DE19821558B4 - Maßstab und Verfahren zur Herstellung eines Maßstabes sowie Positionsmeßeinrichtung - Google Patents

Maßstab und Verfahren zur Herstellung eines Maßstabes sowie Positionsmeßeinrichtung Download PDF

Info

Publication number
DE19821558B4
DE19821558B4 DE19821558A DE19821558A DE19821558B4 DE 19821558 B4 DE19821558 B4 DE 19821558B4 DE 19821558 A DE19821558 A DE 19821558A DE 19821558 A DE19821558 A DE 19821558A DE 19821558 B4 DE19821558 B4 DE 19821558B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
scale
sections
glass
welding
joints
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE19821558A
Other languages
English (en)
Other versions
DE19821558A1 (de
Inventor
Sebastian Dr. Tondorf
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority to DE19821558A priority Critical patent/DE19821558B4/de
Publication of DE19821558A1 publication Critical patent/DE19821558A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE19821558B4 publication Critical patent/DE19821558B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C27/00—Joining pieces of glass to pieces of other inorganic material; Joining glass to glass other than by fusing
    • C03C27/02—Joining pieces of glass to pieces of other inorganic material; Joining glass to glass other than by fusing by fusing glass directly to metal
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S33/00—Geometrical instruments
    • Y10S33/21—Geometrical instruments with laser

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Maßstab mit einem Grundkörper (10), auf dem mehrere Maßstab-Teilstücke (11, 12, 13) aus Glas aufgebracht sind und jedes Teilstück (11, 12, 13) eine Maßverkörperung (14) aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilstücke (11, 12, 13) an den Stoßstellen miteinander verschweißt sind.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Maßstab sowie ein Verfahren zur Herstellung eines Maßstabes.
  • Weiterhin betrifft die Erfindung eine Positionsmeßeinrichtung, in der ein derartiger Maßstab verwendet wird.
  • Für Meßmaschinen und Werkzeugmaschinen werden Positionsmeßeinrichtungen großer Länge benötigt. Um die Herstellung der Maßstäbe dieser Positionsmeßeinrichtungen zu erleichtern, werden mehrere kurze Teilstücke gefertigt und diese Teilstücke zur gesamten Meßlänge auf einem Grundkörper zusammengesetzt.
  • In der DE 28 47 719 A ist eine Positionsmeßeinrichtung und ein Verfahren zur Herstellung eines Maßstabes beschrieben. Die Teilstücke des Maßstabes werden mit dem Grundkörper durch Schweißen starr verbunden. Zu sätzlich können an den Stoßstellen der Teilstücke Punktschweißverbindungen angeordnet sein. Die Teilstücke des Maßstabes sind aus Metall.
  • Eine ähnliche Positionsmeßeinrichtung ist in der DE 1 548 875 A beschrieben. Mehrere Teilstücke eines Maßstabes sind auf einem Grundkörper aufgeschweißt. Die Teilstücke bestehen aus einer dünnen Folie.
  • Weitere Positionsmeßeinrichtungen, bei denen ein Teilungsträger durch Schweißen auf einem Grundkörper befestigt ist, sind aus der EP 0 624 780 A und der JP 8-145609 A bekannt.
  • Eine Positionsmeßeinrichtung, von der unsere Erfindung ausgeht, ist in der DE 38 18 044 A beschrieben. Mehrere Teilstücke eines Maßstabes aus Glas sind auf einem Grundkörper in Meßrichtung aneinander angelegt und gleitend mit dem Grundkörper verbunden.
    •
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen kostengünstigen und genauen Maßstab sowie eine Positionsmeßeinrichtung insbesondere für große Meßlängen zu schaffen.
  • Diese Aufgabe wird durch die Merkmale der Ansprüche 1 bzw. 11 gelöst.
  • Weiterhin liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein kostengünstiges Verfahren zur Herstellung eines Maßstabes insbesondere für große Meßlängen anzugeben.
  • Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruches 7 gelöst.
  • Die besonderen Vorteile der Erfindung liegen darin, daß als Träger der Maßverkörperung relativ billiges Glas mit hochwertiger optischer und mechanischer Oberflächenqualität eingesetzt werden kann. Durch die erfindungsge mäße Verbindung der Maßstab-Teilstücke erhält man einen über die gesamte Meßlänge homogenen Maßstab.
  • Vorteilhafte Ausbildungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.
    •
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Zeichnung näher erläutert.
  • Es zeigt
  • 1 eine Positionsmeßeinrichtung mit einem Maßstab aus mehreren Maßstab-Teilstücken,
  • 2 eine Verbindungsstelle zweier Maßstab-Teilstücke im Detail,
  • 3 eine weitere Verbindungsstelle zweier Maßstab-Teilstücke im Detail,
  • 4 eine weitere Verbindungsstelle zweier Maßstab-Teilstücke im Detail und
  • 5 zwei Maßstab-Teilstücke mit einer Verbindungsstelle zwischen einem Teilstück und einem Grundkörper.
  • Die Positionsmeßeinrichtung gemäß 1 besteht aus einem Maßstab 1 und einer in Meßrichtung X relativ zum Maßstab 1 verschiebbaren Abtasteinheit 2. Zur Positionsmessung an einer Meßmaschine oder einer Werkzeugmaschine ist der Maßstab 1 an einem Bett und die Abtasteinheit 2 an einem dazu bewegbaren Schlitten befestigt.
  • Der Maßstab 1 besteht aus einem Grundkörper 10, auf dem in Meßrichtung X hintereinander mehrere Maßstab-Teilstücke 11, 12, 13 angeordnet sind. Der Grundkörper 10 ist beispielsweise eine über die gesamte Meßlänge durchgehende Schiene aus Metall, insbesondere aus Stahl. Bei gekapselten Positionsmeßeinrichtungen kann der Grundkörper 10 gleichzeitig das Gehäuse – beispielsweise aus Aluminium – bilden.
  • Jedes der Maßstab-Teilstücke 11, 12, 13 trägt eine Maßverkörperung in Form einer inkrementalen Teilung 14. Diese Teilung 14 ist nach bekannten lithografischen Verfahren gefertigt und ist lichtelektrisch im Durchlichtverfahren abtastbar. Die Länge der Teilstücke 11, 12, 13 ist auf die Länge der bei der Herstellung verwendeten Kopiereinrichtung beschränkt.
  • Die Teilstücke 11, 12, 13 sind mit dem Grundkörper 10 über eine in Meßrichtung X elastische Schicht 15 verbunden. Unterschiedliche Längenänderungen des Grundkörpers 10 und der Teilstücke 11, 12, 13 werden durch die Schicht 15 ausgeglichen.
  • Die Teilstücke 11, 12, 13 bestehen aus transparentem Glas, insbesondere Floatglas oder Glaskeramik (Markenname: Zerodur) und sind an den Stoßstellen mittels Schweißen fest miteinander verbunden. Hierzu werden die Teilstücke 11, 12, 13 zuerst auf die elastische Schicht 15 aufgelegt und die Enden aneinander gestoßen, danach erfolgt das Verschweißen der Teilstücke 11, 12, 13 miteinander.
  • Zur Erzeugung eines Fixpunktes zwischen den Teilstücken 11, 12, 13 und dem Grundkörper 10 kann ein Teilstück 12 an einer einzigen Position P durch Schweißen starr am Grundkörper 10 befestigt werden.
  • Die Abtasteinheit 2 besteht aus zumindest einer Lichtquelle 21 und zumindest einem Photodetektor 22. Die Lichtquelle 21 ist auf einer Seite der Teil stücke 11, 12, 13 und der Photodetektor 22 auf der gegenüberliegenden Seite der Teilstücke 11, 12, 13 angeordnet.
  • Als Schweißverfahren an den Stoßstellen der Teilstücke 11, 12, 13 und an dem Fixpunkt P können alle bekannten Verfahren eingesetzt werden, wie z.B. Widerstandsschweißen, Diffusionsschweißen und Laserschweißen. Da gemäß der Erfindung die Teilstücke 11, 12, 13 bereits mit einer Teilung 14 versehen sind, muß beim Schweißvorgang besonders darauf geachtet werden, daß die thermische Belastung der Teilung 14 gering bleibt. Aus diesem Grund ist das Laserschweißen besonders geeignet. Die Laserstrahlung kann bis zum minimalen Durchmesser im Bereich der Wellenlänge fokussiert werden, wodurch minimale Bearbeitungszonen erzielt werden können. Die Intensität der Laserstrahlung kann einfach gesteuert werden, mit den hohen erzielbaren kontinuierlichen oder gepulsten Leistungen ist am Werkstück eine Intensität von 105 bis 1010 W/cm2 erreichbar. Diese gezielt steuerbaren hohen Intensitäten haben den Vorteil, daß die beim Schweißen erzeugte Wärme nur gezielt lokal und kurzzeitig aufgebracht werden muß, was eine minimale wärmebeeinflußte Zone und somit minimalen Verzug der Teilstücke 11, 12, 13 zur Folge hat.
  • Bei der erfindungsgemäßen Anwendung des Laserschweißens ist es vorteilhaft, wenn der Laserstrahl eine Wellenlänge hat, für die das Glas der Teilstücke 11, 12, 13 transparent wirkt. Die Wellenlänge also so an das Material der Teilstücke 11, 12, 13 angepaßt ist, daß im Glas selbst keine Wärmeabgabe erfolgt. Durch diese Maßnahme kann sichergestellt werden, daß die Wärmeabgabe ausschließlich an den zu verschweißenden Stoßstellen der Teilstücke 11, 12, 13 erfolgt. Die Oberflächenrauhigkeit der Teilstücke 11, 12, 13 an den Stoßstellen hat zur Folge, daß die Laserstrahlung ausschließlich an diesen Bereichen absorbiert wird und das Glasmaterial nur lokal erhitzt und verschweißt wird.
  • In 2 ist eine Verbindungsstelle zweier Teilstücke 11, 12 im Detail dargestellt. Die Oberflächen der beiden zu verschweißenden Enden sind zur besseren Absorption der Laserstrahlung durch Schleifen angerauht. Die beiden Enden werden aneinander gestoßen und der Laserstrahl 16 auf die Stoßstelle gerichtet. Das Laserschweißen von Glas-Maßstäben 11, 12 hat den Vorteil, daß in der Regel beim Schweißvorgang keine Lageänderung der beiden Teilstücke 11, 12 erfolgt. Haben die Enden zu der Teilung 14 eine definiert vorgegebene Lage, so ist eine Justierung des Stoßes nicht erforderlich, ein einfaches Aneinanderstoßen der beiden Enden ist ausreichend. Die Enden sind so bearbeitet, daß im aneinandergestoßenen Zustand der Enden die beiden aufeinanderfolgenden Teilstriche 141 und 142 beider Teilstücke 11, 12 den Sollabstand T aufweisen. Bei der dargestellten inkrementalen Teilung 14 ist T die Teilungsperiode. Diese Methode ist bei Glas-Maßstäben 11, 12 besonders vorteilhaft realisierbar, da die Enden hochgenau bearbeitet werden können. Die Verschweißung kann je nach Fokussierung und Einfallswinkel des Laserstrahls 16 über die gesamte Stoßstelle (Trennfläche) erfolgen, oder nur Teilbereiche bzw. Ränder der Trennfläche umfassen.
  • In 3 ist eine weitere Verbindungsstelle zweier Maßstab-Teilstücke 11, 12 dargestellt. Zwischen den Enden der Teilstücke 11, 12 ist eine die Laserstrahlung 16 absorbierende Schicht 17 vorgesehen. Die Schicht 17 kann eine Dicke aufweisen, die einer Lücke zwischen zwei Teilstrichen entspricht, sie kann aber auch einer Breite eines Teilstriches entsprechen. Das Material der Schicht 17 absorbiert die Laserstrahlung 16, wodurch die Schicht 17 und das angrenzende Glas erwärmt und miteinander verschweißt wird. Die Schicht 17 kann aus Silizium, Chrom, Nickel, CrNi oder MoTi bestehen.
  • Die Schicht 17 kann durch Aufdampfen oder chemische Abscheidung auf ein Ende oder auf beide Enden der Teilstücke 11, 12 aufgebracht werden.
  • Die Schicht 17 kann fest aber auch flüssig oder pastös sein und beim Schweißvorgang der Teilstücke 11, 12 verdampfen oder zumindest teilweise in die Gläser diffundieren, wodurch eine chemische Verzahnung der Teilstücke 11, 12 erfolgt.
  • Eine besonders stabile Verbindung erhält man, wenn als Schicht 17 ein Metalloxid (z.B. Platinoxid) Verwendung findet, da beim Schweißvorgang Metalloxide an den Endbereichen der Teilstücke 11, 12 in das Glas eindiffundieren.
  • Beim Laserschweißen besteht die Möglichkeit, die Schweißstelle auch in der Tiefe gezielt wählen zu können. So kann die Laserstrahlung 16 auf eine Ebene konzentriert werden, die außerhalb der die Teilung 14 tragenden Oberfläche liegt. Dies hat den Vorteil, daß beim Schweißvorgang keine, bei der Abtastung störende Schweißstelle an der Oberfläche entstehen kann und die Teilung 14 nicht beeinflußt wird. Ein Beispiel hierzu ist in 4 dargestellt. Der Laserstrahl 16 wird senkrecht zu der die Teilung 14 tragenden Oberfläche ausgerichtet und auf eine Ebene unterhalb dieser Oberfläche fokussiert. Die Verschweißung erfolgt außerhalb der die Teilung 14 tragenden Ebene. Die beiden zu verschweißenden Enden der Teilstücke 11, 12 können senkrecht (90°) zur Oberfläche verlaufen, oder von 90° abweichend, wie in 4 dargestellt.
  • Bei dem Beispiel in 5 werden die beiden Teilstücke 11, 12 mit dem Laserstrahl 16 an dem Grundkörper 10 geschweißt. Der Laserstrahl 16 ist auf die Verbindungsstelle fokussiert und die Wellenlänge ist an das Glasmaterial der Teilstücke 11, 12 angepaßt, so daß es beim Durchlaufen des Laserstrahls 16 möglichst wenig Energie absorbiert und erst an der Grenzfläche Glas – Metall die Energie abgegeben wird. An dieser Grenzfläche entsteht eine chemische Verbindung durch Diffusion von Metalloxiden. Zur besseren Verschweißung können zusätzlich an der Grenzfläche Hilfsschichten eingebracht werden, beispielsweise durch Aufdampfen einer Chromschicht, die aufgrund ihres oxidischen Charakters eine Bindung zum Glas eingeht und auch wegen des metallischen Charakters eine Legierungsbildung zum metallenen Grundkörper 10 ermöglicht.
  • Die in 5 dargestellte Schweißverbindung kann allein oder zusätzlich zu den in den 2 bis 4 beschriebenen Schweißverbindungen realisiert werden. Dabei ist es besonders vorteilhaft – wie in 1 dargestellt – wenn die Verschweißung der miteinander verschweißten Glas-Teilstücke 11, 12, 13 mit dem Grundkörper 10 nur an einer einzigen Position P (Referenzpunkt) erfolgt. Die Einheit der miteinander verschweißten Teilstücke 11, 12, 13 kann auch nur an den beiden Enden mit dem Grundkörper 10 verschweißt werden und im übrigen Bereich in Meßrichtung beispielsweise über eine Klebstoff- oder Flüssigkeitsschicht elastisch gelagert sein. Die Verschweißung kann auch an mehreren Positionen oder auch kontinuierlich über die gesamte Meßlänge erfolgen.
  • Eine starre Verbindung zwischen mehreren oder nur einem Glas-Teilstück 11, 12, 13 und einem Grundkörper 10, hergestellt durch Verschweißen an mehreren Positionen oder auch kontinuierlich über die gesamte Meßlänge, kann auch dazu dienen, um den Glas-Teilstücken 11, 12, 13 bzw. dem nur einen Glas-Teilstück das Ausdehnungsverhalten des Grundkörpers 10 aufzuzwingen. Dabei besteht der Grundkörper 10 bevorzugt aus Metall.
  • Der Grundkörper 10 kann auch aus Metall, Keramik oder Glas bestehen. Der Grundkörper 10 ist in besonders vorteilhafter Weise ein über die gesamte Meßlänge durchgehender Körper. Er kann auch direkt ein Bauteil einer Werkzeugmaschine oder Meßmaschine sein. Der Grundkörper 10 kann auch eine Führung sein, die auf eine Werkzeugmaschine oder Meßmaschine aufsetzbar ist und zur Führung eines Maschinenteiles dient.
  • Die Maßvorkörperung kann eine inkrementale Teilung oder ein einspuriger bzw. mehrspuriger Code sein.
  • Der verwendete Laser zur Erzeugung des Laserstrahls 16 kann ein CO2- oder ein YAG-Laser sein.

Claims (11)

  1. Maßstab mit einem Grundkörper (10), auf dem mehrere Maßstab-Teilstücke (11, 12, 13) aus Glas aufgebracht sind und jedes Teilstück (11, 12, 13) eine Maßverkörperung (14) aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilstücke (11, 12, 13) an den Stoßstellen miteinander verschweißt sind.
  2. Maßstab nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilstücke (11, 12, 13) mit dem Grundkörper (10) über eine in Meßrichtung (X) elastische Schicht (15) verbunden sind.
  3. Maßstab nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die elastische Schicht (15) eine Klebstoffschicht ist.
  4. Maßstab nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Teilstücken (11, 12, 13) und dem Grundkörper (10) an zumindest einer Position (P) eine Schweißverbindung vorgesehen ist.
  5. Maßstab nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Maßverkörperung eine lichtelektrisch abtastbare Teilung (14) ist.
  6. Maßstab nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Grundkörper (10) aus Metall besteht.
  7. Verfahren zur Herstellung eines Maßstabes (1) mit den Verfahrensschritten: – Aufbringen einer Maßverkörperung (14) auf mehrere Maßstab-Teilstücke (11, 12, 13) aus Glas, – Auflegen der Teilstücke (11, 12, 13) auf einen Grundkörper (10), – Verschweißen der Teilstücke (11, 12, 13) an den Stoßstellen.
  8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Verschweißen mittels eines Laserstrahls (16) durch Laserschweißen erfolgt.
  9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Glas der Maßstab-Teilstücke (11, 12, 13) für die Wellenlänge des Laserstrahls (16) transparent ist und die Laserstrahlung an den zu verschweißenden Verbindungsstellen absorbiert wird.
  10. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Laserstrahl (16) durch das Glas auf eine Verbindungsstelle in einer Ebene konzentriert wird, die außerhalb der die Maßverkörperung (14) tragenden Oberfläche liegt.
  11. Positionsmeßeinrichtung mit einem Maßstab (1), bestehend aus einem Grundkörper (10), auf dem mehrere Maßstab-Teilstücke (11, 12, 13) aus Glas aufgebracht sind und jedes Teilstück (11, 12, 13) eine Maßverkörperung (14) aufweist, die von einer Abtasteinheit (2) mit einer Lichtquelle (21) und zumindest einem Photodetektor (22) zur Erzeugung von positionsabhängigen Abtastsignalen abtastbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilstücke (11, 12, 13) an den Stoßstellen miteinander verschweißt sind.
DE19821558A 1997-08-08 1998-05-14 Maßstab und Verfahren zur Herstellung eines Maßstabes sowie Positionsmeßeinrichtung Expired - Fee Related DE19821558B4 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19821558A DE19821558B4 (de) 1997-08-08 1998-05-14 Maßstab und Verfahren zur Herstellung eines Maßstabes sowie Positionsmeßeinrichtung

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19734363.5 1997-08-08
DE19734363 1997-08-08
DE19821558A DE19821558B4 (de) 1997-08-08 1998-05-14 Maßstab und Verfahren zur Herstellung eines Maßstabes sowie Positionsmeßeinrichtung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE19821558A1 DE19821558A1 (de) 1999-02-11
DE19821558B4 true DE19821558B4 (de) 2007-09-13

Family

ID=7838379

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19821558A Expired - Fee Related DE19821558B4 (de) 1997-08-08 1998-05-14 Maßstab und Verfahren zur Herstellung eines Maßstabes sowie Positionsmeßeinrichtung

Country Status (2)

Country Link
US (1) US6532681B2 (de)
DE (1) DE19821558B4 (de)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10041692A1 (de) * 2000-08-24 2002-03-07 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längen- oder Winkelmeßgerät
US7318878B2 (en) * 2000-09-28 2008-01-15 Oce Printing Systems Gmbh Method and device for producing continuous belts from plastic films
DE10117193B4 (de) * 2001-04-05 2013-04-04 Anton Rodi Messsystem zur Absolutwerterfassung von Winkeln oder Wegen
US6912797B2 (en) 2001-04-05 2005-07-05 Anton Rodi Measuring system for recording absolute angular or position values
US6922907B2 (en) 2001-04-05 2005-08-02 Anton Rodi Measuring system for recording absolute angular or position values
JP4509483B2 (ja) * 2002-03-30 2010-07-21 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング リニアエンコーダ及びリニアガイドユニット
DE10300918B4 (de) * 2003-01-13 2014-11-06 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Erfassen der Relativbewegung zweier relativ zueinander bewegbarer Maschinenteile
US7261397B2 (en) * 2003-08-19 2007-08-28 Canon Kabushiki Kaisha Tank unit, ink jet recording head and method of manufacturing tank unit and ink jet recording head
US7281339B2 (en) * 2004-05-06 2007-10-16 Universal Instruments Corporation Encoder system
US7121010B2 (en) * 2004-05-07 2006-10-17 Black & Decker Inc. Line generating device
JP4923056B2 (ja) * 2005-11-09 2012-04-25 ジーエスアイ・グループ・コーポレーション 光学参照マーカ付き光学エンコーダのスケールアッセンブリ
JP5162800B2 (ja) * 2009-03-24 2013-03-13 株式会社ミツトヨ リニアスケール
KR101250093B1 (ko) * 2009-05-15 2013-04-02 도요타지도샤가부시키가이샤 레이저 용접 방법 및 그것을 포함하는 전지의 제조 방법
DE102009044917A1 (de) * 2009-09-23 2011-04-07 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Längenmesseinrichtung
EP2357451B1 (de) * 2010-02-09 2011-11-16 SICK STEGMANN GmbH Messvorrichtung zur Absolutwertbestimmung von Längen oder Winkeln mit aus einzelnen Teilstücken zusammengesetzter aktiver Massverkörperung
US10871384B2 (en) 2019-02-26 2020-12-22 Thomas P. Moyer Apparatus and methods utilizing emissive patterns to determine positional information

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1548875A1 (de) * 1966-12-20 1970-10-08 Wenczler & Heidenhain Teilungstraeger
DE2847719A1 (de) * 1978-11-03 1980-05-14 Jenoptik Jena Gmbh Praezisionsmasstab
DE3818044A1 (de) * 1988-05-27 1989-11-30 Christoph Dipl Phys Kuehne Praezisions-messeinrichtung fuer grosse verschiebungen
EP0624780A2 (de) * 1993-05-13 1994-11-17 Sony Magnescale Incorporation Skalenträgeranordnung
JPH08145609A (ja) * 1994-11-21 1996-06-07 Sony Magnescale Inc 位置検出装置

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE229332C (de) *
DE2948854A1 (de) * 1979-12-05 1981-06-11 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementales messsystem
DE3037810C2 (de) * 1980-10-07 1982-11-04 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
US4424435A (en) * 1981-09-11 1984-01-03 Itek Corporation Low expansion laser welding arrangement
EP0118607B1 (de) * 1983-02-12 1989-02-01 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Gekapselte Messeinrichtung
JPS6135734U (ja) * 1984-08-02 1986-03-05 株式会社 測機舎 磁気スケール装置の取付け機構
GB2183951B (en) * 1985-11-28 1990-05-23 Duracell Int Displacement measuring apparatus
JPH043432Y2 (de) * 1987-03-18 1992-02-03
JPS6462292A (en) * 1987-09-02 1989-03-08 Nec Corp Laser welding method for fine wire
EP0348660B1 (de) * 1988-06-29 1992-02-19 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Positionsmesseinrichtung
AT394781B (de) * 1989-02-03 1992-06-25 Rsf Elektronik Gmbh Inkrementales messsystem
US5434602A (en) * 1992-04-23 1995-07-18 Canon Kabushiki Kaisha Recording apparatus with magnetic linear encoder
DE59305801D1 (de) * 1993-12-08 1997-04-17 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längenmesssystem
US5461774A (en) * 1994-03-25 1995-10-31 Motorola, Inc. Apparatus and method of elastically bowing a base plate
US5489321A (en) * 1994-07-14 1996-02-06 Midwest Research Institute Welding/sealing glass-enclosed space in a vacuum
JPH08178694A (ja) * 1994-12-27 1996-07-12 Canon Inc 変位センサ用のスケール
EP0881472B1 (de) * 1997-05-28 2005-07-27 Sony Precision Technology Inc. Träger für eine magnetische Skala
DE19724732A1 (de) * 1997-06-12 1998-12-17 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längenmeßsystem mit modular aufgebautem Maßstab
DE19806321A1 (de) * 1998-02-06 1999-08-19 Samsung Display Devices Co Ltd Verfahren und Vorrichtung zum Verbinden von Befestigungselementen am Maskenrahmen von Bildröhren

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1548875A1 (de) * 1966-12-20 1970-10-08 Wenczler & Heidenhain Teilungstraeger
DE2847719A1 (de) * 1978-11-03 1980-05-14 Jenoptik Jena Gmbh Praezisionsmasstab
DE3818044A1 (de) * 1988-05-27 1989-11-30 Christoph Dipl Phys Kuehne Praezisions-messeinrichtung fuer grosse verschiebungen
EP0624780A2 (de) * 1993-05-13 1994-11-17 Sony Magnescale Incorporation Skalenträgeranordnung
JPH08145609A (ja) * 1994-11-21 1996-06-07 Sony Magnescale Inc 位置検出装置

Also Published As

Publication number Publication date
US6532681B2 (en) 2003-03-18
DE19821558A1 (de) 1999-02-11
US20010037580A1 (en) 2001-11-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19821558B4 (de) Maßstab und Verfahren zur Herstellung eines Maßstabes sowie Positionsmeßeinrichtung
EP1112802B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Erwärmen von mindestens zwei Elementen mittels Laserstrahlen mit hoher Energiedichte
EP2335848B1 (de) Optische Bestrahlungseinheit für eine Anlage zur Herstellung von Werkstücken durch Bestrahlen von Pulverschichten mit Laserstrahlung
EP0262363B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur kontinuierlichen Herstellung rohrförmiger Körper mittels Laser-Längsnahtschweissung
DE3423172C2 (de) Verfahren zum Herstellen einer Solarbatterie
DE10254917A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum gleichzeitigen Blockschmelzen von Material mittels eines Lasers
DE102005048247A1 (de) Spaltystem für ein sprödes Werkstück und Spaltverfahren für ein sprödes Werkstück
EP0748268B1 (de) Verfahren zum vorbereiten der fügebereiche beschichteter werkstücke zum schweissen mit laserstrahlung und überlappstoss zum schweissen beschichteter werkstücke
DE19832168A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Schweißen von thermoplastischen Kunststoffen mit Laserlicht
EP1832377B1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Schweißen eines Werkstückes
EP1714771A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Verbinden von zwei Werkstücken aus thermoplastischen Kunststoffen durch Laserschweißen
EP1024919B1 (de) Verfahren zum bearbeiten, insbesondere verlöten, eines bauteiles oder einer bauteilanordnung mittels elektromagnetischer strahlung
DE10131883B4 (de) Verfahren zum Verschweißen von Metallbauteilen
DE2638474C3 (de)
EP0481270A1 (de) Verfahren zur Einkopplung von cw-CO2-Laserstrahlen
DE19501442A1 (de) Verfahren zur Herstellung von Schneidwerkzeugen für Werkzeugmaschinen
EP0754519B1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Rotationswerkzeuges zur spanabhebenden Bearbeitung und das Werkzeug
WO1999041813A1 (de) Verfahren zum aufbauen und verbinden von optischen komponenten, insbesondere von optischen komponenten in einem laserresonator und laserresonator
DE4111876C2 (de) Verfahren zum Fügen von Metallteilen mit einem Energiestrahl
DE102020105505A1 (de) Verfahren zum Laserschweißen zweier beschichteter Werkstücke
DE102019214891A1 (de) Verfahren zum Laserlöten, insbesondere von Stahlkarosserieteilen
DE10123852C1 (de) Verfahren zur Laserbearbeitung, insbesondere zum Laserlöten und/oder Laserschweissen, von Teilen mit hoher Reflektivität
WO2005033621A1 (de) Führungskörper mit einer massverkörperung
DE102021203664A1 (de) Fügeverfahren zum Fügen mindestens eines ersten Fügepartners mit einem zweiten Fügepartner sowie Sensoranordnung mit diesen
DE10045675A1 (de) Verschweißung von Werkstücken unterschiedlichen Kohlenstoffgehaltes

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8364 No opposition during term of opposition
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20141202