JPH09196635A - 画像測定機 - Google Patents
画像測定機Info
- Publication number
- JPH09196635A JPH09196635A JP8029993A JP2999396A JPH09196635A JP H09196635 A JPH09196635 A JP H09196635A JP 8029993 A JP8029993 A JP 8029993A JP 2999396 A JP2999396 A JP 2999396A JP H09196635 A JPH09196635 A JP H09196635A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- point
- edge
- contour shape
- index
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
を提供する。 【解決手段】 被検物の像を捉えるCCDカメラ13
と、カメラで捉えた撮像範囲内に設定される指標内にあ
る被検物の輪郭形状のエッジを画像処理により検出する
画像処理部21とを備えた画像測定機において、輪郭形
状に沿った各点の指標の位置及び方向を設定しながら、
各測定点のエッジ座標値を画像処理部から取り込むプレ
測定部51と、各測定点のエッジ座標値に基づき、各測
定点での指標の位置及び方向を表す測定指示データを作
成する測定指示データ作成部52と、測定指示データに
従って輪郭形状を測定するリプレイ測定部53とを備
え、データ作成部52は各測定点での指標の方向を輪郭
形状の法線方向とする。輪郭形状の曲率変化が大きい場
合でも、指標の角度方向が常に各測定点での輪郭形状に
垂直な状態でエッジが検出され、エッジの検出位置にば
らつきが生じない。
Description
状の測定を行なう画像測定機に関する。
えば、ステージ上に載置された被検物の像を光学系を介
して上方から捉え、捉えた像の光強度分布に応じた電気
信号を出力するCCDカメラと、CCDカメラで捉えた
撮像範囲内に設定される指標内にある被検物の輪郭形状
のエッジを前記電気信号に基づく画像処理により検出
し、エッジ座標値を表す信号を出力する画像処理装置と
を備え、被検物の輪郭形状の測定を行なうものが知られ
ている。
測定を行なう際に、エッジが直前に検出された複数の測
定点のエッジ座標値に基づいて次の測定目標点を設定
し、この測定目標点に対して指標の位置と角度方向を設
定し、その指標内にある輪郭形状のエッジを検出するこ
とを、輪郭形状に沿って複数の点について繰り返し行な
う。
来技術では、エッジが直前に検出された複数の測定点の
エッジ座標値のみに基づいて、次の測定目標点での指標
の角度方向をその測定目標点での予想した輪郭形状に対
して垂直に設定するために、輪郭形状の曲率変化が大き
い場合には、設定された指標の角度方向が測定目標点で
の輪郭形状に垂直な方向になっているとは限らない。こ
れによって、測定目標点において指標が輪郭形状に対し
て垂直な方向から傾いた状態でエッジを検出することに
なり、エッジの検出位置にばらつきが生じ、エッジ検出
の画像処理の精度が劣化してしまうという問題があっ
た。
たもので、その課題は、輪郭形状の測定精度を向上させ
た画像測定機を提供することである。
め請求項1記載の発明に係る画像測定機は、ステージ上
に載置された被検物の像を光学系を介して捉え、捉えた
像の光強度分布に応じた電気信号を出力する撮像手段
と、前記撮像手段で捉えた撮像範囲内に設定されるエッ
ジ検出領域内にある被検物の輪郭形状のエッジを前記電
気信号に基づく画像処理により検出し、エッジ座標値を
表す信号を出力する画像処理手段とを備え、前記輪郭形
状の測定を行なう画像測定機において、前記輪郭形状に
沿った複数の点の各々の前記エッジ検出領域の位置及び
方向を設定しながら、前記エッジが検出された各測定点
で前記エッジ座標値を前記画像処理部から取り込む第1
の測定部と、前記第1の測定部で取り込んだ前記各測定
点のエッジ座標値に基づき、前記各測定点での前記エッ
ジ検出領域の位置及び方向を表すティーチングデータを
作成するデータ作成部と、前記ティーチングデータに従
って前記輪郭形状を測定する第2の測定部とを備え、前
記データ作成部は、前記各測定点での前記エッジ検出領
域の方向を前記各測定点での前記輪郭形状の法線方向と
したティーチングデータを作成することを特徴とする。
だ各測定点のエッジ座標値に基づき、各測定点でのエッ
ジ検出領域の位置及び方向を表すデータであって、各測
定点でのエッジ検出領域の方向をその点及びその前後の
点を含む複数の点から求めた輪郭形状の法線方向とした
ティーチングデータを作成し、第2の測定部がティーチ
ングデータに従って輪郭形状を測定する。そのため、輪
郭形状の曲率変化が大きい場合でも、指標の角度方向が
常に各測定点での輪郭形状に垂直な状態でエッジが検出
され、エッジの検出位置にばらつきが生じない。
に基づいて説明する。
定機を示すブロック図、図2は同画像測定機を示す概略
構成図である。
に、測定機本体1と制御ユニット2とを備えている。測
定機本体1には支持体3が、制御ユニット2にはモニタ
4がそれぞれ設けられている。
上に設けられたXYステージ5と、このステージ5の上
方に位置するように支持体3の支柱部3bに支持された
撮像部6とを備えている。
する2方向(X軸及びY軸方向)に移動可能である。こ
のステージ5の上面に、二次元的な輪郭形状を有しかつ
僅かな厚みを有する被検物(例えば図3に示すような被
検物)7が載置される。被検物7は、ベース部3aに設
けられた透過照明光学系8又は撮像部6に設けられた落
射照明光学系9によって照明される(図2参照)。
入力されるステージ移動指令に基づきXYステージ5を
2方向に電動で移動させるXYステージ駆動部10と、
XYステージ5の座標を検出し、ステージ座標値を表わ
す信号を出力するステージ位置検出部11とが設けられ
ている。XYステージ駆動部10は、XYステージ5を
X軸及びY軸方向にそれぞれ駆動するX軸用モータ及び
Y軸用モータ(図示略)を有する。ステージ位置検出部
11は、XYステージ5のX軸及びY軸方向の位置をそ
れぞれ検出するX軸用エンコーダ及びY軸用エンコーダ
(図示略)を有する。
被検物7からの光を結像する結像光学系12と、この光
学系12により結像された被検物7の像を捉え(受
け)、捉えた像の光強度分布に応じた電気信号を出力す
るCCDカメラ13とが設けられている。結像光学系1
2の拡大倍率は、固定であっても、可変であってもよ
い。
CDカメラ13から出力される電気信号が入力される画
像処理部21と、輪郭形状測定部22と、指標設定部2
3と、測定条件テーブル24と、測定データテーブル2
5と、データ出力部26とを備えている。制御ユニット
2は、それぞれ図示を省略したキーボードなどの入力装
置、入力回路、出力回路、中央演算処理回路などを有す
るコンピュータで構成されている。
画素から出力される電気信号を画像処理し、捉えた被検
物7の像をモニタ4のモニタ画面4a(図4参照)上に
画像として表示させるための画像信号をモニタ4へ出力
するように構成されている。また、画像処理部21は、
指標設定部23から出力される指標位置のデータを受
け、エッジの検出領域を示す指標(エッジ検出領域)1
5をモニタ画面4a上の前記指標位置のデータに対応す
る位置及び角度方向に表示させるための信号をモニタ4
へ出力するように構成されている。さらに、画像処理部
21は、CCDカメラ13から出力される電気信号を画
像処理し、指標15内にある被検物7の輪郭形状7aの
エッジを検出し、検出したエッジ点16(図4参照)の
モニタ画面4a内での座標値(エッジ座標値)を輪郭形
状7aに沿った各測定点17(図3参照)について順次
検出し、各エッジ座標値のデータを輪郭形状測定部22
へ出力するように構成されている。
状7aに沿ってある間隔で(例えば一定間隔で)各測定
点17のエッジ座標値を取り込む測定を行なう。輪郭形
状測定部22は、仮測定を行なうプレ測定部(第1の測
定部)51と、測定指示データ作成部(ティチングデー
タ作成部)52と、本測定を行なうリプレイ測定部53
とから構成されている。
aに沿って一定間隔で各測定点17のエッジ座標値を取
り込むプレ測定(図5参照)を実行するように構成され
ている。プレ測定部51は、プレ測定を行なうために、
指標15の移動先である次の測定目標点18(図7参
照)を設定し、この測定目標点18に対応する指標15
の位置及び測定目標方向30(図7参照)に対して直交
する角度方向を表す指標設定指令を指標設定部23に出
力すると共に、ステージ移動指令をXYステージ駆動部
10に出力するように構成されている。
から出力される各測定点のエッジ座標値と、ステージ位
置検出部11から出力される各測定でのステージ座標値
とに基づき各測定点の座標値(測定点座標値)を演算
し、その演算結果を測定指示データ作成部52へ順次出
力する演算部を備えている。この演算部は、下記の式で
表す演算を行なう。
(エッジ座標値×モニタ画面補正値) ここで、モニタ画面補正値は、XYステージ5上での寸
法とモニタ画面4a上での寸法との比である。
作成部という)52は、プレ測定部51から出力される
各測定点の測定点座標値をデータテーブルに保存する。
出力される各測定点の測定点座標値から(プレ測定部5
1で取り込んだ各測定点のエッジ座標値に基づき)、各
測定点での指標15の位置及び方向を表す測定指示デー
タ(ティーチングデータ)を作成し、リプレイ測定部5
3へ出力すると共に記憶装置に記憶するように構成され
ている。データ作成部52は、各測定点での指標15の
方向を各測定点でのその点及びその前後の点を含む複数
の点から求めた輪郭形状の法線方向とする。
方法として、エッジが検出された複数の測定点の各測定
点座標値から、直線補間、円弧補間、スプライン補間等
の形状補間を行なって求める方法がある。例えば、測定
点Pi での円弧補間による法線方向の算出は次のように
行なう。
を通る円弧の中心Oを算出する。
方向を法線方向とする。
イ測定処理を実行するように構成されている。すなわ
ち、データ作成部52から出力される測定指示データに
従って、各測定点毎に指標15の位置と角度方向とを表
す指標設定指令を指標設定部23に出力し、画像処理部
21から各測定点のエッジ座標値を取り込み、各測定点
のエッジ座標値と各測定でのステージ座標値とに基づき
各測定点の測定点座標値を演算し、その演算結果を測定
データテーブル25へ順次出力するように構成されてい
る。測定点座標値の演算は、プレ測定部51の演算部で
の演算と同じである。
51又はリプレイ測定部53から出力される指標設定指
令により指定されたモニタ画面4a上の位置及び角度方
向に設定させるための指標位置のデータを、画像処理部
21へ出力するようになっている。
形状7aの測定開始位置(最初の測定点)及び測定終了
位置(最後の測定点)の座標、測定開始位置での測定目
標方向、各測定点17の間隔(例えば一定間隔で、図7
に示す測定ピッチP)をそれぞれ表すデータなどを含む
測定条件が予めキーボードなどにより入力されて記憶さ
れている。
部53から出力される各測定点の座標値(測定点座標
値)のデータを格納する。
ータテーブル25に格納された測定データ(全測定点の
座標値)を表示又は印刷して出力するためのものであ
る。
を、図5、図6のフローチャート及び図7〜図9に基づ
いて説明する。
レ測定処理を説明する。
と、ステップ101で、予め設定された測定開始位置と
測定終了位置の座標値をそれぞれ測定条件テーブル24
から取り込む。
で取り込んだ測定開始位置を、最初の測定目標点に設定
する。
上の測定目標点(ここではステップ102で設定された
最初の測定目標点)に指標15がくるように指標15を
移動させる。このとき、モニタ画面4a上において指標
15が最初の測定目標点に表示される。
る輪郭形状7aのエッジ点座標(ここでは最初の測定目
標点のエッジ点座標)を取り込む。すなわち、画像処理
部21から出力される最初の測定目標点のエッジ座標値
を取り込む。
出部11から出力されるステージ座標値と、ステップ1
04で取り込んだエッジ座標値とに基づき指標15内に
ある測定点の座標値(測定点座標値:ここでは最初の測
定目標点の座標値)を演算する。すなわち、測定点座標
値演算部27で前記式の演算を行なう。
で演算した最初の測定点の測定点座標値をデータ作成部
52のデータテーブルへ出力して保存する。
を設定する。すなわち、直前にエッジが検出された直前
測定点(ここでは、最初の測定目標点)とその前にエッ
ジが検出された点を含む複数の点のエッジ座標値から次
の測定目標点18とこの点での指標15の角度方向とを
設定する。
方法としては、例えば次のような方法がある。図7に示
すように直前にエッジが検出された直前測定点17aの
前にエッジが検出された前々測定点17bから直前測定
点17aへ向かう方向を測定目標方向30とし、測定目
標点18を測定目標方向30に直前測定点17aから測
定ピッチPだけ離れた位置に設定する。指標15の角度
方向は、測定目標方向30に対して垂直となる向きに設
定する。
方法として、直前測定点とその前の複数個の測定点のエ
ッジ座標値に基づき、円弧補間やスプライン補間などを
用いて予想輪郭形状を作り、この予想輪郭形状上で直前
測定点17aから測定ピッチPだけ離れた位置に測定目
標点18を設定する方法を用いてもよい。この場合、指
標15の角度方向は測定目標点18における予想輪郭形
状の法線方向に設定する。
おいて次の測定目標点18とこの点での指標15の角度
方向とを設定する。ここでは、直前測定点17aは最初
の測定目標点であり、前々測定点17bは存在しない。
そのため、ステップ107において次の測定目標点(2
番目の測定目標点)18とこの点での指標15の角度方
向とを設定するために、最初の測定目標点(測定開始位
置)での測定目標方向を示すデータが測定条件テーブル
24に予め記憶されている。このデータを使って2番目
の測定目標点18とこの点での指標15の角度方向とが
設定される。
したか否かを判定する。すなわち、ステップ107で設
定した次の測定目標点の座標がステップ101で取り込
んだ測定終了位置の座標値(最後の測定目標点の座標
値)を越えたか否かを判定する。ここでは、ステップ1
08で設定した次の測定目標点は2番目の測定目標点で
あるので、ステップ108の判定結果はNoになり、ス
テップ103に戻る。
プ108に進み、このステップ108の判定結果がNo
であれば、ステップ103に戻る。
果がNoである間、ステップ103〜108を繰り返し
実行することにより、被検物7の輪郭形状7aに沿って
一定間隔で指標15を移動させながら測定を行ない、各
測定点の測定点座標値を演算し、その演算結果をデータ
作成部52のデータテーブルに順次格納する。
と、すなわち、ステップ107で設定した次の測定目標
点の座標値がステップ101で取り込んだ測定終了位置
の座標値(最後の測定目標点の座標値)を越えると、被
検物7の全ての輪郭形状7aの測定が終了したことにな
るので、図5のプレ測定処理を終了する。
出力される各測定点の測定点座標値から、各測定点での
指標15の位置及び方向を表す測定指示データを作成
し、リプレイ測定部53へ出力する。データ作成部52
は、上述した法線方向の算出方法により、各測定点での
指標15の方向(図7に示す指標方向40)を各測定点
での輪郭形状の法線方向とする。
るリプレイ測定処理(図6参照)を説明する。
ップ201では、全測定指示データだけ繰り返したか否
かを判定する。すなわち、データ作成部52で作成され
た測定指示データを、先頭のデータ(測定開始位置のデ
ータ)から最後のデータ(測定終了位置のデータ)まで
測定順に使用して測定を繰り返すことにより、測定が終
了したか否かを判定する。使用していない測定指示デー
タが残っていて測定が終了していない場合には、ステッ
プ201の判定結果がNoになり、ステップ202に進
む。最後のデータを使った測定が終了して測定指示デー
タが残っていない場合には、処理を終了する。
間、ステップ201〜205を繰り返し実行する。
指示データ(例えば最初の測定点である測定開始位置の
測定データ)が示す指標15の位置と角度方向に指標1
5を移動させる。
から指標15内にある輪郭形状のエッジ点の座標(エッ
ジ座標値)を取り込む。
出部11から出力されるステージ座標値と、ステップ2
03で取り込んだエッジ座標値とに基づき指標15内に
ある測定点の座標値(測定点座標値)を演算する。
で演算した測定点座標値を測定データテーブル25に保
存する。
とにより、最後のデータを使った測定が終了して測定指
示データがなくなると、ステップ201の判定結果がY
esとなって処理を終了する。
レ測定部51のプレ測定(仮測定)により得られた各測
定点17の測定点座標値から、各測定点での指標15の
位置と、輪郭形状の法線方向に設定された各測定点での
指標15の方向(図7に示す指標方向40)とを表す測
定指示データを測定指示データ作成部52によって作成
し、リプレイ測定部53が測定指示データに従ってリプ
レイ測定(本測定)を行なう。そのため、輪郭形状7a
の曲率変化が大きい場合でも、図8に示すように各測定
点での指標の角度方向が輪郭形状7aに垂直な方向から
傾いたりせず、図9に示すように全ての測定点において
指標の角度方向が常に測定目標点での輪郭形状に垂直な
状態でエッジが検出され、エッジの検出位置にばらつき
が生じない。従って、精度のよい輪郭形状の測定を行な
うことができる。
データ作成部52で作成した測定指示データを記憶装置
から読み出して使い、リプレイ測定を繰返すことによ
り、同じ輪郭形状を有する被検物7の測定を効率的に行
なうことができる。
1によるプレ測定(仮測定)によって全ての測定点の座
標値を検出した後に、リプレイ測定部53によるリプレ
イ測定(本測定)を行なっているが、この発明はこのよ
うな構成に限定されるものではない。例えば、プレ測定
部51によるプレ測定によって複数の測定点の座標値を
検出した後に、リプレイ測定部53によるリプレイ測定
を行なうことを複数回繰り返すことにより、全輪郭形状
の測定を行なうように構成してもよい。
明に係る画像測定機によれば、データ作成部が、第1の
測定部で取り込んだ各測定点のエッジ座標値に基づき、
各測定点でのエッジ検出領域の位置及び方向を表すデー
タであって、各測定点でのエッジ検出領域の方向を輪郭
形状の法線方向としたティーチングデータを作成し、第
2の測定部がティーチングデータに従って輪郭形状を測
定する。そのため、輪郭形状の曲率変化が大きい場合で
も、指標の角度方向が常に各測定点での輪郭形状に垂直
な状態でエッジが検出され、エッジの検出位置にばらつ
きが生じない。したがって、輪郭形状の測定精度を向上
させることができる。
の概略構成を示すブロック図である。
図である。
る被検物を示す平面図である。
るモニタのモニタ画面を示す平面図である。
すフローチャートである。
すフローチャートである。
明するための説明図である。
ある。
Claims (1)
- 【請求項1】 ステージ上に載置された被検物の像を光
学系を介して捉え、捉えた像の光強度分布に応じた電気
信号を出力する撮像手段と、前記撮像手段で捉えた撮像
範囲内に設定されるエッジ検出領域内にある被検物の輪
郭形状のエッジを前記電気信号に基づく画像処理により
検出し、エッジ座標値を表す信号を出力する画像処理手
段とを備え、前記輪郭形状の測定を行なう画像測定機に
おいて、 前記輪郭形状に沿った複数の点の各々の前記エッジ検出
領域の位置及び方向を設定しながら、前記エッジが検出
された各測定点で前記エッジ座標値を前記画像処理部か
ら取り込む第1の測定部と、 前記第1の測定部で取り込んだ前記各測定点のエッジ座
標値に基づき、前記各測定点での前記エッジ検出領域の
位置及び方向を表すティーチングデータを作成するデー
タ作成部と、 前記ティーチングデータに従って前記輪郭形状を測定す
る第2の測定部とを備え、 前記データ作成部は、前記各測定点での前記エッジ検出
領域の方向を前記各測定点での前記輪郭形状の法線方向
としたティーチングデータを作成することを特徴とする
画像測定機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02999396A JP3508368B2 (ja) | 1996-01-23 | 1996-01-23 | 画像測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02999396A JP3508368B2 (ja) | 1996-01-23 | 1996-01-23 | 画像測定機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09196635A true JPH09196635A (ja) | 1997-07-31 |
JP3508368B2 JP3508368B2 (ja) | 2004-03-22 |
Family
ID=12291473
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP02999396A Expired - Lifetime JP3508368B2 (ja) | 1996-01-23 | 1996-01-23 | 画像測定機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3508368B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11201724A (ja) * | 1998-01-08 | 1999-07-30 | Mitsutoyo Corp | エッジ検出方法及び画像測定装置 |
EP1174681A3 (en) * | 2000-06-23 | 2003-01-02 | Ford Global Technologies, Inc. | Method and apparatus for the determination of the contour of sheet metal blanks |
JP2006138782A (ja) * | 2004-11-15 | 2006-06-01 | Nikon Corp | 画像測定機 |
KR20130108398A (ko) * | 2010-10-27 | 2013-10-02 | 가부시키가이샤 니콘 | 형상 측정 장치, 형상 측정 방법, 구조물의 제조 방법 및 프로그램 |
-
1996
- 1996-01-23 JP JP02999396A patent/JP3508368B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11201724A (ja) * | 1998-01-08 | 1999-07-30 | Mitsutoyo Corp | エッジ検出方法及び画像測定装置 |
EP1174681A3 (en) * | 2000-06-23 | 2003-01-02 | Ford Global Technologies, Inc. | Method and apparatus for the determination of the contour of sheet metal blanks |
JP2006138782A (ja) * | 2004-11-15 | 2006-06-01 | Nikon Corp | 画像測定機 |
KR20130108398A (ko) * | 2010-10-27 | 2013-10-02 | 가부시키가이샤 니콘 | 형상 측정 장치, 형상 측정 방법, 구조물의 제조 방법 및 프로그램 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3508368B2 (ja) | 2004-03-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3508369B2 (ja) | 画像測定機 | |
JPH11351858A (ja) | 非接触三次元測定装置 | |
JP2000180330A (ja) | 硬度計 | |
JP3678916B2 (ja) | 非接触三次元測定方法 | |
JP3602965B2 (ja) | 非接触三次元測定方法 | |
JP3508368B2 (ja) | 画像測定機 | |
JPH08285785A (ja) | はんだ付け良否検査装置 | |
JP3552381B2 (ja) | 画像測定機 | |
JP2009258135A (ja) | 3次元測定装置 | |
JP2624557B2 (ja) | 折曲機の角度計測装置 | |
KR100293698B1 (ko) | 플라즈마디스플레이패널의패턴검사기및그검사방법 | |
JP2005172610A (ja) | 3次元測定装置 | |
JP4401126B2 (ja) | 寸法測定装置の所定部位登録方法 | |
JP3697780B2 (ja) | 画像測定装置 | |
JPH10311705A (ja) | 画像入力装置 | |
JP4513062B2 (ja) | 画像測定機 | |
JP3183811B2 (ja) | 検査支援装置 | |
JP2014215153A (ja) | 画像測定装置及びその制御用プログラム | |
JP3013255B2 (ja) | 形状測定方法 | |
JP2928375B2 (ja) | 画像処理装置 | |
JP2005195443A (ja) | 画像測定機 | |
JP3062255B2 (ja) | 回路基板検査装置における被検査回路基板の基準位置検出方法 | |
JP4068821B2 (ja) | 塗布描画線の測定方法および装置 | |
JP2648883B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP4466281B2 (ja) | 画像測定機、およびデータ作成装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20031202 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20031215 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100109 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130109 Year of fee payment: 9 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130109 Year of fee payment: 9 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130109 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140109 Year of fee payment: 10 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |