JPH06210103A - 精密部品の脱水乾燥方法 - Google Patents
精密部品の脱水乾燥方法Info
- Publication number
- JPH06210103A JPH06210103A JP2494193A JP2494193A JPH06210103A JP H06210103 A JPH06210103 A JP H06210103A JP 2494193 A JP2494193 A JP 2494193A JP 2494193 A JP2494193 A JP 2494193A JP H06210103 A JPH06210103 A JP H06210103A
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- Japan
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- water
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- cleaning agent
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 火災やオゾン層破壊のおそれがない精密部品
の脱水乾燥方法を提供すること。 【構成】 水分の付着した精密部品をパーフロロカーボ
ン系又はパーフロロポリエーテル系溶剤に１〜６％のフ
ッ素系アルコールとを添加した洗浄剤で脱水乾燥させ
る。
の脱水乾燥方法を提供すること。 【構成】 水分の付着した精密部品をパーフロロカーボ
ン系又はパーフロロポリエーテル系溶剤に１〜６％のフ
ッ素系アルコールとを添加した洗浄剤で脱水乾燥させ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は精密部品の脱水乾燥方
法、詳しくは電子部品、光学部品等の水及び水系洗浄を
経た被洗浄物の脱水乾燥に極めて好適な脱水乾燥方法に
関するものである。
法、詳しくは電子部品、光学部品等の水及び水系洗浄を
経た被洗浄物の脱水乾燥に極めて好適な脱水乾燥方法に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】電子部品、光学部品など異物の付着を極
度に嫌う精密部品の洗浄方法としては、イオン交換水、
界面活性剤入りイオン交換水等により洗浄を行った後、
イソプロピールアルコールや塩素系溶剤であるメチレン
クロライド、１．１．１．トリクロールエタン、フロン
１１３などによって蒸気乾燥する方法や、加温純水中か
らゆっくり引上げながら熱風や赤外線などによって脱水
乾燥する方法が広く行われている。
度に嫌う精密部品の洗浄方法としては、イオン交換水、
界面活性剤入りイオン交換水等により洗浄を行った後、
イソプロピールアルコールや塩素系溶剤であるメチレン
クロライド、１．１．１．トリクロールエタン、フロン
１１３などによって蒸気乾燥する方法や、加温純水中か
らゆっくり引上げながら熱風や赤外線などによって脱水
乾燥する方法が広く行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、イソプ
ロピールアルコールによる脱水乾燥には引火の危険性が
あり、塩素系溶剤（メチルタロライド、１．１．１．ト
リクロールエタン、フロン１１３）による脱水乾燥は、
これら溶剤の分子構造上、塩素が含有されている為、大
気放出された場合、成層圏でオゾン層の破壊を招く危険
があり、地球環境保全の意味からも好ましくない。
ロピールアルコールによる脱水乾燥には引火の危険性が
あり、塩素系溶剤（メチルタロライド、１．１．１．ト
リクロールエタン、フロン１１３）による脱水乾燥は、
これら溶剤の分子構造上、塩素が含有されている為、大
気放出された場合、成層圏でオゾン層の破壊を招く危険
があり、地球環境保全の意味からも好ましくない。
【０００４】一方、超純水による乾燥は乾燥時間を長く
する必要があり、又水分を極端に嫌う電子部品には向か
ない欠点がある。
する必要があり、又水分を極端に嫌う電子部品には向か
ない欠点がある。
【０００５】この発明は、精密部品の脱水乾燥に関する
上記問題点を解決することを目的とするものであり、火
災の危険がなく、しかも成層圏のオゾン層を破壊するお
それがない、安全で環境保全に役立つ新規な脱水乾燥方
法を提供せんとするものである。
上記問題点を解決することを目的とするものであり、火
災の危険がなく、しかも成層圏のオゾン層を破壊するお
それがない、安全で環境保全に役立つ新規な脱水乾燥方
法を提供せんとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、主成分をパ
ーフロロカーボン系の溶剤もしくはパーフロロエーテル
系の溶剤で構成し、この主成分に１〜６％のフッ素系ア
ルコール（ＣＦ3 ＣＨ2 ＯＨ、トリフルオロエタノー
ル、又はＣ3 Ｆ5 Ｈ2 ＯＨ ５フッ化プロパノール等）
を添加した洗浄剤を用いることを最大の特徴とするもの
であり、前工程の洗浄作業により表面に水分の付着した
被洗浄物をこの洗浄剤の蒸気中にさらして脱水乾燥する
脱水乾燥方法、沸点以下に保った前記洗浄剤中に被洗浄
物を一旦浸透した後、更にパーフロロカーボン系又はパ
ーフロロポリエーテル系溶剤の蒸気中にさらし、脱水乾
燥を行う脱水乾燥方法、被洗浄物を煮沸させた前記洗浄
剤中に浸透した後、更にパーフロロカーボン系又はパー
フロロポリエーテル系の溶剤の蒸気中にさらし、脱水乾
燥を行う脱水乾燥方法、沸点以下に保った洗浄剤中に被
洗浄物を浸透しつつ、これに超音波を印加した後、更に
パーフロロカーボン系又はパーフロロポリエーテル系の
溶剤中にさらし、脱水乾燥を行う脱水乾燥方法を特徴と
するものである。
ーフロロカーボン系の溶剤もしくはパーフロロエーテル
系の溶剤で構成し、この主成分に１〜６％のフッ素系ア
ルコール（ＣＦ3 ＣＨ2 ＯＨ、トリフルオロエタノー
ル、又はＣ3 Ｆ5 Ｈ2 ＯＨ ５フッ化プロパノール等）
を添加した洗浄剤を用いることを最大の特徴とするもの
であり、前工程の洗浄作業により表面に水分の付着した
被洗浄物をこの洗浄剤の蒸気中にさらして脱水乾燥する
脱水乾燥方法、沸点以下に保った前記洗浄剤中に被洗浄
物を一旦浸透した後、更にパーフロロカーボン系又はパ
ーフロロポリエーテル系溶剤の蒸気中にさらし、脱水乾
燥を行う脱水乾燥方法、被洗浄物を煮沸させた前記洗浄
剤中に浸透した後、更にパーフロロカーボン系又はパー
フロロポリエーテル系の溶剤の蒸気中にさらし、脱水乾
燥を行う脱水乾燥方法、沸点以下に保った洗浄剤中に被
洗浄物を浸透しつつ、これに超音波を印加した後、更に
パーフロロカーボン系又はパーフロロポリエーテル系の
溶剤中にさらし、脱水乾燥を行う脱水乾燥方法を特徴と
するものである。
【０００７】特に、この最後の脱水乾燥方法は表面形状
が複雑だったり、メクラ穴を有する部品など従来脱水乾
燥がしにくかった被洗浄物に有効である。
が複雑だったり、メクラ穴を有する部品など従来脱水乾
燥がしにくかった被洗浄物に有効である。
【０００８】なお、パーフロロカーボン系としては分子
式ＣｎＦ2 ｎ＋２（ｎ＝５，６，７，８）が、パーフロ
ロポリエーテル系としては分子式ＣＦ3 （Ｏ−Ｃ3 Ｆ
6 ）ｎ−（Ｏ−ＣＦ2 ）ｍ−Ｏ−ＣＦ3 （ｎ＝５，６，
７，８、ｍ＝５，６，７，８）が、フッ素系アルコール
としては分子式ＣＦ3 ＣＨ2 ＯＨ（トリフルオロエタ
ン）、Ｃ3 Ｆ5 Ｈ2 ＯＨ（５フッ化プロパノール）がそ
れぞれ望ましい。
式ＣｎＦ2 ｎ＋２（ｎ＝５，６，７，８）が、パーフロ
ロポリエーテル系としては分子式ＣＦ3 （Ｏ−Ｃ3 Ｆ
6 ）ｎ−（Ｏ−ＣＦ2 ）ｍ−Ｏ−ＣＦ3 （ｎ＝５，６，
７，８、ｍ＝５，６，７，８）が、フッ素系アルコール
としては分子式ＣＦ3 ＣＨ2 ＯＨ（トリフルオロエタ
ン）、Ｃ3 Ｆ5 Ｈ2 ＯＨ（５フッ化プロパノール）がそ
れぞれ望ましい。
【０００９】又、この発明の脱水乾燥方法においては、
被洗浄物は好ましくは界面活性剤を含む水で予備洗浄
し、次いでイオン交換水で洗浄した後、本発明の方法で
脱水乾燥するのが望ましい。
被洗浄物は好ましくは界面活性剤を含む水で予備洗浄
し、次いでイオン交換水で洗浄した後、本発明の方法で
脱水乾燥するのが望ましい。
【００１０】
【作用】本発明においては、単独では脱水効果を有しな
いパーフロロカーボン系又はパーフロロエーテル系の溶
剤に親水性を有するフッ素系アルコールを１〜６％添加
することにより、被洗浄物の表面から短時間で水分を除
去し、乾燥じみのない乾燥を実現している。
いパーフロロカーボン系又はパーフロロエーテル系の溶
剤に親水性を有するフッ素系アルコールを１〜６％添加
することにより、被洗浄物の表面から短時間で水分を除
去し、乾燥じみのない乾燥を実現している。
【００１１】
【実施例】図１はこの発明に係る精密部品乾燥方法に用
いる脱水乾燥装置に一実施例の断面図である。図中５は
洗浄槽であり、その下部にはパーフロロカーボン系又は
パーフロロポリエーテル系の溶剤に１〜６％のフッ素系
アルコールを添加した本発明特有の洗浄剤６が満たされ
ており、その液面の上方には液晶ガラス、眼鏡ガラス等
比較的単純な平垣面を有する被洗浄物１が懸吊されてい
る。なお、この被洗浄物１の表面には前工程で行われた
洗浄作業により水分などが付着している。
いる脱水乾燥装置に一実施例の断面図である。図中５は
洗浄槽であり、その下部にはパーフロロカーボン系又は
パーフロロポリエーテル系の溶剤に１〜６％のフッ素系
アルコールを添加した本発明特有の洗浄剤６が満たされ
ており、その液面の上方には液晶ガラス、眼鏡ガラス等
比較的単純な平垣面を有する被洗浄物１が懸吊されてい
る。なお、この被洗浄物１の表面には前工程で行われた
洗浄作業により水分などが付着している。
【００１２】又、７は洗浄槽５の底面付近に配設されて
いるヒーターであり、このヒーター７によって洗浄剤６
は加熱され、発生した蒸気が洗浄槽５中に懸吊されてい
る被洗浄物１に達する様になっている。一方、４は懸吊
されている被洗浄物１の下方に位置せしめられた受皿、
２は洗浄槽５の内周壁上部に配設された冷却コイル、３
は該冷却コイル２の下方に設けられた樋であり、洗浄剤
６の蒸気は被洗浄物１の表面に接触して凝縮液化し、被
洗浄物１表面の水分と共に受皿４に滴下し、導管を通っ
て洗浄槽５外の比重分離タンク９に回収される様になっ
ている。
いるヒーターであり、このヒーター７によって洗浄剤６
は加熱され、発生した蒸気が洗浄槽５中に懸吊されてい
る被洗浄物１に達する様になっている。一方、４は懸吊
されている被洗浄物１の下方に位置せしめられた受皿、
２は洗浄槽５の内周壁上部に配設された冷却コイル、３
は該冷却コイル２の下方に設けられた樋であり、洗浄剤
６の蒸気は被洗浄物１の表面に接触して凝縮液化し、被
洗浄物１表面の水分と共に受皿４に滴下し、導管を通っ
て洗浄槽５外の比重分離タンク９に回収される様になっ
ている。
【００１３】同様に、被洗浄物１表面で凝縮液化しなか
った蒸気は冷却コイル２で凝縮液化し、導管１２を通っ
て比重分離タンク９に送られ、そこで比重差により分離
され、水分１１は導管１０を通って排出され、一方洗浄
剤６は導管８を通って洗浄槽６に還流する様になってい
る。なお、図中１３は水の通過を防止する分離膜筒であ
る。
った蒸気は冷却コイル２で凝縮液化し、導管１２を通っ
て比重分離タンク９に送られ、そこで比重差により分離
され、水分１１は導管１０を通って排出され、一方洗浄
剤６は導管８を通って洗浄槽６に還流する様になってい
る。なお、図中１３は水の通過を防止する分離膜筒であ
る。
【００１４】この洗浄槽５中に懸吊され、洗浄剤６の蒸
気中にさらされた被洗浄物１はその表面で蒸気が凝縮液
化した後、洗浄槽５外に引き上げれば、その表面はただ
ちに乾燥し、乾燥作業は完了する。
気中にさらされた被洗浄物１はその表面で蒸気が凝縮液
化した後、洗浄槽５外に引き上げれば、その表面はただ
ちに乾燥し、乾燥作業は完了する。
【００１５】次に、図２は、ベアリング、磁気ヘッド、
プリント基板等比較的形状が複雑な被洗浄物１´の洗浄
乾燥に適した他の実施例に用いる脱水乾燥装置の断面図
である。
プリント基板等比較的形状が複雑な被洗浄物１´の洗浄
乾燥に適した他の実施例に用いる脱水乾燥装置の断面図
である。
【００１６】この実施例においては洗浄槽５の下面に超
音波振動子１７が取付けられており、被洗浄物１´は洗
浄槽５中に満たされている洗浄剤６中に浸漬され、超音
波振動子１７により超音波振動が印加され、その表面や
内側（メクラ穴など）から水分を強力に剥離し、洗浄剤
６の液面に浮上される様になっている。浮上した水分は
シャワー１４によって比重分離タンク９に移動させら
れ、洗浄剤１６から完全に分離される。
音波振動子１７が取付けられており、被洗浄物１´は洗
浄槽５中に満たされている洗浄剤６中に浸漬され、超音
波振動子１７により超音波振動が印加され、その表面や
内側（メクラ穴など）から水分を強力に剥離し、洗浄剤
６の液面に浮上される様になっている。浮上した水分は
シャワー１４によって比重分離タンク９に移動させら
れ、洗浄剤１６から完全に分離される。
【００１７】分離された洗浄剤は更に完全に期する為、
水の通過を防止する分離膜筒１３を通り、ポンプ１５の
フィルター１６を通ってシャワー１４により洗浄槽５へ
戻る様になっている。水分が分離された被洗浄物１´は
その後引き上げられ、図１の脱水乾燥装置で乾燥が行わ
れる。なお、図２中図１と同一番号は同じ部品を表わ
し、その説明を省略する。
水の通過を防止する分離膜筒１３を通り、ポンプ１５の
フィルター１６を通ってシャワー１４により洗浄槽５へ
戻る様になっている。水分が分離された被洗浄物１´は
その後引き上げられ、図１の脱水乾燥装置で乾燥が行わ
れる。なお、図２中図１と同一番号は同じ部品を表わ
し、その説明を省略する。
【００１８】
【発明の効果】この発明は上記の通りの構成を有し、電
子部品、光学部品等の精密部品の脱水乾燥を確実、迅速
に行えるすぐれた効果を有する。又、成層圏のオゾン層
を破壊するおそれがある塩素系溶剤を用いておらず、
又、引火性もなく、地球環境保全上及び火災防止上から
極めて有効なものである。
子部品、光学部品等の精密部品の脱水乾燥を確実、迅速
に行えるすぐれた効果を有する。又、成層圏のオゾン層
を破壊するおそれがある塩素系溶剤を用いておらず、
又、引火性もなく、地球環境保全上及び火災防止上から
極めて有効なものである。
【００１９】
【図１】この発明に係る精密部品の脱水乾燥方法に用い
る脱水乾燥装置の一実施例の断面図である。
る脱水乾燥装置の一実施例の断面図である。
【図２】同じく他の実施例の断面図である。
１ 被洗浄物 １´ 被洗浄物 ２ 冷却コイル ３ 樋 ４ 受皿 ５ 洗浄槽 ６ 洗浄剤 ７ ヒーター ８ 導管 ９ 比重分離タンク １０ 導管 １１ 水分 １２ 導管 １３ 分離膜筒 １４ シャワー １５ ポンプ １６ フィルター １７ 超音波振動子
Claims (4)
- 【請求項１】 被洗浄物である電子部品、光学部品等の
精密部品を水又は水系洗浄剤で洗浄した後、水分の付着
したこの被洗浄物をパーフロロカーボン系又はパーフロ
ロポリエーテル系の溶剤に１〜６％のフッ素系アルコー
ルを添加した洗浄剤の蒸気中にさらすことを特徴とする
精密部品の脱水乾燥方法。 - 【請求項２】 被洗浄物である電子部品、光学部品等の
精密部品を水又は水系洗浄剤で洗浄した後、水分の付着
したこの被洗浄物をパーフロロカーボン系又はパーフロ
ロポリエーテル系の溶剤に１〜６％のフッ素系アルコー
ルを添加した洗浄剤の沸点以下の液体中に浸透して被洗
浄物表面の水分を除去し、更にこれをパーフロロカーボ
ン系又はパーフロロポリエーテル系の溶剤の蒸気中にさ
らすことを特徴とする精密部品の脱水乾燥方法。 - 【請求項３】 被洗浄物である電子部品、光学部品等の
精密部品を水又は水系洗浄剤で洗浄した後、水分の付着
したこの被洗浄物をパーフロロカーボン系又はパーフロ
ロポリエーテル系の溶剤に１〜６％のフッ素系アルコー
ルを添加した洗浄剤を煮沸させた液体中に浸透して被洗
浄物表面の水分を除去し、更に、これをパーフロロカー
ボン系又はパーフロロポリエーテル系の溶剤の蒸気中に
さらすことを特徴とする精密部品の脱水乾燥方法。 - 【請求項４】 被洗浄物である電子部品、光学部品等の
精密部品を水又は水系洗浄剤で洗浄した後、水分の付着
したこの被洗浄物をパーフロロカーボン系又はパーフロ
ロポリエーテル系の溶剤に１〜６％のフッ素系アルコー
ルを添加した洗浄剤の沸点以下の液体中に浸透すると共
にこれに超音波を印加して被洗浄物表面から水分を除去
し、更にこれをパーフロロカーボン系又はパーフロロポ
リエーテル系の溶剤の蒸気中にさらすことを特徴とする
精密部品の脱水乾燥方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2494193A JPH06210103A (ja) | 1993-01-21 | 1993-01-21 | 精密部品の脱水乾燥方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2494193A JPH06210103A (ja) | 1993-01-21 | 1993-01-21 | 精密部品の脱水乾燥方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06210103A true JPH06210103A (ja) | 1994-08-02 |
Family
ID=12152068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2494193A Pending JPH06210103A (ja) | 1993-01-21 | 1993-01-21 | 精密部品の脱水乾燥方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06210103A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0826714A3 (en) * | 1996-08-26 | 1998-11-18 | Ausimont S.p.A. | Method for the removal of water from surfaces |
| US6262006B1 (en) * | 1997-02-20 | 2001-07-17 | Ausimont S.P.A. | De-oiling composition of perfluoropolyethers and hydrofluoropolyethreal surfactants |
-
1993
- 1993-01-21 JP JP2494193A patent/JPH06210103A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0826714A3 (en) * | 1996-08-26 | 1998-11-18 | Ausimont S.p.A. | Method for the removal of water from surfaces |
| US6262006B1 (en) * | 1997-02-20 | 2001-07-17 | Ausimont S.P.A. | De-oiling composition of perfluoropolyethers and hydrofluoropolyethreal surfactants |
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