JP3460860B2 - X−y方式インサーキットテスタのz軸ユニットに備える多ピンプローブユニット - Google Patents
X−y方式インサーキットテスタのz軸ユニットに備える多ピンプローブユニットInfo
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Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は実装基板の検査に使用す
るX−Y方式インサーキットテスタのZ軸ユニットに備
える多ピンプローブユニットに関する。 【0002】 【従来の技術】従来、実装基板即ち多数の電子部品を半
田付けしたプリント基板はインサーキットテスタを用い
て、その基板の必要な測定点に適宜ピンプローブを接触
させ、それ等の各部品の電気的測定によって基板の良否
の判定を行っている。この種のインサーキットテスタに
は被検査基板を検査治具たるフィクスチュアー(ピンボ
ード)上に載せて固定するピンボード方式のものと、被
検査基板を載せる測定台上にX−Yユニットを設置する
X−Y方式のものとがある。そして、ピンボード方式で
はボード上に被検査基板の測定点の数に等しい数のピン
プローブを測定点の位置に対応させて立設し、被検査基
板をフィクスチュアー上に載せることにより、各ピンプ
ローブを各測定点にそれぞれ接触する。一方、X−Y方
式ではX軸方向に可動するアームの上にY軸方向に可動
するZ軸ユニットを備え、そのZ軸ユニットで1本のピ
ンプローブをZ軸方向に可動可能に支持し、X−Yユニ
ットを制御することにより、そのピンプローブを基板の
上方からX軸、Y軸、Z軸方向にそれぞれ適宜移動し
て、予め設定した各測定点に順次接触する。それ故、ピ
ンボード方式のものは多量の同一被検査基板の測定に適
するのに対し、X−Y方式のものは多品種少量の被検査
基板の測定に適する。 【0003】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、X−Y
方式では1部品毎に複数個の測定点を同時に測定しなけ
ればならないので、通常インサーキットテスタに測定点
の数に一致する複数個のX−Yユニットを備え付ける必
要がある。しかも、各X−Yユニットを個々的に制御し
て、それ等に備えたピンプローブの移動をそれぞれ行な
わなければならない。それ故、検査のスピードを上げ難
いという問題がある。なお、X−Y方式インサーキット
テスタにはY軸方向に可動するアーム上にX軸方向に可
動するZ軸ユニットを備えたものや、X−Y平面上をZ
軸ユニットが任意の方向に移動できるサフェイスリニア
モータ等もある。 【0004】本発明はこのような従来の問題点に着目し
てなされたものであり、Z軸ユニットの構造を改善する
ことによって、測定点の多い或いは大きさの異なる種々
の実装部品等に対応し易く、検査をスピード化できるX
−Y方式インサーキットテスタのZ軸ユニットに備える
多ピンプローブユニットを提供することを目的とする。 【0005】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のX−Y方式インサーキットテスタではその
Z軸ユニットにZ軸方向に可動可能に多ピンプローブユ
ニット10のベース12を設置し、そのベース12に3
本以上のピンプローブ14をいずれも単独制御によりZ
軸方向に可動可能に備え付ける。そして、多ピンプロー
ブユニット10のベース12に備え付ける多数のピンプ
ローブ14を扇状に並べて、それ等の隣接する2本のピ
ンプローブ14をいずれも先端間の距離を短く、後端間
の距離を長く配置する。 【0006】 【作用】上記のように構成し、検査時に多ピンプローブ
ユニット10のベース12をZ軸方向に移動させて被検
査基板に対する位置を選ぶと、そのベース12に備え付
けた多数のピンプローブ14が扇状に並び、それ等の隣
接する2本のピンプローブ14がいずれも先端間の距離
を短く、後端間の距離を長く配置してあるため、更にそ
れ等のピンプローブ14を適宜選んでそれぞれ単独制御
により突出させると、実装部品のリードや基板のパター
ン上等にある対応する各測定点にピンプローブがそれぞ
れ接触するように、突出させた隣接する2本のピンプロ
ーブ14の先端間の距離をいずれも選択できる。 【0007】 【実施例】以下、添付図面に基づいて、本発明の実施例
を説明する。図1は本発明を適用したX−Y方式インサ
ーキットテスタのZ軸ユニットに備える多ピンプローブ
ユニットの5本のピンプローブの配置を示す正面図、図
2はその多ピンプローブユニットの駆動機構を示す側面
図である。図中、10は多ピンプローブユニット、12
はそのベースブロック、14(14a、…14e)はそ
こに配設した5本のピンプローブである。この多ピンプ
ローブユニット10のベースブロック12はZ軸方向
(上下方向)に可動可能に支持する。このため、Z軸ユ
ニットのアームに対する固定用のベース部材にパルスモ
ータ、サーボモータ等(図示なし)を据え付け、そのモ
ータ軸16で歯付きの無端ベルトからなるタイミングベ
ルト18を駆動し、そのタイミングベルト18に噛み合
う歯車を一端部に有する連結部材20の他端部をベース
ブロック12に固定する。なお、タイミングベルト18
と連結部材20との噛み合わせ構造はラックとピニオン
に類似した周知の技術である。それ故、モータ軸16を
矢印で示す一方向又は反対方向に回転させると、タイミ
ングベルト18を駆動して、ベースブロック12を任意
に矢印で示すZ軸方向(上下方向)に移動することがで
きる。 【0008】5本のピンプローブ14はベースブロック
12に扇状に並べて備え付け、それ等の隣接する2本の
ピンプローブ14をいずれも先端間の距離L1 を短
く、後端間の距離L2 を長く配置する。そして、隣接
する2本のピンプローブ14の先端間の距離L1 をいず
れも等しく、後端間の距離L2 もいずれも等しくする。
これ等のピンプローブ14は互いに接近させて狭い場所
に配置し、いずれも単独制御によりZ軸方向に可動可能
に支持しなければならないため、各ピンプローブ14の
駆動用にエアシリンダを採用し、それ等のシリンダケー
スをベースブロック12に設けた各穴にそれぞれ差し込
んで装着して使用するとよい。このようなエアシリンダ
には図3に示す押し出し単動エアシリンダ22、図4に
示す複動エアシリンダ24、及び図5に示す押し出し吸
引エアシリンダ26等がある。 【0009】この押し出し単動エアシリンダ22にはシ
リンダケース28の内部にピンプローブ14に巻回した
圧縮コイルばね30が収納されている。それ故、ピンプ
ローブ14はばね力を受け、その先端は通常矢印で示す
一方向に後退している。そして、シリンダケース28の
エアポート32から圧縮空気を入れた時のみ反対の矢印
方向に突出する。なお、ピンプローブ14の中央部の後
端寄り位置にピストン34が固着し、後端には測定用の
リードワイヤ36が接続する。しかし、複動エアシリン
ダ24では圧縮コイルばねを用いず、シリンダケース3
8に2箇所圧縮空気を入れるエアポート40(40a、
40b)を設けている。それ故、圧縮空気を入れるエア
ポート40を切り換えることによりピンプローブ14を
突出、後退させることができる。又、押し出し吸引エア
シリンダ26でも圧縮コイルばねを用いないが、シリン
ダケース42に設けるエアポート44は1箇所である。
それ故、エアポート44から圧縮空気を入れるとピンプ
ローブ14は突出し、そのエアポート44から空気を吸
引するとピンプローブ14は後退する。なお、このよう
なピンプローブは油圧でも操作可能である。 【0010】通常、多ピンプローブユニット10はその
ベースブロック12を上昇端まで上昇させておき、各ピ
ンプローブ14を全て後退させておく。それ故、X−Y
ユニットを制御し、Z軸ユニットを移動して、多ピンプ
ローブユニット10を被検査基板の上方領域内の必要箇
所に適宜移動することができる。検査時には多ピンプロ
ーブユニット10のベースブロック12を先ず必要なだ
け下降する。すると、ベースブロック12をZ軸方向に
移動して、ベースブロック12の被検査基板面からの高
さを任意に選択できる。その後、5本のピンプローブ1
4をいずれも下方即ちZ軸方向に突出し、図1に示すよ
うに例えば基板面46にある対応する各測定点に接触す
る。 【0011】このように、被検査基板面46等を基準面
としてベースブロック12の高さを選び、各ピンプロー
ブ14を突出すると、実装部品のリードや基板のパター
ン上等にある対応する各測定点にピンプローブ14がそ
れぞれ接触するように、隣接する2本のピンプローブ1
4の先端面の距離をいずれもベースブロック12の高さ
に応じて等しく、例えば図6に示すように1,27mm
ピッチ、1.0mmピッチ、0.8mmピッチ、0.6
5mmピッチ等に選択できる。しかも、各ピンプローブ
14はいずれも単独でZ軸方向に突出、後退の制御がで
きるので、特に狭いピッチが必要な場合にはベースブロ
ック12の下降量を少なくし、ピンプローブ14を1本
おきに突出すると、0.4mmピッチの選択も可能にな
る。なお、図7は0.4mmピッチの場合における3本
のピンプローブ14a、c、eの基板面46に対する先
端部の接触状態を示す図である。 【0012】それ故、多ピンプローブユニット10を用
いると、突出させた隣接する2本のピンプローブ14の
先端間の距離(ピッチ)を任意に選択することが可能に
なり、図8に示すような多ピン(リード)48を有する
フラットパッケージIC50を検査する場合、隣接する
2本のピン48の間のピッチが0.3mm、0.4m
m、0.5mm、0.65mm、0.8mm、1.0m
m、1.27mm等であっても、5本のピンプローブ1
4を1度にその本数分に当る5本のピン48にそれぞれ
接触させて測定を行なえる。 【0013】又、図9に示すようなコンデンサや抵抗等
のチップ部品52に対しても、多ピンプローブユニット
に備え付けた例えば9本のピンプローブ54から最も適
切と思われるピンプローブ54a、iを選択し、チップ
部品52の両側にある半田付け箇所にそれぞれ接触させ
て測定できる。なお、チップ部品52の両側にある半田
付け箇所にそれぞれ接触させるため、図10に示すよう
に各側に対して複数本例えば2本ずつピンプローブ54
a、b、h、iを選択すると、1本ずつコンタクトミス
があっても測定を行なえる。更に、極小チップ部品の場
合には、多ピンプローブユニットのベースブロックの下
降量を少なくすれば、突出させた隣接する2本のピンプ
ローブの先端間の距離を小さくして、図11に示すよう
にチップ部品56の両側にある半田付け箇所にピンプロ
ーブ54a、iをそれぞれ接触させて測定を行なえる。
それ故、チップ部品に対しても大きな部品から小さな部
品まで対応可能になる。 【0014】又、図12に示すように4端子法によって
抵抗値の測定を行なう場合にも、多ピンプローブユニッ
トに備え付けた多数のピンプローブから最も適切と思わ
れる2本のピンプローブ58(58a、58b)を選ん
で、フラットパッケージIC60の1本のピン62にそ
れぞれ接触させ、更に2本のピンプローブ58(58
c、58d)を選んで、基板64のパターン66にそれ
ぞれ接触する。すると、素早くピン62とパターン66
に定電流を流し、電圧値を測定して抵抗値を算出し、半
田付け不良や足浮き等の判定を行なえる。 【0015】なお、検査終了後には多ピンプローブユニ
ット10の全てのピンプローブ14(54、58)を後
退(上昇)させた後に、ベースブロック12を上昇端ま
で上昇させておく。 【0016】 【発明の効果】以上説明した本発明によれば、多ピンプ
ローブユニットのベースをZ軸方向に移動させて、被検
査基板に対する位置を選び、更にZ軸方向に突出するピ
ンプローブを選んで、実装部品のリードや基板のパター
ン上等にある対応する各測定点にピンプローブの先端が
それぞれ接触するように、突出させた隣接する2本のピ
ンプローブの先端間の距離をいずれも選択できるため、
測定点の多い或いは大きさの異なる種々の実装部品等に
対応し易くなり、検査をスピード化できる。
るX−Y方式インサーキットテスタのZ軸ユニットに備
える多ピンプローブユニットに関する。 【0002】 【従来の技術】従来、実装基板即ち多数の電子部品を半
田付けしたプリント基板はインサーキットテスタを用い
て、その基板の必要な測定点に適宜ピンプローブを接触
させ、それ等の各部品の電気的測定によって基板の良否
の判定を行っている。この種のインサーキットテスタに
は被検査基板を検査治具たるフィクスチュアー(ピンボ
ード)上に載せて固定するピンボード方式のものと、被
検査基板を載せる測定台上にX−Yユニットを設置する
X−Y方式のものとがある。そして、ピンボード方式で
はボード上に被検査基板の測定点の数に等しい数のピン
プローブを測定点の位置に対応させて立設し、被検査基
板をフィクスチュアー上に載せることにより、各ピンプ
ローブを各測定点にそれぞれ接触する。一方、X−Y方
式ではX軸方向に可動するアームの上にY軸方向に可動
するZ軸ユニットを備え、そのZ軸ユニットで1本のピ
ンプローブをZ軸方向に可動可能に支持し、X−Yユニ
ットを制御することにより、そのピンプローブを基板の
上方からX軸、Y軸、Z軸方向にそれぞれ適宜移動し
て、予め設定した各測定点に順次接触する。それ故、ピ
ンボード方式のものは多量の同一被検査基板の測定に適
するのに対し、X−Y方式のものは多品種少量の被検査
基板の測定に適する。 【0003】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、X−Y
方式では1部品毎に複数個の測定点を同時に測定しなけ
ればならないので、通常インサーキットテスタに測定点
の数に一致する複数個のX−Yユニットを備え付ける必
要がある。しかも、各X−Yユニットを個々的に制御し
て、それ等に備えたピンプローブの移動をそれぞれ行な
わなければならない。それ故、検査のスピードを上げ難
いという問題がある。なお、X−Y方式インサーキット
テスタにはY軸方向に可動するアーム上にX軸方向に可
動するZ軸ユニットを備えたものや、X−Y平面上をZ
軸ユニットが任意の方向に移動できるサフェイスリニア
モータ等もある。 【0004】本発明はこのような従来の問題点に着目し
てなされたものであり、Z軸ユニットの構造を改善する
ことによって、測定点の多い或いは大きさの異なる種々
の実装部品等に対応し易く、検査をスピード化できるX
−Y方式インサーキットテスタのZ軸ユニットに備える
多ピンプローブユニットを提供することを目的とする。 【0005】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のX−Y方式インサーキットテスタではその
Z軸ユニットにZ軸方向に可動可能に多ピンプローブユ
ニット10のベース12を設置し、そのベース12に3
本以上のピンプローブ14をいずれも単独制御によりZ
軸方向に可動可能に備え付ける。そして、多ピンプロー
ブユニット10のベース12に備え付ける多数のピンプ
ローブ14を扇状に並べて、それ等の隣接する2本のピ
ンプローブ14をいずれも先端間の距離を短く、後端間
の距離を長く配置する。 【0006】 【作用】上記のように構成し、検査時に多ピンプローブ
ユニット10のベース12をZ軸方向に移動させて被検
査基板に対する位置を選ぶと、そのベース12に備え付
けた多数のピンプローブ14が扇状に並び、それ等の隣
接する2本のピンプローブ14がいずれも先端間の距離
を短く、後端間の距離を長く配置してあるため、更にそ
れ等のピンプローブ14を適宜選んでそれぞれ単独制御
により突出させると、実装部品のリードや基板のパター
ン上等にある対応する各測定点にピンプローブがそれぞ
れ接触するように、突出させた隣接する2本のピンプロ
ーブ14の先端間の距離をいずれも選択できる。 【0007】 【実施例】以下、添付図面に基づいて、本発明の実施例
を説明する。図1は本発明を適用したX−Y方式インサ
ーキットテスタのZ軸ユニットに備える多ピンプローブ
ユニットの5本のピンプローブの配置を示す正面図、図
2はその多ピンプローブユニットの駆動機構を示す側面
図である。図中、10は多ピンプローブユニット、12
はそのベースブロック、14(14a、…14e)はそ
こに配設した5本のピンプローブである。この多ピンプ
ローブユニット10のベースブロック12はZ軸方向
(上下方向)に可動可能に支持する。このため、Z軸ユ
ニットのアームに対する固定用のベース部材にパルスモ
ータ、サーボモータ等(図示なし)を据え付け、そのモ
ータ軸16で歯付きの無端ベルトからなるタイミングベ
ルト18を駆動し、そのタイミングベルト18に噛み合
う歯車を一端部に有する連結部材20の他端部をベース
ブロック12に固定する。なお、タイミングベルト18
と連結部材20との噛み合わせ構造はラックとピニオン
に類似した周知の技術である。それ故、モータ軸16を
矢印で示す一方向又は反対方向に回転させると、タイミ
ングベルト18を駆動して、ベースブロック12を任意
に矢印で示すZ軸方向(上下方向)に移動することがで
きる。 【0008】5本のピンプローブ14はベースブロック
12に扇状に並べて備え付け、それ等の隣接する2本の
ピンプローブ14をいずれも先端間の距離L1 を短
く、後端間の距離L2 を長く配置する。そして、隣接
する2本のピンプローブ14の先端間の距離L1 をいず
れも等しく、後端間の距離L2 もいずれも等しくする。
これ等のピンプローブ14は互いに接近させて狭い場所
に配置し、いずれも単独制御によりZ軸方向に可動可能
に支持しなければならないため、各ピンプローブ14の
駆動用にエアシリンダを採用し、それ等のシリンダケー
スをベースブロック12に設けた各穴にそれぞれ差し込
んで装着して使用するとよい。このようなエアシリンダ
には図3に示す押し出し単動エアシリンダ22、図4に
示す複動エアシリンダ24、及び図5に示す押し出し吸
引エアシリンダ26等がある。 【0009】この押し出し単動エアシリンダ22にはシ
リンダケース28の内部にピンプローブ14に巻回した
圧縮コイルばね30が収納されている。それ故、ピンプ
ローブ14はばね力を受け、その先端は通常矢印で示す
一方向に後退している。そして、シリンダケース28の
エアポート32から圧縮空気を入れた時のみ反対の矢印
方向に突出する。なお、ピンプローブ14の中央部の後
端寄り位置にピストン34が固着し、後端には測定用の
リードワイヤ36が接続する。しかし、複動エアシリン
ダ24では圧縮コイルばねを用いず、シリンダケース3
8に2箇所圧縮空気を入れるエアポート40(40a、
40b)を設けている。それ故、圧縮空気を入れるエア
ポート40を切り換えることによりピンプローブ14を
突出、後退させることができる。又、押し出し吸引エア
シリンダ26でも圧縮コイルばねを用いないが、シリン
ダケース42に設けるエアポート44は1箇所である。
それ故、エアポート44から圧縮空気を入れるとピンプ
ローブ14は突出し、そのエアポート44から空気を吸
引するとピンプローブ14は後退する。なお、このよう
なピンプローブは油圧でも操作可能である。 【0010】通常、多ピンプローブユニット10はその
ベースブロック12を上昇端まで上昇させておき、各ピ
ンプローブ14を全て後退させておく。それ故、X−Y
ユニットを制御し、Z軸ユニットを移動して、多ピンプ
ローブユニット10を被検査基板の上方領域内の必要箇
所に適宜移動することができる。検査時には多ピンプロ
ーブユニット10のベースブロック12を先ず必要なだ
け下降する。すると、ベースブロック12をZ軸方向に
移動して、ベースブロック12の被検査基板面からの高
さを任意に選択できる。その後、5本のピンプローブ1
4をいずれも下方即ちZ軸方向に突出し、図1に示すよ
うに例えば基板面46にある対応する各測定点に接触す
る。 【0011】このように、被検査基板面46等を基準面
としてベースブロック12の高さを選び、各ピンプロー
ブ14を突出すると、実装部品のリードや基板のパター
ン上等にある対応する各測定点にピンプローブ14がそ
れぞれ接触するように、隣接する2本のピンプローブ1
4の先端面の距離をいずれもベースブロック12の高さ
に応じて等しく、例えば図6に示すように1,27mm
ピッチ、1.0mmピッチ、0.8mmピッチ、0.6
5mmピッチ等に選択できる。しかも、各ピンプローブ
14はいずれも単独でZ軸方向に突出、後退の制御がで
きるので、特に狭いピッチが必要な場合にはベースブロ
ック12の下降量を少なくし、ピンプローブ14を1本
おきに突出すると、0.4mmピッチの選択も可能にな
る。なお、図7は0.4mmピッチの場合における3本
のピンプローブ14a、c、eの基板面46に対する先
端部の接触状態を示す図である。 【0012】それ故、多ピンプローブユニット10を用
いると、突出させた隣接する2本のピンプローブ14の
先端間の距離(ピッチ)を任意に選択することが可能に
なり、図8に示すような多ピン(リード)48を有する
フラットパッケージIC50を検査する場合、隣接する
2本のピン48の間のピッチが0.3mm、0.4m
m、0.5mm、0.65mm、0.8mm、1.0m
m、1.27mm等であっても、5本のピンプローブ1
4を1度にその本数分に当る5本のピン48にそれぞれ
接触させて測定を行なえる。 【0013】又、図9に示すようなコンデンサや抵抗等
のチップ部品52に対しても、多ピンプローブユニット
に備え付けた例えば9本のピンプローブ54から最も適
切と思われるピンプローブ54a、iを選択し、チップ
部品52の両側にある半田付け箇所にそれぞれ接触させ
て測定できる。なお、チップ部品52の両側にある半田
付け箇所にそれぞれ接触させるため、図10に示すよう
に各側に対して複数本例えば2本ずつピンプローブ54
a、b、h、iを選択すると、1本ずつコンタクトミス
があっても測定を行なえる。更に、極小チップ部品の場
合には、多ピンプローブユニットのベースブロックの下
降量を少なくすれば、突出させた隣接する2本のピンプ
ローブの先端間の距離を小さくして、図11に示すよう
にチップ部品56の両側にある半田付け箇所にピンプロ
ーブ54a、iをそれぞれ接触させて測定を行なえる。
それ故、チップ部品に対しても大きな部品から小さな部
品まで対応可能になる。 【0014】又、図12に示すように4端子法によって
抵抗値の測定を行なう場合にも、多ピンプローブユニッ
トに備え付けた多数のピンプローブから最も適切と思わ
れる2本のピンプローブ58(58a、58b)を選ん
で、フラットパッケージIC60の1本のピン62にそ
れぞれ接触させ、更に2本のピンプローブ58(58
c、58d)を選んで、基板64のパターン66にそれ
ぞれ接触する。すると、素早くピン62とパターン66
に定電流を流し、電圧値を測定して抵抗値を算出し、半
田付け不良や足浮き等の判定を行なえる。 【0015】なお、検査終了後には多ピンプローブユニ
ット10の全てのピンプローブ14(54、58)を後
退(上昇)させた後に、ベースブロック12を上昇端ま
で上昇させておく。 【0016】 【発明の効果】以上説明した本発明によれば、多ピンプ
ローブユニットのベースをZ軸方向に移動させて、被検
査基板に対する位置を選び、更にZ軸方向に突出するピ
ンプローブを選んで、実装部品のリードや基板のパター
ン上等にある対応する各測定点にピンプローブの先端が
それぞれ接触するように、突出させた隣接する2本のピ
ンプローブの先端間の距離をいずれも選択できるため、
測定点の多い或いは大きさの異なる種々の実装部品等に
対応し易くなり、検査をスピード化できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用したX−Y方式インサーキットテ
スタのZ軸ユニットに備える多ピンプローブユニットの
5本のピンプローブの配置を示す正面図である。 【図2】同多ピンプローブユニットの駆動機構を示す側
面図である。 【図3】同ピンプローブ駆動用の押し出し単動エアシリ
ンダの構造を示す断面図である。 【図4】同ピンプローブ駆動用の複動エアシリンダの構
造を示す断面図である。 【図5】同ピンプローブ駆動用の押し出し吸引エアシリ
ンダの構造を示す断面図である。 【図6】同多ピンプローブユニットのベースブロックの
被検査基板に対する位置と突出した隣接する2本のピン
プローブの先端間の距離(ピッチ)例を示す図である。 【図7】0.4mmピッチの場合における3本のピンプ
ローブの基板面に対する先端部の接触状態を示す正面図
である。 【図8】測定点の多い実装部品例に当るフラットパッケ
ージICを示す平面図である。 【図9】実装した大きなチップ部品に対する多ピンプロ
ーブユニットに備え付けたピンプローブの接触状態を示
す正面図である。 【図10】同チップ部品の両側に2本ずつピンプローブ
を接触させる場合を示す正面図である。 【図11】実装した小さなチップ部品に対する多ピンプ
ローブユニットに備え付けたピンプローブの接触状態を
示す正面図である。 【図12】実装したフラットパッケージICに対する4
端子法による抵抗値の測定の場合における多ピンプロー
ブユニットに備え付けたピンプローブの接触状態を示す
正面図である。 【符号の説明】 10…多ピンプローブユニット 12…ベースブロック
14、54、58…ピンプローブ 16…モータ軸
18…タイミングベルト 20…連結部材 22…押し
出し単動シリンダ 24…複動シリンダ 26…押し出
し吸引シリンダ
スタのZ軸ユニットに備える多ピンプローブユニットの
5本のピンプローブの配置を示す正面図である。 【図2】同多ピンプローブユニットの駆動機構を示す側
面図である。 【図3】同ピンプローブ駆動用の押し出し単動エアシリ
ンダの構造を示す断面図である。 【図4】同ピンプローブ駆動用の複動エアシリンダの構
造を示す断面図である。 【図5】同ピンプローブ駆動用の押し出し吸引エアシリ
ンダの構造を示す断面図である。 【図6】同多ピンプローブユニットのベースブロックの
被検査基板に対する位置と突出した隣接する2本のピン
プローブの先端間の距離(ピッチ)例を示す図である。 【図7】0.4mmピッチの場合における3本のピンプ
ローブの基板面に対する先端部の接触状態を示す正面図
である。 【図8】測定点の多い実装部品例に当るフラットパッケ
ージICを示す平面図である。 【図9】実装した大きなチップ部品に対する多ピンプロ
ーブユニットに備え付けたピンプローブの接触状態を示
す正面図である。 【図10】同チップ部品の両側に2本ずつピンプローブ
を接触させる場合を示す正面図である。 【図11】実装した小さなチップ部品に対する多ピンプ
ローブユニットに備え付けたピンプローブの接触状態を
示す正面図である。 【図12】実装したフラットパッケージICに対する4
端子法による抵抗値の測定の場合における多ピンプロー
ブユニットに備え付けたピンプローブの接触状態を示す
正面図である。 【符号の説明】 10…多ピンプローブユニット 12…ベースブロック
14、54、58…ピンプローブ 16…モータ軸
18…タイミングベルト 20…連結部材 22…押し
出し単動シリンダ 24…複動シリンダ 26…押し出
し吸引シリンダ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平5−72231(JP,A)
特開 平6−58978(JP,A)
特開 平4−152281(JP,A)
特開 平5−215773(JP,A)
実開 昭62−24371(JP,U)
(58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名)
G01R 31/28 - 31/3193
G01R 1/06 - 1/073
G01R 31/26
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 X−Y方式により可動するZ軸ユニット
に、Z軸方向に可動可能に多ピンプローブユニットのベ
ースを設置し、そのベースに3本以上のピンプローブを
いずれも単独制御によりZ軸方向に可動可能に備え付け
てなるX−Y方式インサーキットテスタのZ軸ユニット
に備える多ピンプローブユニットにおいて、上記多ピン
プローブユニットのベースに備え付ける多数のピンプロ
ーブを扇状に並べて、それ等の隣接する2本のピンプロ
ーブをいずれも先端間の距離を短く、後端間の距離を長
く配置することを特徴とするX−Y方式インサーキット
テスタのZ軸ユニットに備える多ピンプローブユニッ
ト。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17213694A JP3460860B2 (ja) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | X−y方式インサーキットテスタのz軸ユニットに備える多ピンプローブユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17213694A JP3460860B2 (ja) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | X−y方式インサーキットテスタのz軸ユニットに備える多ピンプローブユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0815319A JPH0815319A (ja) | 1996-01-19 |
JP3460860B2 true JP3460860B2 (ja) | 2003-10-27 |
Family
ID=15936240
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17213694A Expired - Fee Related JP3460860B2 (ja) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | X−y方式インサーキットテスタのz軸ユニットに備える多ピンプローブユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3460860B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4897558B2 (ja) * | 2007-04-27 | 2012-03-14 | 日置電機株式会社 | プローブユニットおよび検査装置 |
JP5228610B2 (ja) * | 2008-05-09 | 2013-07-03 | 日本電産リード株式会社 | 基板検査治具 |
-
1994
- 1994-06-29 JP JP17213694A patent/JP3460860B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0815319A (ja) | 1996-01-19 |
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