JPH0378720B2 - - Google Patents

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JPH0378720B2
JPH0378720B2 JP59267460A JP26746084A JPH0378720B2 JP H0378720 B2 JPH0378720 B2 JP H0378720B2 JP 59267460 A JP59267460 A JP 59267460A JP 26746084 A JP26746084 A JP 26746084A JP H0378720 B2 JPH0378720 B2 JP H0378720B2
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memory cell
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/04Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
    • G11C29/08Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing
    • G11C29/12Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details
    • G11C29/46Test trigger logic
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Dram (AREA)
  • Techniques For Improving Reliability Of Storages (AREA)
  • Test And Diagnosis Of Digital Computers (AREA)
  • Microcomputers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はメモリ例えばRAMを内蔵した半導体
集積回路に関し、その出荷の際などに特に該メモ
リの内部状態について試験を行うことができるよ
うな専用の試験パターン発生回路をそなえた半導
体集積回路に関する。
〔従来の技術〕
一般に、メモリ例えばRAMを内蔵した半導体
集積回路においては、同一チツプ内にメモリおよ
び該メモリと信号のやりとりを行う各種論理回路
が内蔵されている。
第5図は、かかる半導体集積回路の1例を概略
的に示すもので、該集積回路のチツプ5内には
RAM1と該RAM1と信号のやりとりを行う論
理回路領域4が設けられている。該論理回路領域
4内には例えばカウンタ回路41、ALU(演算ユ
ニツト)42などが設けられ、例えば該カウンタ
回路41の出力側から該RAM1に対するアドレ
ス信号が供給され、一方例えば該ALU42にお
いて演算された結果のデータが該ALU42の出
力側から該RAM1に対するデータとして入力さ
れて該RAM1における所定のアドレスに書き込
まれ、次いで該RAM1から必要なデータを読み
出して該読出しデータを例えばALU42の入力
側に供給して再度所定の演算を行うなどの処理が
行われる。なお6は該チツプ5の周囲に設けられ
た入出力回路であつて該入出力回路6に設けられ
た外部端子を通して外部回路との信号のやりとり
が行われる。
かかる半導体集積回路において、該RAMの内
部状態あるいは機能の試験を行う場合、従来は該
論理回路を通して試験を行つていたが、このよう
な場合には該RAMへの書き込みデータを外部か
ら指定するために、試験データを多く費さねばな
らず効率がよくないという問題点があつた。
そのため上述したような半導体集積回路におい
ても、該RAMと試験を行うにあたり、該論理回
路の信号に影響されないで、該RAMを単独で直
接に試験できるような試験用回路を設けておくこ
とが望まれる。
しかしながらこの場合にも、特にメモリの容量
が大きくなると、それに応じて各メモリセルに書
き込まれるデータを形成するための試験パターン
が大きくなり、データ書込みに手数を要するとい
う問題点がある。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明は上記問題点を解決するためになされた
もので、特に外部から試験用のデータを入力しな
くても、メモリ例えばRAMへのアドレス入力を
設定するのみで該試験用データのパターンを自動
的に発生させるようにしたものである。
なお従来よりメモリの簡易試験パターンとし
て、各メモリセルに書込まれるデータが1と0と
の交互の繰返しによつて形成される試験パターン
(通常チエツカー・ボード・パターンと称する)
が知られており、これによると比較的簡易な試験
パターンであるにも拘らず、メモリの故障部分を
正確に検出することができるとされているが、本
発明では、メモリへのアドレス入力を設定するの
みで該試験用データのパターンとして、特にかか
るチエツカー・ボード・パターンを自動的に発生
させるようにしたものである。
〔問題点を解決するための手段〕
そして上記問題点を解決するために本発明によ
れば、メモリセルと、該メモリセルを選択するた
めのアドレス信号が入力する複数のアドレス入力
端子と、前記アドレス信号により選択された複数
ビツトの各メモリセルに対してデータを入力する
複数のデータ入力端子と、該複数のデータ入力端
子に試験パターンを供給するための試験パターン
発生回路とを有し、前記試験パターン発生回路
は、少なくとも最下位ビツトを含むアドレス信号
に基づいて生成される第1の信号と前記第1の信
号の反転である第2の信号とを入力すると共に、
外部から入力される制御信号及び該制御信号の反
転信号により前記第1の信号及び第2の信号の何
れか一方が選択されて出力されるゲート回路を複
数個具備し、前記複数のゲート回路には、前記第
1の信号、前記第2の信号、前記制御信号及び前
記制御信号の反転信号が共通に入力され、前記メ
モリセルの隣合う各ビツトにそれぞれ前記第1の
信号、前記第2の信号が書き込まれるよう前記第
1の信号、前記第2の信号を前記ゲート回路が出
力することを特徴とするメモリを内蔵した半導体
集積回路が提供される。
〔作用〕
上記構成によれば、例えば該アドレス入力信号
がロウアドレスを指定する場合であれば、隣接す
る(すなわち偶数と奇数の)ロウアドレスを指定
する毎に、該最下位ビツト信号が0と1とを交互
に繰返すため、このような最下位ビツト信号と所
定のコントロール信号とを論理処理することによ
つて例えば上記チエツカー・ボード・パターンの
ような所定の試験パターンを自動的に発生させる
ことができる。
〔実施例〕
第1図は、本発明の1実施例として、メモリと
してRAMを内蔵した半導体集積回路において、
該RAM1と該RAM1に対する試験パターン発
生回路部分2を示すもので、該RAM1と接続さ
れる前記論理回路の領域および該論理回路領域と
該RAMとの接続回路は図示が省略されている。
この第1図に示されるRAMは、アドレス入力
信号によつてロウアドレスのみを指定するRAM
(すなわちコラムデコーデイングを必要としない
RAM)であつて、アドレス信号入力端子から入
力される各アドレス信号A0、A1……Aoはアドレ
スレジスタ12、ロウデコーダ13を通してメモ
リセルマトリツクス11に入力され、所定のロウ
アドレスを指定する。一方該メモリセルマトリツ
クス11のデータ入力側およびデータ出力側には
それぞれライトアンプ15とセンスアンプ17と
が接続されており、該ライトアンプ15の入力側
には書込みデータが入力されるデータ入力端子
i00、i01……ilnが設けられ、一方該センスアンプ
17の出力側には読出しデータが出力されるデー
タ出力端子D00、D01……Dlnが設けられる。
更に上述したような構成のRAM1に対し試験
用の書込みデータを発生する試験パターン発生回
路2が設けられる。そして該試験パターン発生回
路2を構成するアンドゲート23,24,25,
26……のうち、アンドゲート23および24に
は、それぞれ該RAM1に対するアドレス入力信
号のうちの最下位ビツト信号A0および該信号A0
をインバータ21によつて反転した信号0が入
力され、つづくアンドゲート25および26には
上記とは逆にそれぞれ0およびA0が入力され、
以下この順序で繰返し入力される。
更に上記アンドゲート23および24には、外
部端子CNTからのコントロール信号が、アンド
ゲート23に対してはインバータ22を通して入
力され、アンドゲート24に対しては直接入力さ
れる。そして以下の各アンドゲートにもこの順序
で繰返し入力される。
次いで一対のアンドゲート23,24の出力は
オアゲート27を通してRAM1のデータ入力端
子i00に入力され、つづく一対のアンドゲート2
5,26の出力はオアゲート28を通して次のデ
ータ入力端子i01に入力され、以下同様にして各
オアゲートの出力は各データ入力端子i00、i01
…ilnに入力される。
いま該RAM1に対し所定のアドレス信号A0
A1……Aoが指定されて、例えば全アドレス信号
に0(ロウレベル)入力されて該RAM1のロウ
アドレスが指定されワード線W0が選択されたと
する。このとき該アドレス信号のうちの最下位ビ
ツチ信号A0は0(ロウレベル)となつている。し
たがつて試験パターン発生回路2におけるアンド
ゲート23,26……には該ロウレベルのアドレ
ス信号A0が直接入力され、一方アンドゲート2
4,25……には該アドレス信号A0を反転した
ハイレベルの信号0が入力される。
ここで、上記外部端子CNTから該試験パター
ン発生回路2に入力されるコントロール信号をロ
ウレベルにしておくとすれば、該アンドゲート2
3,25には該ロウレベルのコントロール信号を
反転したハイレベルの信号が入力され、一方アン
ドゲート24,26には該ロウレベルのコントロ
ール信号が直接入力される。
この結果一対のアンドゲート23,24の出力
は共にロウレベルとなり、その結果オアゲート2
7の出力もロウレベルとなつて該ロウレベルの信
号がRAM1のデータ入力端子i00に入力される。
また次の一対のアンドゲート25,26について
は、アンドゲート25の出力がハイレベルとなり
(アンドゲート26の出力はロウレベルである
が)、その結果オアゲート28の出力はハイレベ
ルとなつて該ハイレベルの信号がRAM1のデー
タ入力端子i01に入力される。以下、上記した順
序で各データ入力端子i00、i01……ilnに所定の書
込みデータが入力され、該RAM1に書込み制御
信号が供給されることによつて、そのワード線
W0に対応する各メモリセルには、第2図aに示
すように順序「0、1、0、1……」のように交
互に変化するデータが書き込まれる。
次いでアドレス信号の変化によつて仮にワード
線W1が選択されたとすると、このときには該最
下位ビツト信号A0は1(ハイレベル)となつてお
り、以下上記と同様の過程を経て、該RAM1の
ワード線W1に対応する各メモリモルには、同じ
く第2図aに示すように順次「1、0、1、0…
…」のように変化するデータが書き込まれ、以下
同様にして該RAM1の各メモリセルには第2図
aに示されるような0と1を交互に繰返す試験パ
ターン(所謂上記したチエツカー・ボード・パタ
ーン)が書き込まれる。
なお上述した書き込み処理においては外部端子
CNTから該試験パターン発生回路に入力される
コントロール信号をロウレベルとしているが、該
コントロール信号を逆にハイレベルとすれば、該
RAM1の各メモリセルには第2図bに示される
ような第2図aに示される各データを反転した別
のチエツカー・ボード・パターンが書き込まれ
る。
次に第3図は、本発明の他の実施例として、ア
ドレス入力信号よりロウアドレスとコラムアドレ
スを指定するRAM(すなわちコラムデコーデイ
ングを必要とするRAM)に、本発明を適用した
場合が示される。
すなわち第3図に示されるRAM1には、第1
図に示されるメモリセルマトリツクス11、アド
レスレジスタ12、ロウデコーダ13、ライトア
ンプ15、センスアンプ17のほかにコラムデコ
ーダ14およびコラムセレクタ16が設けられ
る。
いま1例として該メモリセルマトリツクス11
は4ワード×4ビツトの物理的構成であるとし、
該RAM1に供給されるアドレス信号A0、A1
A2は先ずアドレスレジスタ12を通り、その後
アドレス信号A0(または0)はコラムデコーダ1
4に入力されて該アドレス信号A0が1であるか
0であるかに応じて所定のコラムアドレスを指定
し、残りのアドレス信号A1、A2(または12
はロウデコーダ13に入力され、所定のロウアド
レスを指定する。
また図示された例においてはライトアンプ15
に接続されたデータ入力端子として2個の端子
i00、i01が設けられ、一方センスアンプ17に接
続されたデータ出力端子として同じく2個の端子
D00、D01が設けられていて2ビツトのデータを
並列的に書込み又は読出すように(したがつて8
ワード×2ビツトに)構成されており、コラムデ
コーダ14からの出力に応じてコラムセレクタ
(2×2対中の各1対を選択する)16において
選択された2対のビツト線を所定のメモリセルに
対するデータの書込み又は読出しが行われる。
そして上述したような構成のRAM1に対し、
試験用の書込みデータを発生するために試験パタ
ーン発生回路3が設けられる。該回路3におい
て、31は排他的ノアゲートであつて、該回路3
1には、上記ロウアドレス信号のうちの最下位ビ
ツト信号A1と上記コラムアドレス信号のうちの
最下位ビツト信号A0(本例ではコラムアドレス信
号は1ケしかないので、A0が最下位ビツトに相
当)が入力される。そして該回路31はその入力
信号がともに0又はともに1であるとき1を出力
し、それ以外のときは0を出力するように構成さ
れる。
そして該回路31の出力は、4個のアンドゲー
ト34,35,36,37に対し直接に、又はイ
ンバータ32を介して入力され、更にこれらの各
アンドゲート34乃至37には、外部端子CNT
からのコントロール信号も直接に、又はインバー
タ33を介して入力される。そしてアンドゲート
34,35の出力側はオアゲート38を介して
RAM1のデータ入力端子i00に接続され、一方ア
ンドゲート36,37の出力側はオアゲート39
を介してRAM1のデータ入力端子i01に接続され
る。
いま該RAM1に対し所定の試験データを書込
むにあたり、仮にアドレス信号A0、A1、A2がと
もに0とされ、所定のメモリセルが選択されたと
する。このときには該試験パターン発生回路3に
おける排他的ノアゲート31の出力は1(ハイレ
ベル)となり、これによつてアンドゲート34,
36には該ハイレベルの出力が直接入力され、一
方アンドゲート35,37には該ハイレベルの出
力をインバータ32によつて反転したロウレベル
の出力が入力される。
ここで上記外部端子CNTから該回路3に入力
されるコントロール信号をハイレベルにしておく
とすれば、該アンドゲート34,36には該ハイ
レベルのコントロール信号が直接入力され、一方
アンドゲート35,37には該ハイレベルのコン
トロール信号をインバータ33によつて反転した
ロウレベルの信号が入力される。
その結果アンドゲート34,36の出力がハイ
レベルとなつてそれぞれオアゲート38,38を
通してRAM1のデータ入力端子i00、i01に入力さ
れ、該RAM1に書込み制御信号が供給されるこ
とによつて、所定のメモリセル、すなわち第4図
における最上段の行(すなわちロウアドレス信号
A1、A2がともに0であることによつて選択され
た行)のうち左から1番目と3番目の列(すなわ
ちコラムアドレス信号A0が0であることによつ
て選択された2つの列)に対応するメモリセルに
それぞれ書込みデータとして1が書込まれる。
同様にして仮にアドレス信号A0およびA2が1
とされ、アドレス信号A1のみが0とされたとす
ると、各アンドゲート34乃至37の出力はすべ
てロウレベルとなつてデータ入力端子i00、i01
入力され、これによつて第4図における3段目の
行(すなわちロウアドレス信号A2が1でありA1
が0であることによつて選択された行)のうち左
から2番目と4番目の列(すなわちコラムアドレ
ス信号A0が1であることによつて選択された2
つの列)に対応するメモリセルにそれぞれ書込み
データとして0が書込まれる。
以下同様にしてメモリセルマトリツクス11の
各メモリセルには試験用データとして第4図に示
されるようなチエツカー・ボード・パターンが書
込まれる。なお外部端子CNTから入力されるコ
ントロール信号を上記とは逆にロウレベルとすれ
ば、各メモリセルに書込まれるデータも反転す
る。
なお図示は省略されているが、この種の半導体
集積回路を通常使用するときには、一般には論理
回路領域4側から該RAM1に対する所定のアド
レスに所定のデータが書込まれるように構成され
ているが、かかる通常使用時のデータ書込みとは
別に上述したような試験パターン発生回路3によ
つて試験用データの書込みが行われるものであ
り、そのためには例えば該RAMのアドレス側お
よびデータ入力端子側に、適宜のコントロール信
号によつて切換制御される切換回路を設けて、該
通常使用時のデータ書込みと試験データの書込み
とを切換えるようにすればよい。
〔発明の効果〕
本発明によれば、各メモリセルマトリツクスへ
の試験用データの書込みを行うにあたり、特定の
書込みデータを入力しなくても、単にアドレス入
力を設定するのみでデータの書込みをも容易に行
うことができ、したがつて例えばRAMの簡易試
験パターンとして知られているチエツカー・ボー
ド・パターンをRAMに書込む場合にも、そのた
めに必要な試験パターンを大巾に減少させること
ができる。
しかも本発明によれば、外部から入力される制
御信号用の端子として最低1本の少ない端子を設
けるのみで、余分な制御回路を付加せずに試験パ
ターンの発生を制御することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の1実施例としての、メモリ
を内蔵した半導体集積回路における該メモリの試
験パターン発生回路部分を示すブロツク図、第2
図a,bは第1図における試験パターン発生回路
によつて発生される試験パターンを示す図、第3
図は、本発明の他の実施例としての、メモリを内
蔵した半導体集積回路における該メモリの試験パ
ターン発生回路部分を示すブロツク図、第4図
は、第3図における試験パターン発生回路によつ
て発生される試験パターンを示す図、第5図は、
この種のメモリを内蔵した半導体集積回路の全体
構成を概略的に例示する図である。 (符号の説明)、1……RAM、11……メモ
リセルマトリツクス、12……アドレスレジス
タ、13……ロウデコーダ、14……コラムデコ
ーダ、15……ライトアンプ、16……コラムセ
レクタ、17……センスアンプ、2……試験パタ
ーン発生回路、21,22……インバータ、2
3,24,25,26……アンドゲート、27,
28……オアゲート、3……試験パターン発生回
路、31……排他的ノアゲート、32,33……
インバータ、34,35,36,37……アンド
ゲート、38,39……オアゲート、4……論理
回路領域、41……カウンタ、42……ALU、
5……半導体集積回路のチツプ、6……入出力回
路。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 メモリセルと、 該メモリセルを選択するためのアドレス信号が
    入力する複数のアドレス入力端子と、 前記アドレス信号により選択された複数ビツト
    の各メモリセルに対してデータを入力する複数の
    データ入力端子と、 該複数のデータ入力端子に試験パターンを供給
    するための試験パターン発生回路とを有し、 前記試験パターン発生回路は、少なくとも最下
    位ビツトを含むアドレス信号に基づいて生成され
    る第1の信号と前記第1の信号の反転である第2
    の信号とを入力すると共に、外部から入力される
    制御信号及び該制御信号の反転信号により前記第
    1の信号及び第2の信号の何れか一方が選択され
    て出力されるゲート回路を複数個具備し、 前記複数のゲート回路には、前記第1の信号、
    前記第2の信号、前記制御信号及び前記制御信号
    の反転信号が共通に入力され、前記メモリセルの
    隣合う各ビツトにそれぞれ前記第1の信号、前記
    第2の信号が書き込まれるように前記第1の信
    号、前記第2の信号を前記ゲート回路が出力する
    ことを特徴とするメモリを内蔵した半導体集積回
    路。
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