JPH04209980A - 分子真空ポンプ - Google Patents

分子真空ポンプ

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JPH04209980A
JPH04209980A JP2418241A JP41824190A JPH04209980A JP H04209980 A JPH04209980 A JP H04209980A JP 2418241 A JP2418241 A JP 2418241A JP 41824190 A JP41824190 A JP 41824190A JP H04209980 A JPH04209980 A JP H04209980A
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JP
Japan
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pump
shaft
stator
rotor
section
Prior art date
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JP2418241A
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English (en)
Inventor
Claude Saulgeot
クロード・ソルジヨー
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Alcatel CIT SA
Original Assignee
Alcatel CIT SA
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Publication date
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/005—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of dissimilar working principle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/024—Multi-stage pumps with contrarotating parts
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
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    • F04C2240/40—Electric motor
    • F04C2240/402—Plurality of electronically synchronised motors

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
［０００１１
【産業上の利用分野］大気に排気しながら１０−２ミリ
バール以下の圧力の真空を達成するために、今日では大
気に排気する第１のポンプ及び第１のポンプの吸引圧力
に排気する第２のポンプからなるポンプ組立て品が利用
されている。 ［０００２］ 【従来の技術】同様の試みがある工業プロセスにも適用
できるが、プロセスを実行するときにはチャンバ内の圧
力はそれほど低くなくても良く、数ミリバール程度でよ
い。しかし前記圧力を保持しながらプロセスガスをある
流速で排出する必要がある場合は、前記の圧力では第１
のポンプの流速は非常に遅いので、それで第２のポンプ
及び第１のポンプからなるポンプの組立て品が使用され
る。第１のポンプ及び第２のポンプはこれら自身側々の
駆動電動機を有する。 ［０００３］
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、単一
駆動電動機を有し且つ大気に排気可能で、吸込み部の端
で１０−２ミリバールの非常に高い到達の真空を達成す
るユニットポンプ組立て品を提供することである。 ［０００４］
【課題を解決するための手段】本発明は従って、反対方
向に回転する平行軸を有する２つの回転子と、吸込み口
及び排気口を含む固定子とを有する固定子及び回転子組
立て品からなるポンプであって、ポンプは吸込み部の端
に位置する第１の区域と、続いて第２の区域とに軸方向
に分割されており、前記第１の区域はフィン及び２つの
回転子を有するターボ分子型で、前記第２の区域は平行
軸上の２つのスクリューまたは２つの回転ピストンを有
する型であり、軸の一方は電動機で駆動され且つもう一
方は伝動手段によって駆動されることを特徴とする、達
成されるべき分子真空を可能にするポンプを提供する。 ［０００５］本発明の好ましい態様では、ターボ分子型
ポンプ区域に於いて、各軸は一続きのフィン付きのディ
スクを、フィンの半径方向長さにフィンを担持するハブ
の直径を加えた長さに大体対応する２軸間距離を隔てて
有し、一方の軸上のディスクはもう一方の軸上のディス
クに対して軸方向にオフセットになっていて、固定子は
２つの回転子のディスクの各回転ディスクより下流で固
定子のフィン付きダイアフラムを備えており、従って各
ダイアフラムは、も、・う一方の軸によって担持される
回転ディスクと同一平面上にある一方の軸によって担持
される回転ディスクに続き、さらにダイアフラムが、双
方の固定子にとって共通し且つ２つの軸間に位置する回
転子領域に相当する範囲を占める扇形ギャップを有する
。 ［０００６］
【実施例】以下の添付図を参考として本発明の詳細な説
明する。 ［０００７１図１を参照して、分子真空ポンプは吸込み
口２及び排気口３を有する固定子１からなることが理解
し得る。反対方向に回転している２つの平行軸４及び５
並びに２つの回転子を有する回転子組立て品は、固定子
内部に配置されている。軸４は、軸４に固定されるステ
ータ６及びロータ７からなる駆動電動機２０によって駆
動される。軸５は、２つのギアホイール８及び９からな
る伝動装置によって反対方向に回転される。 ［０００８］ポンプは、その吸込み口の端に配置される
第１の区域Ａ及び区域Ａに続く第２の区域Ｂの２つの区
域に分割される。 ［０００９１区区域が第１のポンプとして作動し且つル
ーツ（Ｒｏｏｔｓ）型であるのに対し、区域Ａは第２の
ポンプとして作動し且つ分子または「ターボ分子ｊ型で
ある。図３に示される態様に於いて、区域Ａが図１中に
示されるものと一致するのに対し区域Ｂはスクリュー型
である。 ［００１０１図１では区域Ｂのルーツ型ポンプは仕切り
１３及び１４で区切られた１０．１１及び１２の３つの
段からなる。各ルーツ段は、全く在来型であり且つ当然
一対の回転ピストン１５及び１６からなる。 ［００１１１軸４及び５は仕切り１３及び１４内を通過
し、またこれらの軸は区域Ｂから区域Ａを区切っている
仕切り４０内を通過して、運動用シール型のラビリンス
グランド１７と適合される。２組の回転子は区域Ｂの両
端の壁中に埋め込まれたボールベアリング１８によって
支持されている。 ［００１２］タ一ボ分子ポンプから排気された後は、第
１の段１０内で吸込みが内部ダクト１９を介して起こり
、第３つまり最後の段１−２からの排出部では排気がダ
クト２１を介して起こり、排気オリフィス３へ通じる。 第１の段１０から第２の段１１への転移、及び第２の段
１１から第３の段１２への転移はそれぞれ内部ダクト２
２及び２３を介して起こる。 ［００１３］図２は、区域Ｂ中の２つの段１０及び１１
を説明する図である。 ［００１４］ギアホイール８及び９によって構成される
同期伝動機構は、乾燥状態で作動するように設計され得
る。従って、ギアチャンバ２４は電動機２０及び最終段
１２の両方から潤滑シールによって分離される必要があ
る。 ［００１５］図３に於いて、区域Ｂは３つの段１０．１
１及び１２を有するようなスクリューポンプによって構
成される。この場合、吸気及び排隼、が軸方向であって
、各段は２つのスクリュー回転子２５及び２６を有する
。 ［００１６１図１及び図３の両方は同一の区域Ａを有す
る。 ［００１７］区域Ａでは、ポンプは、軸４上の第１の回
転子用のフィン付きディスク２７及び軸５上の第２の回
転子用のフィン付きディスク２８によって構成される２
つの回転子及びフィンを使用するターボ分子型である。 ［００１８１図１及び図３に示され得るように、２つの
軸４及び５の間の距離はディスクに同一平面を占めさせ
るようにするのに不充分であるため、ディスク２７及び
２８は軸方向にオフセットになっている。この距離は、
各ディスクフィンの半径方向長さにフィンを担持するハ
ブの直径を加えた距離にほぼ相当する。 ［００１９］各デイスク２７または２８から下流方向で
は、固定子１は軸４についた参照番号２９及び軸５につ
いた参照番号３０のフィン付き固定子のダイアフラムを
有する。各ダイアフラム２９は回転子ディスク２８の一
つと同一平面に配置され、各ダイアフラム３０は回転子
ディスク２７の一つと同一平面に配置される。ダイアフ
ラム２９及び３０は完全なディスクではないが、図５に
はっきりと示され得るように、軸４及び５の間にあるポ
ンプ部分で両方の固定子にとって共通な、回転子領域に
対応する範囲を占める扇形のギャップによって中断され
ている。ダイアフラム２９及び３０のフィンの端は、対
応するりング３１及び３２に固定され、ダイアフラムを
固定子１に固着可能にしている。このように、ただ１つ
の駆動電動機を有し且つコンパクトながら高い流速が可
能で、大気中に排気しながら非常に高い二次真空に達し
得る分子ポンプが得られた。この流量は２つのポンプ（
１つの第１のポンプ及び１つの第２のポンプ）によって
提供される流量と匹敵するが、当然のことながらその容
量は小さい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の分子真空ポンプの切断図である。
【図２】ポンプの高い圧力区域中の１つの段からもう一
方の段へ流体の流れを示す図である。
【図３】異なる型のポンプの高い圧力区域中の図１の１
変形図である。
【図４】低い圧力側端部で示されるような図１または図
３のポンプの真正面図である。
【図５】個々の位置でのフィン付き回転ディスク及びフ
ィン付き固定子を示す図である。
【符号の説明】
１　固定子 ２　吸込み口 ３　排気口 ４．５軸 ６　ステータ ７　ロータ ８．９　　ギアホイール １０、１１．１２段 １３、　１４　　仕切り １５．１６　　回転ピストン １７　運動用シール型ラビリンスグランド１８　ボール
ベアリング １９、　２２．　２３　　内部ダクト ２０　電動機 ２１　ダクト ２４　ギアチャンバ ２５．２６　　スクリュー回転子 ２７．２８　　回転ディスク ２９．３０　　ダイアフラム ３１、　３２　　リング
【図１】
【手続補正書】
【提出日】平成３年３月１８日
【手続補正１】
【補正対象項目名】明細書
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正内容】
【請求項２】ターボ分子型ポンプ区域に於いて、各軸は
一続きのフィン付きディスクを、フィンの半径方向長さ
にフィンを担持するハブの直径を加えた長さに大体対応
する２軸間距離を隔てて有し、一方の軸上のディスクは
もう一方の軸上のディスクに対して軸方向にオフセット
になっていて、固定子は２つの回転子のディスクの各回
転ディスクより下流で固定子のフィン付きダイアフラム
を備えており、従って一方の軸によって担持される回転
ディスクに続く各ダイアフラムは、もう一方の軸によっ
て担持される回転ディスクと同一平面上に位置し、さら
にダイアフラムが、双方の固定子にとって共通し且つ２
つの軸間に位置する回転子領域に相当する範囲を占める
扇形のギャップを有することを特徴する請求項１に記載
の分子真空ポンプ。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】反対方向に回転する平行軸を有する２つの
    回転子と、吸込み口及び排気口を含む固定子とを有する
    固定子及び回転子組立て品からなるポンプであって、ポ
    ンプは吸込み口の端に位置する第１の区域と、続いて第
    ２の区域とに軸方向に分割されており、前記第１の区域
    はフィン及び２つの回転子を有するターボ分子型で、前
    記第２の区域は平行軸上の２つのスクリューまたは２つ
    の回転ピストンを有する型であり、軸の一方は電動機で
    駆動され且つもう一方は伝動手段によって駆動されるこ
    とを特徴とする、到達されるべき分子真空を可能にする
    分子真空ポンプ。
  2. 【請求項２】ターボ分子型ポンプ区域に於いて、各軸は
    一続きのフィン付きディスクを、フィンの半径方向長さ
    にフィンを担持するハブの直径を加えた長さに大体対応
    する２軸間距離を隔てて有し、一方の軸上のディスクは
    もう一方の軸上のディスクに対して軸方向にオフセット
    になっていて、固定子は２つの回転子のディスクの各回
    転ディスクより下流で固定子のフィン付きダイアフラム
    を備えており、従って各ダイアフラムは、もう一方の軸
    によって担持される回転ディスクと同一平面上にある一
    方の軸によって担持される回転ディスクに続き、さらに
    ダイアフラムが、双方の固定子にとって共通し且つ２つ
    の軸間に位置する回転子領域に相当する範囲を占める扇
    形のギャップを有することを特徴とする請求項１に記載
    の分子真空ポンプ。
JP2418241A 1989-12-28 1990-12-25 分子真空ポンプ Pending JPH04209980A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8917343 1989-12-28
FR8917343A FR2656658B1 (fr) 1989-12-28 1989-12-28 Pompe a vide turbomoleculaire mixte, a deux arbres de rotation et a refoulement a la pression atmospherique.

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JPH04209980A true JPH04209980A (ja) 1992-07-31

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ID=9389082

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JP2418241A Pending JPH04209980A (ja) 1989-12-28 1990-12-25 分子真空ポンプ

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US (1) US5118251A (ja)
EP (1) EP0435291B1 (ja)
JP (1) JPH04209980A (ja)
AT (1) ATE105378T1 (ja)
DE (1) DE69008683T2 (ja)
ES (1) ES2053071T3 (ja)
FR (1) FR2656658B1 (ja)
RU (1) RU1776333C (ja)

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