザー光源に対する光電検出器で、板ガラスの欠点による散乱光を検出する。
【0005】
さらに、特開平1−169343号公報において、ガラス板の切口欠点の検出技術が開示されている。この技術では、一次元CCDカメラとライン状光源を設け、ガラス板の切口四辺を検査するため、カメラおよび光源をガラス板の搬送方向に対して45°傾け、透過明視野にて撮像する。
【0006】
また、特開平8−304295号公報において、線または網入りガラスの表面欠陥の検出技術が開示されている。この技術では、板状透明物体の一方の面側に、該板状透明物体の搬送方向と直交する方向に対して、角度θをなすようにラインセンサと照明装置を設け、照明装置によって板状透明物体の一方の面側を照射し、ラインセンサにより反射明視野にて撮像する。加えて、この公報では筋状の傷とラインセンサおよび照明装置のなす角度による輝度レベルの出現状態の検証について述べており、傷に角度依存性があることを示唆している。
【特許文献1】
特開2002−148206号公報
【特許文献2】
特開平7−234187号公報
【特許文献3】
特開平8−193955号公報
【特許文献4】
特開平1−169343号公報
【特許文献5】
特開平8−304295号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
つまり、ラインセンサを用いた場合において、ある一方向に搬送される板状体に存在する欠陥(線状の傷や泡など)からの散乱光を検出する技術は、特に線状欠陥の散乱光は、その大きさや形状はもちろんのこと、照射するライン状照明器およびラインセンサの走査方向と欠陥のなす角度とに依存してしまう。
【0008】
このため、ラインセンサで得られる欠陥の散乱光が微弱で、欠陥を検出することが困難な場合がある。特に、線状欠陥の散乱光は、角度依存による影響を受けるため、もれなく欠陥を検出することが困難となる。
【0009】
また、被検査対象物が連続したリボン状ガラス板などの場合には、被検査対象物を回転させることが難しく、角度依存の影響を受けやすい。そのため、微細な線状欠陥の検出は非常に困難となる。
【0010】
なお、上述の特開2002−148206号公報における多方向から光を照射する手法は、一方向から光を照射する場合に比べ、欠陥により散乱する光成分が増えるため、欠陥からの散乱光を十分に検出できる。
【0011】
また、特開平7−234187号公報および特開平8−193955号公報におけるライン状照明に高輝度照明を用いる手法も、欠陥からの散乱光を十分に検出できる。ただし、多方向から光を照射する、または高輝度の光を照射しても、ラインセンサの受光部分に入射する線状欠陥の散乱光は、照射する照明およびラインセンサと線状欠陥のなす角度の影響を受けてしまう。
【0012】
ここで、図1を用いて、線状欠陥の散乱光の角度依存性について説明する。
図1において、1はライン状照明器、3は板状体、4はラインセンサの走査領域、5は線状欠陥であり、図中の矢印は板状体の搬送方向を示している。図1(a)に示すように、ラインセンサの走査方向と線状欠陥の方向が平行である場合、線状欠陥からの散乱光を最も強く検出することができる。これに対し図1(b)に示すように、ラインセンサの走査方向と線状欠陥の方向が直交する場合、線状欠陥からの散乱光は微弱となってしまう。
【0013】
またこの場合、ラインセンサの走査方向と直交する線状欠陥の散乱光を検出するには、ライン状照明器とラインセンサからなる検出ユニットと、線状欠陥とのなす角度が様々であっても、散乱光を十分に得られるような高輝度の光を照射する必要となる。しかし、このような照明を行うには、大がかりな装置が必要になってしまう。
【0014】
なお、図1(c)に示すように、ラインセンサの走査方向に直行する方向から光を照射する場合、光源はラインセンサの走査範囲内にあり、光源からの直接光をラインセンサは受光してしまう。このため、ラインセンサの走査範囲と光源が交わる部分では、線状欠陥からの散乱光を検出することができない。
【0015】
そこで本発明では、欠陥からの散乱光の受光手段としてラインセンサを用い、被検査対象物がある一方向に搬送される板状体である場合に、欠陥の散乱光の角度依存による影響をあまり受けずに、欠陥の検出を可能とする欠陥検出装置、およびその方法を提供する。さらに、蛍光灯のような一般的な照明でも、線状の欠陥を検出可能な検出装置、およびその方法を提供する。
【0016】
なお、被検査対象物回転可能な場合の検査方法を以下に例挙する。例えば、小型電子技術の分野では、シリコンウエハなどの検査対象物を回転させ、複数回検査する方法がある(例えば、特開2002−257745号公報)。
【0017】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、本発明の第1形態として、請求項1に記載の欠陥検出装置は、
板状体の被検査体をある一方向に搬送する搬送機構と、ライン状照明器と、ラインセンサとを備え、前記ライン状照明器によって照射された光が、前記板状体に存在する欠陥で散乱され、その散乱光を前記ラインセンサにより検出することによって、前記欠陥を検出する暗視野型の欠陥検出装置であって、
前記ライン状照明器と前記ラインセンサとの走査方向が、互いに平行になるように配置された検出ユニットを少なくとも2組備え、前記検出ユニットがそれぞれ前記板状体の搬送方向に対して、異なる角度に配置されていることを特徴とする。
【0018】
請求項2に記載の欠陥検出装置は、
前記検出ユニットのうち、2組のユニットにおける前記板状体の搬送方向とのなす角度が、それぞれ30°〜60°、120°〜150°となるように配置されていることを特徴とする。
【0019】
請求項3に記載の欠陥検出装置は、
前記検出ユニットを2組備え、この2組のユニットにおける前記板状体の搬送方向とのなす角度が、それぞれ45°と135°となるように配置されていることを特徴とする。
【0020】
請求項4に記載の欠陥検出装置は、
前記ライン状照明器は、少なくとも2本のライン状照明光源を含むことを特徴とする。
【0021】
請求項5に記載の欠陥検出装置は、
前記ライン状照明器は、該照明器からの直接光が、前記ラインセンサに入射しないような位置に配置している、または、前記ライン状照明と前記ラインセンサの間に、遮光板が配置していることを特徴とする。
【0022】
請求項6に記載の欠陥検出装置は、
前記板状体上にある線状欠陥と前記検出ユニットのなす角度に応じて、前記ラインセンサの受光量に補正を行う受光量補正手段を備えることを特徴とする。
【0023】
さらに本発明の第2形態として、請求項7に記載の欠陥検出方法は、
搬送機構によりある一方向に被検査体である板状体を搬送し、
ライン状照明器から前記板状体に光を照射し、該照明光が前記板状体に存在する欠陥にて散乱し、その散乱光を前記ラインセンサにより検出することによって、前記欠陥を検出する暗視野型の欠陥検出方法であって、
前記ライン状照明器と前記ラインセンサとの走査方向が、互いに平行になるように配置した検出ユニットを少なくとも2組備え、前記検出ユニットをそれぞれ前記板状体の搬送方向に対して、異なる角度に配置したことを特徴とする。
【0024】
請求項8に記載の欠陥検出方法は、
前記検出ユニットのうち、2組のユニットにおける前記板状体の搬送方向とのなす角度を、それぞれ30°〜60°、120°〜150°となるように配置したことを特徴とする。
【0025】
請求項9に記載の欠陥検出方法は、
前記検出ユニットを2組備え、この2組のユニットにおける前記板状体の搬送方向とのなす角度を、それぞれ45°と135°となるように配置したことを特徴とする。
【0026】
請求項10に記載の欠陥検出方法は、
前記ライン状照明器を、少なくとも2本のライン状照明光源を含むようにしたことを特徴とする。
【0027】
請求項11に記載の欠陥検出方法は、
前記ライン状照明器を、該照明器からの直接光が前記ラインセンサに入射しないような位置に配置した、または前記ライン状照明と前記ラインセンサの間に遮光板を配置したことを特徴とする。
【0028】
請求項12に記載の欠陥検出方法は、
前記板状体上にある線状欠陥と前記検出ユニットのなす角度に応じて、前記ラインセンサの受光量を補正することを特徴とする。
【0029】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の欠陥検出装置について、図面を用いて詳細に説明する。
【0030】
(予備検討)
まず、図8に示した欠陥検出装置を用いて、線状欠陥を有する被検査体(ガラス基板3)と、ライン状照明器およびラインセンサを含んでなる検出ユニットとの角度を変化させた場合における散乱光強度への影響を調べた。図8において、1はライン状照明器、4はラインセンサの走査領域、5は線状欠陥である。具体的には、ライン状照明器1およびラインセンサの走査領域4と、線状欠陥5のなす角度θを、0°から90°の範囲で10°毎に変化させて、散乱光強度を測定した。なお、線状欠陥5は、その長さの異なる5種類の線状欠陥を有するガラス基板を用意した。その線状欠陥の幅を、それぞれWA,WB,WC,WD,WEとしたとき、それらの大小関係は以下のようであった。
WA<WB<WC<WD<WE
【0031】
その結果を図9に示す。図9では、5種類の欠陥からの散乱光強度を256階調で表している。なお縦軸は任意単位であり、各プロットは以下の線状欠陥を表している。
◇:WA,□:WB,△:WC,×:WD,○:WE
【0032】
図9に示された結果より、同一の線状欠陥でも角度θの違いによって散乱光強度に変化のあることがわかった。このことから、線状欠陥の方向と、ラインセンサの走査方向とがなす角度θによって、散乱光の強度に影響を与えることを確認した。
【0033】
また、変化させた角度毎に散乱光の強度をみていくと、線状欠陥の幅の狭いWA,WB,WCでは、60°辺りで0°のときに比べると、半分程度になっている。さらに、60°〜90°になるにつれ、散乱光の強度がいっそう減少していく傾向にある。そのため、ラインセンサの走査方向と線状欠陥のなす角度θが0°〜60°程度の範囲が、散乱光強度の強い角度範囲である。
【0034】
ここで図10において、ライン状照明器1およびラインセンサを含んでなる検出ユニットの走査方向41と、板状体3の搬送方向とのなす角度をθとする。また、そのときの検査幅をWとする。そして、θを変化させたときの検査幅Wの変化を確認した。検査幅Wは、照明器の長さを1としたとき、W=COSθで求めることができる。図11は、θを変化させたときの検査幅Wの変化を表すグラフである。
【0035】
この図11に示したグラフより、検査幅Wが少なくとも照明の長さの半分以上となるように、角度θが45°〜135°の範囲内となるように設置するのが望ましい。
【0036】
(実施例1)
図2は、本発明による一実施例である検出装置の概略平面図である。この検出装置では、ライン状照明器1およびラインセンサを含んでなる検出ユニットを2つ有しており、それぞれが相互に補完できるように、ガラス板状体3の搬送方向に対して、θ1が45°、θ2が135°となるように配置している。また、図3は、図2中のA−B部分を側面から見た概略断面図である。この欠陥検出装置は、暗視野型の欠陥検出を行っている。
【0037】
このような欠陥検出装置において、例えば被検査体として、厚さ5mmのフロートガラス板3を、その上部にあるライン状照明器1,1からの光によって照射し、ラインセンサ2でガラス板3を撮影した。ライン状照明器には、ライン状光源である直管蛍光灯2本を10mmの隙間を設けて、ガラス板3の表面からの距離を10mmとして配置し、反射型照明としている。さらに、ライン状照明器1の上方には、照明器からの直接光がラインセンサ2に入らないように、遮光板6,6をその間隔が5mmになるように配置している。
【0038】
ラインセンサ2の絞りは、可能な限り欠陥からの散乱光を受光できるように、開放に近い状態が好ましく、このようにすると、微小欠陥からの散乱光を受光することができる。
【0039】
ラインセンサ2で撮影した画像は、図4に示した画像処理装置7で画像処理した。画像処理装置7で処理されたライン状の画像を、パーソナルコンピュータ8に取り込み、ガラス板状体の全体としてつなぎ合わせ、図5に示すようなガラス板状体全体の合成画像を作成した。
【0040】
この検出は暗視野型であるので、線状欠陥5は合成画像において、ガラス板状体の全体像の中に明るく光る輝線として現れる。したがって、この輝線を欠陥として認識すればよい。
【0041】
本実施例1において、図5に示す合成画像の線状欠陥5は、その幅が30μm程度のものまで検出可能であった。
【0042】
(実施例2)
実施例1の条件を、ライン状照明器における直管蛍光灯2本の間隔を80mm、ガラス板3の表面からの距離を15mmとして配置し、その他は実施例1の条件にて、欠陥の検出を行った。
【0043】
本実施例2において、合成画像の線状欠陥は、その幅が60μm程度のものまで検出可能であった。
【0044】
なお上述した実施例1および2では、板状体として透明体であるガラス板を例に説明した。しかし、反射型照明では被検査体は透明体に限られることはなく、金属板などを検査対象とすることもできる。
【0045】
また上述した実施例1および2では、いずれも遮光板を設けた例であった。しかし、これに限られることなく、図6に示したように、照明器1,1からの直接光が直接ラインセンサ2に入射しないような配置であれば、特に遮光板を設けなくてもよい。
【0046】
(実施例3)
本発明による別実施例である検出装置の概略断面図を図7に示す。この別実施例では、透明体であるガラス板3の下方から光を照射している。この図7は、図2中のA−B部分を側面から見た概略断面図である。
【0047】
さらに、ライン状照明器1の上方には、照明器からの直接光がラインセンサ2に入らないように、遮光板6をスリットの間隔が5mm程度になるように配置して透過型照明としている。このように被検査体が透明体であり、欠陥が照明光を反射すれば、透過型照明であっても欠陥の検出が可能である。
【0048】
本実施例3において、線状欠陥5は、その幅が40μm程度のものまで検出可能であった。
【0049】
(受光量の補正)
線状欠陥と検出ユニットのなす角度によっては、検出される線状欠陥からの光量が異なってしまう。そこで予め、線状欠陥と検出ユニットのなす角度毎に、光量の補正値を求めておき、その補正値によって光量の補正を行うとよい。
【0050】
例えば上述の実施例1から3において、ラインセンサ2により撮像された線状欠陥5と前記検出ユニットとのなす角度を、まず画像処理装置7によって求めた。そして、この角度に対応する補正値を、線状欠陥5からの光量に加えるとよい。この補正により、線状欠陥5と前記検出ユニットとのなす角度によるラインセンサ2の受光量の変化を最小限にすることができ、線状欠陥5を感度よく検出することができる。
【0051】
このよう補正手段は、画像処理装置7に上述の角度に対応する補正テーブルをまず設けておく。つぎに、線状欠陥が検出されれば、画像処理装置7にて上述の角度を求めて、予め求めておいたテーブルから補正値を呼び出して、受光量の補正を行うとよい。
【0052】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明では、ライン状照明器およびラインセンサを含む検出ユニットを少なくとも2組、板状体の搬送方向に対してそれぞれ異なる角度になるように配置している。
【0053】
このような配置とすることにより、線状欠陥と検出ユニットとのなす角度が様々であっても、板状体に存在する線状傷や泡や異物などの欠陥により生じる散乱光を、検出ユニットが互いに補完することができる。その結果、板状体の搬送方向に対して様々な角度で存在する線状欠陥を、もれなく検出することができる。
【0054】
また、板状体に存在する線状欠陥と検出ユニットとのなす角度に対し、ラインセンサの受光量を補正することにより、欠陥の大きさや深さによる影響により生じる散乱光の輝度の変化を検出することができる。そのため、散乱光強度の閾値を変えることによって、検出する欠陥の大きさや深さを制限することができる。
【0055】
なお、本発明の欠陥検出技術は、例えばガラス板では板状体に存在する線状欠陥だけでなく、散乱光を発する欠陥であればよく、泡や異物などの点状欠陥の検出に対しても有効である。
【図面の簡単な説明】
【図1】線状欠陥と、ライン状照明器およびラインセンサのなす角度を示す概略平面図。
【図2】本発明の実施例1を示す欠陥検出装置の概略平面図。
【図3】本発明の実施例1を示す欠陥検出装置の概略断面図。
【図4】ラインセンサで撮影した画像を画像処理する装置の構成図。
【図5】実施例1における画像処理後の線状欠陥の合成画像を概念的に示す図。
【図6】遮光板を設けない欠陥検出装置の概略断面図。
【図7】本発明の実施例3を示す欠陥検出装置の概略断面図。
【図8】予備検討を示す欠陥検出装置の概略平面図。
【図9】予備検討で行った線状欠陥の角度依存性を示すグラフ。
【図10】板状体の搬送方向とラインセンサの走査方向のなす角度を説明する図。
【図11】板状体の搬送方向とラインセンサの走査方向とのなす角度による検査幅の変化を示すグラフ。
【符号の説明】
1:ライン状照明器
2:ラインセンサ
3:板状体(ガラス板)
4:ラインセンサの走査領域
41:ラインセンサの走査方向
5:線状欠陥
6:遮光板
7:画像処理装置
8:パーソナルコンピュータ
Claims (12)
- 板状体の被検査体をある一方向に搬送する搬送機構と、ライン状照明器と、ラインセンサとを備え、前記ライン状照明器によって照射された光が、前記板状体に存在する欠陥で散乱され、その散乱光を前記ラインセンサにより検出することによって、前記欠陥を検出する暗視野型の欠陥検出装置であって、
前記ライン状照明器と前記ラインセンサとの走査方向が、互いに平行になるように配置された検出ユニットを少なくとも2組備え、前記検出ユニットがそれぞれ前記板状体の搬送方向に対して、異なる角度に配置されていることを特徴とする欠陥検出装置。 - 前記検出ユニットのうち、2組のユニットにおける前記板状体の搬送方向とのなす角度が、それぞれ30°〜60°、120°〜150°となるように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の欠陥検出装置。
- 前記検出ユニットを2組備え、この2組のユニットにおける前記板状体の搬送方向とのなす角度が、それぞれ45°と135°となるように配置されていることを特徴とする請求項2に記載の欠陥検出装置。
- 前記ライン状照明器は、少なくとも2本のライン状照明光源を含むことを特徴とする請求項1〜3いずれか1項に記載の欠陥検出装置。
- 前記ライン状照明器は、該照明器からの直接光が、前記ラインセンサに入射しないような位置に配置されている、または、前記ライン状照明と前記ラインセンサの間に、遮光板が配置されていることを特徴とする請求項1〜4いずれか1項に記載の欠陥検出装置。
- 前記板状体上にある線状欠陥と前記検出ユニットのなす角度に応じて、前記ラインセンサの受光量に補正を行う受光量補正手段を備えることを特徴とする請求項1〜5いずれか1項に記載の欠陥検出装置。
- 搬送機構によりある一方向に被検査体である板状体を搬送し、
ライン状照明器から前記板状体に光を照射し、該照明光が前記板状体に存在する欠陥にて散乱し、その散乱光を前記ラインセンサにより検出することによって、前記欠陥を検出する暗視野型の欠陥検出方法であって、
前記ライン状照明器と前記ラインセンサとの走査方向が、互いに平行になるように配置した検出ユニットを少なくとも2組備え、前記検出ユニットをそれぞれ前記板状体の搬送方向に対して、異なる角度に配置したことを特徴とする欠陥検出方法。 - 前記検出ユニットのうち、2組のユニットにおける前記板状体の搬送方向とのなす角度を、それぞれ30°〜60°、120°〜150°となるように配置したことを特徴とする請求項7に記載の欠陥検出方法。
- 前記検出ユニットを2組備え、この2組のユニットにおける前記板状体の搬送方向とのなす角度を、それぞれ45°と135°となるように配置したことを特徴とする請求項8に記載の欠陥検出方法。
- 前記ライン状照明器を、少なくとも2本のライン状照明光源を含むようにしたことを特徴とする請求項7〜9いずれか1項に記載の欠陥検出方法。
- 前記ライン状照明器を、該照明器からの直接光が前記ラインセンサに入射しないような位置に配置した、または前記ライン状照明と前記ラインセンサの間に遮光板を配置したことを特徴とする請求項7〜10いずれか1項に記載の欠陥検出方法。
- 前記板状体上にある線状欠陥と前記検出ユニットのなす角度に応じて、前記ラインセンサの受光量を補正することを特徴とする請求項7〜11いずれか1項に記載の欠陥検出方法。
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