JPH04220572A - 回路基板検査装置における被検査回路基板の基準位置検出方法 - Google Patents
回路基板検査装置における被検査回路基板の基準位置検出方法Info
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- JPH04220572A JPH04220572A JP2412318A JP41231890A JPH04220572A JP H04220572 A JPH04220572 A JP H04220572A JP 2412318 A JP2412318 A JP 2412318A JP 41231890 A JP41231890 A JP 41231890A JP H04220572 A JPH04220572 A JP H04220572A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 title description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 48
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 2
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 4
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
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- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は回路基板検査装置に係
り、さらに詳しく言えば、同装置にセットされた被検査
回路基板の基準位置を検出する検出方法に関するもので
ある。
り、さらに詳しく言えば、同装置にセットされた被検査
回路基板の基準位置を検出する検出方法に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】少なくとも2本のプローブを自在に移動
させて検査するX−Y型の回路基板検査装置においては
、測定ポイントの位置データを含む検査プログラムにし
たがって各プローブを移動させるため、被検査回路基板
との間に位置ずれがあると、これが直接に測定不能の原
因となる。この位置ずれは、往々にして回路基板自体の
寸法誤差やフィクスチュアなどによる固定時の誤差に基
因して生ずる。
させて検査するX−Y型の回路基板検査装置においては
、測定ポイントの位置データを含む検査プログラムにし
たがって各プローブを移動させるため、被検査回路基板
との間に位置ずれがあると、これが直接に測定不能の原
因となる。この位置ずれは、往々にして回路基板自体の
寸法誤差やフィクスチュアなどによる固定時の誤差に基
因して生ずる。
【0003】そこで、従来では被検査回路基板に基準位
置マークを設け、これを例えばビーム式マークセンサも
しくはCCDカメラにて読み取るようにしている。
置マークを設け、これを例えばビーム式マークセンサも
しくはCCDカメラにて読み取るようにしている。
【0004】すなわち、基準位置マークを画像処理して
その中心座標を求めるとともに、同中心座標と絶対座標
(被検査回路基板の設計上の座標)との差を算出して、
検査プログラムの測定ポイントデータを補正するように
している。なお、このデータ補正は例えば線形変換(ア
フィン変換)と言われる手法によって行なわれる。
その中心座標を求めるとともに、同中心座標と絶対座標
(被検査回路基板の設計上の座標)との差を算出して、
検査プログラムの測定ポイントデータを補正するように
している。なお、このデータ補正は例えば線形変換(ア
フィン変換)と言われる手法によって行なわれる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】これによれば、基準位
置マークの中心座標を非接触で検出することができるが
、ビーム式マークセンサ、CCDカメラおよびこれに関
連する画像処理装置を必要とするため、コスト的に大き
な負担が強いられることになる。
置マークの中心座標を非接触で検出することができるが
、ビーム式マークセンサ、CCDカメラおよびこれに関
連する画像処理装置を必要とするため、コスト的に大き
な負担が強いられることになる。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明は上記従来の欠
点を解決するためになされたもので、その構成上の特徴
は、被検査回路基板と平行な平面内においてX−Y方向
に移動し得る少なくとも2本のプローブと、同プローブ
を移動させるプローブ駆動手段と、上記各プローブにそ
れぞれ接続される測定信号発生部および信号測定部とを
含む測定手段と、上記プローブ駆動手段および上記測定
手段などを電気的に制御する制御手段とを備えている回
路基板検査装置において、上記被検査回路基板に設けら
れている導電性材料からなる基準位置マークの中心座標
を検出するにあたって、上記制御手段は予め記憶されて
いる被検査回路基板の座標データに基づいて上記一方の
プローブを上記位置基準マークの所定位置に接触させる
とともに、上記他方のプローブを上記一方のプローブを
中心としてX−Y方向に移動させ、両プローブ間の導通
の有無にて上記基準位置マークのX方向長さデータとY
方向長さデータとを求め、これらのデータから上記基準
位置マークの中心座標を算出するようにしたことにある
。
点を解決するためになされたもので、その構成上の特徴
は、被検査回路基板と平行な平面内においてX−Y方向
に移動し得る少なくとも2本のプローブと、同プローブ
を移動させるプローブ駆動手段と、上記各プローブにそ
れぞれ接続される測定信号発生部および信号測定部とを
含む測定手段と、上記プローブ駆動手段および上記測定
手段などを電気的に制御する制御手段とを備えている回
路基板検査装置において、上記被検査回路基板に設けら
れている導電性材料からなる基準位置マークの中心座標
を検出するにあたって、上記制御手段は予め記憶されて
いる被検査回路基板の座標データに基づいて上記一方の
プローブを上記位置基準マークの所定位置に接触させる
とともに、上記他方のプローブを上記一方のプローブを
中心としてX−Y方向に移動させ、両プローブ間の導通
の有無にて上記基準位置マークのX方向長さデータとY
方向長さデータとを求め、これらのデータから上記基準
位置マークの中心座標を算出するようにしたことにある
。
【0007】
【作用】一方のプローブを基準位置マークの所定部位に
接触させた状態で、他方のプローブをX−Y方向に移動
させる。その場合、両プローブ間が導通していれば、他
方のプローブは基準位置マーク内にあり、非導通となっ
た時点で基準位置マークのエッジ位置に到来したことが
検出され、そのエッジ位置データが得られる。ここで、
X方向におけるエッジ位置データがX1,X2、Y方向
におけるエッジ位置データがY1,Y2とすると、基準
位置マークの中心座標は、(X1+X2)/2、(Y1
+Y2)/2で表される。
接触させた状態で、他方のプローブをX−Y方向に移動
させる。その場合、両プローブ間が導通していれば、他
方のプローブは基準位置マーク内にあり、非導通となっ
た時点で基準位置マークのエッジ位置に到来したことが
検出され、そのエッジ位置データが得られる。ここで、
X方向におけるエッジ位置データがX1,X2、Y方向
におけるエッジ位置データがY1,Y2とすると、基準
位置マークの中心座標は、(X1+X2)/2、(Y1
+Y2)/2で表される。
【0008】
【実施例】まず、図1と図2を参照しながら、このX−
Y型回路基板検査装置の構成を概略的に説明する。同装
置はX方向に配向されたガイドレール1を備えている。 この実施例において、ガイドレール1にはY方向に配向
され、それ自体が同ガイドレール1に沿ってX方向に往
復動する一対のアーム2a,2bが取り付けられている
。
Y型回路基板検査装置の構成を概略的に説明する。同装
置はX方向に配向されたガイドレール1を備えている。 この実施例において、ガイドレール1にはY方向に配向
され、それ自体が同ガイドレール1に沿ってX方向に往
復動する一対のアーム2a,2bが取り付けられている
。
【0009】各アーム2a,2bには、同アームに沿っ
てY方向に往復動する可動部3a,3bが設けられてい
る。各可動部3a,3bには、プローブ4a,4bが被
検査回路基板Pに対してそれぞれ進退(上下動)可能に
保持されている。
てY方向に往復動する可動部3a,3bが設けられてい
る。各可動部3a,3bには、プローブ4a,4bが被
検査回路基板Pに対してそれぞれ進退(上下動)可能に
保持されている。
【0010】アーム2a,2bおよび可動部3a,3b
は図示しないサーボ機構などによってその動きが制御さ
れ、また、プローブ4a,4bはエアシリンダもしくは
円板クランクなどにて上下方向に駆動される。
は図示しないサーボ機構などによってその動きが制御さ
れ、また、プローブ4a,4bはエアシリンダもしくは
円板クランクなどにて上下方向に駆動される。
【0011】上記構成により、各プローブ4a,4bは
被検査回路基板Pと平行な平面内において自在に移動し
得、かつ、測定ポイントで上下動することにより、検査
が行なわれる。
被検査回路基板Pと平行な平面内において自在に移動し
得、かつ、測定ポイントで上下動することにより、検査
が行なわれる。
【0012】図3には、この回路基板検査装置の概略的
なブロック線図が示されている。これによると、同装置
は測定手段5、サーボ系制御部6、メモリ7、制御手段
(CPU)8、入力指示装置としてのキーボード9およ
びCRTやプリンタなどの出力表示装置10を備えてい
る。
なブロック線図が示されている。これによると、同装置
は測定手段5、サーボ系制御部6、メモリ7、制御手段
(CPU)8、入力指示装置としてのキーボード9およ
びCRTやプリンタなどの出力表示装置10を備えてい
る。
【0013】図示されていないが、測定手段5内には測
定信号発生部と信号測定部とが含まれており、これらは
図示しないスキャナを介してプローブ4a,4bのいず
れかに選択的に接続される。メモリ7には、検査ステッ
プや測定ポイントの位置データを含む検査プログラムが
格納されている。CPU8はその検査プログラムにした
がって測定手段5やサーボ系制御部6などを制御する。
定信号発生部と信号測定部とが含まれており、これらは
図示しないスキャナを介してプローブ4a,4bのいず
れかに選択的に接続される。メモリ7には、検査ステッ
プや測定ポイントの位置データを含む検査プログラムが
格納されている。CPU8はその検査プログラムにした
がって測定手段5やサーボ系制御部6などを制御する。
【0014】被検査回路基板Pには、導電性材料からな
る2つの基準位置マーク11A,11Bが対角線上に設
けられている。一般的には、この基準位置マーク11A
,11Bは回路パターンと同じく銅箔から形成され、そ
の形状には円形、四角形などがあり、この例では円形と
されている。
る2つの基準位置マーク11A,11Bが対角線上に設
けられている。一般的には、この基準位置マーク11A
,11Bは回路パターンと同じく銅箔から形成され、そ
の形状には円形、四角形などがあり、この例では円形と
されている。
【0015】図4を参照しながら、この基準位置マーク
11A,11Bの中心座標を検出する方法について説明
する。なお、メモリ7には予め基準位置マーク11A,
11Bおよび各測定ポイントの絶対座標データ(設計上
の座標データ)が入力されているものとする。
11A,11Bの中心座標を検出する方法について説明
する。なお、メモリ7には予め基準位置マーク11A,
11Bおよび各測定ポイントの絶対座標データ(設計上
の座標データ)が入力されているものとする。
【0016】CPU8は、メモリ7から絶対座標データ
を読出し、それに基づいてサーボ系制御部6を介して一
方の例えばプローブ4aをまず基準位置マーク11Aの
それに対応するポイントOに接触させる。
を読出し、それに基づいてサーボ系制御部6を介して一
方の例えばプローブ4aをまず基準位置マーク11Aの
それに対応するポイントOに接触させる。
【0017】そして、そこを中心として他方のプローブ
4bをX方向の例えば右側に1移動最小分解能ずつ移動
させ、両プローブ4a,4b間の導通状態を測定する。 この例では1移動最小分解能は20μmである。
4bをX方向の例えば右側に1移動最小分解能ずつ移動
させ、両プローブ4a,4b間の導通状態を測定する。 この例では1移動最小分解能は20μmである。
【0018】導通していれば、基準位置マーク11A内
であり、非導通になった時点で基準位置マーク11A外
と判断し、X方向におけるそのエッジ座標をX1とする
。もっとも、非導通になった時点の1ステップ前の位置
座標をX1としてもよい。次に、プローブ4bをポイン
トOに接触させ、今度はプローブ4aをX方向左側へ1
移動最小分解能ずつ移動させ、同様に導通、非導通状態
を測定しながら反対側のエッジ座標X2を検出する。
であり、非導通になった時点で基準位置マーク11A外
と判断し、X方向におけるそのエッジ座標をX1とする
。もっとも、非導通になった時点の1ステップ前の位置
座標をX1としてもよい。次に、プローブ4bをポイン
トOに接触させ、今度はプローブ4aをX方向左側へ1
移動最小分解能ずつ移動させ、同様に導通、非導通状態
を測定しながら反対側のエッジ座標X2を検出する。
【0019】続いて、Y方向についても上記と同様にし
てそのエッジ座標Y1,Y2を検出する。
てそのエッジ座標Y1,Y2を検出する。
【0020】しかるのち、CPU8において(X1+X
2)/2、(Y1+Y2)/2の演算が行なわれ、基準
位置マーク11Aの中心座標が求められる。より正確さ
を期するならば、上記の方法を2回以上繰り返し、1移
動最小分解能ずつ移動させる径路が基準位置マーク11
の中心を通るようにすればよい。
2)/2、(Y1+Y2)/2の演算が行なわれ、基準
位置マーク11Aの中心座標が求められる。より正確さ
を期するならば、上記の方法を2回以上繰り返し、1移
動最小分解能ずつ移動させる径路が基準位置マーク11
の中心を通るようにすればよい。
【0021】このようにして、基準位置マーク11Aの
中心座標を求め、引き続き同様にして基準位置マーク1
1Bの中心座標を求めたのち、絶対座標との間で補正が
行なわれる。なお、この補正は例えば画像処理の分野で
一般的に用いられている線形変換(アフィン変換)によ
り行なわれるが、ここではその説明は省略する。
中心座標を求め、引き続き同様にして基準位置マーク1
1Bの中心座標を求めたのち、絶対座標との間で補正が
行なわれる。なお、この補正は例えば画像処理の分野で
一般的に用いられている線形変換(アフィン変換)によ
り行なわれるが、ここではその説明は省略する。
【0022】上記実施例はプローブが2本の場合につい
て説明されているが、プローブが3本もしくは4本ある
場合には、その内の中間に位置するプローブを基準位置
マーク11A,11BのポイントOに接触させ、その左
右に位置する各プローブをX方向、Y方向にそれぞれ反
対方向に向けて1移動最小分解能ずつ移動させればよい
。また、要求される精度にも関係するが、必ずしも1移
動量を最小分解能単位とする必要はない。
て説明されているが、プローブが3本もしくは4本ある
場合には、その内の中間に位置するプローブを基準位置
マーク11A,11BのポイントOに接触させ、その左
右に位置する各プローブをX方向、Y方向にそれぞれ反
対方向に向けて1移動最小分解能ずつ移動させればよい
。また、要求される精度にも関係するが、必ずしも1移
動量を最小分解能単位とする必要はない。
【0023】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
、X−Y方向に移動自在な少なくとも2本のプローブを
有するX−Y型回路基板検査装置において、CCDカメ
ラおよびその画像処理装置などによることなく、そのプ
ローブを利用して被検査回路基板の基準位置マークの中
心位置を求めることができる。
、X−Y方向に移動自在な少なくとも2本のプローブを
有するX−Y型回路基板検査装置において、CCDカメ
ラおよびその画像処理装置などによることなく、そのプ
ローブを利用して被検査回路基板の基準位置マークの中
心位置を求めることができる。
【図1】この発明の説明に供せられるX−Y型回路基板
検査装置の概略的な平面図。
検査装置の概略的な平面図。
【図2】同回路基板検査装置の概略的な側面図。
【図3】同回路基板検査装置の概略的なブロック線図。
【図4】この発明によって基準位置マークの中心座標を
求める場合の説明図。
求める場合の説明図。
1 ガイドレール
2a,2b アーム
3a,3b 可動部
4a,4b プローブ
5 測定手段
6 サーボ系制御部
7 メモリ
8 CPU
11A,11B 基準位置マーク
P 被検査回路基板
Claims (1)
- 【請求項1】被検査回路基板と平行な平面内においてX
−Y方向に移動し得る少なくとも2本のプローブと、同
プローブを移動させるプローブ駆動手段と、上記各プロ
ーブにそれぞれ接続される測定信号発生部および信号測
定部とを含む測定手段と、上記プローブ駆動手段および
上記測定手段などを電気的に制御する制御手段とを備え
ている回路基板検査装置において、上記被検査回路基板
に設けられている導電性材料からなる基準位置マークの
中心座標を検出するにあたって、上記制御手段は予め記
憶されている被検査回路基板の座標データに基づいて上
記一方のプローブを上記位置基準マークの所定位置に接
触させるとともに、上記他方のプローブを上記一方のプ
ローブを中心としてX−Y方向に移動させ、両プローブ
間の導通の有無にて上記基準位置マークのX方向長さデ
ータとY方向長さデータとを求め、これらのデータから
上記基準位置マークの中心座標を算出するようにしたこ
とを特徴とする回路基板検査装置における被検査回路基
板の基準位置検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2412318A JP3062255B2 (ja) | 1990-12-20 | 1990-12-20 | 回路基板検査装置における被検査回路基板の基準位置検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2412318A JP3062255B2 (ja) | 1990-12-20 | 1990-12-20 | 回路基板検査装置における被検査回路基板の基準位置検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04220572A true JPH04220572A (ja) | 1992-08-11 |
JP3062255B2 JP3062255B2 (ja) | 2000-07-10 |
Family
ID=18521172
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2412318A Expired - Fee Related JP3062255B2 (ja) | 1990-12-20 | 1990-12-20 | 回路基板検査装置における被検査回路基板の基準位置検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3062255B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005241491A (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-08 | Nidec-Read Corp | 基板検査装置、位置調整方法 |
JP2008131016A (ja) * | 2006-11-27 | 2008-06-05 | Nidec-Read Corp | 基板検査装置における位置合わせ方法及び基板検査装置 |
-
1990
- 1990-12-20 JP JP2412318A patent/JP3062255B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005241491A (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-08 | Nidec-Read Corp | 基板検査装置、位置調整方法 |
JP2008131016A (ja) * | 2006-11-27 | 2008-06-05 | Nidec-Read Corp | 基板検査装置における位置合わせ方法及び基板検査装置 |
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---|---|
JP3062255B2 (ja) | 2000-07-10 |
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