JPH0385659U - - Google Patents
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- JPH0385659U JPH0385659U JP14645889U JP14645889U JPH0385659U JP H0385659 U JPH0385659 U JP H0385659U JP 14645889 U JP14645889 U JP 14645889U JP 14645889 U JP14645889 U JP 14645889U JP H0385659 U JPH0385659 U JP H0385659U
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- Japan
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- thin film
- film circuit
- conductive substrate
- insulating film
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- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Description
第１図ａ及びｂは本考案の薄膜回路装置の一実
施例を示す平面図及びそのＡ−Ａ断面図、第２図
は薄膜トランジスタにより構成された複数のイン
バータを並列に多段接続した回路を示す回路図、
第３図ａ及びｂは従来の２層配線構造からなる薄
膜回路装置の一例を示す平面図及びそのＢ−Ｂ断
面図、第４図ａ及びｂは従来の３層配線構造から
なる薄膜回路装置の一例を示す平面図及びそのＣ
−Ｃ断面図である。 ２……ゲート配線、４……ゲート絶縁膜、５…
…ａ−Ｓｉ半導体層、６……ソース及びドレイン
配線、７……電源ライン、８……スルーホール、
１１……導電性基板（接地ライン）、１２……絶
縁膜、１３……スルーホール、１４……埋込金属
。
施例を示す平面図及びそのＡ−Ａ断面図、第２図
は薄膜トランジスタにより構成された複数のイン
バータを並列に多段接続した回路を示す回路図、
第３図ａ及びｂは従来の２層配線構造からなる薄
膜回路装置の一例を示す平面図及びそのＢ−Ｂ断
面図、第４図ａ及びｂは従来の３層配線構造から
なる薄膜回路装置の一例を示す平面図及びそのＣ
−Ｃ断面図である。 ２……ゲート配線、４……ゲート絶縁膜、５…
…ａ−Ｓｉ半導体層、６……ソース及びドレイン
配線、７……電源ライン、８……スルーホール、
１１……導電性基板（接地ライン）、１２……絶
縁膜、１３……スルーホール、１４……埋込金属
。
Claims (1)
- 導電性基板上を絶縁膜で覆い、該絶縁膜上に薄
膜回路を形成すると共に、該薄膜回路の接地ライ
ン又は電源ラインとして前記導電性基板を用いた
ことを特徴とする薄膜回路装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14645889U JPH0385659U (ja) | 1989-12-21 | 1989-12-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14645889U JPH0385659U (ja) | 1989-12-21 | 1989-12-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0385659U true JPH0385659U (ja) | 1991-08-29 |
Family
ID=31693038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14645889U Pending JPH0385659U (ja) | 1989-12-21 | 1989-12-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0385659U (ja) |
-
1989
- 1989-12-21 JP JP14645889U patent/JPH0385659U/ja active Pending