JPH0810302B2 - Method for manufacturing multicolor display device - Google Patents
Method for manufacturing multicolor display deviceInfo
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- JPH0810302B2 JPH0810302B2 JP1341147A JP34114789A JPH0810302B2 JP H0810302 B2 JPH0810302 B2 JP H0810302B2 JP 1341147 A JP1341147 A JP 1341147A JP 34114789 A JP34114789 A JP 34114789A JP H0810302 B2 JPH0810302 B2 JP H0810302B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は液晶カラーテレビ、パーソナルコンピュータ
の表示装置、ビデオ表示装置、計測機器の表示パネル等
のあらゆる多色表示装置の製造方法に関するものであ
る。The present invention relates to a method for manufacturing any multicolor display device such as a liquid crystal color television, a display device of a personal computer, a video display device, and a display panel of a measuring instrument. .
本発明は、基板上に形成された透明導電膜パターンに
有機高分子からなる複数のカラーフィルターを形成し、
該カラーフィルター中に微細な孔を設けることでカラー
フィルターを挟む上下の透明電極を電気的に導通させる
ことにより多色表示装置を容易に駆動させることを特徴
とする多色表示装置の製造方法を提供するものである。The present invention forms a plurality of color filters made of an organic polymer on a transparent conductive film pattern formed on a substrate,
A method for manufacturing a multicolor display device, characterized in that a multicolor display device is easily driven by electrically connecting upper and lower transparent electrodes sandwiching the color filter by providing fine holes in the color filter. It is provided.
近年、液晶表示はセル内のカラーフィルターを通る光
を液晶シャッターでON/OFFすることにより多色表示を実
現させる技術が進んできている。カラーフィルター上の
駆動電極はカラーフィルターの製法の如何にかかわら
ず、液晶を駆動させるために透明導電膜が用いられてい
る。In recent years, as for liquid crystal display, a technique for realizing multicolor display by turning on / off light passing through a color filter in a cell with a liquid crystal shutter has been advanced. A transparent conductive film is used for the driving electrode on the color filter to drive the liquid crystal, regardless of the manufacturing method of the color filter.
第４図にカラーフィルター上に透明電極を形成した多
色表示装置の従来技術の例を模式断面図で示した。以下
その製造方法について説明する。FIG. 4 shows a schematic cross-sectional view of an example of the prior art of a multicolor display device in which a transparent electrode is formed on a color filter. The manufacturing method will be described below.
41はガラスよりなる基板で、その上にITO透明電極42
が所定のパターンに形成される。ITO電極上にはカラー
フィルターが電着法により形成される。他のカラーフィ
ルター製法である染色法、印刷法、顔料分散レジストに
よるフォトリソグラフィー法ではこのITO透明電極は通
常必要としない。電着法は、高分子と色素を含む溶液か
ら選択的に電極に電圧を印加することにより、透明電極
上に着色膜を析出させるものである。染色法は、感光性
ゼラチン等の可染性の高分子を塗布し、フォトリソグラ
フィーによってパターンを形成し、それぞれの色を順次
染色していく方法である。41 is a glass substrate on which the ITO transparent electrode 42 is placed.
Are formed in a predetermined pattern. A color filter is formed on the ITO electrode by an electrodeposition method. This ITO transparent electrode is not usually required in other color filter manufacturing methods such as dyeing, printing, and photolithography using a pigment-dispersed resist. In the electrodeposition method, a colored film is deposited on a transparent electrode by selectively applying a voltage to the electrode from a solution containing a polymer and a dye. The dyeing method is a method in which a dyeable polymer such as photosensitive gelatin is applied, a pattern is formed by photolithography, and each color is sequentially dyed.
印刷法は、微細パターンを形成させるための特殊な印
刷技術により多色インキを順次印刷していくものであ
る。The printing method is to sequentially print multicolor inks by a special printing technique for forming a fine pattern.
顔料分散レジストによるフォトリソグラフィー法は染
色法の改良法であり、予め感光性樹脂中に多色の顔料を
それぞれ分散させたものを、ガラス基板上に塗布しフォ
トリソグラフィー法により順次パターニングしていく方
法である。The photolithography method using a pigment-dispersed resist is an improvement of the dyeing method. A method in which multicolor pigments are dispersed in a photosensitive resin in advance, and applied on a glass substrate and then sequentially patterned by the photolithography method. Is.
第４図の44はカラーフィルター上に設ける透明電極45
を安定的にパターニングさせるために必要なトップコー
ト層である。通常トップコートがない場合、カラーフィ
ルター上の透明電極はパターニング工程の種々の熱処理
でクラックや剥離現象が生じ透明電極の形成が不可能に
なる。45はカラーフィルター上の透明電極であり、スパ
ッタリング法で成膜された後、フォトレジストを塗布
し、フォトマスクを正確にカラーフィルターパターンに
アライメントし、光を照射して露光する。次に露出した
ITOをエッチング除去し、フォトレジストを剥離し、カ
ラーフィルター上に透明電極を形成する。このようにカ
ラーフィルターと透明電極45を形成した基板46を相対向
させ、その間隙に液晶49を挟持させて多色表示装置とす
る。44 in FIG. 4 is a transparent electrode 45 provided on the color filter.
Is a top coat layer necessary for stable patterning. Usually, when there is no top coat, the transparent electrode on the color filter is cracked or peeled off by various heat treatments in the patterning process, making it impossible to form the transparent electrode. Reference numeral 45 denotes a transparent electrode on the color filter, which is formed by a sputtering method, and then coated with a photoresist, the photomask is accurately aligned with the color filter pattern, and light is irradiated to expose. Exposed next
The ITO is removed by etching, the photoresist is peeled off, and a transparent electrode is formed on the color filter. In this way, the color filter and the substrate 46 on which the transparent electrode 45 is formed are opposed to each other, and the liquid crystal 49 is sandwiched in the gap to form a multicolor display device.
前述のように、カラーフィルター上透明電極の作製は
従来のスパッタリング法で行うと、カラーフィルターが
有機高分子からなるため、耐熱性が低く成膜時の基板温
度をあまり上げることができず、ガラス等の無機物基板
に成膜する場合に比べ低温プロセスとなってしまい、で
きた膜と基板材との密着性が劣ることになる。その結
果、剥離等の不良を引き起こしやすい。また、密着性を
向上させるために使用している有機高分子であるトップ
コートの耐熱性の限界まで加熱して成膜すると、カラー
フィルターの熱変形及びトップコートとの熱変形量の差
によるストレスが、各膜界面に集中し、透明導電膜にク
ラック等の不良が生じやすいという問題がある。As described above, when the transparent electrode on the color filter is produced by the conventional sputtering method, the color filter is made of an organic polymer, so that the heat resistance is low and the substrate temperature during film formation cannot be raised so much, and the glass is used. As compared with the case of forming a film on an inorganic substrate such as, a low temperature process is performed, and the adhesion between the formed film and the substrate material is deteriorated. As a result, defects such as peeling are likely to occur. In addition, when the film is formed by heating to the heat resistance limit of the top coat, which is an organic polymer used to improve adhesion, stress due to heat deformation of the color filter and the difference in heat deformation from the top coat is caused. However, there is a problem that defects such as cracks are likely to occur in the transparent conductive film due to concentration at each film interface.
また、カラーフィルター上の透明導電膜は、液晶駆動
用電極として使われるが、多色表示装置の外周部での外
部端子との接続の際、カラーフィルターやトップコート
の成膜の分だけ段差が生じて加熱圧着工程時にカラーフ
ィルター上の透明電極が断線を起こす問題が生じた。こ
の問題を避けるためにカラーフィルターやトップコート
を基板外周まで延長させると、前記外部端子との加熱圧
着時に変形し、接続不良が生じるという問題があった。In addition, the transparent conductive film on the color filter is used as an electrode for driving a liquid crystal, but when connecting to an external terminal on the outer peripheral portion of the multicolor display device, a step is formed due to the film formation of the color filter and top coat. As a result, there is a problem that the transparent electrode on the color filter is broken during the thermocompression bonding process. If a color filter or a top coat is extended to the outer periphery of the substrate in order to avoid this problem, there is a problem that the external terminal is deformed at the time of thermocompression bonding and a connection failure occurs.
本発明では、上記のような問題点を解決するために、
以下のような手段を採用した。スパッタリング法により
有機高分子膜上への無機物質である透明電極を成膜する
ことは、基板加熱等の耐熱性の上で限界があり、特に密
着性の良い膜を得るのは困難である。そこで有機高分子
膜への密着性の高い成膜技術を検討した結果、イオンプ
レーティング法による透明電極の成膜が有効であること
を見出した。In the present invention, in order to solve the above problems,
The following means were adopted. Forming a transparent electrode, which is an inorganic substance, on an organic polymer film by a sputtering method has a limit in heat resistance such as substrate heating, and it is difficult to obtain a film having particularly good adhesion. Then, as a result of studying a film forming technique having high adhesion to an organic polymer film, it was found that film formation of a transparent electrode by an ion plating method is effective.
次に、通常使用されているカラーフィルターの上のト
ップコートを省き、カラーフィルター上へ直接イオンプ
レーティング法による透明電極の成膜を行ったところ、
密着性が良好であることが判明した。さらに、透明電極
をパターニングする種々の化学的、熱的処理にも耐え、
良好なパターンが形成されることを確認した。そこで、
カラーフィルター上へ直接透明電極を成膜できることに
なれば、カラーフィルターの下の透明電極との電気的接
続も、種々の方法により可能になると考え、カラーフィ
ルターパターンの一部に微細な孔を開けた後、イオンプ
レーティング法により透明電極を成膜したところ、カラ
ーフィルター上下の電極が導通することが判った。これ
により、カラーフィルター上下の透明電極が、事実上電
気的に接続されたことにより、液晶駆動電極として、カ
ラーフィルターの下の電極が使用可能になった。カラー
フィルターの上の透明電極パターンは第１図に見るよう
に、カラーフィルターと同様に、多色液晶表示装置のセ
ルのシール部内側までにとどめて、カラーフィルターの
下の透明電極を外部まで延ばして、接続用の端子電極と
して用いることが可能になる。Next, when the top coat on the color filter that is usually used is omitted and the transparent electrode is formed directly on the color filter by the ion plating method,
It was found that the adhesion was good. Furthermore, it withstands various chemical and thermal treatments for patterning transparent electrodes,
It was confirmed that a good pattern was formed. Therefore,
If it is possible to form a transparent electrode directly on the color filter, it is possible to make electrical connection with the transparent electrode under the color filter by various methods.Therefore, fine holes are made in a part of the color filter pattern. After that, when a transparent electrode was formed by an ion plating method, it was found that the electrodes above and below the color filter were electrically connected. As a result, since the transparent electrodes above and below the color filter are electrically connected, the electrode below the color filter can be used as a liquid crystal driving electrode. As shown in Fig. 1, the transparent electrode pattern on the color filter is kept inside the sealing part of the cell of the multicolor liquid crystal display device, and the transparent electrode under the color filter is extended to the outside, as with the color filter. Then, it can be used as a terminal electrode for connection.
一般に、有機高分とITOのような無機物では加熱時の
ストレインは大きく異なり、両者の界面での接触状態す
なわち密着性が十分強いものでなければ、加熱工程での
界面のズレが生じ剥離やクラックが生じることになる。
スパッタリングによる透明電極の成膜では、カラーフィ
ルター上に到達する分子の有するエネルギーは比較的小
さく透明電極膜を構成する分子とカラーフィルターと結
合が弱くなり、界面における熱ストレスが発生すると剥
離やクラック等の問題が生じるものと考えられる。In general, the strain during heating is greatly different between organic high content and inorganic substances such as ITO, and if the contact state at the interface between them is not sufficiently strong, that is, if the adhesiveness is not sufficiently strong, there will be gaps in the interface during the heating process and peeling or cracking will occur. Will occur.
In the formation of a transparent electrode by sputtering, the energy that the molecules that reach the color filter has is relatively small, and the bond between the molecules that make up the transparent electrode film and the color filter becomes weak, and if thermal stress occurs at the interface, peeling, cracks, etc. It is thought that the problem of.
一方、イオンプレーティング法による透明電極の成膜
の場合にはカラーフィルター表面へ衝突する分子エネル
ギーが相当高いために、カラーフィルター内に衝突した
分子が深く潜り込み、強い結合力となり密着性が大きく
なるものと考えられる。また、種々の方法によりカラー
フィルターに設けた微細な孔へも、イオンプレーティン
グ法による透明導電膜を構成する分子は入り込み、カラ
ーフィルター上下の透明電極を電極的に完全に一体化し
うるものとなる。On the other hand, in the case of forming a transparent electrode by the ion plating method, the energy of the molecules that collide with the surface of the color filter is so high that the colliding molecules deeply penetrate into the color filter, resulting in a strong bonding force and increased adhesion. It is considered to be a thing. Further, the molecules forming the transparent conductive film by the ion plating method can enter the fine holes provided in the color filter by various methods, and the transparent electrodes above and below the color filter can be completely integrated as an electrode. .
以下、実施例に基づき本発明を詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail based on examples.
実施例−１ 第１図（ａ）は本発明による多色液晶表示装置の断面
図である。１はガラス基板、２はITO電極、ITO電極上に
電着法によりポリエステルメラミン樹脂と色素からなる
膜厚1.5ミクロンのカラーフィルターを形成した。な
お、電着法によるカラーフィルターの製法は、特開昭59
-114572号に詳しく開示されている。Embodiment-1 FIG. 1 (a) is a sectional view of a multicolor liquid crystal display device according to the present invention. 1 is a glass substrate, 2 is an ITO electrode, and a color filter having a film thickness of 1.5 μm and made of a polyester melamine resin and a dye is formed on the ITO electrode by an electrodeposition method. A method for producing a color filter by the electrodeposition method is disclosed in JP-A-59
-114572.
このように形成したカラーフィルター基板を、レーザ
ーリペアー装置により、第１図（ｂ）に見るように、各
カラーフィルターラインに直径10ミクロンの微細な孔を
開けた。この微細孔は１点でも上下導通は十分得られる
が、上下の透明電極間の接続抵抗を十分下げるため３点
以上あけた。こうして形成された微細孔付のカラーフィ
ルター上にイオンプレーティング法による透明電極４を
形成した。第３図は、実施例に用いたイオンプレーティ
ング装置の断面図であり、以下に本装置と実施方法につ
いて詳述する。In the color filter substrate thus formed, a fine hole having a diameter of 10 μm was formed in each color filter line by a laser repair device, as shown in FIG. 1 (b). Even if only one point is provided in this fine hole, vertical conduction is sufficiently obtained, but three or more points are opened in order to sufficiently reduce the connection resistance between the upper and lower transparent electrodes. The transparent electrode 4 was formed by the ion plating method on the color filter with fine holes thus formed. FIG. 3 is a cross-sectional view of the ion plating apparatus used in the example, and the present apparatus and the method for implementing it will be described in detail below.
第３図中真空室31はベルジャ32によって気密に保たれ
ている。この真空室31は真空ポンプによる排気系33によ
って排気する。ベルジャ32はガス導入口34を設けてい
る。透明導電膜形成時には、まずベルジャ32内を排気系
33によって排気して、次いで、ガス導入口34より不活性
ガスを導入して不活性ガス分圧をおよそ10-5〜10-2Torr
程度に調整する。この不活性ガスはアルゴン、ヘリウ
ム、水素などから選択できるが、本実施例ではアルゴン
を7.5×10-4Torrの圧力にした。ベルジャ32の内部に
は、カラーフィルターのついた基板35およびホルダー36
からなる基板系と、膜形成のための酸化スズ５％、酸化
インジウム95％よりなる蒸発源物質37およびハース38と
共に、プラズマビーム発生装置39を設ける。このプラズ
マビーム発生装置には、プラズマ放電のための不活性ガ
ス導入装置40を設けている。The vacuum chamber 31 in FIG. 3 is kept airtight by a bell jar 32. The vacuum chamber 31 is evacuated by an exhaust system 33 including a vacuum pump. The bell jar 32 is provided with a gas inlet 34. When forming the transparent conductive film, first, the inside of the bell jar 32 is exhausted.
The gas is evacuated by 33, and then an inert gas is introduced through the gas inlet 34 so that the partial pressure of the inert gas is approximately 10 -5 to 10 -2 Torr.
Adjust to the degree. The inert gas can be selected from argon, helium, hydrogen, etc., but in this embodiment, the pressure of argon was 7.5 × 10 −4 Torr. Inside the bell jar 32 is a substrate 35 with a color filter and a holder 36.
A plasma beam generator 39 is provided together with a substrate system consisting of, an evaporation source material 37 consisting of 5% tin oxide and 95% indium oxide and a hearth 38 for film formation. This plasma beam generator is provided with an inert gas introducing device 40 for plasma discharge.
アルゴン等の不活性ガスを導入装置40から導入して、
次に電圧を印加してプラズマ放電を生起させ、プラズマ
ビーム41を放射させる。このプラズマビーム41は蒸発源
物質37の蒸発とイオン化励起を行う。プラズマビーム41
の集束化、安定化のために磁石42,43を設けてもよい。
この磁石による磁界により、プラズマビームはより効果
的に集束する。また、ベルジャ32には反応性ガス導入装
置44を設ける。この装置44は反応性ガスをプラズマビー
ム中に供給するようにする。本実施例では反応性ガスと
して酸素を９×10-4Torrの圧力で用いた。Introducing an inert gas such as argon from the introducing device 40,
Next, a voltage is applied to generate plasma discharge, and the plasma beam 41 is emitted. The plasma beam 41 vaporizes the source material 37 and excites it by ionization. Plasma beam 41
Magnets 42 and 43 may be provided for focusing and stabilizing the magnet.
The magnetic field of this magnet causes the plasma beam to focus more effectively. Further, the bell jar 32 is provided with a reactive gas introducing device 44. The device 44 supplies the reactive gas into the plasma beam. In this example, oxygen was used as a reactive gas at a pressure of 9 × 10 −4 Torr.
本実施例ではカラーフィルターのついた基板35を移動
させながら70V,250Vの放電を行い、膜厚2500Å，透過率
38％，表面抵抗13〜17Ω／□の透明導電膜を得た。ま
た、この透明導電膜はカラーフィルターの下ITO2と電気
的に導通を有していた。In this embodiment, 70 V and 250 V discharges are performed while moving the substrate 35 with the color filter, and the film thickness is 2500 Å and the transmittance is
A transparent conductive film with a surface resistance of 38% and a surface resistance of 13 to 17 Ω / □ was obtained. In addition, this transparent conductive film had electrical continuity with ITO2 under the color filter.
第１図（ａ）に戻り多色表示装置の製造方法について
説明する。このように形成されたカラーフィルター上の
透明導電膜をフォトリソグラフィーを用いて所定の形状
にパターニングし透明電極４とした。この透明電極４と
ITO2ともまた電気的導通を有していた。５は対向ガラス
基板で、その上にITO電極６を形成した後、基板１と相
対向させ、その間隙に液晶を挟持して多色液晶表示装置
を構成した。本実施例においてカラーフィルター上のIT
O電極４は密着力に優れており、成膜時の剥離、クラッ
ク等は全くなかった。その後200℃,5時間程度の加熱に
対しても抵抗値の変化もなく、十分な密着性を維持して
いた。Returning to FIG. 1A, a method of manufacturing the multicolor display device will be described. The transparent conductive film on the color filter thus formed was patterned into a predetermined shape by photolithography to form a transparent electrode 4. With this transparent electrode 4
It also had electrical continuity with ITO2. A counter glass substrate 5 has an ITO electrode 6 formed on the counter glass substrate, and is opposed to the substrate 1, and a liquid crystal is sandwiched in the gap to form a multicolor liquid crystal display device. In this embodiment, the IT on the color filter
The O electrode 4 had excellent adhesiveness, and there was no peeling or cracking during film formation. After that, the resistance value did not change even when heated at 200 ° C. for about 5 hours, and sufficient adhesion was maintained.
カラーフィルター上透明電極４は、パターニング時
に、外部接続端子部９まで延長させず、多色液晶表示装
置のシール８までにして、外部接続端子用透明電極はカ
ラーフィルター下ITO2を用いて多色液晶表示装置を作製
し、液晶を駆動させたところ正常に動いた。また、多色
液晶表示装置を60℃,90％RH雰囲気中で1000時間の信頼
性をクリヤーし、正常駆動を接続させた。At the time of patterning, the transparent electrode 4 on the color filter is not extended to the external connection terminal portion 9 but is set to the seal 8 of the multicolor liquid crystal display device, and the transparent electrode for the external connection terminal is a multicolor liquid crystal using ITO2 under the color filter. A display device was manufactured, and when the liquid crystal was driven, it worked normally. In addition, the reliability of the multi-color liquid crystal display device was cleared for 1000 hours in the atmosphere of 60 ° C and 90% RH, and the normal drive was connected.
実施例−２ 第２図（ａ）に本発明による多色表示装置の他の実施
例の断面図を示す。ガラス基板21上にパターニングされ
た透明電極22を設けた後、第２図（ｂ）に示すように、
スクリーン印刷法を用いて透明電極22上に直径30ミクロ
ンのドット2Aをアルカリ溶解タイプの樹脂により形成し
た。その後、透明電極22上に電着するとドット2Aを除い
た透明電極22上にカラーフィルター23が形成された。こ
のカラーフィルター基板を３％のNaOH溶液に１分間浸漬
するとアルカリ溶解タイプの樹脂ドット2Aが溶けて、カ
ラーフィルター23に直径30ミクロンの孔2Bが形成された
（第２図（ｃ））。この孔2Bは多色液晶表示装置の表示
エリア外に設けることにより、孔2Bの径にかかわらず実
際上表示欠点とはならない。カラーフィルター23上ITO
は実施例１と同様にイオンプレーティング法で作製し
た。25は対向ガラス基板でその上に透明電極26を形成し
た後、基板21と対向させ、その間隙部に液晶27を挟持し
て多色液晶表示装置を作製したところ、実施例１と同様
の効果が得られた。Embodiment-2 FIG. 2 (a) is a sectional view of another embodiment of the multicolor display device according to the present invention. After providing the patterned transparent electrode 22 on the glass substrate 21, as shown in FIG. 2 (b),
Dots 2A having a diameter of 30 μm were formed on the transparent electrode 22 by a screen printing method with an alkali-soluble type resin. Then, by electrodeposition on the transparent electrode 22, a color filter 23 was formed on the transparent electrode 22 excluding the dots 2A. When this color filter substrate was dipped in a 3% NaOH solution for 1 minute, the alkali-soluble type resin dots 2A were dissolved, and holes 2B having a diameter of 30 μm were formed in the color filter 23 (FIG. 2 (c)). By providing this hole 2B outside the display area of the multicolor liquid crystal display device, it does not actually cause a display defect regardless of the diameter of the hole 2B. ITO on color filter 23
Was manufactured by the ion plating method as in Example 1. A counter glass substrate 25 has a transparent electrode 26 formed thereon, and then is opposed to the substrate 21, and a liquid crystal 27 is sandwiched in the gap between them to manufacture a multicolor liquid crystal display device. The same effect as in Example 1 is obtained. was gotten.
以上実施例において具体的に説明してきたように、本
発明による多色表示装置の製造方法によれば、イオンプ
レーティング法によりカラーフィルター上に直接透明電
極が設けられ、かつ有機高分子であるカラーフィルター
との密着性に優れるという効果を有している。また、カ
ラーフィルターの下ITOが接続用端子電極として利用で
きるため、シール圧着や外部電極との接続時に加わる熱
ストレスによる欠陥も全くなく、高信頼でかつ歩留まり
の高い多色表示装置の製造が可能になった。さらに、カ
ラーフィルター上のトップコートが不用になり、製造コ
ストの面でも有利な製造方法であることから、本発明は
信頼性の高い低廉価な多色表示装置を提供するものであ
る。As has been specifically described in the above examples, according to the method for manufacturing a multicolor display device according to the present invention, a transparent electrode is directly provided on a color filter by an ion plating method, and a color that is an organic polymer is used. It has the effect of excellent adhesion to the filter. Also, since ITO under the color filter can be used as a connection terminal electrode, there is no defect due to heat stress applied at the time of seal crimping or connection with an external electrode, and it is possible to manufacture a highly reliable multi-color display device with high yield. Became. Further, the present invention provides a highly reliable and inexpensive multi-color display device because the top coat on the color filter is unnecessary and the manufacturing method is advantageous in terms of manufacturing cost.
第１図（ａ）は本発明による多色液晶表示装置の実施例
の断面図、第１図（ｂ）は、そのカラーフィルター基板
の平面図、第２図（ａ）は本発明による多色液晶表示装
置の他の実施例を示す断面図、第２図（ｂ）はその透明
電極基板上へドットの印刷した基板平面図、第２図
（ｃ）はそのカラーフィルター基板の平面図、第３図は
イオンプレーティング装置の断面図、第４図は従来の多
色液晶表示装置の断面図である。 1,5,21,25,41,46……ガラス基板 2,6,22,24,26,42,45,47……透明電極 3,23,43……カラーフィルター 7,27,48……液晶 8,28,49……シール 9,29,50……外部端子電極 1A,2B……微細孔 2A……印刷ドット 31……真空室 32……ベルジャ 33……排気系 34……ガス導入口 35……カラーフィルター付基板 36……基板ホルダー 37……蒸発源物質 38……ハース 39……プラズマビーム発生装置 40……不活性ガス導入装置 41……プラズマビーム 42,43……磁石 44……反応性ガス導入装置1 (a) is a cross-sectional view of an embodiment of a multicolor liquid crystal display device according to the present invention, FIG. 1 (b) is a plan view of its color filter substrate, and FIG. 2 (a) is a multicolor liquid crystal display device according to the present invention. Sectional drawing which shows the other Example of a liquid crystal display device, FIG.2 (b) is the board | substrate top view which printed the dot on the transparent electrode substrate, FIG.2 (c) is the top view of the color filter board | substrate, FIG. 3 is a sectional view of an ion plating device, and FIG. 4 is a sectional view of a conventional multicolor liquid crystal display device. 1,5,21,25,41,46 …… Glass substrate 2,6,22,24,26,42,45,47 …… Transparent electrode 3,23,43 …… Color filter 7,27,48 …… Liquid crystal 8,28,49 …… Seal 9,29,50 …… External terminal electrode 1A, 2B …… Micropore 2A …… Print dot 31 …… Vacuum chamber 32 …… Bellja 33 …… Exhaust system 34 …… Gas introduction Mouth 35 …… Substrate with color filter 36 …… Substrate holder 37 …… Evaporation source material 38 …… Haas 39 …… Plasma beam generator 40 …… Inert gas introduction device 41 …… Plasma beam 42,43 …… Magnet 44 ...... Reactive gas introduction device
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岩佐 浩二 東京都江東区亀戸６丁目31番１号 セイコ ー電子工業株式会社内 (72)発明者 守田 幸信 東京都中央区日本橋小伝馬町２番３号 王 子トービ株式会社内 (72)発明者 野町 ▲てつ▼也 東京都中央区日本橋小伝馬町２番３号 王 子トービ株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Koji Iwasa 6-31-1, Kameido, Koto-ku, Tokyo Seiko Electronics Co., Ltd. (72) Inventor Yukinobu Morita 2-3, Nihombashi Kodenmacho, Chuo-ku, Tokyo Oji Tobi Co., Ltd. (72) Inventor Nomachi ▲ Tetsu ▼ ya 2-3, Nihonbashi Kodenmacho, Chuo-ku, Tokyo Oji Tobi Co., Ltd.
Claims (4)
製造方法において、 基板上にパターニングされた透明導電膜を形成する工程
と、 前記パターニングされた透明電極上にパターニングされ
たレジストを設ける工程と、 該透明電極上に１色もしくは２色以上の有機高分子から
なるカラーフィルターを形成する工程と、 前記カラーフィルターの形成後に、該レジストを溶解除
去して、前記カラーフィルター層に微細な孔を設けて、
該孔を通じて該カラーフィルター上に設けられる透明電
極と該カラーフィルターの下に設けられた該透明電極と
電気的に導通されているように製作されることを特徴と
する多色表示装置の製造方法。1. A method for manufacturing a multi-color display device using a color filter, the step of forming a patterned transparent conductive film on a substrate, and the step of providing a patterned resist on the patterned transparent electrode. Forming a color filter composed of an organic polymer of one or more colors on the transparent electrode, and dissolving the resist after forming the color filter to form fine holes in the color filter layer. Provided,
A method for manufacturing a multicolor display device, characterized in that the transparent electrode provided on the color filter and the transparent electrode provided under the color filter are electrically connected to each other through the hole. .
製造方法において、 基板上にパターニングされた透明導電膜を形成する工程
と、 該透明電極上に１色もしくは２色以上の有機高分子から
なるカラーフィルターを形成する工程と、 前記カラーフィルターの形成後に、カラーフィルター層
の一部をエッチングもしくは蒸発することにより前記カ
ラーフィルター層に微細な孔を設けて、該孔を通じて該
カラーフィルター上に設けられる透明電極と該カラーフ
ィルターの下に設けられた該透明電極と電気的に導通さ
れているように製作されることを特徴とする多色表示装
置の製造方法。2. A method of manufacturing a multi-color display device using a color filter, the step of forming a patterned transparent conductive film on a substrate, and the organic polymer of one color or two or more colors on the transparent electrode. A step of forming a color filter comprising: forming a fine hole in the color filter layer by etching or evaporating a part of the color filter layer after the formation of the color filter; and forming a fine hole on the color filter through the hole. A method for manufacturing a multicolor display device, characterized in that the transparent electrode and the transparent electrode provided below the color filter are electrically connected to each other.
がポリエステル樹脂とメラミン樹脂もしくはアクリル樹
脂とメラミン樹脂との硬化物からなることを特徴とする
第１項または第２項記載の多色表示装置の製造方法。3. The multicolor display device according to claim 1 or 2, wherein the polymer used for the color filter is a cured product of a polyester resin and a melamine resin or an acrylic resin and a melamine resin. Production method.
性プラズマ方式イオンプレーティング法により設けられ
ることを特徴とする第１項または第２項記載の多色表示
装置の製造方法。4. The method of manufacturing a multicolor display device according to claim 1, wherein the transparent conductive film on the color filter is provided by a reactive plasma type ion plating method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1341147A JPH0810302B2 (en) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | Method for manufacturing multicolor display device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1341147A JPH0810302B2 (en) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | Method for manufacturing multicolor display device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03200222A JPH03200222A (en) | 1991-09-02 |
| JPH0810302B2 true JPH0810302B2 (en) | 1996-01-31 |
Family
ID=18343693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1341147A Expired - Fee Related JPH0810302B2 (en) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | Method for manufacturing multicolor display device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0810302B2 (en) |
-
1989
- 1989-12-28 JP JP1341147A patent/JPH0810302B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03200222A (en) | 1991-09-02 |
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