JPH06323868A - スケール装置 - Google Patents
スケール装置Info
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- JPH06323868A JPH06323868A JP5111462A JP11146293A JPH06323868A JP H06323868 A JPH06323868 A JP H06323868A JP 5111462 A JP5111462 A JP 5111462A JP 11146293 A JP11146293 A JP 11146293A JP H06323868 A JPH06323868 A JP H06323868A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
- G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 薄板状スケール１をスケールベース２に確実
に固定すること、及びそれを安価に行なうこと。 【構成】 薄板状スケール１をスケールベース２の上に
置き、溶接によって固定する。スケール１が磁気スケー
ルでスケールベースが磁性体のときは、スケール上の磁
気目盛の付された部分にはスケールベースが直接接触し
ないように凹部を設け、さらには、その凹部を非磁性材
で埋める。
に固定すること、及びそれを安価に行なうこと。 【構成】 薄板状スケール１をスケールベース２の上に
置き、溶接によって固定する。スケール１が磁気スケー
ルでスケールベースが磁性体のときは、スケール上の磁
気目盛の付された部分にはスケールベースが直接接触し
ないように凹部を設け、さらには、その凹部を非磁性材
で埋める。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、工作機械等に取り付け
て、物体の移動位置、速度等を検出するのに用いられる
スケール装置に関する。
て、物体の移動位置、速度等を検出するのに用いられる
スケール装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に位置検出目盛を有する薄板状スケ
ールを工作機械等に取り付ける場合に、その薄板状スケ
ールを直接工作機械等に取り付けずに、まず鉄、ステン
レス等のスケールベースに取り付け、このスケールベー
スを工作機械等に取り付けるようになっている。
ールを工作機械等に取り付ける場合に、その薄板状スケ
ールを直接工作機械等に取り付けずに、まず鉄、ステン
レス等のスケールベースに取り付け、このスケールベー
スを工作機械等に取り付けるようになっている。
【０００３】薄板状スケールをスケールベースに取り付
ける方法として、従来、図７〜１０に示すようなものが
知られている。
ける方法として、従来、図７〜１０に示すようなものが
知られている。
【０００４】図７に示すスケール装置は、薄板状スケー
ル１をスケールベース２上に直接接着したものであり、
図８に示すスケール装置は、薄板状スケール１を真鍮等
の非磁性ベース３を介してスケールベース２に接着した
ものである。
ル１をスケールベース２上に直接接着したものであり、
図８に示すスケール装置は、薄板状スケール１を真鍮等
の非磁性ベース３を介してスケールベース２に接着した
ものである。
【０００５】図９に示すスケール装置は、薄板状スケー
ル１にテンション（張力）をかけてスケールベース２上
に張ったものである。
ル１にテンション（張力）をかけてスケールベース２上
に張ったものである。
【０００６】図１０に示したスケール装置は、薄板状ス
ケール１をスケールベース２にネジ止めしたものであ
る。
ケール１をスケールベース２にネジ止めしたものであ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述の薄板状スケール
１をスケールベース２の上に固定する方法には下記のよ
うな問題点がある。
１をスケールベース２の上に固定する方法には下記のよ
うな問題点がある。
【０００８】即ち、図７，図８に示した接着による取り
付けにおいては、接着剤の耐環境性、温度特性、硬化時
間、接着層の確保、はみ出し等、様々な問題を抱えてい
る。そうして、これらの問題を全て満足するような接着
剤は現在のところ無い。従って、実際に接着を行なう場
合は、スケール装置としての信頼性は確保されない。
付けにおいては、接着剤の耐環境性、温度特性、硬化時
間、接着層の確保、はみ出し等、様々な問題を抱えてい
る。そうして、これらの問題を全て満足するような接着
剤は現在のところ無い。従って、実際に接着を行なう場
合は、スケール装置としての信頼性は確保されない。
【０００９】また、スケールベース２は、そのスケール
装置が使用される状況から考えて、鉄と同じ温度膨張係
数の材料を使うことが望ましいが、こういった材料は、
鉄も含めて多かれ少なかれ磁性を持っている。
装置が使用される状況から考えて、鉄と同じ温度膨張係
数の材料を使うことが望ましいが、こういった材料は、
鉄も含めて多かれ少なかれ磁性を持っている。
【００１０】従って、磁気スケールの場合は、磁気目盛
に対してスケールベースの磁性が悪影響を及ぼすため、
図８に示す如く、スケールベース２とスケール１の間に
非磁性材３を入れたりするが、一般に非磁性材３は温度
膨張係数が鉄と異なるため、温度変化に対する精度安定
性を確保するのが困難である。
に対してスケールベースの磁性が悪影響を及ぼすため、
図８に示す如く、スケールベース２とスケール１の間に
非磁性材３を入れたりするが、一般に非磁性材３は温度
膨張係数が鉄と異なるため、温度変化に対する精度安定
性を確保するのが困難である。
【００１１】図９に示した、スケール両端でテンション
を加えて固定する固定方法では、中間部の固定は行わな
いので、スケールの平面性を出すのが困難であり、振
動、衝撃に対しても全体が固定されていないので平面性
が維持出来ない。本発明は、従来のスケール装置の上述
の欠点を克服した安価で信頼性の高いスケール装置を提
供することを目的とする。
を加えて固定する固定方法では、中間部の固定は行わな
いので、スケールの平面性を出すのが困難であり、振
動、衝撃に対しても全体が固定されていないので平面性
が維持出来ない。本発明は、従来のスケール装置の上述
の欠点を克服した安価で信頼性の高いスケール装置を提
供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明のスケール装置は、薄板状スケール１とスケ
ールベース２を溶接で固定している。
に、本発明のスケール装置は、薄板状スケール１とスケ
ールベース２を溶接で固定している。
【００１３】また、上記薄板状スケール１が磁気スケー
ルであり、スケールベース２の材質が磁性体である場合
は、スケールベース２に起因にする磁界がスケール１の
磁気目盛に悪影響を与えるので、これを避けるため、ス
ケール１の磁気目盛が付された実行エリアの下のスケー
ルベース２の部分に凹部１２を形成してここを空間とす
るか又は非磁性材を埋め込んでスケールベース２による
磁界の影響を軽減するようにしている。
ルであり、スケールベース２の材質が磁性体である場合
は、スケールベース２に起因にする磁界がスケール１の
磁気目盛に悪影響を与えるので、これを避けるため、ス
ケール１の磁気目盛が付された実行エリアの下のスケー
ルベース２の部分に凹部１２を形成してここを空間とす
るか又は非磁性材を埋め込んでスケールベース２による
磁界の影響を軽減するようにしている。
【００１４】
【作用】本発明のスケール装置は、上述の手段を備える
ことにより、スケール１をスケールベース２に固定する
のに、固定のための部品や接着剤を必要としないので、
ローコスト、かつ高い信頼性が得られる。
ことにより、スケール１をスケールベース２に固定する
のに、固定のための部品や接着剤を必要としないので、
ローコスト、かつ高い信頼性が得られる。
【００１５】スケール１とスケールベース２の温度膨張
係数が異なる場合、それらを溶接してできたスケール装
置は、スケールベース２の剛性をスケール１に対して十
分大きくすることによって、トータルの温度膨張係数と
してはスケールベース２の温度膨張係数と同一にでき
る。
係数が異なる場合、それらを溶接してできたスケール装
置は、スケールベース２の剛性をスケール１に対して十
分大きくすることによって、トータルの温度膨張係数と
してはスケールベース２の温度膨張係数と同一にでき
る。
【００１６】このため、スケール１の温度膨張係数を任
意にコントロールすることができる。例えば、温度膨張
係数を鉄と同じにしたければ、スケールベース２の材料
を鉄材のＳ４５Ｃやステンレス材のＳＵＳ４０６等を使
えばよい。
意にコントロールすることができる。例えば、温度膨張
係数を鉄と同じにしたければ、スケールベース２の材料
を鉄材のＳ４５Ｃやステンレス材のＳＵＳ４０６等を使
えばよい。
【００１７】磁気スケールにおいて、スケールベース２
の磁気的影響をさけるための非磁性層を作るために、ス
ケール１の磁気目盛部に位置するスケールベース２に凹
部１２を設けてスケール１とスケールベース２が近接し
ないようにするだけでよいので非磁性部品が不用とな
り、コストダウン及び良好な位置検出が可能となる。
の磁気的影響をさけるための非磁性層を作るために、ス
ケール１の磁気目盛部に位置するスケールベース２に凹
部１２を設けてスケール１とスケールベース２が近接し
ないようにするだけでよいので非磁性部品が不用とな
り、コストダウン及び良好な位置検出が可能となる。
【００１８】
【実施例】図１〜６を参照して本発明の実施例の説明を
する。ここに説明するスケールは磁気スケールとして説
明するが、本発明は磁気スケールに限定されることなく
光学的スケールその他にも適用できることは勿論であ
る。
する。ここに説明するスケールは磁気スケールとして説
明するが、本発明は磁気スケールに限定されることなく
光学的スケールその他にも適用できることは勿論であ
る。
【００１９】図１において、スケール１は長手方向に構
成されている位置検出を行なうための磁気目盛が刻まれ
たインクレメンタルトラック９及び基準位置検出を行な
うための磁気目盛が刻まれた原点トラック１０を有し、
検出ヘッド１１は、例えば磁気抵抗素子によって、それ
らの磁気目盛を読み取る。
成されている位置検出を行なうための磁気目盛が刻まれ
たインクレメンタルトラック９及び基準位置検出を行な
うための磁気目盛が刻まれた原点トラック１０を有し、
検出ヘッド１１は、例えば磁気抵抗素子によって、それ
らの磁気目盛を読み取る。
【００２０】スケール１は薄板状のリニアスケールで、
その剛性が低いので、工作機械等に取り付ける為には、
このスケール１を剛性の高いスケールベース２に固定す
る必要がある。
その剛性が低いので、工作機械等に取り付ける為には、
このスケール１を剛性の高いスケールベース２に固定す
る必要がある。
【００２１】また、スケール１は、温度変化に対しても
正確な位置検出が行なえるように、スケールベース２と
一体化されることが必要とされる。
正確な位置検出が行なえるように、スケールベース２と
一体化されることが必要とされる。
【００２２】従って、本実施例においては、スケール１
のインクレメンタルトラック９と原点トラック１０以外
の個所をスケールベース２と溶接している。
のインクレメンタルトラック９と原点トラック１０以外
の個所をスケールベース２と溶接している。
【００２３】これによって、固定するための部品や接着
剤なしでスケール１をスケールベース２に物理的に接合
するため、上記必要事項を完全に低価格で達成できる。
剤なしでスケール１をスケールベース２に物理的に接合
するため、上記必要事項を完全に低価格で達成できる。
【００２４】スケール１の溶接は、図１に示す如く長手
方向（位置検出方向）に複数個所行ない接合させること
によって、温度変化によるスケールベース２の伸縮に対
してスケール１も同様に伸縮する。
方向（位置検出方向）に複数個所行ない接合させること
によって、温度変化によるスケールベース２の伸縮に対
してスケール１も同様に伸縮する。
【００２５】スケールベース２は、取り付けネジ６によ
って被取り付け部（例えば工作機械）に完全に固定でき
るので、本実施例において、スケール１、従ってその検
出目盛は被取り付け部に対しても完全に固定できる。
って被取り付け部（例えば工作機械）に完全に固定でき
るので、本実施例において、スケール１、従ってその検
出目盛は被取り付け部に対しても完全に固定できる。
【００２６】この取り付けにより、スケール１、スケー
ルベース２及び被取り付け部が一体化したことになり、
温度変化や切削油等の外的変化に対しても安定になるの
で、正確な位置検出ができる。
ルベース２及び被取り付け部が一体化したことになり、
温度変化や切削油等の外的変化に対しても安定になるの
で、正確な位置検出ができる。
【００２７】さらに、スケール１とスケールベース２の
温度膨張係数が異なっている場合でも、薄板状のスケー
ル１は、スケールベース２と完全に固定されているの
で、これらが一体化されていることになり、スケールベ
ース２の剛性をスケール１に対して十分高くすれば、温
度変化に対してもスケールベース２と同様の伸縮を行な
うことになり、トータルの温度膨張係数としては、ほぼ
スケールベース２の温度膨張係数と同じになる。
温度膨張係数が異なっている場合でも、薄板状のスケー
ル１は、スケールベース２と完全に固定されているの
で、これらが一体化されていることになり、スケールベ
ース２の剛性をスケール１に対して十分高くすれば、温
度変化に対してもスケールベース２と同様の伸縮を行な
うことになり、トータルの温度膨張係数としては、ほぼ
スケールベース２の温度膨張係数と同じになる。
【００２８】溶接手段は、抵抗溶接、レーザスポット溶
接等があるが、本発明においては、溶接手段自体は特に
限定されるものではない。
接等があるが、本発明においては、溶接手段自体は特に
限定されるものではない。
【００２９】レーザスポット溶接による方法は、スポッ
ト径が１ｍｍ以下に出来ることから省スペースで溶接で
きる。また、溶接の仕方は図６に示す如くシーム溶接を
してもよい。
ト径が１ｍｍ以下に出来ることから省スペースで溶接で
きる。また、溶接の仕方は図６に示す如くシーム溶接を
してもよい。
【００３０】なお、溶接によってスポットの突出が生じ
た場合は研磨によってこれを除去してもよい。
た場合は研磨によってこれを除去してもよい。
【００３１】検出目盛が磁気による磁気スケールにおい
ては、スケールベース２が磁性体であると、それ自体の
残留磁化等でスケール１の検出目盛に悪影響を及ぼす。
そのような場合には図１に示した構造では、正確な位置
検出が出来ない恐れが出てくる。
ては、スケールベース２が磁性体であると、それ自体の
残留磁化等でスケール１の検出目盛に悪影響を及ぼす。
そのような場合には図１に示した構造では、正確な位置
検出が出来ない恐れが出てくる。
【００３２】そこで、図２に示すように、スケール１と
スケールベース２の間が非磁性層となるように、スケー
ルベース２に凹部を設けることによってスケールベース
２の磁性の影響を回避でき、正確な位置検出ができる。
スケールベース２の間が非磁性層となるように、スケー
ルベース２に凹部を設けることによってスケールベース
２の磁性の影響を回避でき、正確な位置検出ができる。
【００３３】凹部には、空気をはじめとする非磁性材が
配設されるが、非磁性材として何を使うかは特に限定さ
れない。
配設されるが、非磁性材として何を使うかは特に限定さ
れない。
【００３４】従来の技術では、凹部を設けるとスケール
１とスケールベース２の接触面積が少なくなり、その小
さな接触面積を接着で固定しようとすると強度が不足す
るので、必要以上にスケール１の巾を大きくしなければ
ならず、事実上製作が困難であった。
１とスケールベース２の接触面積が少なくなり、その小
さな接触面積を接着で固定しようとすると強度が不足す
るので、必要以上にスケール１の巾を大きくしなければ
ならず、事実上製作が困難であった。
【００３５】本発明では、例えばレーザスポット溶接を
用いて接触面積の少ない場所の固定もでき、かつ接着剤
に比べて充分な接着強度が得られる。
用いて接触面積の少ない場所の固定もでき、かつ接着剤
に比べて充分な接着強度が得られる。
【００３６】凹部を設けたスケールベース構造としては
上述の例の他に図３に示すように板金を曲げて作ったも
のでもよい。
上述の例の他に図３に示すように板金を曲げて作ったも
のでもよい。
【００３７】スケールベース２に設ける凹部の数は１つ
に限定されることはない。例えば、図４に示す如く複数
のトラックがある場合、それぞれのトラックに対してそ
れらの下方に凹部を設けるようにしてもよい。
に限定されることはない。例えば、図４に示す如く複数
のトラックがある場合、それぞれのトラックに対してそ
れらの下方に凹部を設けるようにしてもよい。
【００３８】溶接位置としては、図１に示す如くスケー
ル１の巾方向両端を長手方向に沿って平行に溶接しても
よいし、図５に示す如く、長手方向に並ぶ２列の溶接点
列の各列のピッチ間隔や配置を変えてもよい。
ル１の巾方向両端を長手方向に沿って平行に溶接しても
よいし、図５に示す如く、長手方向に並ぶ２列の溶接点
列の各列のピッチ間隔や配置を変えてもよい。
【００３９】また、図４に示したようにスケールベース
２に２列の凹部が形成されたものにおいては、２つの凹
部の間のスケールベース面と薄板状スケールの接してい
る部分に沿って第３の溶接点列を設けてもよい。
２に２列の凹部が形成されたものにおいては、２つの凹
部の間のスケールベース面と薄板状スケールの接してい
る部分に沿って第３の溶接点列を設けてもよい。
【００４０】以上、磁気スケールの場合について実施例
の説明をしてきたが、本発明は、磁気スケールに限定さ
れるものではなく、反射型光学式スケール等スケールに
薄板状の金属を使うことが可能なものに対して応用でき
ることは勿論である。
の説明をしてきたが、本発明は、磁気スケールに限定さ
れるものではなく、反射型光学式スケール等スケールに
薄板状の金属を使うことが可能なものに対して応用でき
ることは勿論である。
【００４１】
【発明の効果】スケールをスケールベースに固定するの
に、固定のための部品や接着剤を必要としないので、ロ
ーコスト、かつ高い信頼性が得られる。
に、固定のための部品や接着剤を必要としないので、ロ
ーコスト、かつ高い信頼性が得られる。
【００４２】スケールとスケールベースの温度膨張係数
が異なる場合、それらを溶接してできたスケール装置
は、スケールベースの剛性をスケールに対して十分大き
くすることによって、トータルの温度膨張係数としては
スケールベースの温度膨張係数と同一にできる。
が異なる場合、それらを溶接してできたスケール装置
は、スケールベースの剛性をスケールに対して十分大き
くすることによって、トータルの温度膨張係数としては
スケールベースの温度膨張係数と同一にできる。
【００４３】このため、スケールの温度膨張係数を任意
にコントロールすることができる。例えば、温度膨張係
数を鉄と同じにしたければ、スケールベースの材料を鉄
材のＳ４５Ｃやステンレス材のＳＵＳ４０６等を使えば
よい。
にコントロールすることができる。例えば、温度膨張係
数を鉄と同じにしたければ、スケールベースの材料を鉄
材のＳ４５Ｃやステンレス材のＳＵＳ４０６等を使えば
よい。
【００４４】磁気スケールにおいて、スケールベースの
磁気的影響を避けるための非磁性層を作るために、スケ
ールの磁気目盛部に位置するスケールベースに凹部を設
けてスケールとスケールベースが近接しないようにする
だけでよいので非磁性部品が不用となり、コストダウン
及び良好な位置検出が可能となる。
磁気的影響を避けるための非磁性層を作るために、スケ
ールの磁気目盛部に位置するスケールベースに凹部を設
けてスケールとスケールベースが近接しないようにする
だけでよいので非磁性部品が不用となり、コストダウン
及び良好な位置検出が可能となる。
【図１】本発明スケール装置の１例を示す斜視図であ
る。
る。
【図２】凹部が形成されたスケールベースを有するスケ
ール装置の斜視図である。
ール装置の斜視図である。
【図３】板金折り曲げによって形成された凹部付きスケ
ールベースを有するスケール装置斜視図である。
ールベースを有するスケール装置斜視図である。
【図４】２つの凹部が形成されたスケールベースを有す
るスケール装置の斜視図である。
るスケール装置の斜視図である。
【図５】溶接スポットの間隔、位置を変えた例を示す平
面図である。
面図である。
【図６】スケールとスケールベースをシーム溶接したス
ケール装置の斜視図である。
ケール装置の斜視図である。
【図７】スケールをスケールベースに直接接着した従来
のスケール装置の斜視図である。
のスケール装置の斜視図である。
【図８】スケールを非磁性ベースを介してスケールベー
スに接着した従来のスケール装置の斜視図である。
スに接着した従来のスケール装置の斜視図である。
【図９】スケールをスケールベース上にテンションをか
けて張った従来のスケール装置を示す断面図である。
けて張った従来のスケール装置を示す断面図である。
【図１０】スケールをスケールベース上にネジ止めした
従来のスケール装置の斜視図である。
従来のスケール装置の斜視図である。
１ 薄板状スケール ２ スケールベース ８ 溶接（スポット） １２ 凹部（非磁性体）
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年５月１９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 スケール装置
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、工作機械等に取り付け
て、物体の移動位置、速度等を検出するのに用いられる
スケール装置に関する。
て、物体の移動位置、速度等を検出するのに用いられる
スケール装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に位置検出目盛を有する薄板状スケ
ールを工作機械等に取り付ける場合に、その薄板状スケ
ールを直接工作機械等に取り付けずに、まず鉄、ステン
レス等のスケールベースに取り付け、このスケールベー
スを工作機械等に取り付けるようになっている。
ールを工作機械等に取り付ける場合に、その薄板状スケ
ールを直接工作機械等に取り付けずに、まず鉄、ステン
レス等のスケールベースに取り付け、このスケールベー
スを工作機械等に取り付けるようになっている。
【０００３】薄板状スケールをスケールベースに取り付
ける方法として、従来、図７〜１０に示すようなものが
知られている。
ける方法として、従来、図７〜１０に示すようなものが
知られている。
【０００４】図７に示すスケール装置は、薄板状スケー
ル１をスケールベース２上に直接接着したものであり、
図８に示すスケール装置は、薄板状スケール１を真鍮等
の非磁性ベース３を介してスケールベース２に接着した
ものである。
ル１をスケールベース２上に直接接着したものであり、
図８に示すスケール装置は、薄板状スケール１を真鍮等
の非磁性ベース３を介してスケールベース２に接着した
ものである。
【０００５】図９に示すスケール装置は、薄板状スケー
ル１にテンション（張力）をかけてスケールベース２上
に張ったものである。
ル１にテンション（張力）をかけてスケールベース２上
に張ったものである。
【０００６】図１０に示したスケール装置は、薄板状ス
ケール１をスケールベース２にネジ止めしたものであ
る。
ケール１をスケールベース２にネジ止めしたものであ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述の薄板状スケール
１をスケールベース２の上に固定する方法には下記のよ
うな問題点がある。
１をスケールベース２の上に固定する方法には下記のよ
うな問題点がある。
【０００８】即ち、図７，図８に示した接着による取り
付けにおいては、接着剤の耐環境性、温度特性、硬化時
間、接着層の確保、はみ出し等、様々な問題を抱えてい
る。そうして、これらの問題を全て満足するような接着
剤は現在のところ無い。従って、実際に接着を行なう場
合は、スケール装置としての信頼性は確保されない。
付けにおいては、接着剤の耐環境性、温度特性、硬化時
間、接着層の確保、はみ出し等、様々な問題を抱えてい
る。そうして、これらの問題を全て満足するような接着
剤は現在のところ無い。従って、実際に接着を行なう場
合は、スケール装置としての信頼性は確保されない。
【０００９】また、スケールベース２は、そのスケール
装置が使用される状況から考えて、鉄と同じ温度膨張係
数の材料を使うことが望ましいが、こういった材料は、
鉄も含めて多かれ少なかれ磁性を持っている。
装置が使用される状況から考えて、鉄と同じ温度膨張係
数の材料を使うことが望ましいが、こういった材料は、
鉄も含めて多かれ少なかれ磁性を持っている。
【００１０】従って、磁気スケールの場合は、磁気目盛
に対してスケールベースの磁性が悪影響を及ぼすため、
図８に示す如く、スケールベース２とスケール１の間に
非磁性材３を入れたりするが、一般に非磁性材３は温度
膨張係数が鉄と異なるため、温度変化に対する精度安定
性を確保するのが困難である。
に対してスケールベースの磁性が悪影響を及ぼすため、
図８に示す如く、スケールベース２とスケール１の間に
非磁性材３を入れたりするが、一般に非磁性材３は温度
膨張係数が鉄と異なるため、温度変化に対する精度安定
性を確保するのが困難である。
【００１１】図９に示した、スケール両端でテンション
を加えて固定する固定方法では、中間部の固定は行わな
いので、スケールの平面性を出すのが困難であり、振
動、衝撃に対しても全体が固定されていないので平面性
が維持出来ない。本発明は、従来のスケール装置の上述
の欠点を克服した安価で信頼性の高いスケール装置を提
供することを目的とする。
を加えて固定する固定方法では、中間部の固定は行わな
いので、スケールの平面性を出すのが困難であり、振
動、衝撃に対しても全体が固定されていないので平面性
が維持出来ない。本発明は、従来のスケール装置の上述
の欠点を克服した安価で信頼性の高いスケール装置を提
供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明のスケール装置は、薄板状スケール１とスケ
ールベース２を溶接で固定している。
に、本発明のスケール装置は、薄板状スケール１とスケ
ールベース２を溶接で固定している。
【００１３】また、上記薄板状スケール１が磁気スケー
ルであり、スケールベース２の材質が磁性体である場合
は、スケールベース２に起因にする磁界がスケール１の
磁気目盛に悪影響を与えるので、これを避けるため、ス
ケール１の磁気目盛が付された実行エリアの下のスケー
ルベース２の部分に凹部１２を形成してここを空間とす
るか又は非磁性材を埋め込んでスケールベース２による
磁界の影響を軽減するようにしている。
ルであり、スケールベース２の材質が磁性体である場合
は、スケールベース２に起因にする磁界がスケール１の
磁気目盛に悪影響を与えるので、これを避けるため、ス
ケール１の磁気目盛が付された実行エリアの下のスケー
ルベース２の部分に凹部１２を形成してここを空間とす
るか又は非磁性材を埋め込んでスケールベース２による
磁界の影響を軽減するようにしている。
【００１４】
【作用】本発明のスケール装置は、上述の手段を備える
ことにより、スケール１をスケールベース２に固定する
のに、固定のための部品や接着剤を必要としないので、
ローコスト、かつ高い信頼性が得られる。
ことにより、スケール１をスケールベース２に固定する
のに、固定のための部品や接着剤を必要としないので、
ローコスト、かつ高い信頼性が得られる。
【００１５】スケール１とスケールベース２の温度膨張
係数が異なる場合、それらを溶接してできたスケール装
置は、スケールベース２の剛性をスケール１に対して十
分大きくすることによって、トータルの温度膨張係数と
してはスケールベース２の温度膨張係数と同一にでき
る。
係数が異なる場合、それらを溶接してできたスケール装
置は、スケールベース２の剛性をスケール１に対して十
分大きくすることによって、トータルの温度膨張係数と
してはスケールベース２の温度膨張係数と同一にでき
る。
【００１６】このため、スケール１の温度膨張係数を任
意にコントロールすることができる。例えば、温度膨張
係数を鉄と同じにしたければ、スケールベース２の材料
を鉄材のＳ４５Ｃやステンレス材のＳＵＳ４０６等を使
えばよい。
意にコントロールすることができる。例えば、温度膨張
係数を鉄と同じにしたければ、スケールベース２の材料
を鉄材のＳ４５Ｃやステンレス材のＳＵＳ４０６等を使
えばよい。
【００１７】磁気スケールにおいて、スケールベース２
の磁気的影響をさけるための非磁性層を作るために、ス
ケール１の磁気目盛部に位置するスケールベース２に凹
部１２を設けてスケール１とスケールベース２が近接し
ないようにするだけでよいので非磁性部品が不用とな
り、コストダウン及び良好な位置検出が可能となる。
の磁気的影響をさけるための非磁性層を作るために、ス
ケール１の磁気目盛部に位置するスケールベース２に凹
部１２を設けてスケール１とスケールベース２が近接し
ないようにするだけでよいので非磁性部品が不用とな
り、コストダウン及び良好な位置検出が可能となる。
【００１８】
【実施例】図１〜６を参照して本発明の実施例の説明を
する。ここに説明するスケールは磁気スケールとして説
明するが、本発明は磁気スケールに限定されることなく
光学的スケールその他にも適用できることは勿論であ
る。
する。ここに説明するスケールは磁気スケールとして説
明するが、本発明は磁気スケールに限定されることなく
光学的スケールその他にも適用できることは勿論であ
る。
【００１９】図１において、スケール１は長手方向に構
成されている位置検出を行なうための磁気目盛が刻まれ
たインクレメンタルトラック９及び基準位置検出を行な
うための磁気目盛が刻まれた原点トラック１０を有し、
検出ヘッド１１は、例えば磁気抵抗素子によって、それ
らの磁気目盛を読み取る。
成されている位置検出を行なうための磁気目盛が刻まれ
たインクレメンタルトラック９及び基準位置検出を行な
うための磁気目盛が刻まれた原点トラック１０を有し、
検出ヘッド１１は、例えば磁気抵抗素子によって、それ
らの磁気目盛を読み取る。
【００２０】スケール１は薄板状のリニアスケールで、
その剛性が低いので、工作機械等に取り付ける為には、
このスケール１を剛性の高いスケールベース２に固定す
る必要がある。
その剛性が低いので、工作機械等に取り付ける為には、
このスケール１を剛性の高いスケールベース２に固定す
る必要がある。
【００２１】また、スケール１は、温度変化に対しても
正確な位置検出が行なえるように、スケールベース２と
一体化されることが必要とされる。
正確な位置検出が行なえるように、スケールベース２と
一体化されることが必要とされる。
【００２２】従って、本実施例においては、スケール１
のインクレメンタルトラック９と原点トラック１０以外
の個所をスケールベース２と溶接している。
のインクレメンタルトラック９と原点トラック１０以外
の個所をスケールベース２と溶接している。
【００２３】これによって、固定するための部品や接着
剤なしでスケール１をスケールベース２に物理的に接合
するため、上記必要事項を完全に低価格で達成できる。
剤なしでスケール１をスケールベース２に物理的に接合
するため、上記必要事項を完全に低価格で達成できる。
【００２４】スケール１の溶接は、図１に示す如く長手
方向（位置検出方向）に複数個所行ない接合させること
によって、温度変化によるスケールベース２の伸縮に対
してスケール１も同様に伸縮する。
方向（位置検出方向）に複数個所行ない接合させること
によって、温度変化によるスケールベース２の伸縮に対
してスケール１も同様に伸縮する。
【００２５】スケールベース２は、取り付けネジ６によ
って被取り付け部（例えば工作機械）に完全に固定でき
るので、本実施例において、スケール１、従ってその検
出目盛は被取り付け部に対しても完全に固定できる。
って被取り付け部（例えば工作機械）に完全に固定でき
るので、本実施例において、スケール１、従ってその検
出目盛は被取り付け部に対しても完全に固定できる。
【００２６】この取り付けにより、スケール１、スケー
ルベース２及び被取り付け部が一体化したことになり、
温度変化や切削油等の外的変化に対しても安定になるの
で、正確な位置検出ができる。
ルベース２及び被取り付け部が一体化したことになり、
温度変化や切削油等の外的変化に対しても安定になるの
で、正確な位置検出ができる。
【００２７】さらに、スケール１とスケールベース２の
温度膨張係数が異なっている場合でも、薄板状のスケー
ル１は、スケールベース２と完全に固定されているの
で、これらが一体化されていることになり、スケールベ
ース２の剛性をスケール１に対して十分高くすれば、温
度変化に対してもスケールベース２と同様の伸縮を行な
うことになり、トータルの温度膨張係数としては、ほぼ
スケールベース２の温度膨張係数と同じになる。
温度膨張係数が異なっている場合でも、薄板状のスケー
ル１は、スケールベース２と完全に固定されているの
で、これらが一体化されていることになり、スケールベ
ース２の剛性をスケール１に対して十分高くすれば、温
度変化に対してもスケールベース２と同様の伸縮を行な
うことになり、トータルの温度膨張係数としては、ほぼ
スケールベース２の温度膨張係数と同じになる。
【００２８】溶接手段は、抵抗溶接、レーザスポット溶
接等があるが、本発明においては、溶接手段自体は特に
限定されるものではない。
接等があるが、本発明においては、溶接手段自体は特に
限定されるものではない。
【００２９】レーザスポット溶接による方法は、スポッ
ト径が１ｍｍ以下に出来ることから省スペースで溶接で
きる。また、溶接の仕方は図６に示す如くシーム溶接を
してもよい。
ト径が１ｍｍ以下に出来ることから省スペースで溶接で
きる。また、溶接の仕方は図６に示す如くシーム溶接を
してもよい。
【００３０】なお、溶接によってスポットの突出が生じ
た場合は研磨によってこれを除去してもよい。
た場合は研磨によってこれを除去してもよい。
【００３１】検出目盛が磁気による磁気スケールにおい
ては、スケールベース２が磁性体であると、それ自体の
残留磁化等でスケール１の検出目盛に悪影響を及ぼす。
そのような場合には図１に示した構造では、正確な位置
検出が出来ない恐れが出てくる。
ては、スケールベース２が磁性体であると、それ自体の
残留磁化等でスケール１の検出目盛に悪影響を及ぼす。
そのような場合には図１に示した構造では、正確な位置
検出が出来ない恐れが出てくる。
【００３２】そこで、図２に示すように、スケール１と
スケールベース２の間が非磁性層となるように、スケー
ルベース２に凹部を設けることによってスケールベース
２の磁性の影響を回避でき、正確な位置検出ができる。
スケールベース２の間が非磁性層となるように、スケー
ルベース２に凹部を設けることによってスケールベース
２の磁性の影響を回避でき、正確な位置検出ができる。
【００３３】凹部には、空気をはじめとする非磁性材が
配設されるが、非磁性材として何を使うかは特に限定さ
れない。
配設されるが、非磁性材として何を使うかは特に限定さ
れない。
【００３４】従来の技術では、凹部を設けるとスケール
１とスケールベース２の接触面積が少なくなり、その小
さな接触面積を接着で固定しようとすると強度が不足す
るので、必要以上にスケール１の巾を大きくしなければ
ならず、事実上製作が困難であった。
１とスケールベース２の接触面積が少なくなり、その小
さな接触面積を接着で固定しようとすると強度が不足す
るので、必要以上にスケール１の巾を大きくしなければ
ならず、事実上製作が困難であった。
【００３５】本発明では、例えばレーザスポット溶接を
用いて接触面積の少ない場所の固定もでき、かつ接着剤
に比べて充分な接着強度が得られる。
用いて接触面積の少ない場所の固定もでき、かつ接着剤
に比べて充分な接着強度が得られる。
【００３６】凹部を設けたスケールベース構造としては
上述の例の他に図３に示すように板金を曲げて作ったも
のでもよい。
上述の例の他に図３に示すように板金を曲げて作ったも
のでもよい。
【００３７】スケールベース２に設ける凹部の数は１つ
に限定されることはない。例えば、図４に示す如く複数
のトラックがある場合、それぞれのトラックに対してそ
れらの下方に凹部を設けるようにしてもよい。
に限定されることはない。例えば、図４に示す如く複数
のトラックがある場合、それぞれのトラックに対してそ
れらの下方に凹部を設けるようにしてもよい。
【００３８】溶接位置としては、図１に示す如くスケー
ル１の巾方向両端を長手方向に沿って平行に溶接しても
よいし、図５に示す如く、長手方向に並ぶ２列の溶接点
列の各列のピッチ間隔や配置を変えてもよい。
ル１の巾方向両端を長手方向に沿って平行に溶接しても
よいし、図５に示す如く、長手方向に並ぶ２列の溶接点
列の各列のピッチ間隔や配置を変えてもよい。
【００３９】また、図４に示したようにスケールベース
２に２列の凹部が形成されたものにおいては、２つの凹
部の間のスケールベース面と薄板状スケールの接してい
る部分に沿って第３の溶接点列を設けてもよい。
２に２列の凹部が形成されたものにおいては、２つの凹
部の間のスケールベース面と薄板状スケールの接してい
る部分に沿って第３の溶接点列を設けてもよい。
【００４０】また、薄板状スケール１をスケールベース
２に溶接する際には、スケールベースの上に薄板状スケ
ールを乗せた状態で上から溶接すればよいが、必要に応
じて薄板状スケールに張力をかけた状態で溶接を行うよ
うにしてもよい。
２に溶接する際には、スケールベースの上に薄板状スケ
ールを乗せた状態で上から溶接すればよいが、必要に応
じて薄板状スケールに張力をかけた状態で溶接を行うよ
うにしてもよい。
【００４１】例えば、薄板状スケールがうねっている状
態のとき、上記薄板状スケールをスケールベースの上に
乗せたままの状態で溶接を行うと、溶接ピッチ間におい
て上記薄板状スケールと上記スケールベースとの間にう
ねりができてしまい、このスケールを使って位置検出を
行う時には、上記薄板状スケールと検出装置との間隔に
変化が生じるので正確な位置検出が行えなくなることが
ある。
態のとき、上記薄板状スケールをスケールベースの上に
乗せたままの状態で溶接を行うと、溶接ピッチ間におい
て上記薄板状スケールと上記スケールベースとの間にう
ねりができてしまい、このスケールを使って位置検出を
行う時には、上記薄板状スケールと検出装置との間隔に
変化が生じるので正確な位置検出が行えなくなることが
ある。
【００４２】薄板状スケールのうねりを取り除くために
は、その薄板状スケールをスケールベースに溶接する際
に、薄板状スケールに張力をかけた状態で溶接を行えば
よい。そのようにすれば、薄板状スケールとスケールベ
ースは密着して、うねりが矯正されて固定され、正確な
位置検出が行えるようになる。
は、その薄板状スケールをスケールベースに溶接する際
に、薄板状スケールに張力をかけた状態で溶接を行えば
よい。そのようにすれば、薄板状スケールとスケールベ
ースは密着して、うねりが矯正されて固定され、正確な
位置検出が行えるようになる。
【００４３】張力をかける方法としては、図２及び図３
に図示したように薄板状スケール１の下のスケールベー
スに凹部がある場合は、図１１で示すように薄板状スケ
ールを両端でクランプして、一方を固定し、他方を長手
方向に移動可能にして薄板状スケールを引っ張るような
テンション機構を備えた装置を使って行うことができ
る。
に図示したように薄板状スケール１の下のスケールベー
スに凹部がある場合は、図１１で示すように薄板状スケ
ールを両端でクランプして、一方を固定し、他方を長手
方向に移動可能にして薄板状スケールを引っ張るような
テンション機構を備えた装置を使って行うことができ
る。
【００４４】図１に示すスケール装置のように薄板状ス
ケールの下にスケールベースの凹部が無い場合には、図
１２に示すように、板状スケールの長さをスケールベー
スより若干長くして、スケールベースの外側でクランプ
し、更に張力をかけた状態で溶接をする。なお、スケー
ルベースからはみ出した部分は任意の方法で切り落とせ
ばよい。
ケールの下にスケールベースの凹部が無い場合には、図
１２に示すように、板状スケールの長さをスケールベー
スより若干長くして、スケールベースの外側でクランプ
し、更に張力をかけた状態で溶接をする。なお、スケー
ルベースからはみ出した部分は任意の方法で切り落とせ
ばよい。
【００４５】この図１２の方法は、スケールベースに凹
部がない場合だけでなく、図２及び図３に示すスケール
装置のようにスケールベースに凹部がある場合にも有効
である。張力をかける手段としては、バネ、おもり、ネ
ジの軸力等如何なる方法でもよい。
部がない場合だけでなく、図２及び図３に示すスケール
装置のようにスケールベースに凹部がある場合にも有効
である。張力をかける手段としては、バネ、おもり、ネ
ジの軸力等如何なる方法でもよい。
【００４６】以上、磁気スケールの場合について実施例
の説明をしてきたが、本発明は、磁気スケールに限定さ
れるものではなく、反射型光学式スケール等スケールに
薄板状の金属を使うことが可能なものに対して応用でき
ることは勿論である。
の説明をしてきたが、本発明は、磁気スケールに限定さ
れるものではなく、反射型光学式スケール等スケールに
薄板状の金属を使うことが可能なものに対して応用でき
ることは勿論である。
【００４７】
【発明の効果】スケールをスケールベースに固定するの
に、固定のための部品や接着剤を必要としないので、ロ
ーコスト、かつ高い信頼性が得られる。
に、固定のための部品や接着剤を必要としないので、ロ
ーコスト、かつ高い信頼性が得られる。
【００４８】スケールとスケールベースの温度膨張係数
が異なる場合、それらを溶接してできたスケール装置
は、スケールベースの剛性をスケールに対して十分大き
くすることによって、トータルの温度膨張係数としては
スケールベースの温度膨張係数と同一にできる。
が異なる場合、それらを溶接してできたスケール装置
は、スケールベースの剛性をスケールに対して十分大き
くすることによって、トータルの温度膨張係数としては
スケールベースの温度膨張係数と同一にできる。
【００４９】このため、スケールの温度膨張係数を任意
にコントロールすることができる。例えば、温度膨張係
数を鉄と同じにしたければ、スケールベースの材料を鉄
材のＳ４５Ｃやステンレス材のＳＵＳ４０６等を使えば
よい。
にコントロールすることができる。例えば、温度膨張係
数を鉄と同じにしたければ、スケールベースの材料を鉄
材のＳ４５Ｃやステンレス材のＳＵＳ４０６等を使えば
よい。
【００５０】磁気スケールにおいて、スケールベースの
磁気的影響を避けるための非磁性層を作るために、スケ
ールの磁気目盛部に位置するスケールベースに凹部を設
けてスケールとスケールベースが近接しないようにする
だけでよいので非磁性部品が不用となり、コストダウン
及び良好な位置検出が可能となる。
磁気的影響を避けるための非磁性層を作るために、スケ
ールの磁気目盛部に位置するスケールベースに凹部を設
けてスケールとスケールベースが近接しないようにする
だけでよいので非磁性部品が不用となり、コストダウン
及び良好な位置検出が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明スケール装置の１例を示す斜視図であ
る。
る。
【図２】凹部が形成されたスケールベースを有するスケ
ール装置の斜視図である。
ール装置の斜視図である。
【図３】板金折り曲げによって形成された凹部付きスケ
ールベースを有するスケール装置斜視図である。
ールベースを有するスケール装置斜視図である。
【図４】２つの凹部が形成されたスケールベースを有す
るスケール装置の斜視図である。
るスケール装置の斜視図である。
【図５】溶接スポットの間隔、位置を変えた例を示す平
面図である。
面図である。
【図６】スケールとスケールベースをシーム溶接したス
ケール装置の斜視図である。
ケール装置の斜視図である。
【図７】スケールをスケールベースに直接接着した従来
のスケール装置の斜視図である。
のスケール装置の斜視図である。
【図８】スケールを非磁性ベースを介してスケールベー
スに接着した従来のスケール装置の斜視図である。
スに接着した従来のスケール装置の斜視図である。
【図９】スケールをスケールベース上にテンションをか
けて張った従来のスケール装置を示す断面図である。
けて張った従来のスケール装置を示す断面図である。
【図１０】スケールをスケールベース上にネジ止めした
従来のスケール装置の斜視図である。
従来のスケール装置の斜視図である。
【図１１】薄板状スケールをスケールベースに溶接する
際に用いるテンション装置の一例の上面（ａ）及び側面
（ｂ）図である。
際に用いるテンション装置の一例の上面（ａ）及び側面
（ｂ）図である。
【図１２】薄板状スケールをスケールベースに溶接する
際に用いるテンション装置の他の例の上面図である。
際に用いるテンション装置の他の例の上面図である。
【符号の説明】 １ 薄板状スケール ２ スケールベース ８ 溶接（スポット） １２ 凹部（非磁性体）
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】追加
【補正内容】
【図１１】
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】追加
【補正内容】
【図１２】
Claims (2)
- 【請求項１】 位置検出目盛の付された薄板状スケール
をスケールベース上に固定して成るスケール装置におい
て、前記スケールと前記スケールベースを溶接で固定し
たことを特徴とするスケール装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のスケール装置において、
前記スケールベースの材質が磁性体であり、前記スケー
ルの磁気目盛が付された実行エリアの下部に対応して前
記スケールベースに凹部を形成して非磁性部を設けたこ
とを特徴とするスケール装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05111462A JP3134590B2 (ja) | 1993-05-13 | 1993-05-13 | スケール装置 |
| US08/235,521 US5488782A (en) | 1993-05-13 | 1994-04-29 | Scale plate arrangement |
| EP94107511A EP0624780B1 (en) | 1993-05-13 | 1994-05-13 | Scale plate arrangement |
| DE69407863T DE69407863T2 (de) | 1993-05-13 | 1994-05-13 | Skalenträgeranordnung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05111462A JP3134590B2 (ja) | 1993-05-13 | 1993-05-13 | スケール装置 |
Publications (2)
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