JP6900261B2 - 処理装置、基板検査装置、処理方法および基板検査方法 - Google Patents
処理装置、基板検査装置、処理方法および基板検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6900261B2 JP6900261B2 JP2017135151A JP2017135151A JP6900261B2 JP 6900261 B2 JP6900261 B2 JP 6900261B2 JP 2017135151 A JP2017135151 A JP 2017135151A JP 2017135151 A JP2017135151 A JP 2017135151A JP 6900261 B2 JP6900261 B2 JP 6900261B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- distance
- substrate
- coordinates
- mounting surface
- probing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
2 載置台
2a 載置面
3 レーザー変位計
5 カメラ
7 プロービング機構
9 処理部
70 特定処理
100 基板
101 表面
Ao 光軸
Cdm 設計座標
Cdp 設計座標
Cp 座標平面
Crm 実座標
Crp 補正座標
Dg 撮像データ
Dv 垂直方向
G1 誤差
G2 誤差
L1 距離
L2 距離
L3 距離
M1〜M4 マーク
Pp1,Pp2 プロービングポイント
Claims (6)
- 載置面に載置された基板の表面に設けられている標識を撮像する撮像部と、当該撮像部によって撮像された前記標識の画像に基づいて前記載置面に平行な座標平面上の当該標識の実座標を特定して当該実座標と当該標識の当該座標平面上の設計座標との第1の誤差を特定すると共に当該第1の誤差に基づいて前記表面に設けられているプロービングポイントの設計座標を補正して補正座標を特定する特定処理を実行する処理部とを備えた処理装置であって、
前記載置面に対向する対向位置に配置されて当該載置面に垂直な垂直方向に沿った当該対向位置から前記表面に規定されている規定点までの第1の距離を検出する検出部を備え、
前記処理部は、前記特定処理において、前記第1の距離に基づいて前記載置面から前記標識までの前記垂直方向に沿った第2の距離を特定する工程と、前記垂直方向に対して前記撮像部の光軸が傾斜しているときの前記第2の距離の長短に応じて生じる前記座標平面上の第2の誤差で前記標識の前記実座標を修正する工程とを実行し、修正後の前記実座標を用いて前記第1の誤差を特定する処理装置。 - 前記処理部は、互いに異なる位置に規定されている前記標識および前記規定点を用いて前記特定処理を実行する請求項1記載の処理装置。
- 前記処理部は、前記第1の距離に基づいて前記載置面から前記プロービングポイントまでの前記垂直方向に沿った第3の距離を特定する請求項1または2記載の処理装置。
- 請求項1から3のいずれかに記載の処理装置と、検査用のプローブを移動させてプロービングを行うプロービング機構と、当該プロービング機構を制御して前記処理装置によって特定された前記プロービングポイントの補正座標に前記プローブをプロービングさせる制御部と、前記プローブを介して入出力する電気信号に基づいて前記基板を検査する検査部とを備えている基板検査装置。
- 載置面に載置された基板の表面に設けられている標識を撮像した当該標識の画像に基づいて当該載置面に平行な座標平面上の当該標識の実座標を特定して当該実座標と当該標識の当該座標平面上の設計座標との第1の誤差を特定すると共に当該第1の誤差に基づいて前記表面に設けられているプロービングポイントの設計座標を補正して補正座標を特定する特定処理を実行する処理方法であって、
前記載置面に対向する対向位置から前記表面に規定されている規定点までの当該載置面に垂直な垂直方向に沿った第1の距離を検出し、
前記特定処理において、前記第1の距離に基づいて前記載置面から前記標識までの前記垂直方向に沿った第2の距離を特定する工程と、前記標識を撮像した撮像部の光軸が前記垂直方向に対して傾斜しているときの前記第2の距離の長短に応じて生じる前記座標平面上の第2の誤差で前記標識の前記実座標を修正する工程とを実行し、修正後の前記実座標を用いて前記第1の誤差を特定する処理方法。 - 請求項5記載の処理方法によって特定した前記プロービングポイントの実座標に検査用のプローブをプロービングさせ、前記プローブを介して入出力する電気信号に基づいて前記基板を検査する基板検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017135151A JP6900261B2 (ja) | 2017-07-11 | 2017-07-11 | 処理装置、基板検査装置、処理方法および基板検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017135151A JP6900261B2 (ja) | 2017-07-11 | 2017-07-11 | 処理装置、基板検査装置、処理方法および基板検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019015694A JP2019015694A (ja) | 2019-01-31 |
JP6900261B2 true JP6900261B2 (ja) | 2021-07-07 |
Family
ID=65357703
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017135151A Active JP6900261B2 (ja) | 2017-07-11 | 2017-07-11 | 処理装置、基板検査装置、処理方法および基板検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6900261B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102549390B1 (ko) * | 2021-09-01 | 2023-06-29 | 포톤데이즈(주) | 반도체 레이저 측정 장치 및 이에 의한 반도체 레이저의 측정 방법 |
-
2017
- 2017-07-11 JP JP2017135151A patent/JP6900261B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019015694A (ja) | 2019-01-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20130194569A1 (en) | Substrate inspection method | |
JPH0221274A (ja) | 潜在的歪曲プリント回路板点検のための補償システム | |
JP2007078533A (ja) | 基板検査方法 | |
KR20010040998A (ko) | 입체 영상에 의한 자동 검사 시스템 및 그 검사 방법 | |
EP0132122A2 (en) | Apparatus for inspecting mask for use in manufacturing large scale integrated circuits | |
JP3855244B2 (ja) | 顕微鏡を用いた3次元画像認識装置 | |
JP2008014700A (ja) | ワークの検査方法及びワーク検査装置 | |
JP3721983B2 (ja) | 三次元形状の欠陥検査方法 | |
JP6900261B2 (ja) | 処理装置、基板検査装置、処理方法および基板検査方法 | |
KR101095781B1 (ko) | 검사 장치 및 검사 방법 | |
KR20140086576A (ko) | 카메라 모듈 검사용 정렬 장치 | |
JP3509040B2 (ja) | 回路基板検査装置におけるプローブの移動制御方法 | |
JP2009019907A (ja) | 検査装置 | |
JP2005030793A (ja) | 基板検査装置および検査方法 | |
JPH0719869A (ja) | 構築物の変位検出方法及びこれに用いるターゲットプレート | |
JP5955736B2 (ja) | 基板検査装置および補正情報取得方法 | |
CN111562413A (zh) | 检测方法及检测*** | |
RU2813478C1 (ru) | Способ поверки или настройки тестера сверхбольших интегральных микросхем, манипулятор и плата для реализации способа | |
JP3062255B2 (ja) | 回路基板検査装置における被検査回路基板の基準位置検出方法 | |
US7053642B2 (en) | Method and apparatus for enabling reliable testing of printed circuit assemblies using a standard flying prober system | |
JP6891070B2 (ja) | 処理装置、基板検査装置、処理方法および基板検査方法 | |
JP6689690B2 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
JP5781397B2 (ja) | 円形状測定方法および装置 | |
JP6794215B2 (ja) | 基板検査装置 | |
JP2010048681A (ja) | 回路基板検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200525 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210325 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210406 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210520 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210601 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210616 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6900261 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |