JPH04220572A - 回路基板検査装置における被検査回路基板の基準位置検出方法 - Google Patents
回路基板検査装置における被検査回路基板の基準位置検出方法Info
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- JPH04220572A JPH04220572A JP2412318A JP41231890A JPH04220572A JP H04220572 A JPH04220572 A JP H04220572A JP 2412318 A JP2412318 A JP 2412318A JP 41231890 A JP41231890 A JP 41231890A JP H04220572 A JPH04220572 A JP H04220572A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 title description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 48
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 2
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 4
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は回路基板検査装置に係
り、さらに詳しく言えば、同装置にセットされた被検査
回路基板の基準位置を検出する検出方法に関するもので
ある。
り、さらに詳しく言えば、同装置にセットされた被検査
回路基板の基準位置を検出する検出方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】少なくとも２本のプローブを自在に移動
させて検査するＸ−Ｙ型の回路基板検査装置においては
、測定ポイントの位置データを含む検査プログラムにし
たがって各プローブを移動させるため、被検査回路基板
との間に位置ずれがあると、これが直接に測定不能の原
因となる。この位置ずれは、往々にして回路基板自体の
寸法誤差やフィクスチュアなどによる固定時の誤差に基
因して生ずる。
させて検査するＸ−Ｙ型の回路基板検査装置においては
、測定ポイントの位置データを含む検査プログラムにし
たがって各プローブを移動させるため、被検査回路基板
との間に位置ずれがあると、これが直接に測定不能の原
因となる。この位置ずれは、往々にして回路基板自体の
寸法誤差やフィクスチュアなどによる固定時の誤差に基
因して生ずる。
【０００３】そこで、従来では被検査回路基板に基準位
置マークを設け、これを例えばビーム式マークセンサも
しくはＣＣＤカメラにて読み取るようにしている。
置マークを設け、これを例えばビーム式マークセンサも
しくはＣＣＤカメラにて読み取るようにしている。
【０００４】すなわち、基準位置マークを画像処理して
その中心座標を求めるとともに、同中心座標と絶対座標
（被検査回路基板の設計上の座標）との差を算出して、
検査プログラムの測定ポイントデータを補正するように
している。なお、このデータ補正は例えば線形変換（ア
フィン変換）と言われる手法によって行なわれる。
その中心座標を求めるとともに、同中心座標と絶対座標
（被検査回路基板の設計上の座標）との差を算出して、
検査プログラムの測定ポイントデータを補正するように
している。なお、このデータ補正は例えば線形変換（ア
フィン変換）と言われる手法によって行なわれる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】これによれば、基準位
置マークの中心座標を非接触で検出することができるが
、ビーム式マークセンサ、ＣＣＤカメラおよびこれに関
連する画像処理装置を必要とするため、コスト的に大き
な負担が強いられることになる。
置マークの中心座標を非接触で検出することができるが
、ビーム式マークセンサ、ＣＣＤカメラおよびこれに関
連する画像処理装置を必要とするため、コスト的に大き
な負担が強いられることになる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は上記従来の欠
点を解決するためになされたもので、その構成上の特徴
は、被検査回路基板と平行な平面内においてＸ−Ｙ方向
に移動し得る少なくとも２本のプローブと、同プローブ
を移動させるプローブ駆動手段と、上記各プローブにそ
れぞれ接続される測定信号発生部および信号測定部とを
含む測定手段と、上記プローブ駆動手段および上記測定
手段などを電気的に制御する制御手段とを備えている回
路基板検査装置において、上記被検査回路基板に設けら
れている導電性材料からなる基準位置マークの中心座標
を検出するにあたって、上記制御手段は予め記憶されて
いる被検査回路基板の座標データに基づいて上記一方の
プローブを上記位置基準マークの所定位置に接触させる
とともに、上記他方のプローブを上記一方のプローブを
中心としてＸ−Ｙ方向に移動させ、両プローブ間の導通
の有無にて上記基準位置マークのＸ方向長さデータとＹ
方向長さデータとを求め、これらのデータから上記基準
位置マークの中心座標を算出するようにしたことにある
。
点を解決するためになされたもので、その構成上の特徴
は、被検査回路基板と平行な平面内においてＸ−Ｙ方向
に移動し得る少なくとも２本のプローブと、同プローブ
を移動させるプローブ駆動手段と、上記各プローブにそ
れぞれ接続される測定信号発生部および信号測定部とを
含む測定手段と、上記プローブ駆動手段および上記測定
手段などを電気的に制御する制御手段とを備えている回
路基板検査装置において、上記被検査回路基板に設けら
れている導電性材料からなる基準位置マークの中心座標
を検出するにあたって、上記制御手段は予め記憶されて
いる被検査回路基板の座標データに基づいて上記一方の
プローブを上記位置基準マークの所定位置に接触させる
とともに、上記他方のプローブを上記一方のプローブを
中心としてＸ−Ｙ方向に移動させ、両プローブ間の導通
の有無にて上記基準位置マークのＸ方向長さデータとＹ
方向長さデータとを求め、これらのデータから上記基準
位置マークの中心座標を算出するようにしたことにある
。
【０００７】
【作用】一方のプローブを基準位置マークの所定部位に
接触させた状態で、他方のプローブをＸ−Ｙ方向に移動
させる。その場合、両プローブ間が導通していれば、他
方のプローブは基準位置マーク内にあり、非導通となっ
た時点で基準位置マークのエッジ位置に到来したことが
検出され、そのエッジ位置データが得られる。ここで、
Ｘ方向におけるエッジ位置データがＸ１，Ｘ２、Ｙ方向
におけるエッジ位置データがＹ１，Ｙ２とすると、基準
位置マークの中心座標は、（Ｘ１＋Ｘ２）／２、（Ｙ１
＋Ｙ２）／２で表される。
接触させた状態で、他方のプローブをＸ−Ｙ方向に移動
させる。その場合、両プローブ間が導通していれば、他
方のプローブは基準位置マーク内にあり、非導通となっ
た時点で基準位置マークのエッジ位置に到来したことが
検出され、そのエッジ位置データが得られる。ここで、
Ｘ方向におけるエッジ位置データがＸ１，Ｘ２、Ｙ方向
におけるエッジ位置データがＹ１，Ｙ２とすると、基準
位置マークの中心座標は、（Ｘ１＋Ｘ２）／２、（Ｙ１
＋Ｙ２）／２で表される。
【０００８】
【実施例】まず、図１と図２を参照しながら、このＸ−
Ｙ型回路基板検査装置の構成を概略的に説明する。同装
置はＸ方向に配向されたガイドレール１を備えている。 この実施例において、ガイドレール１にはＹ方向に配向
され、それ自体が同ガイドレール１に沿ってＸ方向に往
復動する一対のアーム２ａ，２ｂが取り付けられている
。
Ｙ型回路基板検査装置の構成を概略的に説明する。同装
置はＸ方向に配向されたガイドレール１を備えている。 この実施例において、ガイドレール１にはＹ方向に配向
され、それ自体が同ガイドレール１に沿ってＸ方向に往
復動する一対のアーム２ａ，２ｂが取り付けられている
。
【０００９】各アーム２ａ，２ｂには、同アームに沿っ
てＹ方向に往復動する可動部３ａ，３ｂが設けられてい
る。各可動部３ａ，３ｂには、プローブ４ａ，４ｂが被
検査回路基板Ｐに対してそれぞれ進退（上下動）可能に
保持されている。
てＹ方向に往復動する可動部３ａ，３ｂが設けられてい
る。各可動部３ａ，３ｂには、プローブ４ａ，４ｂが被
検査回路基板Ｐに対してそれぞれ進退（上下動）可能に
保持されている。
【００１０】アーム２ａ，２ｂおよび可動部３ａ，３ｂ
は図示しないサーボ機構などによってその動きが制御さ
れ、また、プローブ４ａ，４ｂはエアシリンダもしくは
円板クランクなどにて上下方向に駆動される。
は図示しないサーボ機構などによってその動きが制御さ
れ、また、プローブ４ａ，４ｂはエアシリンダもしくは
円板クランクなどにて上下方向に駆動される。
【００１１】上記構成により、各プローブ４ａ，４ｂは
被検査回路基板Ｐと平行な平面内において自在に移動し
得、かつ、測定ポイントで上下動することにより、検査
が行なわれる。
被検査回路基板Ｐと平行な平面内において自在に移動し
得、かつ、測定ポイントで上下動することにより、検査
が行なわれる。
【００１２】図３には、この回路基板検査装置の概略的
なブロック線図が示されている。これによると、同装置
は測定手段５、サーボ系制御部６、メモリ７、制御手段
（ＣＰＵ）８、入力指示装置としてのキーボード９およ
びＣＲＴやプリンタなどの出力表示装置１０を備えてい
る。
なブロック線図が示されている。これによると、同装置
は測定手段５、サーボ系制御部６、メモリ７、制御手段
（ＣＰＵ）８、入力指示装置としてのキーボード９およ
びＣＲＴやプリンタなどの出力表示装置１０を備えてい
る。
【００１３】図示されていないが、測定手段５内には測
定信号発生部と信号測定部とが含まれており、これらは
図示しないスキャナを介してプローブ４ａ，４ｂのいず
れかに選択的に接続される。メモリ７には、検査ステッ
プや測定ポイントの位置データを含む検査プログラムが
格納されている。ＣＰＵ８はその検査プログラムにした
がって測定手段５やサーボ系制御部６などを制御する。
定信号発生部と信号測定部とが含まれており、これらは
図示しないスキャナを介してプローブ４ａ，４ｂのいず
れかに選択的に接続される。メモリ７には、検査ステッ
プや測定ポイントの位置データを含む検査プログラムが
格納されている。ＣＰＵ８はその検査プログラムにした
がって測定手段５やサーボ系制御部６などを制御する。
【００１４】被検査回路基板Ｐには、導電性材料からな
る２つの基準位置マーク１１Ａ，１１Ｂが対角線上に設
けられている。一般的には、この基準位置マーク１１Ａ
，１１Ｂは回路パターンと同じく銅箔から形成され、そ
の形状には円形、四角形などがあり、この例では円形と
されている。
る２つの基準位置マーク１１Ａ，１１Ｂが対角線上に設
けられている。一般的には、この基準位置マーク１１Ａ
，１１Ｂは回路パターンと同じく銅箔から形成され、そ
の形状には円形、四角形などがあり、この例では円形と
されている。
【００１５】図４を参照しながら、この基準位置マーク
１１Ａ，１１Ｂの中心座標を検出する方法について説明
する。なお、メモリ７には予め基準位置マーク１１Ａ，
１１Ｂおよび各測定ポイントの絶対座標データ（設計上
の座標データ）が入力されているものとする。
１１Ａ，１１Ｂの中心座標を検出する方法について説明
する。なお、メモリ７には予め基準位置マーク１１Ａ，
１１Ｂおよび各測定ポイントの絶対座標データ（設計上
の座標データ）が入力されているものとする。
【００１６】ＣＰＵ８は、メモリ７から絶対座標データ
を読出し、それに基づいてサーボ系制御部６を介して一
方の例えばプローブ４ａをまず基準位置マーク１１Ａの
それに対応するポイントＯに接触させる。
を読出し、それに基づいてサーボ系制御部６を介して一
方の例えばプローブ４ａをまず基準位置マーク１１Ａの
それに対応するポイントＯに接触させる。
【００１７】そして、そこを中心として他方のプローブ
４ｂをＸ方向の例えば右側に１移動最小分解能ずつ移動
させ、両プローブ４ａ，４ｂ間の導通状態を測定する。 この例では１移動最小分解能は２０μｍである。
４ｂをＸ方向の例えば右側に１移動最小分解能ずつ移動
させ、両プローブ４ａ，４ｂ間の導通状態を測定する。 この例では１移動最小分解能は２０μｍである。
【００１８】導通していれば、基準位置マーク１１Ａ内
であり、非導通になった時点で基準位置マーク１１Ａ外
と判断し、Ｘ方向におけるそのエッジ座標をＸ１とする
。もっとも、非導通になった時点の１ステップ前の位置
座標をＸ１としてもよい。次に、プローブ４ｂをポイン
トＯに接触させ、今度はプローブ４ａをＸ方向左側へ１
移動最小分解能ずつ移動させ、同様に導通、非導通状態
を測定しながら反対側のエッジ座標Ｘ２を検出する。
であり、非導通になった時点で基準位置マーク１１Ａ外
と判断し、Ｘ方向におけるそのエッジ座標をＸ１とする
。もっとも、非導通になった時点の１ステップ前の位置
座標をＸ１としてもよい。次に、プローブ４ｂをポイン
トＯに接触させ、今度はプローブ４ａをＸ方向左側へ１
移動最小分解能ずつ移動させ、同様に導通、非導通状態
を測定しながら反対側のエッジ座標Ｘ２を検出する。
【００１９】続いて、Ｙ方向についても上記と同様にし
てそのエッジ座標Ｙ１，Ｙ２を検出する。
てそのエッジ座標Ｙ１，Ｙ２を検出する。
【００２０】しかるのち、ＣＰＵ８において（Ｘ１＋Ｘ
２）／２、（Ｙ１＋Ｙ２）／２の演算が行なわれ、基準
位置マーク１１Ａの中心座標が求められる。より正確さ
を期するならば、上記の方法を２回以上繰り返し、１移
動最小分解能ずつ移動させる径路が基準位置マーク１１
の中心を通るようにすればよい。
２）／２、（Ｙ１＋Ｙ２）／２の演算が行なわれ、基準
位置マーク１１Ａの中心座標が求められる。より正確さ
を期するならば、上記の方法を２回以上繰り返し、１移
動最小分解能ずつ移動させる径路が基準位置マーク１１
の中心を通るようにすればよい。
【００２１】このようにして、基準位置マーク１１Ａの
中心座標を求め、引き続き同様にして基準位置マーク１
１Ｂの中心座標を求めたのち、絶対座標との間で補正が
行なわれる。なお、この補正は例えば画像処理の分野で
一般的に用いられている線形変換（アフィン変換）によ
り行なわれるが、ここではその説明は省略する。
中心座標を求め、引き続き同様にして基準位置マーク１
１Ｂの中心座標を求めたのち、絶対座標との間で補正が
行なわれる。なお、この補正は例えば画像処理の分野で
一般的に用いられている線形変換（アフィン変換）によ
り行なわれるが、ここではその説明は省略する。
【００２２】上記実施例はプローブが２本の場合につい
て説明されているが、プローブが３本もしくは４本ある
場合には、その内の中間に位置するプローブを基準位置
マーク１１Ａ，１１ＢのポイントＯに接触させ、その左
右に位置する各プローブをＸ方向、Ｙ方向にそれぞれ反
対方向に向けて１移動最小分解能ずつ移動させればよい
。また、要求される精度にも関係するが、必ずしも１移
動量を最小分解能単位とする必要はない。
て説明されているが、プローブが３本もしくは４本ある
場合には、その内の中間に位置するプローブを基準位置
マーク１１Ａ，１１ＢのポイントＯに接触させ、その左
右に位置する各プローブをＸ方向、Ｙ方向にそれぞれ反
対方向に向けて１移動最小分解能ずつ移動させればよい
。また、要求される精度にも関係するが、必ずしも１移
動量を最小分解能単位とする必要はない。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
、Ｘ−Ｙ方向に移動自在な少なくとも２本のプローブを
有するＸ−Ｙ型回路基板検査装置において、ＣＣＤカメ
ラおよびその画像処理装置などによることなく、そのプ
ローブを利用して被検査回路基板の基準位置マークの中
心位置を求めることができる。
、Ｘ−Ｙ方向に移動自在な少なくとも２本のプローブを
有するＸ−Ｙ型回路基板検査装置において、ＣＣＤカメ
ラおよびその画像処理装置などによることなく、そのプ
ローブを利用して被検査回路基板の基準位置マークの中
心位置を求めることができる。
【図１】この発明の説明に供せられるＸ−Ｙ型回路基板
検査装置の概略的な平面図。
検査装置の概略的な平面図。
【図２】同回路基板検査装置の概略的な側面図。
【図３】同回路基板検査装置の概略的なブロック線図。
【図４】この発明によって基準位置マークの中心座標を
求める場合の説明図。
求める場合の説明図。
１ ガイドレール
２ａ，２ｂ アーム
３ａ，３ｂ 可動部
４ａ，４ｂ プローブ
５ 測定手段
６ サーボ系制御部
７ メモリ
８ ＣＰＵ
１１Ａ，１１Ｂ 基準位置マーク
Ｐ 被検査回路基板
Claims (1)
- 【請求項１】被検査回路基板と平行な平面内においてＸ
−Ｙ方向に移動し得る少なくとも２本のプローブと、同
プローブを移動させるプローブ駆動手段と、上記各プロ
ーブにそれぞれ接続される測定信号発生部および信号測
定部とを含む測定手段と、上記プローブ駆動手段および
上記測定手段などを電気的に制御する制御手段とを備え
ている回路基板検査装置において、上記被検査回路基板
に設けられている導電性材料からなる基準位置マークの
中心座標を検出するにあたって、上記制御手段は予め記
憶されている被検査回路基板の座標データに基づいて上
記一方のプローブを上記位置基準マークの所定位置に接
触させるとともに、上記他方のプローブを上記一方のプ
ローブを中心としてＸ−Ｙ方向に移動させ、両プローブ
間の導通の有無にて上記基準位置マークのＸ方向長さデ
ータとＹ方向長さデータとを求め、これらのデータから
上記基準位置マークの中心座標を算出するようにしたこ
とを特徴とする回路基板検査装置における被検査回路基
板の基準位置検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2412318A JP3062255B2 (ja) | 1990-12-20 | 1990-12-20 | 回路基板検査装置における被検査回路基板の基準位置検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2412318A JP3062255B2 (ja) | 1990-12-20 | 1990-12-20 | 回路基板検査装置における被検査回路基板の基準位置検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04220572A true JPH04220572A (ja) | 1992-08-11 |
| JP3062255B2 JP3062255B2 (ja) | 2000-07-10 |
Family
ID=18521172
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2412318A Expired - Fee Related JP3062255B2 (ja) | 1990-12-20 | 1990-12-20 | 回路基板検査装置における被検査回路基板の基準位置検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3062255B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005241491A (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-08 | Nidec-Read Corp | 基板検査装置、位置調整方法 |
| JP2008131016A (ja) * | 2006-11-27 | 2008-06-05 | Nidec-Read Corp | 基板検査装置における位置合わせ方法及び基板検査装置 |
-
1990
- 1990-12-20 JP JP2412318A patent/JP3062255B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005241491A (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-08 | Nidec-Read Corp | 基板検査装置、位置調整方法 |
| JP2008131016A (ja) * | 2006-11-27 | 2008-06-05 | Nidec-Read Corp | 基板検査装置における位置合わせ方法及び基板検査装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3062255B2 (ja) | 2000-07-10 |
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