JPS63154971A

JPS63154971A - 検査装置

Info

Publication number: JPS63154971A
Application number: JP61302944A
Authority: JP
Inventors: Takanobu Tawara; 田原　隆伸; Ryoji Azuma; 東　良治; Shoichi Abe; 正一阿部
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1986-12-19
Filing date: 1986-12-19
Publication date: 1988-06-28
Anticipated expiration: 2009-07-27
Also published as: JPH0656401B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）本発明は、所定ピッチで配列された測定ピンを備えたプ
リント基板検査装置と、所定ピッチ以外のピッチで配列
された接点を有するプリント基板との電気的接続を行な
うプリント基板検査治具に関する。

（従来の技術）従来、例えばＩＣ等の接点は、０，１インチ（２，５１
ｍｎ）の所定のピッチで形成されるよう規格化されてお
り、プリント基板の試＠測定を行なうプリント基板検査
装置には、この所定ピッチで多数の測定ピンが配列され
ている。

そして、このような所定ピンチ以外のピッチで接点を形
成されたプリント基板の試験測定を行なう場合は、例え
ば第５図に示すようなプリント基板検査治具を用いて試
験測定を行なっている。

このようなプリント基板検査治具は、基板検査装置に０
．１インチの所定ピッチで多数配列された測定用ピン１
のピッチで配列された多数の透孔２ａを有し、例えばア
クリル、ポリカーボネート等から構成されるピン側板部
材２と、ピン側板部材２の上方に配置され、プリント基
板３に形成された接点３ａの位置に対応して形成されな
透孔４ａを備え、例えばアクリル、ポリカーボネート等
から構成される基板側板部材４と、透孔２ａおよび透孔
４ａに挿入されるプリント基板検査治具用ピン５とから
構成されている。

なお、プリント基板検査治具用ピン５は、例えば長さ８
１．５ｍｎ、直径１．５５１１程度の一様な太さのピン
本体５ａからなり、上端部に、先端に突起状のデーパ部
を有し例えば長さ２．５１１Ｉｍ〜直径１　、９ｎｎ程
度の大径の基板側接続部５ｂを備え、反対側端部にテー
パ状に凹陥された測定ピン側接続部５ｃを備えな構成と
されている。

そして、プリント基板検査治具用ピン５は、基板側板部
材４の上方から透孔４ａに挿入され、透孔２ａに挿入さ
れる。このとき、大径の基板側接続部５ｂは、透孔４ａ
よつ大径とされており、例えばプリント基板検査治具を
持上げた時にこの基板側接続部５ｂが、基板側板部材４
上面に係止されて、プリント基板検査治具用ピン５の脱
落を防止している。

上記構成のプリント基板検査治具では、測定用ピン１の
ピッチと、プリント基板３に形成された接点３ａのピッ
チとが異なる場合でも、測定用ピン１と接点３ａとの間
にプリント基板検査治具用ピン５が斜めに配置されるこ
とにより、測定用ピン１と接点３ａとの電気的接続を行
い、測定可能とするものである。また、プリント基板検
査治具用ピン５は、容易に脱着が可能とされ、種類の異
なるプリント基板３の測定を行なう場合は、接点３ａに
対応した透孔４ａを備えた基板側板部材４のみを交換す
ることによって測定することができるよう構成されてい
る。

（発明が解決しようとする問題点）しかしながら近年は、高集積化のため、基板に形成され
る接点のピッチは、所定の基準ピッチより小さなピッチ
で形成される場合が多い。上記説明の従来のプリント基
板検査治具では、プリント基板検査治具用ピンの基板側
の端部に、基板側接触部および基板側板状部材に対する
係止機構を兼ねた大径の基板側接続部が形成されている
ため、隣接するこれらの基板側接続部が接触し、所定の
基準ピンチより小さなピンチで接点を形成された基板の
測定に限界が生じ、例えばピン本体および基板側接続部
を小径化しても、１．２７ｍ１程度のピッチまでしか測
定することができないという問題がある。

本発明は、かかる従来の事情に対処してなされたもので
、例えば１．２７１１ｎ未満の小さなピッチで接点を形
成された基板でも、試験測定を行なうことのできるプリ
ント基板検査治具を提供しようとするものである。

［発明の構成］（問題点を解決するための手段）すなわち本発明は、検査装置に所定ピッチで格子状に配
列された測定ピンと基板接点との電気的接続を行なうプ
リント基板検査治具において、前記測定ピンのピッチで
配列された多数の透孔を有する測定ピン側板状部材と、
基板の接点位置に対応して配列された透孔を有する基板
側板状部材と、前記基板側を小径部とされ前記測定ピン
側を大径部とされたピン本体および該ピン本体を前記ピ
ン側板状部材に着脱自在に係止する係止機構を有するプ
リント基板検査治具用ピンとを備えたことを特徴とする
。

（作　用）本発明のプリント基板検査治具では、プリント基板検査
治具用ピン本体の基板側が小径部とされ、大径な部位が
ないので、例えば、１．２７１１Ｆ未溝の小ピツチで接
点を形成された基板でも、隣接するプリント基板検査治
具用ピンが接触することがなく、試験測定を行なうこと
ができる。

（実施例）以下本発明のプリント基板検査用治具を図面を参照して
一実施例について説明する。

第２図に示すプリント基板検査治具用ピン１０は、例え
ばＢｅＣｕ等からなり、表面に例えばＮｉ、　Ｒｈ等の
メッキ処理が施されたピン本体１１と、このピン本体１
１かられずかに突出する係止ａ楕１２とから構成されて
いる。

ピン本体１１は、全長例えば８２゜５１１１とされ、上
端から例えば４２．５１Ｉｌ程度が直径例えば０．７７
ｎｒｘの小径部１１ａとされ、下端から例えば２１．５
ｍｍが直径例えば１．５５ｎ＋ｎの大径部１１ｂとされ
、この間で小径部１１ａから大径部１１ｂへ向けて徐々
に大径とされている。また、小径部１１ａの先端には、
例えば９０度等のテーバ状に突出する基板側接続部１１
ｃが形成されており、反対側の大径部１１ｂの先端には
、外周部直径が例えば１．８ＩＩ１１とされ、内側に例
えば直径１．４ｎｉ、９０度等のテーバ状に凹陥された
測定ピン側接続部ｌｉｄが形成されている。

また、係止ｔａ構１２は、ピン本体１１下端から例えば
１０１１１の位置に幅３ｍｌに渡って例えばローレット
加工によって形成された突出部から構成され、その外周
直径は、例えば１．７７１ｎ程度とされている。

上記構成のプリント基板検査治具用ピン１０は、第１図
に示すプリント基板検査治具１５に配置される。

プリント基板検査治具１５は、板検査装置に０看インチ
の所定ピッチで多数配列された測定用ピン１６のピッチ
で配列された多数の透孔１７ａを有し、例えばアクリル
、ポリカーボネート等がら構成されるピン側板部材１７
と、ピン側板部材１７の上方に配置され、プリント基板
１８に形成された接点１８ａの位置に対応して形成され
た透孔１９ａを備え、例えばアクリル、ポリカーボネー
ト等から構成される基板側板部材１９を備えている。な
お、透孔１７ａは一様に直径１．７５１ｎとされており
、透孔１９ａの直径は接点１８ａのピッチにより異なり
、少なくとも、プリント基板検査治具用ピン１０が配置
される部分の透孔１９ａは、直径０．９７ｉｎとされて
いる。

そして、プリント基板検査治具用ピン１０は、ピン側板
部材１７の下方から透孔１７ａ内に挿入され、透孔１７
ａに対応する透孔１９ａに挿入される。この時、係止機
構１２は、透孔１７ａよりわずかに突出しているため、
プリント基板検査治具用ピン１０の下部を押圧すること
により透孔１７ａを貫通するように挿入され、挿入後は
、ピン側板部材１７の上面に係止されて、プリント基板
検査治具用ピン１ｏのプリント基板検査治具１５からの
脱落を防止する。また、同様にして上部から押圧するこ
とによって、プリント基板検査治具１５から取り外すこ
とができる。

こうして、プリント基板検査治具１５に配置されたプリ
ント基板検査治具用ピン１０は、透孔１７ａと透孔１９
ａとの間に斜めに配置されるとともに、主に小径部１１
ａの部分で撓み、測定用ピン１６と接点１８ａとの電気
的接続を行い、基板１８の試験測定が行なわれる。

上記構成のこの実施例のプリント基板検査治具１５では
、基板側接続部に大径な部位がないため、例えば１．２
７ｎｎ未溝の少ピンチで接点１８ａを形成された基板１
８でも、隣接するプリント基板検査治具用ピン１０が接
触することがなく、試験測定を行なうことができる。

なお、第３図ないし第４図に示すように、測定ピン側接
続部ｌｉｄを、外側部が先端部へ向けて小径とされ、内
側部がテーバ状に凹陥された形状とすることにより、測
定装置の測定ピン先端が、突出した形状とされたもので
も、凹陥された形状とされたものでも、どちらの形状の
ものにでも使。

用することができる。また係止部１２は、ローレット加
工により形成したが、例えばピン本体に清を形成し、こ
の溝にＯリング等を配置して構成してもよい。

［発明の効果コ上述のように、本発明のプリント基板検査治具では、例
えば１．２７ｉＩ１未満の小さなピッチで接点を形成さ
れた基板でも、試験測定を行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のプリント基板検査治具を示
す縦断面図、第２図はプリント基板検査治具用ピンを示
す側面図、第３図ないし第４図は第２図に示すプリント
基板検査治具用ピンの変型例の要部を示す側面図、第５
図は従来のプリント基板検査治具を示す縦断面図である
。１０・・・・・・プリント基板検査治具用ピン、１１・
・・・・・ピン本体、ｌｌａ・・・・・・小径部、ｌｌ
ｂ・・・・・・大径部、１２・・・・・・係止機構、１
う・・・・・・プリント基板検査治具、１６・・・・・
・測定ピン、１７・・・・・・ピン側板部材、１７ａ・
・・・・・透孔、１８・・・・・・プリント基板、１８
ａ・・・・・・接点、１９・・・・・・基板側板部材、
１９ａ・・・・・・透孔。出願人　　東京エレクトロン株式会社代理人　弁理士　　須　山　佐　− 第１図第□２図菓５図手続補正＠（自発）昭和　６゛咋１１１、事件の表示　　　　メンーＥｏ２フｆｒ昭和６１年
１２月１９日付差出の特許層（２）事件との関係・特許
出願人東京エレクトロン株式会社４、代理人　〒１０１東京都千代田区神田多町２丁目１番地５、補正の対象明細書の発明の詳細な説明の欄および図面。 ′６．補正の内容（１）明細書筒７頁２０行目「形成された突出部から構
成され、」を［形成され、６本〜１０本程度の縦方向の
溝を有する突出部から構成され、」と補正する。（２）図面の第２図を別紙の通り補正する。以上１ｂ１Ｃ」１Ｌ・

Claims

【特許請求の範囲】

（１）検査装置に所定ピッチで格子状に配列された測定
ピンと基板接点との電気的接続を行なうプリント基板検
査治具において、前記測定ピンのピッチで配列された多
数の透孔を有する測定ピン側板状部材と、基板の接点位
置に対応して配列された透孔を有する基板側板状部材と
、前記基板側を小径部とされ前記測定ピン側を大径部と
されたピン本体および該ピン本体を前記ピン側板状部材
に着脱自在に係止する係止機構を有するプリント基板検
査治具用ピンとを備えたことを特徴とするプリント基板
検査治具。
（２）ピン本体は、小径部から大径部へ向けて徐々に大
径とされた特許請求の範囲第１項記載のプリント基板検
査治具。
（３）大径部先端は、外側部が先端部へ向けて小径とさ
れ、内側部がテーパ状に凹陥された形状である特許請求
の範囲第１項記載のプリント基板検査治具。