JPH06120196A - 超音波洗浄乾燥方法とその装置 - Google Patents
超音波洗浄乾燥方法とその装置Info
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- JPH06120196A JPH06120196A JP26368592A JP26368592A JPH06120196A JP H06120196 A JPH06120196 A JP H06120196A JP 26368592 A JP26368592 A JP 26368592A JP 26368592 A JP26368592 A JP 26368592A JP H06120196 A JPH06120196 A JP H06120196A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 フロン等を用いず、可燃性溶剤を用い、電
子、光学、機械等の精密物品を洗浄用の可燃性溶剤を汚
すことなく安全、迅速で、かつ高精度に洗浄乾燥する。 【構成】 精密物品を、可燃性溶剤に浸漬して超音波洗
浄し、次いで可燃性溶剤の蒸気によってリンス及び乾燥
することからなる超音波洗浄乾燥方法である。可燃性溶
剤を蒸留塔に供給し、蒸留塔によって分離された高純度
の溶剤蒸気による蒸気リンス・乾燥を行なう。
子、光学、機械等の精密物品を洗浄用の可燃性溶剤を汚
すことなく安全、迅速で、かつ高精度に洗浄乾燥する。 【構成】 精密物品を、可燃性溶剤に浸漬して超音波洗
浄し、次いで可燃性溶剤の蒸気によってリンス及び乾燥
することからなる超音波洗浄乾燥方法である。可燃性溶
剤を蒸留塔に供給し、蒸留塔によって分離された高純度
の溶剤蒸気による蒸気リンス・乾燥を行なう。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、精密物品などの物品に
付着した汚れを洗浄乾燥するに際して、特にフロン１１
３、トリクロロエタン等の不燃性溶剤を用いず、可燃性
溶剤を用いて安全で迅速、且つ高精度に洗浄乾燥する超
音波洗浄乾燥方法とその装置に関する。
付着した汚れを洗浄乾燥するに際して、特にフロン１１
３、トリクロロエタン等の不燃性溶剤を用いず、可燃性
溶剤を用いて安全で迅速、且つ高精度に洗浄乾燥する超
音波洗浄乾燥方法とその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、フォトマスクガラス、磁気ディス
ク、プリント基板、シリコンウエハ、レンズ等の電子・
光学部品、ベアリング等の機械部品等の精密物品の製造
工程において、物品に付着した油脂分、研摩剤、指紋、
ほこり等の汚れを除去するための洗浄においては、フロ
ン１１３、トリクロロエタン等の不燃性溶剤を使用し、
超音波浸漬上下揺動洗浄、冷却シャワー洗浄、蒸気洗浄
および蒸気乾燥の工程による方法が一般に行われてい
る。また、一部では上記の工程による洗浄乾燥装置を使
用し、アルコール、テレピン油、灯油等の可燃性溶剤を
使用する方法も行われており、この場合には、洗浄乾燥
室内の溶剤ガス濃度を低く抑えたり、酸素ガス濃度を低
くすることによって火災や爆発の危険を防ぐ方法が行わ
れている。
ク、プリント基板、シリコンウエハ、レンズ等の電子・
光学部品、ベアリング等の機械部品等の精密物品の製造
工程において、物品に付着した油脂分、研摩剤、指紋、
ほこり等の汚れを除去するための洗浄においては、フロ
ン１１３、トリクロロエタン等の不燃性溶剤を使用し、
超音波浸漬上下揺動洗浄、冷却シャワー洗浄、蒸気洗浄
および蒸気乾燥の工程による方法が一般に行われてい
る。また、一部では上記の工程による洗浄乾燥装置を使
用し、アルコール、テレピン油、灯油等の可燃性溶剤を
使用する方法も行われており、この場合には、洗浄乾燥
室内の溶剤ガス濃度を低く抑えたり、酸素ガス濃度を低
くすることによって火災や爆発の危険を防ぐ方法が行わ
れている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の方法のうち、一般に広く行われている不燃性溶
剤を使用する方法では、特にフロン１１３、トリクロロ
エタンに就ては、地球を取り巻く大気圏のオゾン層を破
壊して紫外線の透過量が増大して地球上の生物に被害を
及ぼすため、早急に代替溶剤に切り替える必要に迫られ
ている。
た従来の方法のうち、一般に広く行われている不燃性溶
剤を使用する方法では、特にフロン１１３、トリクロロ
エタンに就ては、地球を取り巻く大気圏のオゾン層を破
壊して紫外線の透過量が増大して地球上の生物に被害を
及ぼすため、早急に代替溶剤に切り替える必要に迫られ
ている。
【０００４】一方、可燃性溶剤（以下、溶剤と記載）を
使用する洗浄方法にあっては、例えば、図２の洗浄乾燥
装置に示すように、洗浄槽６に溶剤を貯留させて繰り返
し物品２に付着した汚れを落とすが、この際、洗浄を繰
り返し行うことにより溶剤中に油脂分などの不純物が蓄
積する。しかし、この油脂分は溶剤に溶解しているた
め、フィルターなどで分離することはできない。溶剤中
に溶解した油脂分が多くなると、後工程で蒸気リンスを
行っても十分に洗浄しきれず、乾燥後には物品の表面に
シミが残る。そのため、洗浄槽中の溶剤は汚れがひどく
なる前に交換する必要がある。このように、従来の溶剤
洗浄法では溶剤を大量に必要とすること、溶剤の再生処
理または焼却処分にコストがかかることが問題であっ
た。
使用する洗浄方法にあっては、例えば、図２の洗浄乾燥
装置に示すように、洗浄槽６に溶剤を貯留させて繰り返
し物品２に付着した汚れを落とすが、この際、洗浄を繰
り返し行うことにより溶剤中に油脂分などの不純物が蓄
積する。しかし、この油脂分は溶剤に溶解しているた
め、フィルターなどで分離することはできない。溶剤中
に溶解した油脂分が多くなると、後工程で蒸気リンスを
行っても十分に洗浄しきれず、乾燥後には物品の表面に
シミが残る。そのため、洗浄槽中の溶剤は汚れがひどく
なる前に交換する必要がある。このように、従来の溶剤
洗浄法では溶剤を大量に必要とすること、溶剤の再生処
理または焼却処分にコストがかかることが問題であっ
た。
【０００５】また、洗浄乾燥装置の蒸気リンス室８にお
いて、物品をリンス・乾燥するため溶剤を蒸発器２４で
蒸発させ、清浄化した溶剤を物品に噴霧するが、この
際、汚れ成分たる油脂分に、可燃性溶剤と共沸を起こす
成分がある場合、可燃性溶剤のみを分離することができ
ないという問題があった。
いて、物品をリンス・乾燥するため溶剤を蒸発器２４で
蒸発させ、清浄化した溶剤を物品に噴霧するが、この
際、汚れ成分たる油脂分に、可燃性溶剤と共沸を起こす
成分がある場合、可燃性溶剤のみを分離することができ
ないという問題があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者は上記
従来の問題を解決するため種々検討を行った結果、本発
明に到達したものである。すなわち、本発明によれば、
物品を洗浄槽に収容された可燃性溶剤により超音波洗浄
し、次いで該溶剤の蒸気によってリンス及び乾燥するこ
とからなる超音波洗浄乾燥方法において、前記洗浄槽内
の溶剤を蒸留塔に供給し、該蒸留塔内で溶剤を蒸発する
とともに洗浄槽内の溶剤中に蓄積された不純物を蒸留に
より分離除去し、清浄な溶剤蒸気により物品のリンス及
び乾燥を行なうようにしたことを特徴とする超音波洗浄
乾燥方法が提供される。
従来の問題を解決するため種々検討を行った結果、本発
明に到達したものである。すなわち、本発明によれば、
物品を洗浄槽に収容された可燃性溶剤により超音波洗浄
し、次いで該溶剤の蒸気によってリンス及び乾燥するこ
とからなる超音波洗浄乾燥方法において、前記洗浄槽内
の溶剤を蒸留塔に供給し、該蒸留塔内で溶剤を蒸発する
とともに洗浄槽内の溶剤中に蓄積された不純物を蒸留に
より分離除去し、清浄な溶剤蒸気により物品のリンス及
び乾燥を行なうようにしたことを特徴とする超音波洗浄
乾燥方法が提供される。
【０００７】また本発明によれば、可燃性溶剤を収容す
るとともに物品を超音波洗浄するための超音波洗浄装置
を付設した洗浄槽と、洗浄槽の上部に設けられ、物品を
清浄な可燃性溶剤蒸気でリンス及び乾燥する蒸気リンス
室と、蒸気リンス室の上部に設けられ、物品に清浄な可
燃性溶剤蒸気の凝縮液をシャワーするノズルを有する溶
剤シャワー室と、上記蒸気リンス室に清浄な可燃性溶剤
蒸気を供給する蒸留塔であって、前記洗浄槽内の溶剤を
取り出して蒸発するとともに洗浄槽内の溶剤中に蓄積さ
れた不純物を蒸留により分離除去し、清浄な溶剤蒸気と
する蒸留塔と、清浄な乾燥ガスにより物品に付着した溶
剤液分を乾燥する通気乾燥室とよりなることを特徴とす
る超音波洗浄乾燥装置、が提供される。
るとともに物品を超音波洗浄するための超音波洗浄装置
を付設した洗浄槽と、洗浄槽の上部に設けられ、物品を
清浄な可燃性溶剤蒸気でリンス及び乾燥する蒸気リンス
室と、蒸気リンス室の上部に設けられ、物品に清浄な可
燃性溶剤蒸気の凝縮液をシャワーするノズルを有する溶
剤シャワー室と、上記蒸気リンス室に清浄な可燃性溶剤
蒸気を供給する蒸留塔であって、前記洗浄槽内の溶剤を
取り出して蒸発するとともに洗浄槽内の溶剤中に蓄積さ
れた不純物を蒸留により分離除去し、清浄な溶剤蒸気と
する蒸留塔と、清浄な乾燥ガスにより物品に付着した溶
剤液分を乾燥する通気乾燥室とよりなることを特徴とす
る超音波洗浄乾燥装置、が提供される。
【０００８】更に本発明によれば、可燃性溶剤を収容す
るとともに物品を超音波洗浄するための超音波洗浄装置
を付設した洗浄槽と、洗浄槽の上部に設けられ、物品を
清浄な可燃性溶剤蒸気でリンス及び乾燥するとともに、
物品に清浄な可燃性溶剤蒸気の凝縮液をシャワーするノ
ズルを有する蒸気リンス・溶剤シャワー室と、上記蒸気
リンス・溶剤シャワー室に清浄な可燃性溶剤蒸気を供給
する蒸留塔であって、前記洗浄槽内の溶剤を取り出して
蒸発するとともに洗浄槽内の溶剤中に蓄積された不純物
を蒸留により分離除去し、清浄な溶剤蒸気とする蒸留塔
と、清浄な乾燥ガスにより物品に付着した溶剤液分を乾
燥する通気乾燥室とよりなることを特徴とする超音波洗
浄乾燥装置、が提供される。
るとともに物品を超音波洗浄するための超音波洗浄装置
を付設した洗浄槽と、洗浄槽の上部に設けられ、物品を
清浄な可燃性溶剤蒸気でリンス及び乾燥するとともに、
物品に清浄な可燃性溶剤蒸気の凝縮液をシャワーするノ
ズルを有する蒸気リンス・溶剤シャワー室と、上記蒸気
リンス・溶剤シャワー室に清浄な可燃性溶剤蒸気を供給
する蒸留塔であって、前記洗浄槽内の溶剤を取り出して
蒸発するとともに洗浄槽内の溶剤中に蓄積された不純物
を蒸留により分離除去し、清浄な溶剤蒸気とする蒸留塔
と、清浄な乾燥ガスにより物品に付着した溶剤液分を乾
燥する通気乾燥室とよりなることを特徴とする超音波洗
浄乾燥装置、が提供される。
【０００９】
【作用】本発明の洗浄乾燥方法は、例えば図１の装置の
場合、まず、超音波発振器７を備えた洗浄槽６で物品２
を溶剤洗浄した後、物品２は溶剤シャワー室８’に入
り、清浄溶剤の凝縮液のシャワーによって物品に付着し
た洗浄液を洗い落とし、次いで、蒸気リンス室８に入
り、蒸留塔１２において不純物を除去分離された清浄な
溶剤蒸気によってリンス・乾燥した後、通気乾燥室１４
に入り、ガス循環ライン１９で清浄化した温風により物
品に付着した溶剤液分を乾燥させるものである。なお、
図示しないが、物品を清浄な可燃性溶剤蒸気でリンス及
び乾燥するとともに、物品に清浄な可燃性溶剤蒸気の凝
縮液をシャワーするノズルを有する蒸気リンス・溶剤シ
ャワー室を設ける場合には、物品は蒸気リンス・溶剤シ
ャワー室に入り、清浄溶剤の凝縮液のシャワーによって
物品に付着した洗浄液を洗い落とし、次いで、蒸留塔１
２において不純物を除去分離された清浄な溶剤蒸気によ
ってリンス・乾燥した後、通気乾燥室１４に入る。
場合、まず、超音波発振器７を備えた洗浄槽６で物品２
を溶剤洗浄した後、物品２は溶剤シャワー室８’に入
り、清浄溶剤の凝縮液のシャワーによって物品に付着し
た洗浄液を洗い落とし、次いで、蒸気リンス室８に入
り、蒸留塔１２において不純物を除去分離された清浄な
溶剤蒸気によってリンス・乾燥した後、通気乾燥室１４
に入り、ガス循環ライン１９で清浄化した温風により物
品に付着した溶剤液分を乾燥させるものである。なお、
図示しないが、物品を清浄な可燃性溶剤蒸気でリンス及
び乾燥するとともに、物品に清浄な可燃性溶剤蒸気の凝
縮液をシャワーするノズルを有する蒸気リンス・溶剤シ
ャワー室を設ける場合には、物品は蒸気リンス・溶剤シ
ャワー室に入り、清浄溶剤の凝縮液のシャワーによって
物品に付着した洗浄液を洗い落とし、次いで、蒸留塔１
２において不純物を除去分離された清浄な溶剤蒸気によ
ってリンス・乾燥した後、通気乾燥室１４に入る。
【００１０】本発明では、洗浄槽内の溶剤を蒸留塔に供
給して溶剤分のみを精製分離する。その場合、充填塔、
濡壁塔、気泡塔、泡鐘塔等の型式の蒸留塔を使用するこ
とにより、汚れ成分たる油脂分のうち、可燃性溶剤と共
沸混合物を作る成分がある場合、該油脂分と共沸を起こ
す他の溶剤、例えば水、ベンゼン、ヘキサン、トルエン
等を添加することにより、汚れ成分を添加溶剤とともに
積極的に排出することができ、一方加熱蒸気として純度
の高い共沸混合溶剤蒸気を得ることができる。従って、
汚れ成分が洗浄槽に蓄積されることがなく、洗浄槽の溶
剤液はいつも清浄な状態に保たれ、溶剤の交換が不要と
なる。
給して溶剤分のみを精製分離する。その場合、充填塔、
濡壁塔、気泡塔、泡鐘塔等の型式の蒸留塔を使用するこ
とにより、汚れ成分たる油脂分のうち、可燃性溶剤と共
沸混合物を作る成分がある場合、該油脂分と共沸を起こ
す他の溶剤、例えば水、ベンゼン、ヘキサン、トルエン
等を添加することにより、汚れ成分を添加溶剤とともに
積極的に排出することができ、一方加熱蒸気として純度
の高い共沸混合溶剤蒸気を得ることができる。従って、
汚れ成分が洗浄槽に蓄積されることがなく、洗浄槽の溶
剤液はいつも清浄な状態に保たれ、溶剤の交換が不要と
なる。
【００１１】また、本発明では、クローズド系とし、系
内に不活性ガスを送入することにより、系内の酸素濃度
を爆発濃度以下に制御することが好ましく、具体的には
可燃性溶剤としてイソプロパノール（ＩＰＡ）を用いる
場合には１０％以下、好ましくは８％以下に制御する。
酸素濃度が１７％を超えると爆発および火災の危険性が
増大するため好ましくない。このように系内の酸素濃度
を所定の範囲内に制御することにより可燃性溶剤を使用
しても火災や爆発の危険がなく、また可燃性溶剤の漏洩
も防止でき、乾燥製品の安定化を図ることができる。
内に不活性ガスを送入することにより、系内の酸素濃度
を爆発濃度以下に制御することが好ましく、具体的には
可燃性溶剤としてイソプロパノール（ＩＰＡ）を用いる
場合には１０％以下、好ましくは８％以下に制御する。
酸素濃度が１７％を超えると爆発および火災の危険性が
増大するため好ましくない。このように系内の酸素濃度
を所定の範囲内に制御することにより可燃性溶剤を使用
しても火災や爆発の危険がなく、また可燃性溶剤の漏洩
も防止でき、乾燥製品の安定化を図ることができる。
【００１２】また、通気乾燥室１４の低い濃度の溶剤蒸
気はガス循環ラインに入り、凝縮器で溶剤を回収した
後、更にヒーター、フィルターを経て吹き出しノズルよ
り通気乾燥室に乾燥ガスを吹き出し、物品に付着した溶
剤液分を乾燥させて仕上げ乾燥を行う。また、ガス循環
ラインの中で常時、酸素濃度を検出し、酸素濃度が高い
場合には、所定の酸素濃度になるよう窒素ガス等の不活
性ガスを送入する。
気はガス循環ラインに入り、凝縮器で溶剤を回収した
後、更にヒーター、フィルターを経て吹き出しノズルよ
り通気乾燥室に乾燥ガスを吹き出し、物品に付着した溶
剤液分を乾燥させて仕上げ乾燥を行う。また、ガス循環
ラインの中で常時、酸素濃度を検出し、酸素濃度が高い
場合には、所定の酸素濃度になるよう窒素ガス等の不活
性ガスを送入する。
【００１３】更に、本装置に前室を併設し、この室を洗
浄乾燥および外気より負圧に保持すると、溶剤の蒸気が
直接、外部に漏出することがなく、好ましい。超音波洗
浄に使用される洗浄剤としては、有機溶剤、アルカリ性
洗剤、界面活性剤、乳化洗剤、酸性洗剤およびそれらの
混合物等があるが、本発明においては、有機溶剤の中で
も、トリクロロエタン、トリクロロエチレン、パークロ
ロエチレン、フロン１１３等の引火性のない溶剤が使用
できるのはもちろん、イソプロパノール（ＩＰＡ）、ソ
ルベントナフサ、シンナー、ベンジン、アセトン、アル
コール等の引火性のある可燃性溶剤を使用する場合にも
好適なものである。また、系内における酸素濃度制御
用、および物品の仕上乾燥用に使用する不活性ガスに
は、窒素ガスの他、アルゴンガスや炭酸ガス等を使用す
ることもできる。
浄乾燥および外気より負圧に保持すると、溶剤の蒸気が
直接、外部に漏出することがなく、好ましい。超音波洗
浄に使用される洗浄剤としては、有機溶剤、アルカリ性
洗剤、界面活性剤、乳化洗剤、酸性洗剤およびそれらの
混合物等があるが、本発明においては、有機溶剤の中で
も、トリクロロエタン、トリクロロエチレン、パークロ
ロエチレン、フロン１１３等の引火性のない溶剤が使用
できるのはもちろん、イソプロパノール（ＩＰＡ）、ソ
ルベントナフサ、シンナー、ベンジン、アセトン、アル
コール等の引火性のある可燃性溶剤を使用する場合にも
好適なものである。また、系内における酸素濃度制御
用、および物品の仕上乾燥用に使用する不活性ガスに
は、窒素ガスの他、アルゴンガスや炭酸ガス等を使用す
ることもできる。
【００１４】
【実施例】次に本発明を図示の実施例に基づき更に詳し
く説明するが、本発明はこれらの実施例に限られるもの
ではない。
く説明するが、本発明はこれらの実施例に限られるもの
ではない。
【００１５】（実施例１）図１は本発明の超音波洗浄乾
燥装置の一実施例を示す概要図であり、本装置は精密な
小物物品の洗浄乾燥用に好ましく適用できるものであ
る。まず、洗浄乾燥室１内に窒素ガスを送入し、該室１
内の酸素濃度を設定値にした後、洗浄用の溶剤を充填す
る。次に、プレス加工による油汚れのある洗浄用の金属
部品（以下、物品と記載）２を７ｋｇ納めた３００×２
００×１５０ｍｍ（高さ）のバスケット状の容器３を、
室内の圧力を外気および洗浄乾燥室１よりも負圧に保持
した前室４に送入する。前室４には、洗浄乾燥室１より
少量漏出してくる可燃性溶剤の蒸気を検知するための可
燃性溶剤検知器（図示せず）が設けられている。また、
前室４と洗浄乾燥室１との隔壁部には遮蔽用の扉５，
５’が設けられている。この前室４は、洗浄乾燥室１よ
り漏出してくる溶剤の蒸気を直接外部に放出しないよう
にするための緩衝室的な役割を果たしている。
燥装置の一実施例を示す概要図であり、本装置は精密な
小物物品の洗浄乾燥用に好ましく適用できるものであ
る。まず、洗浄乾燥室１内に窒素ガスを送入し、該室１
内の酸素濃度を設定値にした後、洗浄用の溶剤を充填す
る。次に、プレス加工による油汚れのある洗浄用の金属
部品（以下、物品と記載）２を７ｋｇ納めた３００×２
００×１５０ｍｍ（高さ）のバスケット状の容器３を、
室内の圧力を外気および洗浄乾燥室１よりも負圧に保持
した前室４に送入する。前室４には、洗浄乾燥室１より
少量漏出してくる可燃性溶剤の蒸気を検知するための可
燃性溶剤検知器（図示せず）が設けられている。また、
前室４と洗浄乾燥室１との隔壁部には遮蔽用の扉５，
５’が設けられている。この前室４は、洗浄乾燥室１よ
り漏出してくる溶剤の蒸気を直接外部に放出しないよう
にするための緩衝室的な役割を果たしている。
【００１６】次いで、物品２は洗浄乾燥室１のＡ点に入
り、次に吊り下げ装置（図示せず）によってＢ点の洗浄
用の溶剤溶液イソプロパノール（ＩＰＡ）が満たされた
４００×３００×３５０ｍｍ（高さ）の洗浄槽６の中に
垂下浸漬され、上下揺動を行ないつつ６００Ｗ、周波数
２８ＫＨＺの超音波発振器７から発振される超音波によ
り洗浄される。次に、物品１２は洗浄乾燥室１のＣ点ま
で引き上げられ、溶剤シャワ−室８’において、凝縮器
９によって冷却されて液状となり、ポンプ１０によって
噴射口１１から噴射される清浄な溶剤蒸気の凝縮液によ
りシャワー洗浄を受け、物品２に付着した洗浄液を洗い
落とすとともに、物品２の温度を下げて蒸気が凝縮しや
すくする。
り、次に吊り下げ装置（図示せず）によってＢ点の洗浄
用の溶剤溶液イソプロパノール（ＩＰＡ）が満たされた
４００×３００×３５０ｍｍ（高さ）の洗浄槽６の中に
垂下浸漬され、上下揺動を行ないつつ６００Ｗ、周波数
２８ＫＨＺの超音波発振器７から発振される超音波によ
り洗浄される。次に、物品１２は洗浄乾燥室１のＣ点ま
で引き上げられ、溶剤シャワ−室８’において、凝縮器
９によって冷却されて液状となり、ポンプ１０によって
噴射口１１から噴射される清浄な溶剤蒸気の凝縮液によ
りシャワー洗浄を受け、物品２に付着した洗浄液を洗い
落とすとともに、物品２の温度を下げて蒸気が凝縮しや
すくする。
【００１７】次いで、物品２はＤ点まで引き下げられ、
蒸気リンス室８において、洗浄槽６からポンプ１１によ
って、洗浄用溶剤０．２５ｌ／ｍｉｎを、ステンレス金
網を１０００ｍｍまで充填した蒸留塔（直径５０ｍｍ，
高さ１５００ｍｍ）１２に送出し、該蒸留塔１２で加熱
蒸発された高純度の溶剤蒸気によって蒸気洗浄リンスを
受け、更に該蒸気によって蒸気乾燥を受ける。なお、溶
剤中の汚れ成分は蒸留塔１２の底部からドレン１３とし
て排出される。
蒸気リンス室８において、洗浄槽６からポンプ１１によ
って、洗浄用溶剤０．２５ｌ／ｍｉｎを、ステンレス金
網を１０００ｍｍまで充填した蒸留塔（直径５０ｍｍ，
高さ１５００ｍｍ）１２に送出し、該蒸留塔１２で加熱
蒸発された高純度の溶剤蒸気によって蒸気洗浄リンスを
受け、更に該蒸気によって蒸気乾燥を受ける。なお、溶
剤中の汚れ成分は蒸留塔１２の底部からドレン１３とし
て排出される。
【００１８】次に物品２はＡ点に引き上げられ、ここ
で、通気乾燥室１４の低い濃度の溶剤蒸気はガス循環ラ
イン１９に入り、凝縮器１５で溶剤を回収され、次いで
循環ブロワー１６、ヒーター１７、フィルター１８を通
り、清浄な温風となつて吹出し口２０から吹き出して物
品２に付着した溶剤液を完全に乾燥する。なお、ガス循
環ライン１９中の酸素濃度を常時検出して、酸素濃度が
高い場合場合には、所定の酸素濃度になるよう窒素ガス
を送入する。
で、通気乾燥室１４の低い濃度の溶剤蒸気はガス循環ラ
イン１９に入り、凝縮器１５で溶剤を回収され、次いで
循環ブロワー１６、ヒーター１７、フィルター１８を通
り、清浄な温風となつて吹出し口２０から吹き出して物
品２に付着した溶剤液を完全に乾燥する。なお、ガス循
環ライン１９中の酸素濃度を常時検出して、酸素濃度が
高い場合場合には、所定の酸素濃度になるよう窒素ガス
を送入する。
【００１９】以上の操作によって洗浄乾燥を終った物品
２は前室４を経て外部に取り出される。上記のような洗
浄乾燥操作を５０バッチ繰り返しても、洗浄効果は新し
い溶剤を使用している場合に比べて変化はなかった。ま
た、この間溶剤は、蒸発した分だけ適宣補充（約１ｋｇ
／１０バッチ）するのみでよかった。
２は前室４を経て外部に取り出される。上記のような洗
浄乾燥操作を５０バッチ繰り返しても、洗浄効果は新し
い溶剤を使用している場合に比べて変化はなかった。ま
た、この間溶剤は、蒸発した分だけ適宣補充（約１ｋｇ
／１０バッチ）するのみでよかった。
【００２０】（比較例１）図２は、従来の超音波洗浄乾
燥装置の一例を示す概要図であり、基本的には実施例１
と同じ方式であり、実施例１と同じ物品２を実施例１と
全く同じ手順で洗浄及び乾燥操作を行った。なお実施例
１と異なり、実施例１のように蒸留塔１２を使用せず、
洗浄槽６の溶剤はポンプ２２、目開き５μｍのフィルタ
ー２３を通して、５ｌ／ｍｉｎの液量で溶剤を循環して
濾過を行った。また、物品のリンス乾燥用の溶剤蒸気
は、蒸発槽２４において、熱媒により１５ｋｇ／Ｈｒ発
生させた。
燥装置の一例を示す概要図であり、基本的には実施例１
と同じ方式であり、実施例１と同じ物品２を実施例１と
全く同じ手順で洗浄及び乾燥操作を行った。なお実施例
１と異なり、実施例１のように蒸留塔１２を使用せず、
洗浄槽６の溶剤はポンプ２２、目開き５μｍのフィルタ
ー２３を通して、５ｌ／ｍｉｎの液量で溶剤を循環して
濾過を行った。また、物品のリンス乾燥用の溶剤蒸気
は、蒸発槽２４において、熱媒により１５ｋｇ／Ｈｒ発
生させた。
【００２１】この装置は実施例１のように蒸留塔１２を
使用しないので、洗浄槽６、蒸発槽２４の溶剤は、洗浄
を重ねるごとに汚れ成分が蓄積するという問題がある。
上記の方法で物品の洗浄乾燥を行ったところ、１〜２０
バッチでは物品に汚れはなく、２１〜３０バッチでは少
し汚れがあり、３１バッチを超えると汚れ（シミ）がひ
どくなった。
使用しないので、洗浄槽６、蒸発槽２４の溶剤は、洗浄
を重ねるごとに汚れ成分が蓄積するという問題がある。
上記の方法で物品の洗浄乾燥を行ったところ、１〜２０
バッチでは物品に汚れはなく、２１〜３０バッチでは少
し汚れがあり、３１バッチを超えると汚れ（シミ）がひ
どくなった。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
洗浄槽内の溶剤を蒸留塔に送り、清浄な溶剤蒸気により
物品をリンスおよび乾燥するので、洗浄槽内の溶剤は常
に清浄に保たれ、物品のリンス効果が常に保持され、か
つ物品を汚れ（シミ）なく乾燥することができる。
洗浄槽内の溶剤を蒸留塔に送り、清浄な溶剤蒸気により
物品をリンスおよび乾燥するので、洗浄槽内の溶剤は常
に清浄に保たれ、物品のリンス効果が常に保持され、か
つ物品を汚れ（シミ）なく乾燥することができる。
【図１】本発明の超音波洗浄乾燥装置の一例を示す概要
図である。
図である。
【図２】従来の超音波洗浄乾燥装置の例を示す概要図で
ある。
ある。
１ 洗浄乾燥室、２ 洗浄用物品、３ 容器、５，５’
遮蔽用扉、６ 洗浄槽 ７ 超音波発信器、８ 蒸気リンス室、８’ 溶剤シャ
ワー室、９ 凝縮器 １０ ポンプ、１１ ポンプ、１２ 蒸留塔、１３ ド
レン、１４ 通気乾燥室、１５ 凝縮器、１６ 循環ブ
ロワー、１７ ヒーター １８ フィルター、１９ ガス循環ライン、２０ 吹出
し口
遮蔽用扉、６ 洗浄槽 ７ 超音波発信器、８ 蒸気リンス室、８’ 溶剤シャ
ワー室、９ 凝縮器 １０ ポンプ、１１ ポンプ、１２ 蒸留塔、１３ ド
レン、１４ 通気乾燥室、１５ 凝縮器、１６ 循環ブ
ロワー、１７ ヒーター １８ フィルター、１９ ガス循環ライン、２０ 吹出
し口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 本堂 義和 神奈川県横浜市緑区池辺町3847 大川原化 工機株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 物品を洗浄槽に収容された可燃性溶剤に
より超音波洗浄し、次いで該溶剤の蒸気によってリンス
及び乾燥することからなる超音波洗浄乾燥方法におい
て、前記洗浄槽内の溶剤を蒸留塔に供給し、該蒸留塔内
で溶剤を蒸発するとともに洗浄槽内の溶剤中に蓄積され
た不純物を蒸留により分離除去し、清浄な溶剤蒸気によ
り物品のリンス及び乾燥を行なうようにしたことを特徴
とする超音波洗浄乾燥方法。 - 【請求項２】 クローズド式の系内に不活性ガスを送入
することにより、系内の酸素濃度を爆発濃度以下にする
ことを特徴とする請求項１記載の超音波洗浄乾燥方法。 - 【請求項３】 可燃性溶剤と共沸を起こす別の溶剤を、
該可燃性溶剤に添加することを特徴とする請求項１また
は２記載の超音波洗浄乾燥方法。 - 【請求項４】 可燃性溶剤を収容するとともに物品を超
音波洗浄するための超音波洗浄装置を付設した洗浄槽
と、 洗浄槽の上部に設けられ、物品を清浄な可燃性溶剤蒸気
でリンス及び乾燥する蒸気リンス室と、 蒸気リンス室の上部に設けられ、物品に清浄な可燃性溶
剤蒸気の凝縮液をシャワーするノズルを有する溶剤シャ
ワー室と、 上記蒸気リンス室に清浄な可燃性溶剤蒸気を供給する蒸
留塔であって、前記洗浄槽内の溶剤を取り出して蒸発す
るとともに洗浄槽内の溶剤中に蓄積された不純物を蒸留
により分離除去し、清浄な溶剤蒸気とする蒸留塔と、 清浄な乾燥ガスにより物品に付着した溶剤液分を乾燥す
る通気乾燥室とよりなることを特徴とする超音波洗浄乾
燥装置。 - 【請求項５】 可燃性溶剤を収容するとともに物品を超
音波洗浄するための超音波洗浄装置を付設した洗浄槽
と、 洗浄槽の上部に設けられ、物品を清浄な可燃性溶剤蒸気
でリンス及び乾燥するとともに、物品に清浄な可燃性溶
剤蒸気の凝縮液をシャワーするノズルを有する蒸気リン
ス・溶剤シャワー室と、 上記蒸気リンス・溶剤シャワー室に清浄な可燃性溶剤蒸
気を供給する蒸留塔であって、前記洗浄槽内の溶剤を取
り出して蒸発するとともに洗浄槽内の溶剤中に蓄積され
た不純物を蒸留により分離除去し、清浄な溶剤蒸気とす
る蒸留塔と、 清浄な乾燥ガスにより物品に付着した溶剤液分を乾燥す
る通気乾燥室とよりなることを特徴とする超音波洗浄乾
燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26368592A JPH06120196A (ja) | 1992-10-01 | 1992-10-01 | 超音波洗浄乾燥方法とその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26368592A JPH06120196A (ja) | 1992-10-01 | 1992-10-01 | 超音波洗浄乾燥方法とその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06120196A true JPH06120196A (ja) | 1994-04-28 |
Family
ID=17392920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26368592A Withdrawn JPH06120196A (ja) | 1992-10-01 | 1992-10-01 | 超音波洗浄乾燥方法とその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06120196A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007165935A (ja) * | 1994-07-15 | 2007-06-28 | Lam Res Corp | スクラバ中の金属を除去する方法 |
| JP5676033B1 (ja) * | 2014-04-15 | 2015-02-25 | ジャパン・フィールド株式会社 | 被洗浄物の洗浄方法 |
| WO2019087438A1 (ja) * | 2017-10-30 | 2019-05-09 | ジャパン・フィールド株式会社 | 被洗浄物の洗浄装置 |
| CN111304668A (zh) * | 2020-02-28 | 2020-06-19 | 绍兴德世精密机械有限公司 | 一种用于qpn3.5汽车空调用内平衡热力膨胀阀的加工设备 |
-
1992
- 1992-10-01 JP JP26368592A patent/JPH06120196A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007165935A (ja) * | 1994-07-15 | 2007-06-28 | Lam Res Corp | スクラバ中の金属を除去する方法 |
| JP5676033B1 (ja) * | 2014-04-15 | 2015-02-25 | ジャパン・フィールド株式会社 | 被洗浄物の洗浄方法 |
| JP2015202463A (ja) * | 2014-04-15 | 2015-11-16 | ジャパン・フィールド株式会社 | 被洗浄物の洗浄方法 |
| WO2019087438A1 (ja) * | 2017-10-30 | 2019-05-09 | ジャパン・フィールド株式会社 | 被洗浄物の洗浄装置 |
| CN111225751A (zh) * | 2017-10-30 | 2020-06-02 | 日本原野株式会社 | 被清洗物的清洗装置 |
| CN111225751B (zh) * | 2017-10-30 | 2021-09-28 | 日本原野株式会社 | 被清洗物的清洗装置 |
| CN111304668A (zh) * | 2020-02-28 | 2020-06-19 | 绍兴德世精密机械有限公司 | 一种用于qpn3.5汽车空调用内平衡热力膨胀阀的加工设备 |
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|---|---|---|---|
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