JPH05226752A

JPH05226752A - ダイオード励起固体レーザ装置および光磁気ディスク装置のピックアップ

Info

Publication number: JPH05226752A
Application number: JP2410992A
Authority: JP
Inventors: Akihiro Matsumoto; 晃広松本; Masanori Watanabe; 昌規渡辺; Osamu Yamamoto; 修山本
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1992-02-10
Filing date: 1992-02-10
Publication date: 1993-09-03

Abstract

(57)【要約】【目的】装置構成のより一層の小型化および薄型軽量
化が図れるダイオード励起固体レーザ装置を実現する。【構成】波長８０７ｎｍで発振する単一横モード型の
ＬＤであるＡｌＧａＡｓＬＤ３０の出射端面から５０μ
ｍ離れた位置に、Ｎｄを添加した固体レーザ用結晶ＹＶ
Ｏ₄３１を配置する。該固体レーザ用結晶ＹＶＯ₄３１の
近傍であって、ＡｌＧａＡｓＬＤ３０と反対方向の位置
に、ＳＨＧ結晶ＫＴＰ３２を配置する。更に、ＳＨＧ結
晶ＫＴＰ３２から適長離した位置に、外部出力用ミラー
として機能するガラス基板３３を配置し、該ガラス基板
３３のＳＨＧ結晶ＫＴＰ３２に対向する面に、表面側よ
り回折格子３４および多層反射膜３５をそれぞれ形成
し、これらでレーザ光の波面変換光学素子として機能す
る回折格子型ミラーを形成する。該回折格子３４は、具
体的には電子ビーム描画法で作製される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、固体レーザ用結晶、高
調波発生用の非線形光学結晶及び励起用の半導体レーザ
により構成されるダイオード励起固体レーザ装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】最近では、光ディスク装置やレーザプリ
ンタ装置の光源として、半導体レーザ（ＬＤ；Ｌａｓｅ
ｒＤｉｏｄｅ）が盛んに利用されている。その場合、
光ディスクの高密度化およびレーザプリンタの高密度化
による高速化を進めるためには、ＬＤの短波長化が要望
されている。

【０００３】しかし、実用化されている最短波長のＩｎ
ＧａＡｌＰ系の赤色ＬＤにおいても、短波長化を図る上
で、波長６００ｎｍが限界であり、それ以下の緑色Ｌ
Ｄ、あるいは青色ＬＤを実現することは非常に困難であ
る。

【０００４】その一方、波長８００ｎｍ前後のＡｌＧａ
Ａｓ系のＬＤの高出力化が進み、Ｗ級の光出力が得られ
ている。この高出力ＬＤを固体レーザの励起光源に用
い、非線形光学結晶により第２高調波を発生させる構成
によれば、緑色レーザあるいは青色レーザが実現され
る。以下、このような非線形光学結晶をＳＨＧ；Ｓｅｃ
ｏｎｄＨａｒｍｏｎｉｃＧｅｎｅｒａｔｉｏｎ結
晶という。

【０００５】該ＬＤ励起固体レーザは、これまでのラン
プ励起固体レーザに比べて、小型化および軽量化が図
れ、かつ低消費電力を実現できるという利点がある。

【０００６】図１１はこのようなＬＤ励起固体レーザの
一例を示す。以下にその構成を動作と共に説明する。Ｌ
Ｄ１０から放射状に出射されるレーザ光１６は、集光用
レンズ１１により固体レーザ用結晶１２に集光される。
該固体レーザ用結晶１２としては、Ｎｄを添加したＹＡ
Ｇ（Ｙ₃Ａｌ_l5Ｏ₁₂）が用いられている。集光されたレ
ーザ光１６により固体レーザ光が励起され、続いてＳＨ
Ｇ結晶ＫＴＰ（ＫＴｉＯＰＯ₄）１３で第２高調波の緑
色レーザ光１７が発生される。該緑色レーザ光１７は、
多層反射膜１５を有する凹面鏡の外部出力用ミラー１４
から外部に向けて出射される。

【０００７】ところで、最近では、これまでのＹＡＧを
用いた固体レーザに対して、ＹＡＧよりも吸収係数の大
きな固体レーザ用結晶ＹＶＯ₄を用いた固体レーザの開
発が進められている。このような固体レーザは、レーザ
の媒質長を１ｍｍ以下にできるため、マイクロチップ固
体レーザと呼ばれ、該固体レーザによれば、装置の超小
型化が可能となる。

【０００８】１９９１年第３８回春季応用物理学会予稿
集に記載された角谷等の報告によれば、マイクロチップ
レーザによりＬＤ出力５０ｍＷで２．５ｍＷの緑色レー
ザ光が得られるとある。

【０００９】図１２はこの種のマイクロチップレーザの
一例を示す。該マイクロチップレーザにおいては、上記
のものとは異なり、集光レンズを用いず、ＬＤ２０を固
体レーザ用結晶ＹＶＯ₄２１の端面に直接近接させる構
成をとる。このマイクロチップレーザは、ＬＤ光２５に
より固体レーザ光を励起し、ＳＨＧ結晶ＫＴＰ２２で第
２高調波の緑色レーザ光２６を発生する。該緑色レーザ
光２６は多層反射膜２４を有する凹面鏡の外部出力用ミ
ラー２３から外部に向けて出射される。

【００１０】ここで、固体レーザ用結晶ＹＶＯ₄２１の
ＬＤ２０側の端面と外部出力用ミラー２３で形成される
固体レーザの共振器長は９ｍｍであり、超小型の緑色レ
ーザ光源が実現されている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
マイクロチップレーザにおいては、外部出力用のミラー
として凹面鏡が配置され、該凹面鏡は機械的手法により
作製されるため、以下に示すような課題がある。すなわ
ち、機械的手法により凹面鏡を作製する場合は、ある一
定以上の形状寸法が必要になるため、マイクロチップレ
ーザのより一層の小型化を図る上での制約になってい
た。

【００１２】なお、上記のマイクロチップレーザにおい
て、凹面鏡は固体レーザが安定に発振するために必要な
波面変換光学素子となるものであり、該凹面鏡を省くこ
とは困難である。

【００１３】本発明は、このような従来技術の課題を解
消するものであり、装置構成のより一層の小型化および
薄型軽量化が図れるダイオード励起固体レーザ装置を提
供することを目的とする。

【００１４】本発明の他の目的は、高密度が図れる光デ
ィスク装置のピックアップを提供することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明のダイオード励起
固体レーザ装置は、固体レーザ用結晶、高調波発生用の
非線形光学結晶及び励起用の半導体レーザにより構成さ
れるダイオード励起固体レーザ装置において、回折格子
で形成された波面変換光学素子を有し、該波面変換光学
素子でレーザ光の波面を変換するようにしており、その
ことにより上記目的が達成される。

【００１６】好ましくは、前記回折格子を前記固体レー
ザ用結晶の表面又は前記高調波発生用の非線形光学結晶
の表面に形成する。

【００１７】また、好ましくは、前記回折格子と該回折
格子の表面に形成された多層反射膜で回折格子型ミラー
を形成する。

【００１８】また、好ましくは、前記半導体レーザと、
前記固体レーザ用結晶との間に、前記回折格子型ミラー
を挿入し、該回折格子型ミラーと該固体レーザ用結晶と
で固体レーザの共振器を形成する。

【００１９】また、好ましくは、前記回折格子型ミラー
を前記高調波発生用の非線形光学結晶に対向配置し、両
者の間に偏光制御手段を設ける。

【００２０】また、請求項１記載のダイオード励起固体
レーザ装置を組み込むことにより、好ましい光磁気ディ
スクのピックアップを実現できる。

【００２１】

【作用】凹面鏡の代わりに回折格子を用いれば、固体レ
ーザを安定に発振させることができる。ここで、回折格
子は、フォトリソグラフィの手法又は電子ビームリソグ
ラフィの手法により作製できるので、機械的手法により
凹面鏡を作製する場合のような形状寸法上の制約がな
い。従って、上記の構成によれば、ダイオード励起固体
レーザ装置の超小型化を図ることが可能になる。

【００２２】更には、このような回折格子は、固体レー
ザ用結晶の表面又は高調波発生用の非線形光学結晶の表
面に集積化して形成できるので、部品点数の削除を図る
ことができる。

【００２３】

【実施例】以下に本発明の実施例を説明する。

【００２４】（実施例１）図１及び図２は本発明ダイオ
ード励起固体レーザ装置の実施例１を示す。波長８０７
ｎｍで発振する単一横モード型のＬＤであるＡｌＧａＡ
ｓＬＤ３０の出射端面から５０μｍ離れた位置には、Ｎ
ｄを添加した固体レーザ用結晶ＹＶＯ₄３１が配置され
ている。該固体レーザ用結晶ＹＶＯ₄３１の近傍であっ
て、ＡｌＧａＡｓＬＤ３０と反対方向の位置には、ＳＨ
Ｇ結晶ＫＴＰ３２が配置される。

【００２５】更に、ＳＨＧ結晶ＫＴＰ３２から適長離し
た位置には、外部出力用ミラーとして機能するガラス基
板３３が配置されている。該ガラス基板３３のＳＨＧ結
晶ＫＴＰ３２に対向する面には、表面側より回折格子３
４および多層反射膜３５がそれぞれ形成されている。回
折格子３４は、具体的には電子ビーム描画法で作製され
る。

【００２６】上記構成のダイオード励起固体レーザ装置
の動作を以下に説明する。図２に示すように、ＡｌＧａ
ＡｓＬＤ３０から放射状に出射された出射光３６は固体
レーザ用結晶ＹＶＯ₄３１で吸収され、Ｎｄの光学遷移
波長１０６０ｎｍｍのレーザ光３７が励起される。該レ
ーザ光３７は発散ガウシアンビームとなり、ガラス基板
３３上に形成された回折格子３４および多層反射膜３５
により収束ガウシアンムービに変換され、固体レーザ用
結晶ＹＶＯ₄３１側に反射される。

【００２７】従って、固体レーザ用結晶ＹＶＯ₄３１
と、上記のガラス基板３３、回折格子３４および多層反
射膜３５で形成される回折格子型ミラー（外部出力用ミ
ラー）とで安定に発振するレーザ共振器が構成される。
そして、該レーザ共振器の内部に挿入されたＳＨＧ結晶
ＫＴＰ３２のＳＨＧにより波長５３０ｎｍの緑色レーザ
光が発生する。

【００２８】ここで、多層反射膜３５は波長５３０ｎｍ
に対しては低反射率である。従って、ガラス基板３３か
ら緑色レーザ光のみが外部に出射されることになる。

【００２９】なお、上記の実施例１において、固体レー
ザ用結晶ＹＶＯ₄３１の厚みは０．５ｍｍ、ＳＨＧ結晶
ＫＴＰ３２の厚みは０．５ｍｍであり、固体レーザの共
振器長は９ｍｍである。また、上記のようにガラス基板
３３上に回折格子３４および多層反射膜３５を形成した
回折格子型ミラー全体の厚みは０．３ｍｍと薄型化され
ている。従って、本実施例１の構造によれば、上記従来
例に比べてダイオード励起固体レーザ装置の小型化を更
に一層図れる利点がある。

【００３０】（実施例２）図３は本発明ダイオード励起
固体レーザ装置の実施例２を示す。この実施例２では、
回折格子型ミラーを非線形光学結晶、すなわちＳＨＧ結
晶ＫＴＰ４２の表面に集積化した構成をとる。以下にそ
の概略構成を説明する。

【００３１】ＬＤ４０の出射端面近傍に固体レーザ用結
晶ＹＶＯ₄４１を配置し、該固体レーザ用結晶ＹＶＯ₄４
１の近傍であって、ＬＤ４０の反対の位置には、ＳＨＧ
結晶ＫＴＰ４２が配置されている。そして、ＳＨＧ結晶
ＫＴＰ４２のＬＤ４０と反対側の表面には、フレネルレ
ンズ型の回折格子４４が形成され、該回折格子４４の表
面に多層反射膜４５が形成されている。

【００３２】ここで、固体レーザ用結晶ＹＶＯ₄４１と
ＳＨＧ結晶ＫＴＰ４２を含む固体レーザの共振器長は
２．５ｍｍとなっており、より一層の薄型化が図られて
いる。なお、図中４６はＬＤ４０からの出射光を、４７
はレーザ光をそれぞれ示している。

【００３３】（実施例３）図４は本発明ダイオード励起
固体レーザ装置の実施例３を示す。この実施例３では、
固体レーザを構成する共振器のミラーをＬＤ５０と、固
体レーザ用結晶ＹＶＯ₄５１との間に挿入した構成をと
る。以下にその概略構成を説明する。

【００３４】ＬＤ５０の出射端面近傍にガラス基板５３
を配置する。該ガラス基板５３のＬＤ５０と反対側の表
面に回折格子５４を形成し、続いてその表面に多層反射
膜５５を形成し、これで回折格子型ミラーを作製する。
そして、該回折格子型ミラーのＬＤ５０と反対方向の外
側方に固体レーザ用結晶ＹＶＯ₄５１およびＳＨＧ結晶
ＫＴＰ５２を順次配置する。

【００３５】このような構成において、ＬＤ５０からの
出射光５６は固体レーザ用結晶ＹＶＯ₄５１で吸収さ
れ、レーザ光５７が励起される。続いて、回折格子型ミ
ラーとＳＨＧ結晶ＫＴＰ５２とで形成される共振器内部
のＳＨＧ結晶ＫＴＰ５２のＳＨＧ結晶により緑色レーザ
光が出射される。本実施例３において、固体レーザの共
振器長は５ｍｍとなっている。

【００３６】実施例３による場合は、レーザ光（固体レ
ーザ光）５７がＳＨＧ結晶ＫＴＰ５２の内部で集光され
ているため光密度が高くなり、該ＳＨＧ結晶ＫＴＰ５２
の効率を向上できる利点がある。このような構成によ
り、ＬＤ出力光５０ｍＷに対して、５ｍＷの緑色光が得
られることが確認できた。

【００３７】（実施例４）図５は本発明ダイオード励起
固体レーザ装置の実施例４を示す。この実施例４では、
実施例３同様の回折格子型ミラーを固体レーザ用結晶Ｙ
ＶＯ₄６１の表面に集積化した構成をとる。以下にその
概略構成を示す。

【００３８】ＬＤ６０の出射端面近傍に固体レーザ用結
晶ＹＶＯ₄６１を配置し、該固体レーザ用結晶ＹＶＯ₄６
１のＬＤ６０側表面にフレネルレンズ型の回折格子６４
を形成し、続いてその表面に多層反射膜６５を形成し、
これにより回折格子型ミラーを作製する。そして、固体
レーザ用結晶ＹＶＯ₄６１のＬＤ６０と反対側の外側方
にＳＨＧ結晶ＫＴＰ５２を配置する。ここで、固体レー
ザの共振器長は２．５ｍｍであり、薄型化が図られてい
る。

【００３９】（実施例５）図６は本発明ダイオード励起
固体レーザ装置の実施例５を示す。この実施例５では、
固体レーザの共振器を構成するミラーとして、回折格子
で形成されたミラーを２個用いる構成をとる。以下にそ
の概略構成を示す。

【００４０】ＬＤ７０の出射端面近傍にガラス基板７３
を配置する。該ガラス基板５３のＬＤ７０と反対側の表
面に回折格子７４を形成し、続いてその表面に多層反射
膜７５を形成し、これで回折格子型ミラーを作製する。
そして、該回折格子型ミラーのＬＤ７０と反対方向の外
側方に固体レーザ用結晶ＹＶＯ₄７１およびＳＨＧ結晶
ＫＴＰ７２を順次配置する。

【００４１】加えて、該ＳＨＧ結晶ＫＴＰ７２の外側方
にガラス基板７３′を配置し、ガラス基板７３′のＳＨ
Ｇ結晶ＫＴＰ７２側表面に同様の回折格子７４′を形成
し、続いてその表面に多層反射膜７５′を形成して回折
格子型ミラーを作製する。

【００４２】本実施例５において、上記２個の回折格子
型ミラーを固体レーザ用結晶ＹＶＯ₄７１及びＳＨＧ結
晶ＫＴＰ７２の表面にそれぞれ集積化した構成とするこ
ともできる。

【００４３】（実施例６）図７は本発明ダイオード励起
固体レーザ装置の実施例６を示す。この実施例６では、
ＳＨＧ結晶ＫＴＰ９２と、ガラス基板９３上に形成した
回折格子９４、多層反射膜９５で形成される回折格子型
ミラーとの間に、１／４波長板９８を挿入する構成をと
る。

【００４４】このような構成によれば、緑色光の偏光を
制御でき、ノイズを低減させることが可能になるので、
信頼性を向上できる利点がある。

【００４５】なお、上記各実施例と対応する部分には、
図番の末尾に同一の番号を付し具体的な説明については
省略する。

【００４６】（実施例７）図８は本発明ダイオード励起
固体レーザ装置の実施例７を示す。この実施例７では、
１／４波長板１０８のＬＤ１００と反対方向の表面に回
折格子１０４及び多層反射膜１０５からなる回折格子型
ミラーを集積化した構成をとる。

【００４７】この実施例７によれば、ノイズの低減と共
に薄型化が図れる利点がある。

【００４８】（実施例１のダイオード励起固体レーザ装
置をパッケージに実装した実施例）図９は上記実施例１
で説明した本発明ダイオード励起固体レーザ装置をパッ
ケージに実装した例を示す。

【００４９】溝を設けた銅のステージ２０４にＬＤ３０
をサブマウントしたシリコンのヒートシンク２０５をマ
ウントする。そして、ＬＤ３０近傍のステージ２０４の
溝に固体レーザ用結晶ＹＶ０₄３１を、次の溝にＳＨＧ
結晶ＫＴＰ３２を、更に次の溝に回折格子３４及び多層
反射膜３５を設けた回折格子型ミラー２０３を順次挿入
し、紫外線硬化樹脂で固定する。

【００５０】回折格子型ミラー２０３の外側方に相当す
るステージ２０４の端部には、傾斜面が形成され、該傾
斜面に上記のようにして外部に出射される緑色レーザ光
の出力をモニタするための検出器２０６が取付けられて
いる。

【００５１】（本発明ダイオード励起固体レーザ装置を
組み込んだ書換可能型の光磁気ディスクのピックアップ
の実施例）図１０は本発明ダイオード励起固体レーザ装
置を組み込んだ書換可能型の光磁気ディスクのピックア
ップを示す。以下にその構成を動作と共に説明する。

【００５２】パッケージに実装されたＬＤ励起固体レー
ザ３００から出射される波長５３０ｎｍの緑色レーザビ
ームは、コリメータレンズ３０１により平行光化されて
第１ビームスプリッタ３０２に進入する。続いて、第１
ビームスプリッタ３０２により、該第１ビームスプリッ
タ３０２を直線的に透過して対物レンズ３０３を介して
光ディスク３１３に照射するビームと、直角に屈曲する
ビームとに分割される。更に、直角に屈曲したビーム
は、第２ビームスプリッタ３０４に進入し、該第２ビー
ムスプリッタ３０４を直線的に透過するビームと、直角
に屈曲するビームとに分割される。

【００５３】第２ビームスプリッタ３０４を直線的に透
過したビームは、シリンドリカルレンズ３０５を介し
て、フォーカスエラー検出用ディテクタ３０６に照射さ
れる。一方、第２ビームスプリッタ３０４を直角に屈曲
したビームは１／２波長板３０７を介して、第３ビーム
スプリッタ３０８に進入し、これにより該第３ビームス
プリッタ３０８を直線的に透過するビームと、直角に屈
曲するビームとに分割される。

【００５４】この内、第３ビームスプリッタ３０８を直
線的に透過するビームはコリメータレンズ３０９を介し
て、第１偏光成分検出用ディテクタ３１０に照射され
る。また、第３ビームスプリッタを直角に屈曲したビー
ムは、コリメータレンズ３１１を介して、第２偏光成分
検出用ディテクタ３１２に照射される。

【００５５】このような構成の光ピックアップを内蔵し
た光ディスク装置においては、従来の波長７８０ｎｍの
ＬＤを組み込んだ光ピックアップ内蔵の光ディスク装置
に比べて、約３倍の高密度化が可能になる。ここで、書
込みにはＬＤ出力光２００ｍＷ、緑色光４０ｍＷが用い
られ、読出しにはＬＤ出力光５０ｍＷ、緑色光５ｍＷを
用いた。

【００５６】なお、上記各実施例では固体レーザ用結晶
としてＹＶＯ₄を、ＳＨＧ用結晶としてＫＴＰを用いた
が、以下に示すものを用いることも可能である。

【００５７】すなわち、固体レーザ用結晶として、他に
ＹＧＡ、ＬＯＳ（Ｌａ₂Ｏ₂Ｓ）、ＣＧＡ（ＣａＧｄＡｌ
Ｏ₄）、ＮＰＰ（ＮｄｘＬａ１−ｘＰ₅Ｏ₁₄）、ＬＮＰ
（ＬｉＮｄｘＧｄ_1-xＰ₄Ｏ₁₂）、ＫＮＰ（ＫＮｄ_xＧｄ
_1-xＰ₄０₁₂）、ＮＡＢ（ＮｄＡ_l ₃（ＢＯ₃）₄）を用いる
ことができる。

【００５８】また、ＳＨＧ用結晶として、他に、ＬｉＮ
ｂＯ₃、ＫＮｂＯ₃、ＢＮＮ（Ｂａ₂ＮａＮｂ₅Ｏ₁₅）を用
いることができる。

【００５９】更には、ＳＨＧ効果を有する固体レーザ用
結晶として、ＮＹＡＢ（Ｎｄ_xＹ_1-xＡｌ₃（ＢＯ₃）
₄（ｘ＝０．０４７）等を用いることも可能である。

【００６０】更に、Ｎｄの遷移波長として、上記実施例
では１．０６μｍを用いたが、それ以外に０．９４μｍ
を用いると、ＳＨＧにより０．４７μｍの青色光が得ら
れることが確認できた。また、遷移元素としてＮｄ以外
の、例えばＣｒ、Ｔｉを用いることもできる。

【００６１】

【発明の効果】請求項１記載のダイオード励起固体レー
ザ装置によれば、レーザ光の波面変換光学素子として回
折格子を用いるので、該波面変換光学素子として凹面鏡
を用いる従来のダイオード励起固体レーザ装置に比べ
て、装置構成を格段に小型化、かつ薄型軽量化できる利
点がある。

【００６２】また、特に請求項２記載のダイオード励起
固体レーザ装置によれば、部品点数の削減が図れると共
に、装置構成を更に一層小型化、かつ薄型軽量化できる
利点がある。

【００６３】また、特に請求項４記載のダイオード励起
固体レーザ装置によれば、光密度を高くでき、高調波発
生用の非線形光学結晶の効率を向上できる利点がある。

【００６４】また、特に請求項５記載のダイオード励起
固体レーザ装置によれば、緑色光の偏光を制御できるの
で、ノイズ低減及び信頼性の向上が図れる利点がある。

【００６５】請求項６記載の光ディスク装置のピックア
ップによれば、レーザ光の短波長化が図れるので、従来
のピックアップに比べて高密度化を格段に向上できる利
点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明ダイオード励起固体レーザ装置の実施例
１を示す斜視図。

【図２】本発明ダイオード励起固体レーザ装置の実施例
１を示す側面図。

【図３】本発明ダイオード励起固体レーザ装置の実施例
２を示す側面図。

【図４】本発明ダイオード励起固体レーザ装置の実施例
３を示す側面図。

【図５】本発明ダイオード励起固体レーザ装置の実施例
４を示す側面図。

【図６】本発明ダイオード励起固体レーザ装置の実施例
５を示す側面図。

【図７】本発明ダイオード励起固体レーザ装置の実施例
６を示す側面図。

【図８】本発明ダイオード励起固体レーザ装置の実施例
７を示す側面図。

【図９】実施例１のダイオード励起固体レーザ装置をパ
ッケージに実装した状態を示す側面図。

【図１０】本発明ダイオード励起固体レーザ装置が組み
込まれた光磁気ディスクのピックアップを示す模式図。

【図１１】ダイオード励起固体レーザ装置の一従来例を
示す側面図。

【図１２】ダイオード励起固体レーザ装置の他の従来例
を示す側面図。

【符号の説明】

３０、４０、５０、６０、７０、９０、１００ＡｌＧ
ａＡｓＬＤ３１、４１、５１、６１、７１、９１、１０１固体レ
ーザ用結晶ＹＶＯ₄ ３２、４２、５２、６２、７２、９２、１０２ＳＨＧ
結晶ＫＴＰ３４、４４、５４、６４、７４、７４′、９４、１０４
回折格子３５、４５、５５、６５、７５、７５′、９５、１０５
多層反射膜９８、１０８１／４波長板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０１Ｓ 3/16 8934−4Ｍ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】固体レーザ用結晶、高調波発生用の非線形
光学結晶及び励起用の半導体レーザにより構成されるダ
イオード励起固体レーザ装置において、回折格子で形成された波面変換光学素子を有し、該波面
変換光学素子でレーザ光の波面を変換するようにしたダ
イオード励起固体レーザ装置。
【請求項２】前記回折格子を前記固体レーザ用結晶の表
面又は前記高調波発生用の非線形光学結晶の表面に形成
した請求項１記載のダイオード励起固体レーザ装置。
【請求項３】前記回折格子と該回折格子の表面に形成さ
れた多層反射膜で回折格子型ミラーを形成した請求項１
記載のダイオード励起固体レーザ装置。
【請求項４】前記半導体レーザと、前記固体レーザ用結
晶との間に、前記回折格子型ミラーを挿入し、該回折格
子型ミラーと該固体レーザ用結晶とで固体レーザの共振
器を形成した請求項３記載のダイオード励起固体レーザ
装置。
【請求項５】前記回折格子型ミラーを前記高調波発生用
の非線形光学結晶に対向配置し、両者の間に偏光制御手
段を設けた請求項３記載のダイオード励起固体レーザ装
置。
【請求項６】請求項１記載のダイオード励起固体レーザ
装置が組み込まれた光磁気ディスク装置のピックアッ
プ。