JPH0611464Y2 - 抵抗測定用プローブ - Google Patents
抵抗測定用プローブInfo
- Publication number
- JPH0611464Y2 JPH0611464Y2 JP1987181944U JP18194487U JPH0611464Y2 JP H0611464 Y2 JPH0611464 Y2 JP H0611464Y2 JP 1987181944 U JP1987181944 U JP 1987181944U JP 18194487 U JP18194487 U JP 18194487U JP H0611464 Y2 JPH0611464 Y2 JP H0611464Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- main body
- pin
- electrode
- probe pin
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は抵抗測定用プローブに関し、特に低抵抗測定時
に有効な四端子法に使用される抵抗測定用プローブに関
するものである。
に有効な四端子法に使用される抵抗測定用プローブに関
するものである。
電気回路において低抵抗を精度よく測定する方法とし
て、第4図に示すように定電流源1により電流供給用プ
ローブ2を介して被測定抵抗3に定電流を流し、電圧測
定用プローブ4により被測定抵抗3の両端の電位差を電
圧測定器5に送り測定した電圧により抵抗値を算出する
四端子法が知られている。そして、このような測定を行
うために、従来においては、第5図に示すように、一対
の抵抗測定用プローブを用い、これらを幅方向に間隔を
おいてプローブカード6上に実装し、一方を電流供給用
電極7に接続することによって電流供給用プローブ2と
し、他方を電圧測定用電極8に接続することによって電
圧測定用プローブ4としている。そして、電流供給用プ
ローブ2および電圧測定用プローブ4に先端部に接続さ
れたプローブピン9,9を被測定用電極10に接触させ
て抵抗を測定していた。
て、第4図に示すように定電流源1により電流供給用プ
ローブ2を介して被測定抵抗3に定電流を流し、電圧測
定用プローブ4により被測定抵抗3の両端の電位差を電
圧測定器5に送り測定した電圧により抵抗値を算出する
四端子法が知られている。そして、このような測定を行
うために、従来においては、第5図に示すように、一対
の抵抗測定用プローブを用い、これらを幅方向に間隔を
おいてプローブカード6上に実装し、一方を電流供給用
電極7に接続することによって電流供給用プローブ2と
し、他方を電圧測定用電極8に接続することによって電
圧測定用プローブ4としている。そして、電流供給用プ
ローブ2および電圧測定用プローブ4に先端部に接続さ
れたプローブピン9,9を被測定用電極10に接触させ
て抵抗を測定していた。
しかしながら、従来のこの種の抵抗測定用プローブにお
いては、四端子法に使用する場合、一つの被測定用電極
に対して二本の抵抗測定用プローブを設けなければなら
ないために、プローブカード作成に時間がかかるだけで
なく、実装密度が向上できないという不具合があった。
また、被測定用電極に互いに離間している二本のプロー
ブピンを同時に接触させる関係上、被測定用電極の面積
をある程度大きくする必要があり、パターン設計を行う
上で自由度が制限されるという不都合もあった。
いては、四端子法に使用する場合、一つの被測定用電極
に対して二本の抵抗測定用プローブを設けなければなら
ないために、プローブカード作成に時間がかかるだけで
なく、実装密度が向上できないという不具合があった。
また、被測定用電極に互いに離間している二本のプロー
ブピンを同時に接触させる関係上、被測定用電極の面積
をある程度大きくする必要があり、パターン設計を行う
上で自由度が制限されるという不都合もあった。
本考案はこのような事情に鑑みなされたもので、その目
的はプローブカードの作成時間が短縮でき、しかも被測
定用電極が大きくなるのを抑えてパータン設計の自由度
が制限されるのを抑えることができる抵抗測定用プロー
ブを提供するものである。本考案に係る抵抗測定用プロ
ーブは、プローブ本体を電流供給用プローブ本体および
電圧測定用プローブ本体を絶縁体を介して厚さ方向に積
層して構成し、プローブピンを円筒状の外プローブピン
に内プローブピンを弾性を有する絶縁体を介して挿入し
て構成し、各プローブピンを各別にプローブ本体に接続
したものである。
的はプローブカードの作成時間が短縮でき、しかも被測
定用電極が大きくなるのを抑えてパータン設計の自由度
が制限されるのを抑えることができる抵抗測定用プロー
ブを提供するものである。本考案に係る抵抗測定用プロ
ーブは、プローブ本体を電流供給用プローブ本体および
電圧測定用プローブ本体を絶縁体を介して厚さ方向に積
層して構成し、プローブピンを円筒状の外プローブピン
に内プローブピンを弾性を有する絶縁体を介して挿入し
て構成し、各プローブピンを各別にプローブ本体に接続
したものである。
本考案においては、1個の抵抗測定用プローブにおい
て、2系統の電気的導通路が形成されるようになる。
て、2系統の電気的導通路が形成されるようになる。
以下、本考案に一実施例を図により詳細に説明する。第
1図は本考案に係る抵抗測定用プローブを示す斜視図、
第2図はプローブピンを示す縦断面図、第3図はプロー
ブピンとプローブ本体との接続部を示す横断面図であ
り、第1図において6はプローブカード、10は被測定
用電極である。これら部材は従来のものと何ら変わると
ころがなく、プローブカード6には電流供給用電極7お
よび電圧測定用電極8が設けられている。
1図は本考案に係る抵抗測定用プローブを示す斜視図、
第2図はプローブピンを示す縦断面図、第3図はプロー
ブピンとプローブ本体との接続部を示す横断面図であ
り、第1図において6はプローブカード、10は被測定
用電極である。これら部材は従来のものと何ら変わると
ころがなく、プローブカード6には電流供給用電極7お
よび電圧測定用電極8が設けられている。
11は抵抗測定用プローブであり、L字状に形成されプ
ローブカード6に実装されるプローブ本体12と、この
プローブ本体12の先端部に半田付け部13によって接
続され被測定側としての被測定用電極10に接触するプ
ローブピン14とから構成されている。プローブ本体1
2は電流供給用電極7に接続された電流供給用プローブ
本体15および電圧測定用電極8に接続された電圧測定
用プローブ本体16からなり、これら部材は絶縁体17
を介して厚さ方向に積層されている。プローブピン14
は円筒状に形成された外プローブピン21およびこの外
プローブピン21の内孔に弾性を有する絶縁体22を介
して挿入された内プローブピン23とからなり、略L字
状に折り曲げられている。ここで、プローブピン14の
先端面は外プローブピン21の先端面と内プローブピン
23の先端面が一平面をなすか、あるいは内プローブピ
ン23の先端が僅かに突出するように形成されている。
これは内外プローブピンを同時に被測定用電極10に接
触させるためである。これらのプローブピンの接触性を
良くするためには、内プローブピン23の先端部を僅か
に突出させるのが好ましい。一方、プローブピン14の
基端部は、内プローブピン23が外プローブピン21か
ら突出されており、ここに外プローブピン21の外径と
略等しい外径を有する接続部23aが設けられている。
そして、第3図に示すように接続部23aは電圧測定用
プローブ本体16の先端部前記半田付け部13によって
接続されている。また外プローブピン21の基端部は電
流供給用プローブ本体15に接続されている。
ローブカード6に実装されるプローブ本体12と、この
プローブ本体12の先端部に半田付け部13によって接
続され被測定側としての被測定用電極10に接触するプ
ローブピン14とから構成されている。プローブ本体1
2は電流供給用電極7に接続された電流供給用プローブ
本体15および電圧測定用電極8に接続された電圧測定
用プローブ本体16からなり、これら部材は絶縁体17
を介して厚さ方向に積層されている。プローブピン14
は円筒状に形成された外プローブピン21およびこの外
プローブピン21の内孔に弾性を有する絶縁体22を介
して挿入された内プローブピン23とからなり、略L字
状に折り曲げられている。ここで、プローブピン14の
先端面は外プローブピン21の先端面と内プローブピン
23の先端面が一平面をなすか、あるいは内プローブピ
ン23の先端が僅かに突出するように形成されている。
これは内外プローブピンを同時に被測定用電極10に接
触させるためである。これらのプローブピンの接触性を
良くするためには、内プローブピン23の先端部を僅か
に突出させるのが好ましい。一方、プローブピン14の
基端部は、内プローブピン23が外プローブピン21か
ら突出されており、ここに外プローブピン21の外径と
略等しい外径を有する接続部23aが設けられている。
そして、第3図に示すように接続部23aは電圧測定用
プローブ本体16の先端部前記半田付け部13によって
接続されている。また外プローブピン21の基端部は電
流供給用プローブ本体15に接続されている。
したがって、このように構成された抵抗測定用プローブ
においては、プローブピン14を被測定用電極10に接
触させると、電流供給用プローブ本体15および外プロ
ーブピン21を介して定電流が被測定抵抗に供給される
ようになると共に、被測定抵抗によって生ずる電位差を
内プローブピン23および電圧測定用プローブ本体16
を介して測定することができる。すなわち、1個の抵抗
測定用プローブによって、2系統の電気的導通路を形成
することができる。
においては、プローブピン14を被測定用電極10に接
触させると、電流供給用プローブ本体15および外プロ
ーブピン21を介して定電流が被測定抵抗に供給される
ようになると共に、被測定抵抗によって生ずる電位差を
内プローブピン23および電圧測定用プローブ本体16
を介して測定することができる。すなわち、1個の抵抗
測定用プローブによって、2系統の電気的導通路を形成
することができる。
したがって、四端子法によって低抵抗測定を行う場合で
あっても1個の抵抗測定用プローブ11をプローブカー
ド6に実装することによって、被測定用電極10との電
気的接続を行うことができる。その結果、従来のように
2個の抵抗測定用プローブを用いる構造に比較して、プ
ローブカード6への実装が簡単になりしかも実装面積を
削減することができる。さらに、プローブピン14の被
測定用電極10との接触面積も1個のプローブピンを使
用する場合に比較してそれほど大きくする必要がなく、
被測定用電極10を二端子法に使用する電極と略等しい
大きさにまで小さくすることができる。
あっても1個の抵抗測定用プローブ11をプローブカー
ド6に実装することによって、被測定用電極10との電
気的接続を行うことができる。その結果、従来のように
2個の抵抗測定用プローブを用いる構造に比較して、プ
ローブカード6への実装が簡単になりしかも実装面積を
削減することができる。さらに、プローブピン14の被
測定用電極10との接触面積も1個のプローブピンを使
用する場合に比較してそれほど大きくする必要がなく、
被測定用電極10を二端子法に使用する電極と略等しい
大きさにまで小さくすることができる。
以上説明したように本考案によれば、プローブ本体を電
流供給用プローブ本体および電圧測定用プローブ本体を
絶縁体を介して厚さ方向に積層し構成し、プローブピン
を円筒状の外プローブピンに内プローブピンを弾性を有
する絶縁体を介して挿入して構成し、各プローブピンを
各別にプローブ本体に接続したから、1個の抵抗測定用
プローブによって、2系統の電気的導通路を形成するこ
とができる。
流供給用プローブ本体および電圧測定用プローブ本体を
絶縁体を介して厚さ方向に積層し構成し、プローブピン
を円筒状の外プローブピンに内プローブピンを弾性を有
する絶縁体を介して挿入して構成し、各プローブピンを
各別にプローブ本体に接続したから、1個の抵抗測定用
プローブによって、2系統の電気的導通路を形成するこ
とができる。
したがって、四端子法によって抵抗測定を行う場合であ
っても1個の抵抗測定用プローブをプローブカードに実
装すればよいから、プローブカードの作成時間を短縮す
ることができると共に実装密度が向上できる。また、被
測定用の電極も二端子法に使用する電極と略等しい大き
さにまで小さくすることができるから、電気回路の設計
パターンの自由度を制約するようなおそれもない。
っても1個の抵抗測定用プローブをプローブカードに実
装すればよいから、プローブカードの作成時間を短縮す
ることができると共に実装密度が向上できる。また、被
測定用の電極も二端子法に使用する電極と略等しい大き
さにまで小さくすることができるから、電気回路の設計
パターンの自由度を制約するようなおそれもない。
また、プローブ本体は、導体どうしを絶縁体を介して厚
み方向に積層させて形成したために可撓性を有しておら
ず、弾性を有する絶縁体を使用して形成されたプローブ
ピンが可撓性を有しているから、プローブ本体にプロー
ブピンを接続して一つのプローブを形成しても適正な針
圧が得られる。このため、被測定用電極とプローブ本体
支持部材とが大きく離間する場合であってもプローブピ
ンを不必要に長く形成しなくて済み、針圧を適正値に保
つことができる。
み方向に積層させて形成したために可撓性を有しておら
ず、弾性を有する絶縁体を使用して形成されたプローブ
ピンが可撓性を有しているから、プローブ本体にプロー
ブピンを接続して一つのプローブを形成しても適正な針
圧が得られる。このため、被測定用電極とプローブ本体
支持部材とが大きく離間する場合であってもプローブピ
ンを不必要に長く形成しなくて済み、針圧を適正値に保
つことができる。
第1図は本考案に係る抵抗測定用プローブを示す斜視
図、第2図はプローブピンを示す縦断面図、第3図はプ
ローブピンとプローブ本体との接続部を示す横断面図、
第4図は四端子法について説明するための電気回路図、
第5図は従来の抵抗測定用プローブを示す斜視図であ
る。 12……プローブ本体、14……プローブピン、15…
…電流供給用プローブ本体、16……電圧測定用プロー
ブ本体、21……外プローブピン、23……内プローブ
ピン。
図、第2図はプローブピンを示す縦断面図、第3図はプ
ローブピンとプローブ本体との接続部を示す横断面図、
第4図は四端子法について説明するための電気回路図、
第5図は従来の抵抗測定用プローブを示す斜視図であ
る。 12……プローブ本体、14……プローブピン、15…
…電流供給用プローブ本体、16……電圧測定用プロー
ブ本体、21……外プローブピン、23……内プローブ
ピン。
Claims (1)
- 【請求項1】プローブ本体に被測定側に接触されるプロ
ーブピンを接続した抵抗測定用プローブにおいて、プロ
ーブ本体を電流供給用プローブ本体および電圧測定用プ
ローブ本体から構成し、これらの部材を絶縁体を介して
厚さ方向に積層すると共に、プローブピンを円筒状の外
プローブピンおよびこれに弾性を有する絶縁体を介して
挿入された内プローブピンから構成し、これら内外プロ
ーブピンの一方を電流供給用プローブ本体に接続し他方
を電圧測定用プローブ本体に接続したことを特徴とする
抵抗測定用プローブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987181944U JPH0611464Y2 (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 | 抵抗測定用プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987181944U JPH0611464Y2 (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 | 抵抗測定用プローブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0187256U JPH0187256U (ja) | 1989-06-08 |
JPH0611464Y2 true JPH0611464Y2 (ja) | 1994-03-23 |
Family
ID=31473406
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987181944U Expired - Lifetime JPH0611464Y2 (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 | 抵抗測定用プローブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0611464Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5157426B2 (ja) * | 2007-12-27 | 2013-03-06 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 検査冶具及びそれを使用した静電容量測定方法 |
JP6046426B2 (ja) * | 2012-09-13 | 2016-12-14 | 日置電機株式会社 | 基板検査装置および基板検査方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5741169U (ja) * | 1980-08-20 | 1982-03-05 | ||
JPS5768046A (en) * | 1980-10-16 | 1982-04-26 | Nec Corp | Probe card |
JPS5997469U (ja) * | 1982-12-20 | 1984-07-02 | 株式会社東芝 | 半導体チツプ測定用探針 |
JPS62217165A (ja) * | 1986-03-19 | 1987-09-24 | Toshiba Corp | 検査用接触体 |
-
1987
- 1987-12-01 JP JP1987181944U patent/JPH0611464Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0187256U (ja) | 1989-06-08 |
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