JPH02227607A - 測尺装置のスケール取付方法及び取付具 - Google Patents
測尺装置のスケール取付方法及び取付具Info
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000007799 cork Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
尺装置に使用して好適な測尺装置のスケール取付方法及
び取付具に関する。
尺装置に使用して好適な測尺装置のスケール取付方法及
び取付具に関し、スケールを部月に取付具を介して取付
けるに、この取付具として、この取付具自身をこの部材
に固定する第1の固定手段と、このスケールをこの部材
に固定する第2の固定手段とを有するものを使用し、こ
の第1の固定手段でこの取付具をこの部材に固定した後
に、この第2の固定手段によりこのスケールを部材に固
定するようにすることによりスケールを取付ける際にス
ケールの変形を共なう誤差発生を解消し、精度変化が無
く、測尺装置の精度再現性を良くする様にしたものであ
る。
ルを工作機械等の部材に取付けるのに第11図に示す如
く、例えば0.55μ鋼のピッチの格子が付されたホロ
グラムスケール(1)の取付部(1a)をバネ材より成
る板状の取付具(2)と部材(3)とで挟持する如くし
ていた。この取付具(2)は板状のバネ材を略コ字状と
したもので、このコ字状の主部(2a)に並列に2個の
ネジ孔が設けられ、この2個のネジ孔を通しワッシャ(
5)を介して夫々取付ネジ(4)を部材(3)の所定位
置に締め付け、この取付具(2)を固定すると共にこの
取付具(2)の2つの脚部(2b) (2c)と部材(
3)とでこのホログラムスケール(1)の取付部(1a
)を弾性的に挟持固定する如(していた。−斯るホログ
ラムスケール装置に依れば10nmのオーダの超高精度
の測尺ができる。
ワッシャ(5)を介して取付具(2)に矢印Fに示す如
き力が作用し、これがホログラムスケール(1)に最終
的に作用しこのホログラムスケール(1)が変形する。
釣な測尺装置の精度では問題とならない量であるが、上
述のホログラムスケール装置の如< 10nmのオーダ
の超高精度の測尺装置ではこの変形によって生じる誤差
も問題となり、精度の再現性不良となっていた。
の変形をなくし測尺装置の精度変形が無く、測尺装置の
精度再現性を良くすることを目的とする。
を行なったときは取付ネジ(4)により取付具(2)を
固定すると共にこの取付具(2)と部材(3)とでホロ
グラムスケール(1)を挟持固定しているので第12図
〔課題を解決するための手段〕 本発明測尺装置のスケール取付方法は例えば第1図、第
2図及び第3図に示す如くスケール(1)を部材(3)
に取付具(2)を介して取付けるに、この取付具(2)
としてこの取付具(2)自身をこの部材(3)に固定す
る第1の固定手段(7a) (7b)と、このスケール
(1)をこの部材(3)に固定する第2の固定手段(6
a) (6b)とを有するものを使用し、この第1の固
定手段(7a) (7b)でこの取付具(2)をこの部
材(3)に固定した後にこの第2の固定手段(6a)
(6b)によりこめスケール(1)を部材(3)に固定
する様にしたものである。
示す如く取付具(2)自身を部材(3)に固定する第1
の固定手段(7a) (7b)と、スケール(1)をこ
の部材(3)に固定する第2の固定手段とを有するもの
である。
に、この取付具(2)によりスケール(1)を固定する
ので、このスケール(1)を固定するのに取付具(2)
に変位力が作用しても、この変位力がスケール(1)に
作用せず、このスケール(1)の取付けの際にスケール
(1)の変形が生じない。
施例につき説明しよう。
応する部分には同一符号を付し、その詳細説明は省略す
る。
付されたホログラムスケール(1)を工作機械等の部材
(3)に取付けるに取付具(2)を用いる。
す如く板状のバネ材を略E字状としたもので、このE字
状の主部(2a)に並列に2個のネジ孔(6a)(6b
)を形成すると共に3個の脚部(2b) (2c) (
2d)の遊端部に円弧状のスケール押え部を形成し、更
にこの主部(2a)の脚部(2b) (2c) (2d
)とは反対側の両側に延長部(2e)及び(2f)を設
け、この延長部(2e)及び(2f)にネジ孔(7a)
及び(7b)を夫々設けると共にこの延長部(2e)及
び(2f)をE字状部に対し5@〜8°程度傾斜する如
く折り曲げる。
ール(1)を工作機械等の部材(3)に取付けるときは
先ず第3図A、Bに示す如くこの取付具(2)を部材(
3)の所定位置にこの取付具(2)の主部(2a)の延
長部(2e)及び(2f)に夫々設けられたネジ孔(7
a)及び(7b)により取付ネジ(9)により締め付け
てこの取付具(2)を固定する。この場合取付具(2)
に変位力は作用するが、この3つの脚部<2b) (2
c) (2d)の押え部は延長部(2e) (2f)に
対して例えば5″〜8°傾斜しているので、この3つの
脚部(2b) (2c) (2d)はホログラムスケー
ル(1)に接触せず、この変位力がホログラムスケール
(1)に作用しない。
)に設けたネジ孔(6a) (6b)を通し取付ネジ(
8)を部材(3)に対し締め付け、この取付具(2)の
3つの脚部(2b) (2c) (2d)の押え部と部
材(3)の所定位置とでこのホログラムスケール(1)
の取付部(1a)を弾性的に挟持してこの部材(3)に
ホログラムスケール(1)を固定する。この場合取付具
(2)は取付ネジ(9)により予め部材(3)に固定さ
れているため、取付ネジ(8)の締め付は時に生じる力
Fによる取付具(2)の変位を押さえることができ、こ
のときの取付ネジ(8)の締め付けによる力はこのホロ
グラムスケール(1)に作用しなくなり、このホログラ
ムスケール(1)の取付時にこのホログラムスケール(
1)の取付具(2)による変形はほとんど生じない。因
みに本例によればこのホログラムスケール(1)の取付
時に生ずる誤差は従来の一程度であった。第1図に於い
て(10)は半導体レーザ等より構成された検出用ヘッ
ド装置である。
る際のスケール(1)の変形をなくすことができ測尺装
置の精度変化が無(、この測尺装置の精度再現性を良く
することができる利益がある。
他の実施例を示し、夫々Aは平面図、Bは側面図、Cは
背面図を示す。之等第5図、第6図・・・・第1O図例
は夫々板状のバネ材より形成したものであり、第2図に
対応する部分に同一符号を付し、その詳細説明は省略す
る。
於いても第2図の取付具(2)と同様の作用効果が得ら
れることは容易に理解できよう。また上述例に於いては
取付具(2)として板状バネ材を使用したが、この代り
に押え部にコルク、ゴム等の弾性体を設けた鉄板等が使
用できることは勿論である。
ムスケール(1)を取付ける例につき述べたが、本発明
はその他の測尺装置のスケールを取付ける場合にも使用
できることは勿論である。
することなくその他種々の構成が取り得ることは勿論で
ある。
面図及び側面図、第3図及び第4図は夫々本発明の説明
に供する線図、第5図、第6図・・・・第10図は夫々
取付具の他の例を示す線図、第11図は従来のスケール
取付例を示す斜視図、第12図は第11図の説明に供す
る線図である。
(2b)(2c) (2d)は夫々脚部、(2e) (
2f)は延長部、(3)は部材、(6a) (6b)
(7a)及び(7b)は夫々ネジ孔、(8)及び(9)
は夫々取付ネジである。
をなくすことができ測尺装置の精度変化が無く、この測
尺装置の精度再現性を良くすることができる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、スケールを部材に取付具を介して取付けるに、該取
付具としてこの取付具自身を上記スケールを上記部材に
固定する第2の固定手段とを有するものを使用し、上記
第1の固定手段で上記取付具を上記部材に固定した後に
、上記第2の固定手段により上記スケールを上記部材に
固定する様にしたことを特徴とする測尺装置のスケール
取付方法。 2、取付具自身を部材に固定する第1の固定手段と、 スケールを上記部材に固定する第2の固定手段とを有す
ることを特徴とする測尺装置のスケール取付具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1047902A JP2700911B2 (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | 測尺装置のスケール取付方法及び取付具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1047902A JP2700911B2 (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | 測尺装置のスケール取付方法及び取付具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02227607A true JPH02227607A (ja) | 1990-09-10 |
JP2700911B2 JP2700911B2 (ja) | 1998-01-21 |
Family
ID=12788325
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1047902A Expired - Fee Related JP2700911B2 (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | 測尺装置のスケール取付方法及び取付具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2700911B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1462758A2 (en) * | 2003-03-28 | 2004-09-29 | Mitutoyo Corporation | Method and device for attaching an elastic fixture to a length measuring device. |
JP2008545978A (ja) * | 2005-06-11 | 2008-12-18 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | スケール用の保持具 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63111410A (ja) * | 1986-10-18 | 1988-05-16 | カ−ル・ツアイス−スチフツング | 直線状の目盛を有するスケールのための保持装置 |
-
1989
- 1989-02-28 JP JP1047902A patent/JP2700911B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63111410A (ja) * | 1986-10-18 | 1988-05-16 | カ−ル・ツアイス−スチフツング | 直線状の目盛を有するスケールのための保持装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1462758A2 (en) * | 2003-03-28 | 2004-09-29 | Mitutoyo Corporation | Method and device for attaching an elastic fixture to a length measuring device. |
EP1462758A3 (en) * | 2003-03-28 | 2006-07-26 | Mitutoyo Corporation | Method and device for attaching an elastic fixture to a length measuring device. |
JP2008545978A (ja) * | 2005-06-11 | 2008-12-18 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | スケール用の保持具 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2700911B2 (ja) | 1998-01-21 |
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