JPH0658955A - ４端子抵抗測定用プローブヘッド - Google Patents
４端子抵抗測定用プローブヘッドInfo
- Publication number
- JPH0658955A JPH0658955A JP4210578A JP21057892A JPH0658955A JP H0658955 A JPH0658955 A JP H0658955A JP 4210578 A JP4210578 A JP 4210578A JP 21057892 A JP21057892 A JP 21057892A JP H0658955 A JPH0658955 A JP H0658955A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probes
- probe
- pair
- probe head
- insulating plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 プリント配線基板などの抵抗測定を４端子法
で行う際に用いる４端子抵抗測定用プローブヘッドに関
し、被測定基板が表面に凹凸を有してもまた高密度化さ
れている場合でも測定を可能にさせることを目的とす
る。 【構成】 一方を電流供給用にし他方を電圧測定用にす
る対のプローブ１Ａと１Ｂを有し、該対のブローブの各
々は、長手方向に沿った平面を有して先端を尖らせた線
状の導電性弾性体であり、該対のプローブの先端側は、
該平面同士が絶縁されて滑動可能に対向して両プローブ
の先端が揃い、第１絶縁板２の孔２ａを貫通して、各ブ
ローブの先端が孔２ａに沿った方向に移動可能であり、
該対のプローブの基部側は、両プローブの間が各々のプ
ローブの中間の異なった位置での同方向への曲げ５によ
り離間されて、各プローブの基部が第２絶縁板３に固定
されており、第１絶縁板２と第２絶縁板３が相互に固定
されているように構成する。
で行う際に用いる４端子抵抗測定用プローブヘッドに関
し、被測定基板が表面に凹凸を有してもまた高密度化さ
れている場合でも測定を可能にさせることを目的とす
る。 【構成】 一方を電流供給用にし他方を電圧測定用にす
る対のプローブ１Ａと１Ｂを有し、該対のブローブの各
々は、長手方向に沿った平面を有して先端を尖らせた線
状の導電性弾性体であり、該対のプローブの先端側は、
該平面同士が絶縁されて滑動可能に対向して両プローブ
の先端が揃い、第１絶縁板２の孔２ａを貫通して、各ブ
ローブの先端が孔２ａに沿った方向に移動可能であり、
該対のプローブの基部側は、両プローブの間が各々のプ
ローブの中間の異なった位置での同方向への曲げ５によ
り離間されて、各プローブの基部が第２絶縁板３に固定
されており、第１絶縁板２と第２絶縁板３が相互に固定
されているように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線基板など
の抵抗測定を４端子法で行う際に用いる４端子抵抗測定
用プローブヘッドに関する。
の抵抗測定を４端子法で行う際に用いる４端子抵抗測定
用プローブヘッドに関する。
【０００２】近年、プリント配線基板では、高密度化が
進み、また布線間の信号伝播における速度に多大の影響
を与える導体抵抗の精密な測定が必要となっている。こ
のため、被測定基板の表面形状に左右されず的確に接触
でき、また高密度化された基板に対しても対応が可能な
構造を持つ４端子抵抗測定用プローブヘッドが要求され
ている。
進み、また布線間の信号伝播における速度に多大の影響
を与える導体抵抗の精密な測定が必要となっている。こ
のため、被測定基板の表面形状に左右されず的確に接触
でき、また高密度化された基板に対しても対応が可能な
構造を持つ４端子抵抗測定用プローブヘッドが要求され
ている。
【０００３】
【従来の技術】導体抵抗の測定に用いる従来のプローブ
には、スプリングコンタクトプローブやプローブカード
などが用いられていた。
には、スプリングコンタクトプローブやプローブカード
などが用いられていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ス
プリングコンタクトプローブでは、２端子法で測定する
場合は被測定物とプローブ先端の接触抵抗のばらつきに
より測定精度が悪く、また４端子法で測定する場合は１
箇所に２本のプローブが必要であり、高密度基板の微小
導体に２本のプローブを接触させることが困難であるな
どの問題があった。また、プローブカードでは、高密度
にプローブを配置することが困難であり、然も加圧方向
のストロークが少ないため基板表面の凹凸に対して接触
良好とならないといった問題があった。
プリングコンタクトプローブでは、２端子法で測定する
場合は被測定物とプローブ先端の接触抵抗のばらつきに
より測定精度が悪く、また４端子法で測定する場合は１
箇所に２本のプローブが必要であり、高密度基板の微小
導体に２本のプローブを接触させることが困難であるな
どの問題があった。また、プローブカードでは、高密度
にプローブを配置することが困難であり、然も加圧方向
のストロークが少ないため基板表面の凹凸に対して接触
良好とならないといった問題があった。
【０００５】本発明は、プリント配線基板などの抵抗測
定を４端子法で行う際に用いる４端子抵抗測定用プロー
ブヘッドに関し、被測定基板が表面に凹凸を有してもま
た高密度化されている場合でも測定を可能にさせる４端
子抵抗測定用プローブヘッドの提供を目的とする。
定を４端子法で行う際に用いる４端子抵抗測定用プロー
ブヘッドに関し、被測定基板が表面に凹凸を有してもま
た高密度化されている場合でも測定を可能にさせる４端
子抵抗測定用プローブヘッドの提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による４端子抵抗測定用プローブヘッドは、
一方を電流供給用にし他方を電圧測定用にする対のプロ
ーブを有し、該対のブローブのそれぞれは、長手方向に
沿った平面を有して先端を尖らせた線状の導電性弾性体
であり、該対のプローブの先端側は、該平面同士が絶縁
膜の介在により絶縁されて滑動可能に対向して両プロー
ブの先端が揃い、その対向形態で第１絶縁板の孔を貫通
して、それぞれのブローブの先端が該孔に沿った方向に
移動可能であり、該対のプローブの基部側は、両プロー
ブの間がそれぞれのプローブの中間の異なった位置での
同方向への曲げにより離間されて、その離間形態でそれ
ぞれのプローブの基部が第２絶縁板に固定されており、
該第１絶縁板と該第２絶縁板が相互に固定されているこ
とを特徴としている。
に、本発明による４端子抵抗測定用プローブヘッドは、
一方を電流供給用にし他方を電圧測定用にする対のプロ
ーブを有し、該対のブローブのそれぞれは、長手方向に
沿った平面を有して先端を尖らせた線状の導電性弾性体
であり、該対のプローブの先端側は、該平面同士が絶縁
膜の介在により絶縁されて滑動可能に対向して両プロー
ブの先端が揃い、その対向形態で第１絶縁板の孔を貫通
して、それぞれのブローブの先端が該孔に沿った方向に
移動可能であり、該対のプローブの基部側は、両プロー
ブの間がそれぞれのプローブの中間の異なった位置での
同方向への曲げにより離間されて、その離間形態でそれ
ぞれのプローブの基部が第２絶縁板に固定されており、
該第１絶縁板と該第２絶縁板が相互に固定されているこ
とを特徴としている。
【０００７】
【作用】一方を電流供給用にし他方を電圧測定用にする
対のプローブが上記のように構成されるので、電流供給
用の先端と電圧測定用の先端を接近させることができ
て、微小導体に対して両先端を接触させることが可能と
なる。また、各プローブの基部側の撓みによりそれぞれ
の先端の加圧ストロークを大きくとることができて、被
測定基板の表面形状に左右されることなく各先端を導体
に良好に接触させることが可能となる。
対のプローブが上記のように構成されるので、電流供給
用の先端と電圧測定用の先端を接近させることができ
て、微小導体に対して両先端を接触させることが可能と
なる。また、各プローブの基部側の撓みによりそれぞれ
の先端の加圧ストロークを大きくとることができて、被
測定基板の表面形状に左右されることなく各先端を導体
に良好に接触させることが可能となる。
【０００８】このことにより本プローブヘッドは、被測
定基板が表面に凹凸を有してもまた高密度化されている
場合でも、４端子法による測定を可能にさせる。
定基板が表面に凹凸を有してもまた高密度化されている
場合でも、４端子法による測定を可能にさせる。
【０００９】
【実施例】以下本発明の実施例について図１、図２を用
いて説明する。図１は実施例１の側面図であり、図２は
実施例２の側面図である。
いて説明する。図１は実施例１の側面図であり、図２は
実施例２の側面図である。
【００１０】図１において、１Ａと１Ｂは一方を電流供
給用にし他方を電圧測定用にする対のプローブ、２は第
１絶縁板、３は第２絶縁板、４はパイプ、である。対の
プローブ１Ａと１Ｂのそれぞれは、長手方向に沿った平
面を有して先端を尖らした線状の導電性弾性体であり、
ここでは、断面形状が半円であり、材料がベリリウム銅
（ＢｅＣｕ）である。断面形状は半円でなくとも良く、
材料もベリリウム銅に限定する必要はない。
給用にし他方を電圧測定用にする対のプローブ、２は第
１絶縁板、３は第２絶縁板、４はパイプ、である。対の
プローブ１Ａと１Ｂのそれぞれは、長手方向に沿った平
面を有して先端を尖らした線状の導電性弾性体であり、
ここでは、断面形状が半円であり、材料がベリリウム銅
（ＢｅＣｕ）である。断面形状は半円でなくとも良く、
材料もベリリウム銅に限定する必要はない。
【００１１】対のプローブ１Ａと１Ｂの先端側は、上記
平面同士が絶縁膜の介在により絶縁されて滑動可能に対
向して両プローブ１Ａ，１Ｂの先端が揃い、その対向形
態で第１絶縁板２の孔２ａを貫通して、それぞれのブロ
ーブ１Ａ，１Ｂの先端が孔２ａに沿った方向に移動可能
である。
平面同士が絶縁膜の介在により絶縁されて滑動可能に対
向して両プローブ１Ａ，１Ｂの先端が揃い、その対向形
態で第１絶縁板２の孔２ａを貫通して、それぞれのブロ
ーブ１Ａ，１Ｂの先端が孔２ａに沿った方向に移動可能
である。
【００１２】対のプローブの１Ａと１Ｂ基部側は、両プ
ローブ１Ａ，１Ｂの間がそれぞれのプローブ１Ａ，１Ｂ
の中間の異なった位置での同方向へのＬ字状な曲げ５に
より離間されて、その離間形態でそれぞれのプローブ１
Ａ，１Ｂの基部がパイプ４に嵌められて第２絶縁板３に
固定されている。
ローブ１Ａ，１Ｂの間がそれぞれのプローブ１Ａ，１Ｂ
の中間の異なった位置での同方向へのＬ字状な曲げ５に
より離間されて、その離間形態でそれぞれのプローブ１
Ａ，１Ｂの基部がパイプ４に嵌められて第２絶縁板３に
固定されている。
【００１３】プローブ１Ａと１Ｂの間を絶縁する上記絶
縁膜は、プローブ１Ａ，１Ｂの先端部分から曲げ５の部
分までを絶縁コーティングした膜でなり、パイプ４は、
導電体からなり、プローブ１Ａまたは１Ｂの曲げ５の部
位から基部の方に至る自由長を定める。
縁膜は、プローブ１Ａ，１Ｂの先端部分から曲げ５の部
分までを絶縁コーティングした膜でなり、パイプ４は、
導電体からなり、プローブ１Ａまたは１Ｂの曲げ５の部
位から基部の方に至る自由長を定める。
【００１４】そして第１の絶縁板２と第２の絶縁板３が
相互に固定されている。上述の構造では、プローブ１
Ａ，１Ｂは、それぞれ単独に、基部の固定に対して曲げ
５の部分が撓むことにより先端の加圧ストロークを大き
くとることができ、然も、両先端が接近している。ま
た、上記加圧ストロークに対するスチフネスは、先の自
由長に依存するのでパイプ４の長さにより加減すること
ができる。
相互に固定されている。上述の構造では、プローブ１
Ａ，１Ｂは、それぞれ単独に、基部の固定に対して曲げ
５の部分が撓むことにより先端の加圧ストロークを大き
くとることができ、然も、両先端が接近している。ま
た、上記加圧ストロークに対するスチフネスは、先の自
由長に依存するのでパイプ４の長さにより加減すること
ができる。
【００１５】このことからこのプローブヘッドは、使用
時に第１絶縁板２を被測定基板に対向接近させることに
より、微小導体に対してプローブ１Ａ，１Ｂの両先端を
接触させることが可能となり、また、被測定基板の表面
形状に左右されることなく各先端を導体に良好に接触さ
せることが可能となる。
時に第１絶縁板２を被測定基板に対向接近させることに
より、微小導体に対してプローブ１Ａ，１Ｂの両先端を
接触させることが可能となり、また、被測定基板の表面
形状に左右されることなく各先端を導体に良好に接触さ
せることが可能となる。
【００１６】実施例２を示す図２において、このプロー
ブヘッドは、被測定基板のプローブ接触箇所の配列に合
わせてプローブを配列した一例である。図中、６Ａと６
Ｂ，７Ａと７Ｂ，８Ａと８Ｂ，９Ａと９Ｂのそれぞれは
実施例１における対のプローブ１Ａと１Ｂに相当する対
のプローブ、１０及び１１は同じく第１絶縁板２及び第
２絶縁板３に相当する第１絶縁板及び第２絶縁板、１２
は同じくパイプ４に相当するパイプ、１３は同じく曲げ
５に相当する曲げ、１４及び１５は第１絶縁板１０と第
２絶縁板１１の相互間を固定する固定板、である。
ブヘッドは、被測定基板のプローブ接触箇所の配列に合
わせてプローブを配列した一例である。図中、６Ａと６
Ｂ，７Ａと７Ｂ，８Ａと８Ｂ，９Ａと９Ｂのそれぞれは
実施例１における対のプローブ１Ａと１Ｂに相当する対
のプローブ、１０及び１１は同じく第１絶縁板２及び第
２絶縁板３に相当する第１絶縁板及び第２絶縁板、１２
は同じくパイプ４に相当するパイプ、１３は同じく曲げ
５に相当する曲げ、１４及び１５は第１絶縁板１０と第
２絶縁板１１の相互間を固定する固定板、である。
【００１７】対のプローブ６Ａと６Ｂ〜９Ａと９Ｂは一
列に並び、その並びの組を９組並列させて、第１絶縁膜
１０から突出する各プローブ先端の配列を被測定基板の
プローブ接触箇所の配列に合わせてある。また、この先
端の配列が比較的に蜜なので、曲げ１３の曲げ角度を４
５度にして、第２絶縁膜１１におけるプローブ基部の配
列に無理が生じないようにしてある。
列に並び、その並びの組を９組並列させて、第１絶縁膜
１０から突出する各プローブ先端の配列を被測定基板の
プローブ接触箇所の配列に合わせてある。また、この先
端の配列が比較的に蜜なので、曲げ１３の曲げ角度を４
５度にして、第２絶縁膜１１におけるプローブ基部の配
列に無理が生じないようにしてある。
【００１８】そしてこの実施例２のプローブヘッドも、
対のプローブの両先端が接近しており、且つ各プローブ
が実施例１のプローブと同様に機能するので、実施例１
のプローブヘッドと同様に、被測定基板が表面に凹凸を
有してもまた高密度化されている場合でも４端子法によ
る測定を可能にさせる。
対のプローブの両先端が接近しており、且つ各プローブ
が実施例１のプローブと同様に機能するので、実施例１
のプローブヘッドと同様に、被測定基板が表面に凹凸を
有してもまた高密度化されている場合でも４端子法によ
る測定を可能にさせる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、プ
リント配線基板などの抵抗測定を４端子法で行う際に用
いる４端子抵抗測定用プローブヘッドに関し、被測定基
板が表面に凹凸を有してもまた高密度化されている場合
でも測定を可能にさせる４端子抵抗測定用プローブヘッ
ドが提供されて、高密度化されたプリント配線基板に対
する４端子法の測定を安定化させる効果がある。
リント配線基板などの抵抗測定を４端子法で行う際に用
いる４端子抵抗測定用プローブヘッドに関し、被測定基
板が表面に凹凸を有してもまた高密度化されている場合
でも測定を可能にさせる４端子抵抗測定用プローブヘッ
ドが提供されて、高密度化されたプリント配線基板に対
する４端子法の測定を安定化させる効果がある。
【図１】 実施例１の側面図
【図２】 実施例２の正面図と側面図
１Ａ，１Ｂ，６Ａ，６Ｂ〜９Ａ，９Ｂ プローブ ２，１０ 第１絶縁板 ２ａ 孔 ３，１１ 第２絶縁板 ４，１２ パイプ ５，１３ 曲げ １４，１５ 固定板
Claims (1)
- 【請求項１】 一方を電流供給用にし他方を電圧測定用
にする対のプローブを有し、 該対のブローブのそれぞれは、長手方向に沿った平面を
有して先端を尖らせた線状の導電性弾性体であり、 該対のプローブの先端側は、該平面同士が絶縁膜の介在
により絶縁されて滑動可能に対向して両プローブの先端
が揃い、その対向形態で第１絶縁板の孔を貫通して、そ
れぞれのブローブの先端が該孔に沿った方向に移動可能
であり、 該対のプローブの基部側は、両プローブの間がそれぞれ
のプローブの中間の異なった位置での同方向への曲げに
より離間されて、その離間形態でそれぞれのプローブの
基部が第２絶縁板に固定されており、 該第１絶縁板と該第２絶縁板が相互に固定されているこ
とを特徴とする４端子抵抗測定用プローブヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21057892A JP3190128B2 (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | ４端子抵抗測定用プローブヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21057892A JP3190128B2 (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | ４端子抵抗測定用プローブヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0658955A true JPH0658955A (ja) | 1994-03-04 |
| JP3190128B2 JP3190128B2 (ja) | 2001-07-23 |
Family
ID=16591635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21057892A Expired - Lifetime JP3190128B2 (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | ４端子抵抗測定用プローブヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3190128B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995023979A1 (en) * | 1994-03-02 | 1995-09-08 | Industrial Research Limited | A resistance network |
| JP2004077191A (ja) * | 2002-08-12 | 2004-03-11 | Micronics Japan Co Ltd | 電気的接続装置 |
| WO2006003722A1 (ja) * | 2004-07-05 | 2006-01-12 | Kabushiki Kaisha Nihon Micronics | 接触子ブロック及び電気的接続装置 |
| JP2008076268A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Nidec-Read Corp | 検査用治具 |
| KR100830352B1 (ko) * | 2006-12-21 | 2008-05-19 | 주식회사 파이컴 | 프로브 팁, 프로브 카드, 프로브 팁 제조 방법 및 프로브구조물 제조 방법 |
| KR100852625B1 (ko) * | 2006-12-04 | 2008-08-18 | 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 | 접촉자 블록 및 전기적 접속장치 |
-
1992
- 1992-08-07 JP JP21057892A patent/JP3190128B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995023979A1 (en) * | 1994-03-02 | 1995-09-08 | Industrial Research Limited | A resistance network |
| US5867018A (en) * | 1994-03-02 | 1999-02-02 | Industrial Research Limited | High accuracy four-terminal standard resistor for use in electrical metrology |
| JP2004077191A (ja) * | 2002-08-12 | 2004-03-11 | Micronics Japan Co Ltd | 電気的接続装置 |
| WO2006003722A1 (ja) * | 2004-07-05 | 2006-01-12 | Kabushiki Kaisha Nihon Micronics | 接触子ブロック及び電気的接続装置 |
| JPWO2006003722A1 (ja) * | 2004-07-05 | 2008-04-17 | 株式会社日本マイクロニクス | 接触子ブロック及び電気的接続装置 |
| US7404719B2 (en) | 2004-07-05 | 2008-07-29 | Kabushiki Kaisha Nihon Micronics | Contact block and electrical connecting apparatus |
| JP4571640B2 (ja) * | 2004-07-05 | 2010-10-27 | 株式会社日本マイクロニクス | 接触子ブロック及び電気的接続装置 |
| JP2008076268A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Nidec-Read Corp | 検査用治具 |
| KR100852625B1 (ko) * | 2006-12-04 | 2008-08-18 | 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 | 접촉자 블록 및 전기적 접속장치 |
| KR100830352B1 (ko) * | 2006-12-21 | 2008-05-19 | 주식회사 파이컴 | 프로브 팁, 프로브 카드, 프로브 팁 제조 방법 및 프로브구조물 제조 방법 |
| WO2008075918A1 (en) * | 2006-12-21 | 2008-06-26 | Phicom Corporation | Probe tip, probe card, method of manufacturing a probe tip and method of manufacturing a probe structure |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3190128B2 (ja) | 2001-07-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4884842B2 (ja) | 差動測定プローブ | |
| US6160412A (en) | Impedance-matched interconnection device for connecting a vertical-pin integrated circuit probing device to integrated circuit test equipment | |
| US4871964A (en) | Integrated circuit probing apparatus | |
| US6462556B2 (en) | Circuit board testing apparatus and method | |
| US7397255B2 (en) | Micro Kelvin probes and micro Kelvin probe methodology | |
| JPH0658955A (ja) | ４端子抵抗測定用プローブヘッド | |
| JP2799973B2 (ja) | 垂直作動式プローブカード | |
| JPH05215773A (ja) | 多点測定用導電性接触子ユニット | |
| US4164622A (en) | Graphical input apparatus for electrical equipment | |
| TW200819755A (en) | Electronic component inspection probe | |
| US4812745A (en) | Probe for testing electronic components | |
| JP4024023B2 (ja) | 電子部品測定装置及び方法 | |
| US6034534A (en) | Laminated contact probe for inspection of ultra-microscopic pitch | |
| JP2606481Y2 (ja) | ファインピッチ用プローブユニット | |
| JP3190866B2 (ja) | 高周波プローブ及び高周波プローブを用いた測定方法 | |
| JPH07260825A (ja) | 信号測定用プローブ | |
| JP2001296314A (ja) | 同軸型コンタクトプローブ | |
| JP3005496U (ja) | 電気特性検査用プローブ | |
| JPH0622218Y2 (ja) | 半導体用プローブヘッド | |
| JPH0611464Y2 (ja) | 抵抗測定用プローブ | |
| JP2572932Y2 (ja) | 高周波測定プローブ | |
| JPS5828360Y2 (ja) | Ｉｃクリツプ | |
| JPH112653A (ja) | プリント配線板の検査方法 | |
| CN201130193Y (zh) | 一种测试电路板上邻近测试点的辅助工具 | |
| JP3018248U (ja) | 検査用プローブ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080518 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090518 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090518 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100518 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100518 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110518 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130518 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130518 Year of fee payment: 12 |