JPH03200222A - Production of multicolor display device - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 27
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 claims abstract description 13
- 239000004640 Melamine resin Substances 0.000 claims abstract description 4
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 claims abstract description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims abstract description 4
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 claims description 7
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 claims 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 claims 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 claims 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 claims 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 7
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 abstract description 5
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 abstract description 2
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000975 dye Substances 0.000 abstract 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 abstract 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 21
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 6
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 2
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 description 1
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 description 1
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 description 1
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 description 1
- 230000008642 heat stress Effects 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000007669 thermal treatment Methods 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は液晶カラーテレビ、パーソナルコンピュータの
表示装置、ビデオ表示装置、計測機器の表示パネル等の
あらゆる多色表示装置の製造方法に関するものである。[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to a method for manufacturing all kinds of multicolor display devices such as liquid crystal color televisions, display devices for personal computers, video display devices, and display panels for measuring instruments. .
〔発明の概要］
本発明は、基板上に形成された透明導電膜パターンに有
機高分子からなる複数のカラーフィルターを形成し、該
カラーフィルター中に徽細な孔を設けることでカラーフ
ィルターを挟む上下の透明電極を電気的にＲ通させるこ
とにより多色表示装置を容易に駆動させることを特徴と
する多色表示装置の製造方法を提供するものである。[Summary of the Invention] The present invention involves forming a plurality of color filters made of organic polymer on a transparent conductive film pattern formed on a substrate, and sandwiching the color filters by providing narrow holes in the color filters. The present invention provides a method for manufacturing a multicolor display device, which is characterized in that the multicolor display device can be easily driven by electrically passing upper and lower transparent electrodes through R.
近年、液晶表示はセル内のカラーフィルターを通る光を
液晶シャッターで０Ｎ１０ＦＦすることにより多色表示
を実現させる技術が進んできている。カラーフィルター
上の駆動電極はカラーフィルターの製法の如何にかかわ
らず、液晶を駆動させるために透明導電膜が用いられて
いる。In recent years, advances have been made in liquid crystal display technology to realize multicolor display by using a liquid crystal shutter to perform 0N10FF on light passing through a color filter within a cell. Regardless of the manufacturing method of the color filter, a transparent conductive film is used as the drive electrode on the color filter to drive the liquid crystal.
第４図にカラーフィルター上に透明電極を形成した多色
表示装置の従来技術の例を模式断面図で示した。以下そ
の製造方法について説明する。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of a conventional example of a multicolor display device in which transparent electrodes are formed on color filters. The manufacturing method will be explained below.
４１はガラスよりなる基板で、その上にＩＴＯｉ３明電
極４２が所定のパターンに形成される。［ＴＯ電極上に
はカラーフィルターが電着法により形成される。他のカ
ラーフィルター製法である染色法、印刷法、顔料分散レ
ジストによるフォトリソグラフィー法ではこのＩＴＯ透
明電極は通常必要としない。電着法は、高分子と色素を
含む溶液から選択的に電極に電圧を印加することにより
、透明電極上に着色膜を析出させるものである。染色法
は、感光性ゼラチン等の可染性の高分子を塗布し、フォ
トリソグラフィーによってパターンを形成し、それぞれ
の色を順次染色していく方法である。Reference numeral 41 denotes a substrate made of glass, on which an ITOi3 bright electrode 42 is formed in a predetermined pattern. [A color filter is formed on the TO electrode by electrodeposition. This ITO transparent electrode is usually not required in other color filter manufacturing methods such as dyeing, printing, and photolithography using a pigment-dispersed resist. In the electrodeposition method, a colored film is deposited on a transparent electrode by selectively applying a voltage to the electrode from a solution containing a polymer and a dye. The dyeing method is a method in which a dyeable polymer such as photosensitive gelatin is applied, a pattern is formed by photolithography, and each color is sequentially dyed.
印刷法は、微細パターンを形成させるための特殊な印刷
技術により多色インキを順次印刷していくものである。The printing method uses a special printing technique to sequentially print multicolor ink to form fine patterns.
顔料分散レジストによるフォトリソグラフィー法は染色
法の改良法であり、予め感光性樹脂中に多色の顔料をそ
れぞれ分散させたものを、ガラス基板上に塗布しフォト
リソグラフィー法により順次バターニングしていく方法
である。The photolithography method using a pigment-dispersed resist is an improved dyeing method, in which multicolored pigments are pre-dispersed in a photosensitive resin and applied onto a glass substrate, which is sequentially patterned using the photolithography method. It's a method.
第４図の４４はカラーフィルター上に設ける透明電極４
５を安定的にバターニングさせるために必要なトップコ
ート層である。通常トップコートがない場合、カラーフ
ィルター上の透明電極はバターニング工程の種々の熱処
理でクラックや剥離現象が生し透明電極の形成が不可能
になる。４５はカラーフィルター上の透明電極であり、
スパッタリング法で成膜された後、フォトレジストを塗
布し、フォトマスクを正確にカラーフィルターパターン
にアライメントし、光を照射して露光する。次に露出し
たＩＴＯをエツチング除去し、フォトレジストを剥離し
、カラーフィルター上に透明電極を形成する。このよう
にカラーフィルターと透明電極４５を形成した基板４６
を相対向させ、その間隙に液晶４９を挟持させて多色表
示装置とする。44 in FIG. 4 is a transparent electrode 4 provided on the color filter.
This is a top coat layer necessary for stably buttering No. 5. Normally, in the absence of a top coat, the transparent electrodes on the color filters undergo cracking and peeling phenomena during various heat treatments during the buttering process, making it impossible to form transparent electrodes. 45 is a transparent electrode on the color filter;
After the film is formed by sputtering, a photoresist is applied, a photomask is accurately aligned with the color filter pattern, and light is irradiated for exposure. Next, the exposed ITO is removed by etching, the photoresist is peeled off, and a transparent electrode is formed on the color filter. A substrate 46 on which color filters and transparent electrodes 45 are formed in this way
are made to face each other, and a liquid crystal 49 is sandwiched between them to form a multicolor display device.
前述のように、カラーフィルター上透明電極の作製は従
来のスパッタリング法で行うと、カラーフィルターが有
機高分子からなるため、耐熱性が低く成膜時の基板温度
をあまり上げることができず、ガラス等の無機物基板に
成膜する場合に比べ低温プロセスとなってしまい、でき
た膜と基板材との密着性が劣ることになる。その結果、
剥離等の不良を引き起こしやすい。また、密着性を向上
させるために使用している有機高分子であるトップコー
トの耐熱性の限界まで加熱して成膜すると、カラーフィ
ルターの熱変形及びトップコートとの熱変形量の差によ
るストレスが、各膜界面に集中し、透明導電膜にクラン
ク等の不良が生じやすいという問題がある。As mentioned above, if the transparent electrode on the color filter is manufactured using the conventional sputtering method, since the color filter is made of organic polymer, it has low heat resistance and it is not possible to raise the substrate temperature during film formation. This requires a lower temperature process than when forming a film on an inorganic substrate such as, and the adhesion between the formed film and the substrate material is poor. the result,
Easy to cause defects such as peeling. In addition, if the film is formed by heating the top coat, which is an organic polymer used to improve adhesion, to the limit of its heat resistance, stress will occur due to thermal deformation of the color filter and the difference in the amount of thermal deformation with the top coat. However, there is a problem in that it is concentrated at the interface of each film, and defects such as cranks are likely to occur in the transparent conductive film.
また、カラーフィルター上の透明導電膜は、液晶駆動用
電極として使われるが、多色表示装置の外周部での外部
端子との接続の際、カラーフィルターやトップコートの
膜厚の分だけ段差が生じて加熱圧着工程時にカラーフィ
ルター上の透明電極が断線を起こす問題が生じた。この
問題を避けるためにカラーフィルターやトップコートを
基板外周まで延長させると、前記外部端子との加熱圧着
時に変形し、接続不良が生じるという問題があった。In addition, the transparent conductive film on the color filter is used as an electrode for driving the liquid crystal, but when connecting to external terminals at the outer periphery of a multicolor display device, there is a difference in level due to the film thickness of the color filter and top coat. This caused a problem in which the transparent electrode on the color filter broke during the heat-press bonding process. In order to avoid this problem, if the color filter or top coat is extended to the outer periphery of the substrate, there is a problem that the color filter or top coat is deformed during heat and pressure bonding with the external terminal, resulting in poor connection.
本発明では、上記のような問題点を解決するために、以
下のような手段を採用した。スパッタリング法により有
機高分子膜上への無機物質である透明電極を成膜するこ
とは、基板加熱等の耐熱性の上で限界があり、特に密着
性の良い膜を得るのは困難である。そこで有機高分子膜
への密着性の高い成膜技術を検討した結果、イオンプレ
ーティング法による透明電極の成膜が有効であることを
見出した。In the present invention, in order to solve the above problems, the following measures are adopted. Forming a transparent electrode made of an inorganic material onto an organic polymer film by sputtering has a limit in terms of heat resistance such as substrate heating, and it is difficult to obtain a film with particularly good adhesion. As a result of investigating film formation techniques with high adhesion to organic polymer films, we discovered that forming transparent electrodes using ion plating is effective.
次に、通常使用されているカラーフィルターの上のトッ
プコートを省き、カラーフィルター上へ直接イオンプレ
ーティング法による透明電極の成膜を行ったところ、密
着性が良好であることが判明した。さらに、透明電極を
バターニングする種々の化学的、熱的処理にも耐え、良
好なパターンが形成されることを確認した。そこで、カ
ラーフィルター上へ直接透明電極を成膜できることにな
れば、カラーフィルターの下の透明電極との電気的接続
も、種々の方法により可能になると考え、カラーフィル
ターパターンの一部に微細な孔を開けた後、イオンプレ
ーティング法により透明電極を成膜したところ、カラー
フィルター上下の電極が導通することが判った。これに
より、カラーフィルター上下の透明電極が、事実上電気
的に接続されたことにより、液晶駆動電極として、カラ
ーフィルターの下の電極が使用可能になった。カラーフ
ィルターの上の透明電極パターンは第１図に見るように
、カラーフィルターと同様に、多色液晶表示装置のセル
のシール部内側までにとどめて、カラーフィルターの下
の透明電極を外部まで延ばして、接続用の端子電極とし
て用いることが可能になる。Next, we omitted the commonly used top coat on the color filter and formed a transparent electrode film directly onto the color filter by ion plating, and it was found that the adhesion was good. Furthermore, it was confirmed that the transparent electrode could withstand various chemical and thermal treatments for patterning, and a good pattern could be formed. Therefore, we thought that if it were possible to form a transparent electrode directly on the color filter, electrical connection with the transparent electrode under the color filter would be possible using various methods. After opening the color filter, transparent electrodes were formed using the ion plating method, and it was found that the electrodes above and below the color filter were electrically conductive. This effectively electrically connected the transparent electrodes above and below the color filter, making it possible to use the electrode under the color filter as a liquid crystal drive electrode. As shown in Figure 1, the transparent electrode pattern above the color filter is limited to the inside of the cell seal of the multicolor liquid crystal display device, and the transparent electrode pattern below the color filter is extended to the outside, just like the color filter. Therefore, it can be used as a terminal electrode for connection.
一般に、有ａ裔分とＩＴＯのような無機物では加熱時の
ストレインは大きく異なり、両者の界面での接触状態す
なわち密着性が十分強いものでなけれは、加熱工程での
界面のズレが生し剥離やクラックが生じることになる。In general, the strain during heating is very different between alumina and inorganic materials such as ITO, and unless the contact state or adhesion at the interface between the two is sufficiently strong, the interface will shift during the heating process and peeling will occur. Otherwise, cracks may occur.
スパッタリングによる透明電極の成膜では、カラーフィ
ルター上に到達する分子の有するエネルギーは比較的小
さく透明電極膜を構成する分子とカラーフィルターと結
合が弱くなり、界面における熱ストレスが発生すると剥
離やクラック等の問題が生じるものと考えられる。When forming a transparent electrode film by sputtering, the energy of the molecules that reach the color filter is relatively small, and the bond between the molecules that make up the transparent electrode film and the color filter becomes weak, and if thermal stress occurs at the interface, peeling or cracking may occur. This is thought to cause problems.
一方、イオンプレーティング法による透明電極の成膜の
場合にはカラーフィルター表面へ衝突する分子エネルギ
ーが相当高いために、カラーフィルター内に衝突した分
子が深く潜り込み、強い結合力となり密着性が大きくな
るものと考えられる。On the other hand, in the case of forming a transparent electrode film using the ion plating method, the energy of the molecules that collide with the color filter surface is quite high, so the colliding molecules burrow deeply into the color filter, creating a strong bonding force and increasing adhesion. considered to be a thing.
また、種々の方法によりカラーフィルターに設けた微細
な孔へも、イオンプレーティング法による透明導電膜を
構成する分子は入り込み、カラーフィルター上下の透明
電極を電気的に完全に一体化しうるちのとなる。In addition, the molecules that make up the transparent conductive film created by ion plating penetrate into the fine pores created in the color filter using various methods, completely electrically integrating the transparent electrodes on the top and bottom of the color filter. .
以下、実施例に基づき本発明の詳細な説明する。 Hereinafter, the present invention will be explained in detail based on Examples.
実施例−１
第１図（ａｌは本発明による多色液晶表示装置の断面図
である。ｌはガラス基板、２はＩＴＯ電極、ＩＴＯ電極
上に電着法によりポリエステルメラミン樹脂と色素から
なる膜厚１．５ミクロンのカラーフィルターを形成した
。なお、電着法によるカラーフィルターの製法は、特開
昭５９−１１４５７２号に詳しく開示されている。Example-1 Figure 1 (Al is a cross-sectional view of a multicolor liquid crystal display device according to the present invention.L is a glass substrate, 2 is an ITO electrode, and a film made of polyester melamine resin and a pigment is deposited on the ITO electrode by electrodeposition. A color filter having a thickness of 1.5 microns was formed.The method for manufacturing a color filter by electrodeposition is disclosed in detail in Japanese Patent Application Laid-Open No. 114572/1983.
このように形成したカラーフィルター基板を、レーザー
リペア−装置により、第１図（ｂ）に見るように、各カ
ラーフィルターラインに直径１０ミクロンの微細な孔を
開けた。この微細孔は１点でも上下導通は十分得られる
が、上下の透明電極間の接続抵抗を十分下げるため３点
以上あけた。こうして形成された微細孔付のカラーフィ
ルター上にイオンプレーティング法による透明電極４を
形成した。第３図は、実施例に用いたイオンプレーティ
ング装置の断面図であり、以下に本装置と実施方法につ
いて詳述する。In the color filter substrate thus formed, fine holes with a diameter of 10 microns were made in each color filter line using a laser repair device, as shown in FIG. 1(b). Although a single point of these fine holes can provide sufficient vertical conduction, three or more points are provided in order to sufficiently reduce the connection resistance between the upper and lower transparent electrodes. A transparent electrode 4 was formed by ion plating on the thus formed color filter with micropores. FIG. 3 is a cross-sectional view of the ion plating apparatus used in the example, and the apparatus and implementation method will be described in detail below.
第３図中真空室３１はベルジャ３２によって気密に保た
れている。この真空室３１は真空ポンプによる排気系３
３によって排気する。ベルジャ３２はガス導入口３４を
設けている。透明導電膜形成時には、まずベルジャ３２
内を排気系３３によって排気して、次いで、ガス導入口
３４より不活性ガスを導入して不活性ガス分圧をおよそ
１０−Ｓ〜１０−”ｔｏｒｒ程度に調整する。この不活
性ガスはアルゴン、ヘリウム、水素などから選択できる
が、本実施例ではアルゴンを７．５ Ｘ １０−’？。In FIG. 3, the vacuum chamber 31 is kept airtight by a bell jar 32. This vacuum chamber 31 is an exhaust system 3 using a vacuum pump.
Exhaust by 3. The bell jar 32 is provided with a gas inlet 34. When forming a transparent conductive film, first use the bell jar 32.
The inside is evacuated by the exhaust system 33, and then an inert gas is introduced from the gas inlet 34 to adjust the inert gas partial pressure to approximately 10-S to 10-'' torr.This inert gas is argon gas. , helium, hydrogen, etc., but in this example, argon is used at 7.5 x 10-'?
１．の圧力にした。ベルジャ３２の内部には、カラーフ
ィルターのついた基板３５およびホルダー３６からなる
基板系と、膜形成のための酸化スズ５％、酸化インジウ
ム９５％よりなる蒸発源物質３７およびハース３８と共
に、プラズマビーム発生装置３９を設ける。このプラズ
マビーム発生装置には、プラズマ放電のための不活性ガ
ス導入装置４０を設けている。1. The pressure was on. Inside the bell jar 32, there is a substrate system consisting of a substrate 35 with a color filter and a holder 36, an evaporation source material 37 made of 5% tin oxide and 95% indium oxide for film formation, and a hearth 38, as well as a plasma beam. A generator 39 is provided. This plasma beam generator is provided with an inert gas introducing device 40 for plasma discharge.
アルゴン等の不活性ガスを導入装置ｆｆ１４０から導入
して、次に電圧を印加してプラズマ放電を生起させ、プ
ラズマビーム４１を放射させる。このプラズマビーム４
１は蒸発源物質３７の蒸発とイオン化励起を行う。プラ
ズマビーム４１の集束化、安定化のために磁石４２．４
３を設けてもよい。この磁石による磁界により、プラズ
マビームはより効果的に集束する。また、ベルジャ３２
には反応性ガス導入装置４４を設ける。この装置４４は
反応性ガスをプラズマビーム中に供給するようにする０
本実施例では反応性ガスとして酸素を９ｘｔｏ−’ｔ。An inert gas such as argon is introduced from the introduction device ff140, and then a voltage is applied to generate plasma discharge and emit a plasma beam 41. This plasma beam 4
1 performs evaporation and ionization excitation of the evaporation source material 37. Magnet 42.4 for focusing and stabilizing plasma beam 41
3 may be provided. The magnetic field produced by this magnet focuses the plasma beam more effectively. Also, Bellja 32
A reactive gas introduction device 44 is provided. This device 44 serves to supply reactive gases into the plasma beam.
In this example, oxygen is used as the reactive gas.
１Ｆの圧力で用いた。It was used at a pressure of 1F.
本実施例ではカラーフィルターのついた基板３５を移動
させながら７０ Ｖ 、 ２５０ Ｖの放電を行い、
膜厚２５００人、透過率８３％１表面抵抗１３〜１７Ω
／ｌ′の透明導電膜を得た。また、この透明導電膜はカ
ラーフィルターの下ＩＴＯ２と電気的に導通を有してい
た。In this embodiment, while moving the substrate 35 with the color filter attached, discharges of 70 V and 250 V are performed.
Film thickness 2500mm, transmittance 83% 1 surface resistance 13~17Ω
A transparent conductive film of /l' was obtained. Moreover, this transparent conductive film had electrical continuity with the ITO2 under the color filter.
第１図（ａｌに戻り多色表示装置の製造方法について説
明する。このように形成されたカラーフィルター上の透
明導電膜をフォトリソグラフィーを用いて所定の形状に
パターニングし透明電極４とした。この透明電極４とＩ
ＴＯＺともまた電気的導通を有していた。５は対向ガラ
ス基板で、その上にＩＴＯ電極６を形成した後、基板１
と相対向させ、その間隙に液晶を挟持して多色液晶表示
装置を構成した。本実施例においてカラーフィルター上
のＩＴＯ電極４は密着力に優れており、成膜時の！′１
１離、クラック等は全くなかった。その後２００℃、５
時間程度の加熱に対しても抵抗値の変化もなく、十分な
密着性を維持していた。Returning to FIG. 1 (al), the manufacturing method of the multicolor display device will be explained. The transparent conductive film on the color filter thus formed was patterned into a predetermined shape using photolithography to form a transparent electrode 4. Transparent electrode 4 and I
It also had electrical continuity with TOZ. 5 is a counter glass substrate, and after forming an ITO electrode 6 on it, the substrate 1 is
A multicolor liquid crystal display device was constructed by facing each other and sandwiching the liquid crystal between them. In this example, the ITO electrode 4 on the color filter has excellent adhesion, and during film formation! '1
1 release, no cracks etc. Then 200℃, 5
There was no change in resistance value even after heating for about an hour, and sufficient adhesion was maintained.
カラーフィルター上透明電極４は、パターニング時に、
外部接続端子部９まで延長させず、多色液晶表示装置の
シール８までにして、外部接続端子用透明電極はカラー
フィルター下ＩＴＯ２を用いて多色液晶表示装置を作製
し、液晶を駆動させたところ正常に動いた。また、多色
液晶表示装置を６０℃、９０％ＲＨ雰囲気中で１０００
時間の信頬性をクリヤーし、正常駆動を接続させた。The transparent electrode 4 on the color filter is formed during patterning.
A multicolor liquid crystal display device was fabricated using ITO2 under the color filter as the transparent electrode for the external connection terminal without extending to the external connection terminal portion 9, and the seal 8 of the multicolor liquid crystal display device was used to drive the liquid crystal. However, it worked fine. In addition, the multicolor liquid crystal display device was heated at 60°C and 90% RH for 1000°C.
Cleared the credibility of time and connected normal drive.
実施例−２
第２図（ａｌに本発明による多色表示装置の他の実施例
の断面図を示す。ガラス基板２１上にパターニングされ
た透明電極２２を設けた後、第２図（ｂｌに示すように
、スクリーン印刷法を用いて透明電極２２上に直径３０
ミクロンのドツト２Ａをアルカリ溶解タイプの樹脂によ
り形成した。その後、透明電極２２上に電着するとドラ
）２Ａを除いた透明電極２２上にカラーフィルター２３
が形成された。このカラーフィルター基板を３％のＮａ
０Ｈｔｌ液に１分間浸漬するとアルカリ溶解タイプの樹
脂ドラ）２Ａが溶けて、カラーフィルター２３に直径３
０ミクロンの孔２Ｂが形成されたく第２図（Ｃ））。こ
の孔２Ｂは多色液晶表示装置の表示エリア外に設けるこ
とにより、孔２Ｂの径にかかわらず実際上表示欠点とは
ならない。カラーフィルター２３上ＩＴＯは実施例１と
同様にイオンプレーティング法で作製した。Example 2 FIG. 2 (al) shows a cross-sectional view of another embodiment of the multicolor display device according to the present invention. After providing a patterned transparent electrode 22 on a glass substrate 21, FIG. As shown, a diameter of 30 mm is printed on the transparent electrode 22 using the screen printing method.
Micron dots 2A were formed from an alkali-soluble resin. After that, when electrodeposited on the transparent electrode 22, a color filter 23 is placed on the transparent electrode 22 except for 2A.
was formed. This color filter substrate was coated with 3% Na.
When immersed in the 0Htl solution for 1 minute, the alkali-soluble resin drum (2A) is dissolved and the color filter 23 has a diameter of 3 mm.
2(C)). By providing this hole 2B outside the display area of the multicolor liquid crystal display device, it does not actually cause a display defect regardless of the diameter of the hole 2B. ITO on the color filter 23 was produced by the ion plating method in the same manner as in Example 1.
２５は対向ガラス基板でその上に透明電極２６を形成し
た後、基板２１と対向させ、その間隙部に液晶２７を挟
持して多色液晶表示装置を作製したところ、実施例１と
同様の効果が得られた。25 is a facing glass substrate, and after forming a transparent electrode 26 thereon, it was made to face the substrate 21, and a liquid crystal 27 was sandwiched in the gap between them to produce a multicolor liquid crystal display device, and the same effect as in Example 1 was obtained. was gotten.
以上実施例において具体的に説明してきたように、本発
明による多色表示装置の製造方法によれば、イオンプレ
ーティング法によりカラーフィルター上に直接透明電極
が設けられ、かつ有機高分子であるカラーフィルターと
の密着性に優れるという効果を有している。また、カラ
ーフィルターの下ＩＴＯが接続用端子電極として利用で
きるため、シール圧着や外部電極との接続時に加わる熱
ストレスによる欠陥も全くなく、高信鯨でかっ歩留まり
の高い多色表示装置の製造が可能になった。As specifically explained in the embodiments above, according to the method of manufacturing a multicolor display device according to the present invention, a transparent electrode is directly provided on a color filter by an ion plating method, and a color filter made of an organic polymer is provided. It has the effect of excellent adhesion to the filter. In addition, since the ITO under the color filter can be used as a terminal electrode for connection, there are no defects caused by heat stress applied during seal crimping or connection with external electrodes, making it possible to manufacture multicolor display devices with high yields. It's now possible.
さらに、カラーフィルター上のトップコートが不用にな
り、製造コストの面でも有利な製造方法であることから
、本発明は信頼性の高い低廉価な多色表示装置を提供す
るものである。Furthermore, since a top coat on the color filter is not required and the manufacturing method is advantageous in terms of manufacturing cost, the present invention provides a highly reliable and inexpensive multicolor display device.
第１図ｔａ＋は本発明による多色液晶表示装置の実施例
の断面図、第１図（ｂｌは、そのカラーフィルター基板
の平面図、第２図（ａｌは本発明による多色液晶表示装
置の他の実施例を示す断面図、第２図（ｂｌはその透明
電極基板上へドツトの印刷した基板平面図、第２図ｆｃ
）はそのカラーフィルター基板の平面図、第３図はイオ
ンプレーティング装置の断面図、第４図は従来の多色液
晶表示装置の断面図である。
１．５゜
６
３．２３
７、 ２７゜
８、 ２８゜
９、 ２９゜
ＩＡ、２Ｂ・
２Ａ・ ・ ・
３１・ ・ ・
３２・ ・ ・
３３・ ・ ・
３４・ ・ ・
３５・ ・ ・
３６・ ・ ・
３７・ ・ ・
３８・ ・ ・
３９・ ・ ・
４０・ ・ ・
４１・ ・ ・
４２．４３・
２１．２５
２２、 ２４゜
４３ ・ ・
４８ ・ ・
４９ ・ ・
５０ ・ ・
４１、４６・・・・・ガラス基板
２６、４２．４５．４７・・・透明電極・カラーフィル
ター
・液晶
・シール
・外部端子電極
・微細孔
・印刷ドツト
・真空室
・ベルジャ
・排気系
・ガス導入口
・カラーフィルレター４寸ｉｔ反
・基板ホルダー
・蒸発源物質
・ハース
・プラズマビーム発生装置
・不活性ガス導入装置
・プラズマビーム
・磁石
４４・・・・・・・反応性ガス導入装置以上FIG. 1 (ta+) is a sectional view of an embodiment of the multicolor liquid crystal display device according to the present invention, FIG. 1 (bl is a plan view of the color filter substrate thereof, and FIG. A sectional view showing another embodiment, FIG. 2 (bl is a plan view of the substrate with dots printed on the transparent electrode substrate, FIG. 2 fc
) is a plan view of the color filter substrate, FIG. 3 is a sectional view of the ion plating device, and FIG. 4 is a sectional view of a conventional multicolor liquid crystal display device. 1.5゜6 3.23 7, 27゜8, 28゜9, 29゜IA, 2B・ 2A・ ・ ・ 31・ ・ ・ 32・ ・ ・ 33・ ・ ・ 34・ ・ ・ 35・ ・ ・ 36・... ...Glass substrate 26, 42.45.47...Transparent electrode, color filter, liquid crystal, seal, external terminal electrode, fine hole, printed dot, vacuum chamber, bell jar, exhaust system, gas inlet, color filter letter 4-inch IT plate, substrate holder, evaporation source material, hearth, plasma beam generator, inert gas introduction device, plasma beam, magnet 44...Reactive gas introduction device or more
Claims (6)
法において、基板上にパターニングされた透明導電膜を
形成し、該透明電極上に設けられた１色もしくは２色以
上の有機高分子からなるカラーフィルターに微細な孔が
開けられ、該孔を通じて該カラーフィルター上に設けら
れる透明電極と該カラーフィルターの下に設けられた該
透明電極と電気的に導通されているように製作されるこ
とを特徴とする多色表示装置の製造方法。(1) In a method for manufacturing a multicolor display device using a color filter, a patterned transparent conductive film is formed on a substrate, and the organic polymer of one color or two or more colors is provided on the transparent electrode. The color filter is manufactured in such a way that a fine hole is formed in the color filter, and the transparent electrode provided on the color filter is electrically connected to the transparent electrode provided below the color filter through the hole. A method for manufacturing a multicolor display device.
エステル樹脂とメラミン樹脂もしくはアクリル樹脂とメ
ラミン樹脂との硬化物からなることを特徴とする第１項
記載の多色表示装置の製造方法。(2) The method for manufacturing a multicolor display device according to item 1, wherein the polymer used in the color filter is made of a cured product of a polyester resin and a melamine resin or an acrylic resin and a melamine resin.
前記パターニングされた透明電極上に予め設けられたカ
ラーフィルター製作後溶解除去可能な微細なパターンよ
り作られることを特徴とする第１項記載の多色表示装置
の製造方法。(3) The fine holes provided in the color filter are
2. The method of manufacturing a multicolor display device according to claim 1, wherein the patterned transparent electrode is made of a fine pattern that can be dissolved and removed after the color filter is manufactured.
カラーフィルター製作後にカラーフィルターの一部を除
去することにより作られることを特徴とする第１項記載
の多色表示装置の製造方法。(4) The fine holes provided in the color filter are
2. The method of manufacturing a multicolor display device according to claim 1, wherein the multicolor display device is manufactured by removing a portion of the color filter after manufacturing the color filter.
ズマ方式イオンプレーティング法により設けられること
を特徴とする第１項記載の多色表示装置の製造方法。(5) The method for manufacturing a multicolor display device according to item 1, wherein the transparent conductive film on the color filter is provided by a reactive plasma ion plating method.
が、プラズマビーム発生装置とガス分圧の制御を行って
連続的に移動する前記基板表面上に透明導電膜を低温で
形成する方法であることを特徴とする第３項記載の多色
表示装置の製造方法。(6) The reactive plasma ion plating method is a method of forming a transparent conductive film at low temperature on the continuously moving substrate surface using a plasma beam generator and gas partial pressure control. 4. A method for manufacturing a multicolor display device according to item 3.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1341147A JPH0810302B2 (en) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | Method for manufacturing multicolor display device |
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| JP1341147A JPH0810302B2 (en) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | Method for manufacturing multicolor display device |
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| JP1341147A Expired - Fee Related JPH0810302B2 (en) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | Method for manufacturing multicolor display device |
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- 1989-12-28 JP JP1341147A patent/JPH0810302B2/en not_active Expired - Fee Related
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| JPH0810302B2 (en) | 1996-01-31 |
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