JPH1163966A - スケール装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 磁気目盛が記録されたスケール４を筺体３に
固定してなるベースユニット２と、このベースユニット
２に対し相対的にスライド可能に設けられ、スケール４
に記録された磁気目盛を検出するセンサ１５を有する検
出ヘッド部１４を備えたスライダユニット１０と、によ
り構成されるスケール装置において、組み付け性及びメ
ンテナンス性が良好でかつローコストなスケール装置を
提供する。 【解決手段】 スケール４を薄板状に形成し、この薄板
状のスケール４を、中間部を浮かせた状態で両端部にお
いて筺体３のブラケット６に溶接によって固着した構造
とすると共に、スケール４に対し検出ヘッド部１４を、
スケール４の幅方向に抜き差し可能な構造とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、工作機械、産業機
械等において、直線の位置検出（相対位置検出）に使用
されるスケール装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般にこの種のスケール装置は、目盛が
記録されたスケールをベース体に固定してなるベースユ
ニットと、このベースユニットに対し相対的にスライド
可能に設けられ、上記スケールに記録された目盛を検出
するセンサを備えたスライダユニットと、により構成さ
れている。

【０００３】従来のこの種のスケール装置では、ベース
ユニット側のスケールとして棒状のスケールが用いら
れ、一方スライドユニット側には、目盛を検出するセン
サを有する検出ヘッド部が設けられて、この検出ヘッド
部に上記スケールが摺動自在に挿通嵌合された構造とな
っており、さらに検出ヘッド部には、取り付け公差や部
品公差を許容するために姿勢変化が可能な自在機構が設
けられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このような従来のスケ
ール装置の場合、スケールに対する検出ヘッド部の抜き
差しはスケールの端面側からしか行なえず、組み立て性
及びメンテナンス性が悪いという欠点があった。また、
検出ヘッド部には取り付け公差や部品公差を許容するた
めに姿勢変化に対応する複雑な自在機構を備える必要が
あるため、コストアップの原因となっていた。本発明は
このような問題点を解消し、検出ヘッド部がスケールの
幅方向に抜き差し可能であり、かつ複雑な自在機構を設
けずに姿勢変化に対応するスケール装置を提供すること
を目的としてなされたものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は、目盛が記録されたスケールをベース体に
固定してなるベースユニットと、このベースユニットに
対し相対的にスライド可能に設けられ、スケールに記録
された目盛を検出するセンサを備えたスライダユニット
と、により構成されるスケール装置において、スケール
を薄板状に形成し、かつこの薄板状のスケールを、中間
部を浮かせた状態で両端部において筺体に固着すると共
に、スライダユニット側に、センサが設けられ、かつこ
のセンサとスケールの目盛記録面との間の距離を一定に
保つための基準摺動部材と、この基準摺動部材にスケー
ルの目盛記録面が常に接するように圧力を加える加圧摺
動部材と、を有してなる検出ヘッド部を設け、スケール
に対し検出ヘッド部を、スケールの幅方向に抜き差し可
能な構造としたものである。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施の形態について説明する。尚、ここでは磁気式リ
ニアスケール装置の場合を例示して説明する。

【０００７】図１〜図１１に本発明の第１の実施例を示
す。図において１は本発明によるスケール装置を全体と
して示し、このスケール装置１は、ベースユニット２
と、このベースユニット２に対し相対的にスライド可能
に設けられるスライダユニット１０とにより構成されて
いる。

【０００８】ベースユニット２は、ベース体としての長
尺状の筺体３の内部に、磁気目盛が記録された長尺のス
ケール４を固定してなり、筺体３に形成された固定穴５
においてボルト止め等によって被測定物の一方に固定さ
れる。

【０００９】一方スライダユニット１０は、スケール４
に記録された磁気目盛を検出するセンサ１５を備え、ス
ライダ１１に形成された固定穴１２においてボルト止め
等によって被測定物の他方に固定される。

【００１０】そして被測定物の直線移動動作と一体にス
ライダユニット１０がベースユニット２に対しスケール
４に沿う方向（矢印ａ方向）に相対的にスライドするこ
とにより、センサ１５で検出されたスケール４の磁気目
盛が電気信号としてケーブル１３に出力され、移動位置
の検出（測定）が行なわれる構造となっている。

【００１１】上記の如く構成される本例のスケール装置
において、先ずベースユニット２の構造について詳しく
説明する。ベースユニット２においてベース体としての
筺体３は略コ字形の断面形状を有する長尺の部材であ
り、そのコ字形の開放面を下に向けた状態で固定穴５に
おいて被測定物に固定される。この筺体３は所要の剛性
を有する金属材によりなり、例えば板金を折り曲げて成
形したものでもよいし、あるいはアルミニウムを押し出
し成形したものでもよい。勿論、機械加工によって製作
されたものでもよい。

【００１２】この筺体３の内部に固定される長尺のスケ
ール４は、薄板状の金属材で形成されており、このスケ
ール（以下薄板状スケールという）４のセンサと対向す
る面に長手方向に沿って磁気目盛が記録されている。こ
の磁気目盛は、磁界Ｎ極と磁界Ｓ極が例えばＮ−Ｓ，Ｓ
−Ｎ，Ｎ−Ｓのように所定の間隔で記録されたインクレ
メント型でも、絶対位置を記録したアブソリュート型で
あってもよい。尚、この磁気目盛は、予め記録しておい
てもよいし、薄板状スケール４を筺体３に固定した後に
記録するようにしてもよい。

【００１３】この薄板状スケール４は、中間部を浮かせ
た状態で左右両端部において筺体３に固着されている。
即ち、図２に示すように筺体３の内部には左右両側にブ
ラケット６が固定されており、このブラケット６に薄板
状スケール４の両端部が溶接によって固着されている
（図２中×印で示す部分が溶接部である）。また、この
薄板状スケール４は、磁気目盛の記録面が断面略コ字状
の筺体３の開放面と略直角となるような配置でブラケッ
ト６に固着されている。

【００１４】ブラケット６は所要の剛性を有する板金に
よりなるもので、図４に示す如く筺体３の上側板部３ａ
と後側板部３ｃの内面側に溶接によって固定されてお
り、このブラケット６の中央の支持板部６ａに薄板状ス
ケール４の端部が支持される状態で溶接によって固着さ
れる。

【００１５】尚、薄板状スケール４は、所定の張力を加
えられた状態でブラケット６に溶接される。また、この
薄板状スケール４の溶接手段としては抵抗溶接が用いら
れ、筺体３にはこの抵抗溶接用の電極が入る挿入穴７が
形成されている。

【００１６】次にスライダユニット１０の構造について
説明する。このスライダユニット１０は、筺体３の下方
に設けられるスライダ１１と、薄板状スケール４に記録
された磁気目盛を検出するセンサ１５を有する検出ヘッ
ド部１４と、から構成されており、このスライダ１１と
検出ヘッド部１４とは支板１１ａによって連結されてい
る。即ち、スライダ１１にはその上面部中央から支板１
１ａが突出され、この支板１１ａの上端部に検出ヘッド
部１４が取り付けられた構造となっている。

【００１７】スライダ１１は固定穴１２において被測定
物に固定されるようになっており、またこのスライダ１
１からは、検出ヘッド部１４のセンサ１５で検出された
電気信号が出力されるケーブル１３が導出されている。

【００１８】検出ヘッド部１４のセンサ１５には磁気抵
抗素子（ＭＲセンサ）が用いられ、このセンサ１５は接
着、嵌め合いによるかしめ、板ばねによる押し付けなど
の固定手段によりスライダ１１の支板１１ａに固定され
ている。

【００１９】さらに検出ヘッド部１４には、センサ１５
と薄板状スケール４の磁気目盛の記録面との間の距離を
一定に保つための基準摺動部材１６と、この基準摺動部
材１６に薄板状スケール４の磁気目盛の記録面が常に接
するように圧力を加える加圧摺動部材１７とが設けられ
ている。

【００２０】この基準摺動部材１６と加圧摺動部材１７
は、何れも潤滑性の樹脂材（例えばジュラコン、テフロ
ンなど）や含有メタル等を材料として成形されるブロッ
ク状部材であり、基準摺動部材１６は固定螺子１８によ
ってスライダ１１の支板１１ａに固定され、また加圧摺
動部材１７は固定螺子１９で基準摺動部材１６に固定さ
れる板ばね２０によって基準摺動部材１６に圧接するよ
うに支持されている。

【００２１】そしてこの基準摺動部材１６と加圧摺動部
材１７とで薄板状スケール４を挟む構造となされてお
り、加圧摺動部材１７によって薄板状スケール４が常に
基準摺動部材１６に圧接されることでセンサ１５と薄板
状スケール４の磁気目盛の記録面との間の距離が常に一
定に保たれるようになっている。

【００２２】そしてスライダ１１が筺体３に対し相対的
にスライドされることで検出ヘッド部１４が薄板状スケ
ール４に沿って移動し、そのときセンサ１５で検出され
た薄板状スケール４の磁気目盛が電気信号としてケーブ
ル１３に出力されることによって移動位置の検出が行な
われる。

【００２３】上記構成において、センサ１５の検出面と
薄板状スケール４の磁気目盛の記録面との間の距離即ち
クリアランスｂは、センサ１５に磁気抵抗素子を用いた
場合、再生波長０．５ｍｍで使用可能なクリアランス範
囲は例えば０．３５±０．２５ｍｍである。よって、ク
リアランスを使用範囲の中心に設定し、センサ１５の検
出面を基準として基準摺動部材１６を設置する場合は、
基準摺動部材１６の厚みを０．３５ｍｍにすればよい。

【００２４】尚、基準摺動部材１６は、図７（Ａ）に示
す如くセンサ１５の検出面を開放する構造としても、あ
るいは同図（Ｂ）のようにセンサ１５の検出面を完全に
覆う構造としてもよい。

【００２５】以上の如く構成される本例のスケール装置
１では、薄板状スケール４に対し検出ヘッド部１４を、
薄板状スケール４の幅方向に抜き差しすることができ
る。即ちこのスケール装置１では、薄板状スケール４を
磁気目盛の記録面が筺体３の開放面と略直角となるよう
に配置してあり、かつ、図３に示す如く検出ヘッド部１
４の厚み寸法ｃよりも筺体３の開放面の開口寸法ｄを大
きく形成することで、この筺体３の開放面から検出ヘッ
ド部１４を薄板状スケール４の幅方向に抜き差し可能な
構造としてある。

【００２６】このように検出ヘッド部１４を薄板状スケ
ール４の幅方向に抜き差し可能な構造としたことによ
り、薄板状スケール４の位置検出方向即ち長さ方向のど
の部分からも検出ヘッド部１４を組み付けることがで
き、また取り外すこともできるので、組み付け性及びメ
ンテナンス性が良好である。

【００２７】尚、検出ヘッド部１４を薄板状スケール４
に組み付けた後に、図５に示す如く筺体３の開放面を塞
ぐゴム製のダストリップ２１ａ，２１ｂを取り付けるこ
とにより、筺体３内への塵埃や油、その他の異物の侵入
が防止され、検出ヘッド部１４を保護できると共に、筺
体３からの検出ヘッド部１４の抜け落ちが防止される。
メンテナンス等で検出ヘッド部１４を外す場合は、ダス
トリップ２１ａ，２１ｂを取り外せばよい。

【００２８】また、通常この種のスケール装置では、筺
体３やスライダ１１を被測定物に取り付ける際に、必ず
取り付け誤差が発生し、この誤差の許容量が大きいほど
取り付け易いことになるが、本例のスケール装置１にお
いては、充分な許容量を確保することができる。

【００２９】即ち、先ず図８に示すように、薄板状スケ
ール４の磁気目盛４ａは薄板状スケール４の幅方向に長
いトラックで記録されており、この磁気目盛４ａのトラ
ック長さｅをセンサ１５のトラック方向長さｆより大き
くすれば、その差がトラック方向（位置検出方向と直交
する方向）ｇの取り付け誤差の許容量となる。また、検
出ヘッド１４は、基準摺動部材１６と加圧摺動部材１７
とで薄板状スケール４を挟んでいる構造のため、トラッ
ク方向への位置ずれは自在である。

【００３０】ここで例えば薄板状スケール４の幅ｈが９
ｍｍ、磁気目盛４ａのトラック長さｅが７ｍｍ、センサ
１５のトラック方向長さｆが３ｍｍとすると、許容範囲
は±２ｍｍとなり、非常に許容範囲が広くなる。

【００３１】また、図９に示すように、スライダ１１が
傾き角度θ₁ で傾き、磁気目盛に対しセンサ１５がアジ
マスずれを起こした場合、センサ１５の傾き許容度は±
１°程度のため、例えばθ₁ を１°とし、スライダ１１
の位置検出方向の幅ｉを５０ｍｍとすると、傾き量ｊは
０．８ｍｍにもなり、充分な許容量である。また、検出
ヘッド部１４は、基準摺動部材１６と加圧摺動部材１７
とで薄板状スケール４を挟んでいる構造のため、アジマ
ス方向への位置ずれは自在である。

【００３２】また、スライダ１１が図１０に示すような
傾きθ₂ で姿勢変化を起こしたときには、検出ヘッド部
１４の基準摺動部材１６と加圧摺動部材１７に挟まれた
薄板状スケール４が図示の如くねじれることにより、磁
気目盛の記録面が常に基準摺動部材１６に押し付けられ
た状態で追従する。

【００３３】さらに図１１に示すような傾きθ₃ での姿
勢変化に対しては、検出ヘッド部１４の基準摺動部材１
６と加圧摺動部材１７に挟まれた薄板状スケール４が図
示の如く撓むことにより、磁気目盛の記録面が常に基準
摺動部材１６に押し付けられた状態で追従する。

【００３４】このように本例のスケール装置１では、姿
勢変化に対応するための複雑な自在機構を設けることな
く簡単な構成で如何なる姿勢変化においても許容でき、
しかもその許容量を大きくとることができる。

【００３５】図１２及び図１３は本発明の第２の実施例
を示している。ここで前述した第１の実施例と対応する
部分には同一符号を付し、その説明は省略する。

【００３６】この第２の実施例が上記第１の実施例と異
なる部分は検出ヘッド部１４の構造であり、即ちこの第
２の実施例のスケール装置１における検出ヘッド部１４
では、第１の実施例の基準摺動部材１６及び加圧摺動部
材１７に代えて、薄板状スケール４が通る凹溝２３を有
する摺動部材２２が設けられている。

【００３７】この摺動部材２２は、第１の実施例におけ
る基準摺動部材１６や加圧摺動部材１７と同様の潤滑性
の樹脂材や含有メタル等を材料として成形されるブロッ
ク状部材であり、その中央部に形成される凹溝２３は、
センサ１５と薄板状スケール４の磁気目盛の記録面との
間の距離即ちクリアランスをセンサ１５による磁気目盛
の検出が可能な範囲内に保つためのものである。

【００３８】即ち、本例の構造ではセンサ１５が凹溝２
３に面して設けられており、この構成において摺動部材
２２の凹溝２３の溝幅ｋは、薄板状スケール４の厚みｍ
より大きく、かつ薄板状スケール４の厚みｍと、センサ
１５による磁気目盛の検出が可能な最大クリアランスと
を合わせた寸法以下に設定されている。

【００３９】例えば、センサ１５に磁気抵抗素子を用い
た場合、再生波長０．５ｍｍで磁気目盛の検出が可能な
最大クリアランスを０．６ｍｍとし、薄板状スケール４
の厚みｍを０．１５ｍｍとすると、凹溝２３の溝幅ｋは
０．１５＜ｋ≦０．７５ｍｍに設定し、この凹溝２３に
薄板状スケール４を通せば、常にセンサ１５による磁気
目盛の検出が可能な範囲内のクリアランスに保たれるの
で、正常な位置検出信号が得られることになる。尚、必
要に応じてセンサ１５に保護手段を設けてもよい。

【００４０】そしてこの第２の実施例においても、第１
の実施例と同様に、検出ヘッド部１４を薄板状スケール
４の幅方向に抜き差しすることができる。また、取り付
け誤差の許容についても、第１の実施例と同様の効果が
得られる。

【００４１】尚、この第２の実施例において、検出ヘッ
ド部１４の摺動部材２２は、図１４に示すように主摺動
部材２２ａと副摺動部材２２ｂの二部品で構成し、これ
をビス２４によって一体化したものとしてもよい。

【００４２】さらに検出ヘッド部１４の摺動部材２２
は、図１５に示すような構造としてもよい。即ちこの図
１５の例の摺動部材２２は、主摺動部材２２ａに対し副
摺動部材２２ｂが板ばね２０によって支持されている。
そしてこの副摺動部材２２ｂにはセンサ１５の上下にお
いて主摺動部材２２ａに当接する突出部２３ａ，２３ｂ
が形成されており、この上下の突出部２３ａと２３ｂの
間に薄板状スケール４の通る凹溝２３が形成されてい
る。

【００４３】ここで、摺動部材２２は、検出ヘッド部１
４を小型化するために薄くすると剛性が小さくなり、上
述の図１０のようにスライダ１１が傾きθ₂ の姿勢変化
を起こしたときに溝幅ｋが開いてクリアランスを所定範
囲に保つことができなくなるおそれがあるので、例えば
図１６に示すような構造とすることによって補強すると
よい。

【００４４】即ち、図１６に示す検出ヘッド部１４で
は、スライダ１１の支板１１ａの先端に設けた金属製の
取付基板２２Ａの基端部にビス止めにより片持ち支持さ
れた副摺動部材２２ｂが、薄くすると剛性を確保できな
くなるので、金属補強板２２Ｂとともに上記基端部にビ
ス止めすることによって補強されている。なお、上記取
付基板２２Ａには、副摺動部材２２ｂを取り外した状態
の正面図を図１７に示してあるように、平面形状がＵ字
状に成形された主摺動部材２２ａがセンサ１５を囲む状
態でビス止めされている。

【００４５】この図１６に示した検出ヘッド部１４で
は、摺動部材２２における凹溝２３の溝幅ｋは、Ｙ寸法
を形成する主摺動部材２２ａ及び取付基板２２Ａの各部
品寸法で設定され、副摺動部材２２ｂ及び金属補強板２
２Ｂがビス止めされることで所望の溝幅ｋとなる凹溝２
３が設定される。各部品寸法のみで所望の溝幅ｋを得ら
れない場合、取付基板２２Ａの基端部と上記副摺動部材
２２ｂの間に介在させるスペーサ２５によって溝幅ｋを
調整することができる。

【００４６】また、この図１６に示した検出ヘッド部１
４では、薄板状スケール４が抜き差しされる摺動部材２
２の凹溝２３を形成している上記主摺動部材２２ａ及び
副摺動部材２２ｂの先端部２２ａ₁ ，２２ｂ₁ に面取り
加工を施しておくことにより、上記凹溝２３に薄板状ス
ケール４を簡単に挿入することができるようになってい
る。尚、上記主摺動部材２２ａ及び副摺動部材２２ｂの
先端部２２ａ₁ ，２２ｂ₁の少なくとも一方に面取り加
工を施しておくことにより、上記凹溝２３に薄板状スケ
ール４を簡単に挿入することができる。

【００４７】この構造においては、必要に応じてセンサ
１５の左右方向に塵埃等を除去するためのワイパーを設
けてもよい。

【００４８】即ち、検出ヘッド部１４には、図１８及び
図１９に示すように、弾性を有する金属板などで形成さ
れたワイパーホルダ２６により摺動部材２２の両端部分
にワイパー２７を取り付けることができる。この場合、
ワイパー２７は、薄板状スケール４を表裏両面側から挟
むように設けられる。

【００４９】このワイパー２７は、フェルトやスポンジ
などからなり、油を含浸させることにより潤滑性が高め
られている。またこのワイパー２７の材質としては、ゴ
ムを使用してもよい。またワイパー２７は、ワイパーホ
ルダ２６を弾性変形させることによって簡単に交換でき
るようになっている。

【００５０】このようにワイパー２７が取り付けられた
検出ヘッド部１４では、凹溝２３に通される薄板状スケ
ール４の表面及び裏面に付着される塵埃などを上記ワイ
パー２７で除去することができる。

【００５１】ここで、図２０に示すように上記ワイパー
２７の側縁を薄板状スケール４の長さ方向に対して傾斜
させた形状にしておくことにより、摺動によって薄板状
スケール４の表面から除去した塵埃などを薄板状スケー
ル４の表面外に案内して排除することができる。

【００５２】この場合、ワイパー２７の傾斜は、塵埃な
どが筺体３の開放面側にいくようにするとよい。即ち本
例においては、塵埃などが筺体３の開放面側（下面側）
に案内されるように、ワイパー２７の傾斜は逆台形状の
傾斜となっており、これによって塵埃などが筺体３の開
放面から筺体３の外へ効果的に排出されるようになって
いる。尚、このワイパー２７は、他の実施例にも使用で
きることはもちろんである。

【００５３】以上、本発明の実施例について説明した
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。例えば、以上の実施例ではベース体として断面略コ
字形の筺体３を使用しているが、この筺体３に代えてベ
ース体を平板体や断面Ｌ字形の折り曲げ板体で形成した
オープンタイプのスケール装置にも本発明を適用できる
ことはもちろんである。

【００５４】さらに以上の実施例では、本発明を磁気ス
ケール装置に適用した例について説明したが、本発明は
磁気スケール装置の他にも光学式スケール装置や静電容
量式スケール装置においても適用することができ、方式
は問わない。

【００５５】

【発明の効果】以上に説明した如く本発明のスケール装
置は、検出ヘッド部を薄板状スケールの幅方向に抜き差
し可能な構造としたことにより、薄板状スケールのどの
部分からも検出ヘッド部を組み付けることができ、また
取り外すこともできるので、組み付け性及びメンテナン
ス性が非常に良好となる。また本発明のスケール装置で
は、スライダの姿勢変化に対応するための複雑な自在機
構を設ける必要がないので、部品点数が少なく抑えら
れ、ローコストなスケール装置を提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるスケール装置の第１の実施例を示
す一部切り欠いた斜視図である。

【図２】同、一部切り欠いた正面図である。

【図３】同、側面図である。

【図４】同、筺体ユニットの要部の縦断側面図である。

【図５】同、筺体にダストリップを取り付けた状態の説
明図である。

【図６】同、検出ヘッド部の上面図である。

【図７】同、基準摺動部材の構造例を示す横断面図であ
る。

【図８】同、取り付け誤差の許容の説明図である。

【図９】同、取り付け誤差の許容の説明図である。

【図１０】同、取り付け誤差の許容の説明図である。

【図１１】同、取り付け誤差の許容の説明図である。

【図１２】本発明によるスケール装置の第２の実施例を
示す一部切り欠いた斜視図である。

【図１３】同、側面図である。

【図１４】第２の実施例の変形例の側面図である。

【図１５】第２の実施例の他の変形例の側面図である。

【図１６】検出ヘッド部を補強した例の側面図である。

【図１７】同、副摺動部材を取り外した状態の正面図で
ある。

【図１８】検出ヘッド部にワイパーを設けた例の側面図
である。

【図１９】同、副摺動部材を取り外した状態の正面図で
ある。

【図２０】ワイパーの側縁が傾斜した形状例である。

【符号の説明】

１…スケール装置、２…ベースユニット、３…筺体（ベ
ース体）、４…薄板状スケール、１０…スライダユニッ
ト、１１…スライダ、１４…検出ヘッド部、１５…セン
サ、１６…基準摺動部材、１７…加圧摺動部材、２２…
摺動部材、２３…凹溝

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 目盛が記録されたスケールをベース体に
   固定してなるベースユニットと、 このベースユニットに対し相対的にスライド可能に設け
   られ、上記スケールに記録された目盛を検出するセンサ
   を備えたスライダユニットと、 により構成されるスケール装置において、 上記スケールを薄板状に形成し、かつこの薄板状のスケ
   ールを、中間部を浮かせた状態で両端部において上記ベ
   ース体に固着すると共に、 上記スライダユニット側に、上記センサが設けられ、か
   つこのセンサと上記スケールの目盛記録面との間の距離
   を一定に保つための基準摺動部材と、この基準摺動部材
   に上記スケールの目盛記録面が常に接するように圧力を
   加える加圧摺動部材と、を有してなる検出ヘッド部を設
   け、 上記スケールに対し上記検出ヘッド部を、上記スケール
   の幅方向に抜き差し可能な構造としたことを特徴とする
   スケール装置。
2. 【請求項２】 目盛が記録されたスケールをベース体に
   固定してなるベースユニットと、 このベースユニットに対し相対的にスライド可能に設け
   られ、上記スケールに記録された目盛を検出するセンサ
   を備えたスライダユニットと、 により構成されるスケール装置において、 上記スケールを薄板状に形成し、かつこの薄板状のスケ
   ールを、中間部を浮かせた状態で両端部において上記筺
   体に固着すると共に、 上記スライダユニット側に、上記センサが設けられ、か
   つこのセンサと上記スケールの目盛記録面との間の距離
   を上記センサによる目盛検出が可能な範囲内に保つ凹溝
   を有する摺動部材を有してなる検出ヘッド部を設け、 上記スケールに対し上記検出ヘッド部を、上記スケール
   の幅方向に抜き差し可能な構造としたことを特徴とする
   スケール装置。