JP2005241491A - 基板検査装置、位置調整方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ずれ検出部は補正マークの中心を各接触子を用いて検出し(♯12,♯13)、検出した中心から各接触子を前記中心に位置させるのに必要な接触子の駆動ベクトルを導出し、これと記憶部内の接触子の駆動ベクトルとのずれを検出する(♯14)。また、ずれ検出部はカメラに補正マークを撮像させ、該画像から前記中心を検出し(♯15)、光軸が前記中心を通るようにカメラを位置させるのに必要なカメラの駆動ベクトルを導出し、これと記憶部内のカメラの駆動ベクトルとのずれを検出する(♯16)。駆動データ補正処理部は、その検出されたずれに基づいて検査時に各接触子をパッドに接触させるための記憶部内の各接触子の駆動データを補正する(♯17)。
【選択図】 図7
Description
3,4 接触子
5,6 プローブユニット
9 カメラ
10 制御部
12 記憶部
13 ずれ検出部
14 駆動データ補正処理部
15 駆動制御部
Claims (14)
- 接触子をそれぞれ備えた一対のプローブユニットと、前記各プローブユニットをそれぞれ独立して駆動する駆動手段とを備え、被検査基板の表面に形成された配線パターンの検査点に前記各接触子を接触させて当該配線パターンの検査を行う基板検査装置において、
前記両接触子を前記配線パターンの各検査点に順次接触させるべく駆動する際の両接触子の駆動位置を、設計上の基準位置を基準とした位置データとして記憶する第1の記憶手段と、
前記被検査基板の予め定められた位置に所定の形状で形成された第1のマークの画像を撮像すべく、プローブユニットの一方と一体的に駆動される撮像手段と、
前記撮像手段の設計上予定された基準位置から、前記撮像手段の光軸と前記第1のマークの中心とが所定の位置関係となるように駆動されるまでの該撮像手段の予定駆動ベクトルのデータを記憶する第2の記憶手段と、
前記撮像手段を、予定基準位置のデータに基づいて設定された基準位置から、その光軸と前記第1のマークの中心が前記所定の位置関係になる撮像画像が得られるまで駆動するのに必要な実駆動ベクトルを検出する検出手段と、
前記第2の記憶手段に記憶された予定駆動ベクトルと前記検出手段により検出された実駆動ベクトルとを比較し、その比較結果に基づき、前記第1の記憶手段に記憶された位置データを補正する補正手段と
を備えることを特徴とする基板検査装置。 - 前記予定駆動ベクトル及び実駆動ベクトルは、それぞれの基準位置を原点とするベクトル先端の座標として記憶及び検出されることを特徴とする請求項1に記載の基板検査装置。
- 前記第1のマークは、少なくとも2つ、被検査基板の所定箇所に分散して形成され、前記補正手段は、各第1のマークに対する実駆動ベクトルから被検査基板の中心を検出し、検出された中心と設計上の中心とのずれに応じて位置データの補正を行うことを特徴とする請求項1又は2に記載の基板検査装置。
- 前記撮像手段は、前記一対のプローブユニットそれぞれに対してそれと一体的に駆動されるように設けられており、それぞれの撮像手段について、予定駆動ベクトルの記憶、実駆動ベクトルの検出、位置データの補正が行われることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の基板検査装置。
- 前記撮像手段は、前記一対のプローブユニットの一方のみに対してそれと一体的に駆動されるように設けられており、
当該基板検査装置は更に、所定位置に設定される基準基板の表面所定位置に周辺領域と電気的特性が異なる材料により所定の図形を表して形成された第2のマーク及びその周辺領域に対し、前記各接触子を接触又は非接触で移動させ電気的に走査することにより発生する電気的な状態変化を検出し、その検出値から、前記接触子の設計上の基準位置に対する、該接触子が前記第2のマークの中心に位置するときの中心位置データを検出する第2の検出手段と、
各接触子についての中心位置データに基づき、両接触子の相対位置関係を検出する第3の検出手段と、
前記第3の検出手段によって検出された相対位置関係に基づいて、前記第1の記憶手段に記憶された各接触子の位置データを更に補正する第3の補正手段と
を備えたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の基板検査装置。 - 接触子をそれぞれ備えた一対のプローブユニットと、前記各プローブユニットをそれぞれ独立して駆動する駆動手段を備え、被検査基板の板面に形成された配線パターンの検査点に前記各接触子を接触させて当該配線パターンの検査を行う基板検査装置において、
前記両プローブユニットの所定の論理的基準位置における前記両接触子の所定の相対位置関係に基づいて予め設定された、前記配線パターンの検査点に前記各接触子を接触させるために必要な各プローブユニットの前記所定の論理的基準位置からの論理的な駆動量及び駆動方向についての駆動データをそれぞれ記憶する第1の記憶手段と、
所定位置に位置決めされた基準基板の板面の所定位置に、周辺領域と電気的特性の異なる材料により所定の図形を表した第1のマーク及びその周辺領域に対し、前記各接触子を接触又は非接触で移動させることにより発生する前記接触子の電気的な状態変化を検出し、その状態変化を利用して前記第1のマークの中心位置を検出する第1の検出手段と、
前記各接触子を実際の基準位置から前記中心位置に位置させるために駆動すべき前記各プローブユニットの駆動量及び駆動方向を導出し、この駆動量及び駆動方向に基づきその基準位置における前記両接触子の実相対位置関係を逆算的に検出し、その実相対位置関係と前記所定の論理的相対位置関係とに基づき前記プローブユニットについての駆動データをそれぞれ補正する第1の補正手段と
を備えることを特徴とする基板検査装置。 - 前記検査時に被検査基板の歪みに対する前記プローブユニットについての駆動データの補正を行うべく前記被検査基板の板面に形成された第2のマークの画像を撮像するようにプローブユニットの一方にのみ一体的に駆動されるように設けられた撮像手段と、
前記プローブユニット及び前記撮像手段の所定の論理的基準位置における前記接触子と前記撮像手段との所定の論理的相対位置関係に基づいて予め設定された、前記所定の論理的基準位置からの前記第2のマークを撮像する位置に位置させるために必要な前記撮像手段の論理的な駆動量及び駆動方向についての駆動データを記憶する第2の記憶手段と、
前記第1のマークを前記撮像手段に撮像させ、その撮像動作により得られた前記第1のマークの画像から該第1のマークの中心位置を検出する第2の検出手段と、
前記プローブユニットについての実際の基準位置から前記接触子を前記中心位置に位置させるために駆動すべき前記プローブユニットの駆動量及び駆動方向と、前記撮像手段についての基準位置から光軸を前記中心位置に位置させるために駆動すべく前記撮像手段の駆動量及び駆動方向とに基づき、各実際の基準位置における前記接触子と前記撮像手段との実相対位置関係を逆算的に検出し、その実相対位置関係と前記接触子及び前記撮像手段の所定の論理的相対位置関係とに基づき前記プローブユニットについての駆動データを補正する第2の補正手段と
を備えることを特徴とする請求項6に記載の基板検査装置。 - 前記第1の検出手段は、円形状又は楕円形状の第1のマークとその周辺領域とが所定の電位差を有する状態で第1のマーク及びその周辺領域に対して前記各接触子を接触させつつ移動させることにより前記第1のマークの周縁部において発生する前記接触子の電位変化を検出し、その状態変化から第1のマークの周縁位置を検出し、該周縁位置から数学的に前記第1のマークの中心位置を検出するものであることを特徴とする請求項6または7に記載の基板検査装置。
- 接触子をそれぞれ備えた一対のプローブユニットと、前記各プローブユニットをそれぞれ独立して駆動する駆動手段を備え、被検査基板の板面に形成された配線パターンの検査点に前記各接触子を接触させて当該配線パターンの検査を行う基板検査装置において、
前記検査時に被検査基板の歪みに対する前記プローブユニットについての駆動データの補正を行うべく前記被検査基板の板面に形成された第2のマークの画像を撮像するように前記一対のプローブユニットのそれぞれに対してそれと一体的に駆動されるように設けられた撮像手段と、
前記配線パターンの検査点に前記各接触子を接触させるために必要な前記各プローブユニットの論理的基準位置からの論理的な駆動量及び駆動方向についての駆動データをそれぞれ記憶する第1の記憶手段と、
それぞれ一体的に駆動される前記プローブユニット及び撮像手段の設定された論理的基準位置から前記第2のマークを前記撮像手段の光軸と所定の位置関係において撮像する位置に位置させるために必要な前記撮像手段の論理的な駆動量及び駆動方向についての駆動データを記憶する第2の記憶手段と、
前記各プローブユニットについての実際の基準位置から前記撮像手段が第2のマークをその撮像手段の光軸と所定の位置関係を有して撮像する位置まで駆動すべき前記各プローブユニットの駆動量及び駆動方向と、前記第2の記憶手段に記憶された駆動データとから前記各接触子の前記各論理的基準位置と実際の基準位置とのずれをそれぞれ逆算的に検出し、そのずれ量に基づき前記プローブユニットについての駆動データを補正する補正手段と
を備えることを特徴とする基板検査装置。 - 接触子をそれぞれ備えた一対のプローブユニットと、前記各プローブユニットをそれぞれ独立して駆動する駆動手段とを備え、被検査基板の表面に形成された配線パターンの検査点に前記各接触子を接触させて当該配線パターンの検査を行う基板検査装置の位置調整方法において、
前記両接触子を前記配線パターンの各検査点に順次接触させるべく駆動する際の両接触子の駆動位置を、設計上の基準位置を基準とした位置データとして記憶し、
プローブユニットの一方と一体的に駆動される撮像手段により、前記被検査基板の予め定められた位置に所定の形状で形成された第1のマークの画像を撮像し、
前記撮像手段の設計上予定された基準位置から、前記撮像手段の光軸と前記第1のマークの中心とが所定の位置関係となるように駆動されるまでの撮像手段の予定駆動ベクトルのデータを記憶し、
前記撮像手段を、予定基準位置のデータに基づいて設定された基準位置から、その光軸と前記第1のマークの中心が前記所定の位置関係になる撮像画像が得られるまで駆動するのに必要な実駆動ベクトルを検出し、
前記記憶された予定駆動ベクトルと前記検出された実駆動ベクトルとを比較し、その比較結果に基づき、前記記憶された位置データを補正することを特徴とする位置調整方法。 - 前記撮像手段を、前記一対のプローブユニットの一方のみに対してそれと一体的に駆動されるように設けるとともに、
所定位置に設定される基準基板の表面所定位置に周辺領域と電気的特性が異なる材料により所定の図形を表して形成された第2のマーク及びその周辺領域に対し、前記各接触子を接触又は非接触で移動させ電気的に走査することにより発生する電気的な状態変化を検出し、その検出値から、前記接触子の設計上の基準位置に対する、該接触子が前記第2のマークの中心に位置するときの中心位置データを検出し、
各接触子についての中心位置データに基づき、両接触子の相対位置関係を検出し、
前記検出された相対位置関係に基づいて、前記各接触子の位置データを更に補正することを特徴とする請求項10に記載の位置調整方法。 - 接触子をそれぞれ備えた一対のプローブユニットと、前記各プローブユニットをそれぞれ独立して駆動する駆動手段を備え、被検査基板の板面に形成された配線パターンの検査点に前記各接触子を接触させて当該配線パターンの検査を行う基板検査装置の位置調整方法において、
前記両プローブユニットの所定の論理的基準位置における前記両接触子の所定の相対位置関係に基づいて予め設定された、前記配線パターンの検査点に前記各接触子を接触させるために必要な各プローブユニットの前記所定の論理的基準位置からの論理的な駆動量及び駆動方向についての駆動データをそれぞれ記憶し、
所定位置に位置決めされた基準基板の板面の所定位置に、周辺領域と電気的特性の異なる材料により所定の図形を表した第1のマーク及びその周辺領域に対し、前記各接触子を接触又は非接触で移動させることにより発生する前記接触子の電気的な状態変化を検出し、その状態変化を利用して前記第1のマークの中心位置を検出し、
前記各接触子を実際の基準位置から前記中心位置に位置させるために駆動すべき前記各プローブユニットの駆動量及び駆動方向を導出し、この駆動量及び駆動方向に基づきその基準位置における前記両接触子の実相対位置関係を逆算的に検出し、その実相対位置関係と前記所定の論理的相対位置関係とに基づき前記プローブユニットについての駆動データをそれぞれ補正することを特徴とする位置調整方法。 - 撮像手段を、前記検査時に被検査基板の歪みに対する前記プローブユニットについての駆動データの補正を行うべく前記被検査基板の板面に形成された第2のマークの画像を撮像するようにプローブユニットのそれぞれと一体的に駆動させるとともに、
前記プローブユニット及び前記撮像手段の所定の論理的基準位置における前記接触子と前記撮像手段との所定の論理的相対位置関係に基づいて予め設定された、前記所定の論理的基準位置からの前記第2のマークを撮像する位置に位置させるために必要な前記撮像手段の論理的な駆動量及び駆動方向についての駆動データを記憶し、
前記第1のマークを前記撮像手段に撮像させ、その撮像動作により得られた前記第1のマークの画像から該第1のマークの中心位置を検出し、
前記プローブユニットについての実際の基準位置から前記接触子を前記中心位置に位置させるために駆動すべき前記プローブユニットの駆動量及び駆動方向と、前記撮像手段についての基準位置から光軸を前記中心位置に位置させるために駆動すべく前記撮像手段の駆動量及び駆動方向とに基づき、各実際の基準位置における前記接触子と前記撮像手段との実相対位置関係を逆算的に検出し、その実相対位置関係と前記接触子及び前記撮像手段の所定の論理的相対位置関係とに基づき前記プローブユニットについての駆動データを補正することを特徴とする請求項12に記載の位置調整方法。 - 接触子をそれぞれ備えた一対のプローブユニットと、前記各プローブユニットをそれぞれ独立して駆動する駆動手段を備え、被検査基板の板面に形成された配線パターンの検査点に前記各接触子を接触させて当該配線パターンの検査を行う基板検査装置の位置調整方法において、
撮像手段を、前記検査時に被検査基板の歪みに対する前記プローブユニットについての駆動データの補正を行うべく前記被検査基板の板面に形成された第2のマークの画像を撮像するように前記一対のプローブユニットのそれぞれに対してそれと一体的に駆動されるように設けるとともに、
前記配線パターンの検査点に前記各接触子を接触させるために必要な前記各プローブユニットの論理的基準位置からの論理的な駆動量及び駆動方向についての駆動データをそれぞれ記憶し、
それぞれ一体的に駆動される前記プローブユニット及び撮像手段の設定された論理的基準位置から前記第2のマークを前記撮像手段の光軸と所定の位置関係において撮像する位置に位置させるために必要な前記撮像手段の論理的な駆動量及び駆動方向についての駆動データを記憶し、
前記各プローブユニットについての実際の基準位置から前記撮像手段が第2のマークをその撮像手段の光軸と所定の位置関係を有して撮像する位置まで駆動すべき前記各プローブユニットの駆動量及び駆動方向と、前記第2の記憶手段に記憶された駆動データとから前記各接触子の前記各論理的基準位置と実際の基準位置とのずれをそれぞれ逆算的に検出し、そのずれ量に基づき前記プローブユニットについての駆動データを補正することを特徴とする位置調整方法。
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