JPH03200226A - Production of multicolor display device - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、液晶カラーテレビ、パーソナルコンピュータ
の表示装置、ビデオ表示装置、計測機器の表示パネル等
あらゆる多色表示装置の製造方法に関するものである。[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to a method for manufacturing all kinds of multicolor display devices such as liquid crystal color televisions, display devices for personal computers, video display devices, and display panels for measuring instruments. .
本発明は、基板上に形成された透明導電膜パターンに高
分子からなる複数のカラーフィルターを形成した後に、
カラーフィルター上に再び透明導電膜をイオンプレーテ
ィング法により形成し、上下の透明導電膜を電気的に導
通させることにより多色表示装置の駆動を容易にさせる
と同時に品質向上を実現することを特徴とする多色表示
装置の製造方法を提供する。In the present invention, after forming a plurality of color filters made of polymer on a transparent conductive film pattern formed on a substrate,
A transparent conductive film is again formed on the color filter using the ion plating method, making the upper and lower transparent conductive films electrically conductive, making it easier to drive a multicolor display device and improving quality at the same time. A method for manufacturing a multicolor display device is provided.
近年、液晶表示はセル内のカラーフィルターを通る光を
液晶シャッターで０Ｎ１０ＦＦすることにより多色表示
を実現させる技術が進んできている。カラーフィルター
上の駆動電極はカラーフィルターの製法の如何にかかわ
らず、液晶を駆動させるために透明導電膜が用いられて
いる。In recent years, advances have been made in liquid crystal display technology to realize multicolor display by using a liquid crystal shutter to perform 0N10FF on light passing through a color filter within a cell. Regardless of the manufacturing method of the color filter, a transparent conductive film is used as the drive electrode on the color filter to drive the liquid crystal.
第４図にカラーフィルター上に透明電極を形成した多色
表示装置の従来技術の例を模式断面図で示した。以下そ
の製造方法について説明する。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of a conventional example of a multicolor display device in which transparent electrodes are formed on color filters. The manufacturing method will be explained below.
４１はガラスよりなる基板でその上にＩＴＯ透明電極４
２が所定のパターンに形成される。ＩＴＯ電極上にはカ
ラーフィルターが電着法により形成される。他のカラー
フィルター製法である染色法。41 is a substrate made of glass with an ITO transparent electrode 4 on it.
2 are formed in a predetermined pattern. A color filter is formed on the ITO electrode by electrodeposition. Dyeing method is another color filter manufacturing method.
印刷法、＃Ｒ料分散レジストによるフォトリソグラフィ
法ではこのＩＴＯｉ！ｌ明電橿は通常必要としない、電
着法は高分子と色素を含む溶液から選択的に電極に電圧
を印加することにより、透明電極上に着色膜を析出させ
るものである。In printing method and photolithography method using #R material dispersed resist, this ITOi! Electrodeposition method, which does not normally require a coloring film, deposits a colored film on a transparent electrode by selectively applying a voltage to the electrode from a solution containing a polymer and a dye.
染色法は、感光性ゼラチン等の可染性の高分子を塗布し
、フォトリソグラフィによってパターンを形成し、それ
ぞれの色を順次染色していく方法である。The dyeing method is a method in which a dyeable polymer such as photosensitive gelatin is applied, a pattern is formed by photolithography, and each color is sequentially dyed.
印刷法は微細パターンを形成させるための特殊な印刷技
術により多色インキを順次印刷していくものである。The printing method uses a special printing technique to sequentially print multicolor ink to form fine patterns.
顔料分散レジストによるフォトリングラフィ法は、染色
法の改良法であり、予め感光性樹脂中に多色の顔料をそ
れぞれ分散させたものをガラス基板上に塗布しフォトリ
ソグラフィ法により順次パターニングしていく方法であ
る。The photolithography method using a pigment-dispersed resist is an improved method of the dyeing method, in which multicolored pigments are dispersed in a photosensitive resin beforehand and applied onto a glass substrate and sequentially patterned using the photolithography method. It's a method.
第４図において４４はカラーフィルター上に設ける透明
電極４５を安定的にパターニングさせるために必要なト
ップコート層である０通常トップコートがない場合、カ
ラーフィルター上の透明電極はパターニング工程の種々
の熱処理でクランクや剥離現象が生じ透明電極の形成が
不可能になる。In FIG. 4, 44 is a top coat layer necessary for stably patterning the transparent electrode 45 provided on the color filter. 0 Normally, when there is no top coat, the transparent electrode on the color filter is subjected to various heat treatments in the patterning process. This causes cranking and peeling phenomena, making it impossible to form transparent electrodes.
４５はカラーフィルター上の透明電極であり、スパッタ
リング法で製膜された後フォトレジストを塗布し、フォ
トマスクを正確にカラーフィルターパターンにアライメ
ントし、光を照射して露光する０次に露出したＩＴＯを
エツチング除去し、フォトレジストを剥離し、カラーフ
ィルター上に透明電極を形成する。45 is a transparent electrode on the color filter, and after forming a film by sputtering method, apply photoresist, accurately align the photomask to the color filter pattern, and expose the zero-order ITO by irradiating it with light. The photoresist is removed by etching, and a transparent electrode is formed on the color filter.
このようにカラーフィルターと透明電極４５を形成した
基板４１を透明電極４５をつけた基板４６と相対向させ
、その間に液晶４９を挟持させて多色表示装置とする。The substrate 41 on which the color filters and transparent electrodes 45 are formed in this manner is opposed to the substrate 46 on which the transparent electrodes 45 are attached, and a liquid crystal 49 is sandwiched therebetween to obtain a multicolor display device.
前述のようにカラーフィルター上透明電極の作製を従来
のスパッタリング法で行うと、カラーフィルターが有機
高分子からなるため、耐熱性が低く成膜時の基板温度を
あまり上げることができず、ガラス等の無機物基板に成
膜する゛場合に比べ低温プロセスとなってしまい、でき
た膜と基板材との密着性が劣ることになる。その結果、
剥離等の不良を引き起こしやすい、また、密着性を向上
させるために使用しているを機高分子であるトップコー
トの耐熱性の限界まで加熱して成膜すると、カラーフィ
ルターの熱変形及びトップコートとの熱変形量の差によ
るストレスが各膜厚部に集中し、透明導電膜゛にクラッ
ク等の不良が生じやすいという問題がある。As mentioned above, if the transparent electrode on the color filter is fabricated using the conventional sputtering method, the color filter is made of an organic polymer, which has low heat resistance and cannot raise the substrate temperature during film formation. Compared to the case of forming a film on an inorganic substrate, the process is at a lower temperature, and the adhesion between the formed film and the substrate material is inferior. the result,
It is easy to cause defects such as peeling, and if the film is formed by heating the top coat, which is a polymer used to improve adhesion, to the limit of its heat resistance, the color filter may be thermally deformed and the top coat may be formed. There is a problem in that stress due to the difference in the amount of thermal deformation between the transparent conductive film and the transparent conductive film is concentrated in each thick portion, and defects such as cracks are likely to occur in the transparent conductive film.
また、カラーフィルター上の透明導電膜は、液晶駆動用
電極として使われるが、多色表示装置の外周部での外部
端子との接続の際、カラーフィルターやトップコートの
膜厚の分だけ段差が生じて加熱圧着工程時にカラーフィ
ルター上の透明電極が断線を起こす問題が生じた。この
問題を避けるためにカラーフィルターやトップコートを
基板外周まで延長させると、前記外部端子との加熱圧着
時に変形し、接続不良が生じるという問題があった。In addition, the transparent conductive film on the color filter is used as an electrode for driving the liquid crystal, but when connecting to external terminals at the outer periphery of a multicolor display device, there is a difference in level due to the film thickness of the color filter and top coat. This caused a problem in which the transparent electrode on the color filter broke during the heat-press bonding process. In order to avoid this problem, if the color filter or top coat is extended to the outer periphery of the substrate, there is a problem that the color filter or top coat is deformed during heat-pressing bonding with the external terminal, resulting in poor connection.
（課題を解決するための手段〕
本発明では上記のような問題点を解決するために次のよ
うに考え検討した。有機高分子膜上に無機物質である透
明電極を成膜することはスパッタリング法では種々の限
界があり、密着性を向上させる上で他の成膜技術を採用
する必要があると考えた。その結果、イオンプレーティ
ング法により成膜した透明電極が有機高分子からなるカ
ラーフィルターやトップコートに高い密着性があること
を見出した。さらに、通常カラーフィルター上に直接透
明電極の成膜は出来難いとされているが、イオンプレー
ティング法を採用することにより、トップコートなしで
直接カラーフィルター上に透明電極を成膜できることも
わかった。しかも、電着法によるカラーフィルターを用
いることで、カラーフィルターの下層にある透明電極と
の電気的導通が得られることを見出した。(Means for Solving the Problems) In the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, the following ideas and studies have been carried out.It is possible to form a transparent electrode made of an inorganic substance on an organic polymer film by sputtering. There are various limitations in this method, and we considered it necessary to adopt other film-forming techniques to improve adhesion.As a result, we found that the transparent electrode formed by the ion plating method has a color that is made of organic polymer. We found that it has high adhesion to filters and top coats.Furthermore, it is usually difficult to form a transparent electrode film directly on a color filter, but by using the ion plating method, it is possible to form a transparent electrode film without a top coat. It was also found that it was possible to form a transparent electrode directly on a color filter using the method.Moreover, by using a color filter formed by electrodeposition, it was discovered that electrical continuity could be obtained with the transparent electrode located below the color filter.
また、カラーフィルター基板の外周部におけるシールや
外部接Ｖｔ＠子接続時の加熱圧着によるカラーフィルタ
ー上透明電極の断線回避は、接続部より内側で上下の透
明電極をつなげることにより可能であることもわかった
。In addition, it is possible to avoid disconnection of the transparent electrode on the color filter due to sealing on the outer periphery of the color filter substrate or heat pressure bonding during external connection of Vt@, by connecting the upper and lower transparent electrodes inside the connection part. Understood.
一般に、有機高分子とＩＴＯのような無機物では加熱時
のストレインは大きく異なり、両者の界面での接触状態
すなわち密着性が十分強いものでなければ、加熱工程で
の界面のズレが生じ剥離やクラックが生じることになる
。スパッタリングによる透明電極の成膜では、カラーフ
ィルター上に到達する分子の有するエネルギーは比較的
小さく、透明電極膜を構成する分子とカラーフィルター
との結合が弱くなり、界面における熱ストレスが発生す
ると剥離やクランク等の問題が生じるものと考えられる
。In general, organic polymers and inorganic materials such as ITO have very different strains during heating, and unless the contact state or adhesion at the interface between the two is sufficiently strong, the interface may shift during the heating process, resulting in peeling or cracking. will occur. When forming a transparent electrode film by sputtering, the energy of the molecules that reach the color filter is relatively small, which weakens the bond between the molecules that make up the transparent electrode film and the color filter, and when thermal stress occurs at the interface, peeling occurs. It is thought that problems with the crank etc. will occur.
一方、イオンプレーティング法による透明電極の成膜の
場合にはカラーフィルター表面へ衝突する分子エネルギ
ーが相当高いために、カラーフィルター内に衝突した分
子が深くもぐり込み、強い結合力となり密着性が大きく
なるものと考えられる。しかも、電着カラーフィルター
の場合は、カラーフィルター内部に無数の微細な孔がお
いている状態であり、このポーラスなカラーフィルター
にイオンプレーティング法による透明電極の高いエネル
ギーを有する分子が衝突すると、無数の孔の部分でカラ
ーフィルターの下層の透明電極まで貫通するものまで現
れ、上下の透明電極が電気的に導通することになる。On the other hand, when transparent electrodes are formed using the ion plating method, the molecular energy that collides with the color filter surface is quite high, so the molecules that collide with each other penetrate deeply into the color filter, creating a strong bonding force and increasing the adhesion. This is considered to be the case. Moreover, in the case of electrodeposited color filters, there are countless fine pores inside the color filter, and when molecules with high energy from the transparent electrode formed by ion plating collide with this porous color filter, There are countless holes that even penetrate to the transparent electrodes in the lower layer of the color filter, making the upper and lower transparent electrodes electrically conductive.
よって、上下導通の得られた２つの透明電極は事実上カ
ラーフィルターを挟んで一本の電極として見ることがで
きる。このようにして得られた透明電極であれば、液晶
を駆動させるためにどちらの電極を用いても良いことに
なり、外部との接続のために有利なカラーフィルターよ
り下にある透明電極を用いれば良いわけである。さらに
、上下の透明重下の電極を確実にするために、外部接続
端子部より内側でカラーフィルターを打ちきり、端子部
より内側でカラーフィルター上透明電極をカラーフィル
ター下透明電極に接続させるように成膜すればよい。Therefore, the two transparent electrodes with vertical conduction can be seen as one electrode with the color filter in between. With the transparent electrode obtained in this way, either electrode can be used to drive the liquid crystal, and the transparent electrode below the color filter, which is advantageous for connection with the outside, can be used. That's fine. Furthermore, in order to ensure that the upper and lower transparent electrodes overlap, the color filter is cut off inside the external connection terminal section, and the upper transparent electrode of the color filter is connected to the lower transparent electrode of the color filter inside the terminal section. Just use a membrane.
以下、実施例に基づき本発明を説明する。 The present invention will be explained below based on Examples.
〔実施例１〕
第１図は本発明による多色液晶表示装置の断面図である
。１はガラス基板、２はＩＴＯ電極、ＩＴ０１ｉ極上に
電着法によりポリエステル−メラミン樹脂と色素からな
る膜厚１．２ ミクロンのカラーフィルター３を形成し
た。なお、電着法によるカラーフィルターの製法は特開
昭５９−１１４５７２に詳しく開示されている。４はＴ
ＴＯからなる第２の電極であり、以下の方法により形成
した。[Example 1] FIG. 1 is a sectional view of a multicolor liquid crystal display device according to the present invention. 1 is a glass substrate, 2 is an ITO electrode, and a color filter 3 having a thickness of 1.2 microns made of a polyester-melamine resin and a dye was formed on the IT01i electrode by electrodeposition. The method for producing color filters by electrodeposition is disclosed in detail in JP-A-59-114572. 4 is T
The second electrode was made of TO and was formed by the following method.
第３図は実施例に用いたイオンプレーティング装置の断
面図である０図中、真空室３１はベルジャ３２によって
気密に保たれている。この真空室３１は真空ポンプによ
る排気系３３によって排気する。ベルジャ３２はガス導
入口３４を設けている。FIG. 3 is a sectional view of the ion plating apparatus used in the example. In FIG. 3, the vacuum chamber 31 is kept airtight by a bell jar 32. This vacuum chamber 31 is evacuated by an exhaust system 33 using a vacuum pump. The bell jar 32 is provided with a gas inlet 34.
透明導電膜形成時には、まずベルジャ３２内を排気系３
３によって排気して、次いで、ガス導入口３４より不活
性ガスを導入して不活性ガス分圧をおよそ１０４〜１０
″”Ｔｏｒｒ程度に調整する。この不活性ガスはアルゴ
ン、ヘリウム、水素などから選択できるが、本実施例で
はアルゴンを７．５ ｘ １０”’Ｔｏｒｒの圧力にし
た。When forming a transparent conductive film, first exhaust the inside of the bell jar 32 with the exhaust system 3.
3, and then introduce inert gas from the gas inlet 34 to bring the partial pressure of the inert gas to approximately 104 to 10
Adjust to about ``'' Torr. This inert gas can be selected from argon, helium, hydrogen, etc. In this example, argon was used at a pressure of 7.5 x 10'' Torr.
ベルジャ３２の内部には、カラーフィルターのついた基
板３５及びホルダー３６からなる基板系と、膜形成のた
めの酸化錫５％、酸化インジウム９５％よりなる蒸発源
物質３７およびハース３８と共に、プラズマビーム発生
装置３９を設ける。このプラズマビーム発生装置には、
プラズマ放電のための不活性ガス導入装置４０を設けて
いる。Inside the bell jar 32, there is a substrate system consisting of a substrate 35 with a color filter and a holder 36, an evaporation source material 37 made of 5% tin oxide and 95% indium oxide for film formation, and a hearth 38, as well as a plasma beam. A generator 39 is provided. This plasma beam generator has
An inert gas introduction device 40 for plasma discharge is provided.
アルゴン等の不活性ガスを導入装置４０から導入して、
次に電圧を印加してプラズマ放電を生起させ、プラズマ
ビーム４１を放射させる。このプラズマビーム４１は蒸
発源物’ｆｆ３７の蒸発とイオン化励起を行う。プラズ
マビーム４１の集束化、安定化のために磁石４２．４３
を設けてもよい。この磁石による磁界により、プラズマ
ビームはより効果的に集束する。また、ベルジャ３２に
は反応性ガス導入装置４４を設ける。この装置４４は反
応性ガスをプラズマビーム中に供給するようにする。本
実施例では反応性ガスとして酸素を９ Ｘ １０− ’
Ｔｏｒｒの圧力で用いた。An inert gas such as argon is introduced from the introduction device 40,
Next, a voltage is applied to generate a plasma discharge, and a plasma beam 41 is emitted. This plasma beam 41 evaporates and ionizes and excites the evaporation source 'ff37. Magnets 42 and 43 are used to focus and stabilize the plasma beam 41.
may be provided. The magnetic field produced by this magnet focuses the plasma beam more effectively. Further, the bell jar 32 is provided with a reactive gas introducing device 44 . This device 44 supplies reactive gases into the plasma beam. In this example, oxygen was used as the reactive gas at 9 x 10-'
A pressure of Torr was used.
本実施例ではカラーフィルターのついた基板３５を移動
させながら７０Ｖ、 ２５０ Ｖの放電を行い、膜厚２
５００人、透過率８３％、表面抵抗１３〜１７Ω／口の
透明導電膜を得た。また、この透明導電膜はカラーフィ
ルターの下ＩＴＯ２と電気的に導入を有していた。In this example, while moving the substrate 35 with the color filter attached, discharges of 70 V and 250 V are performed, and the film thickness is 2.
500 people, a transparent conductive film with a transmittance of 83% and a surface resistance of 13 to 17 Ω/mouth was obtained. Moreover, this transparent conductive film had an electrical connection with ITO2 under the color filter.
第１図に戻り多色表示装置の製造方法について説明する
。このように形成されたカラーフィルター上の透明導電
膜をフォトリソグラフィを用いて所定の形状にバターニ
ングし透明電極４とした。Returning to FIG. 1, the method for manufacturing the multicolor display device will be described. The transparent conductive film on the color filter thus formed was patterned into a predetermined shape using photolithography to form a transparent electrode 4.
この透明電極４とＩＴＯ２ともまた電気的導通を有して
いた。This transparent electrode 4 and ITO2 also had electrical continuity.
５は対向ガラス基板でその上にＩＴＯ電極６を形成した
後、基板１と相対向させその間隙に液晶を挟持して多色
液晶表示装置を構成した。本実施例においてカラーフィ
ルター上のＩＴＯ電極４は密着力に優れており、成膜時
の剥離、クランク等は全くなかった。その後２００℃、
５時間程度の加熱に対しても抵抗値の変化もなく、十分
な密着性を維持していた。Reference numeral 5 denotes a counter glass substrate, on which an ITO electrode 6 was formed, which was then placed opposite to substrate 1, with liquid crystal sandwiched between the two to form a multicolor liquid crystal display device. In this example, the ITO electrode 4 on the color filter had excellent adhesion, and there was no peeling or cranking during film formation. Then 200℃,
There was no change in resistance value even after heating for about 5 hours, and sufficient adhesion was maintained.
カラーフィルター上透明電極４は、パターニング時に外
部接続端子部９まで延長させず、多色液晶表示装置のシ
ール８までにして、外部接続端子用透明電極はカラーフ
ィルター下ＩＴＯ２を用いた多色液晶表示装置を作製し
、液晶を駆動させたところ正常に動いた。The transparent electrode 4 on the color filter is not extended to the external connection terminal part 9 during patterning, but is extended to the seal 8 of the multicolor liquid crystal display device, and the transparent electrode for the external connection terminal is used for the multicolor liquid crystal display using ITO2 under the color filter. When we created the device and drove the liquid crystal, it worked normally.
〔実施例２〕
第２図に本発明による多色表示装置の他の実施例の断面
図を示す。２１はガラス基板、２２はＩＴＯ透明電極、
透明電極上に電着によるアクリル−メラミン樹脂と色素
からなるカラーフィルター２３を形成した。カラーフィ
ルターの膜厚は２．０ ミクロンと実施例１よりも厚く
した。カラーフィルター上ＩＴＯ２４はカラーフィルタ
ー下ＩＴＯと外周部で接続させ、上下導通を確実にさせ
た。[Embodiment 2] FIG. 2 shows a sectional view of another embodiment of the multicolor display device according to the present invention. 21 is a glass substrate, 22 is an ITO transparent electrode,
A color filter 23 made of acrylic-melamine resin and pigment was formed on the transparent electrode by electrodeposition. The film thickness of the color filter was 2.0 microns, which was thicker than in Example 1. The upper color filter ITO 24 was connected to the lower color filter ITO at the outer periphery to ensure vertical continuity.
カラーフィルター上ＩＴＯは実施例１と同様にイオンプ
レーティング法で作製した。２５は対向ガラス基板でそ
の上に透明型８ｉ２６を形成した後、基板２１と相対向
させてその間隙部に液晶を挟持して多色液晶表示装置を
作製したところ、実施例１と同様な効果が得られた。ITO on a color filter was produced by the ion plating method in the same manner as in Example 1. 25 is a facing glass substrate, and after forming a transparent mold 8i 26 on it, it was made to face the substrate 21 and a liquid crystal was sandwiched in the gap between them to produce a multicolor liquid crystal display device, and the same effect as in Example 1 was obtained. was gotten.
以上実施例において具体的に説明してきたように、本発
明による多色表示装置の製造方法によれば、イオンプレ
ーティング法によりカラーフィルター上に直接透明電橋
が設けられ、かつ有機高分子であるカラーフィルターと
の密着性に優れるという効果を有している。また、カラ
ーフィルターの下ＩＴＯが接続用端子電極として利用で
きるため、シール圧着や外部電極との接続時に加わる熱
ストレスによる欠陥も全くなく、高信頼でかつ歩留まり
の高い多色表示装置の製造が可能になった。As specifically explained in the examples above, according to the method for manufacturing a multicolor display device according to the present invention, a transparent electric bridge is directly provided on a color filter by an ion plating method, and an organic polymer is used. It has the effect of excellent adhesion to color filters. In addition, since the ITO under the color filter can be used as a terminal electrode for connection, there are no defects caused by heat stress applied during seal crimping or connection with external electrodes, making it possible to manufacture highly reliable and high-yield multicolor display devices. Became.
さらに、カラーフィルター上のトップコートが不用にな
り、製造コストの面でも有利な製造方法であることから
、本発明は信鯨性の高い低廉価な多色表示装置を提供し
うるちのである。Furthermore, since the top coat on the color filter is not required and the manufacturing method is advantageous in terms of manufacturing cost, the present invention can provide a highly reliable and inexpensive multicolor display device.
第１図は本発明による多色液晶表示装置の実施例の断面
図、第２図は本発明による多色液晶表示装置の他の実施
例を示す断面図、第３図はイオンプレーティング装置の
断面図、第４図は従来の多色液晶表示装置の実施例の断
面図である。
１、 ５．２１．２５．４１．４６・・・ガラス基板２
． ４． ６．２２．２４．２６．４５．４７・・・透
明電極３、２３．４３・・・・カラーフィルター？、
２７．４９・・・・液晶
８、２８．４８・・・・シール
９．２９・・・・・・外部端子部
３１・・・・・・・・真空室
３２・・・・・・・・ベルジャ
３３・・・・・・・・排気系
３４・・・・・・・・ガス導入口
３５・・・・・・・・カラーフィルター付基板３６・・
・・・・・・基板ホルダー
３７・・・・・・・・蒸発源物質
３８・・・・・・・・ハース
３９・・・・・・・・プラズマビーム発生装置４０・・
・・・・・・不活性ガス導入装置４１・・・・・・・・
プラズマビーム
４２、４３・・・・・・磁石
４４・・・・・・・・反応性ガス導入装置以上
本発明１・よろ汐芭清７Ｅ！、表示」ダ置ｎｇ乍面図第
１図
尖別引ダ１の断面図
２FIG. 1 is a sectional view of an embodiment of a multicolor liquid crystal display device according to the present invention, FIG. 2 is a sectional view showing another embodiment of a multicolor liquid crystal display device according to the present invention, and FIG. 3 is a sectional view of an ion plating device. 4 is a cross-sectional view of an embodiment of a conventional multicolor liquid crystal display device. 1, 5.21.25.41.46...Glass substrate 2
．． 4. 6.22.24.26.45.47...Transparent electrode 3, 23.43...Color filter? ,
27.49...Liquid crystal 8, 28.48...Seal 9.29...External terminal section 31...Vacuum chamber 32... Bell jar 33... Exhaust system 34... Gas inlet 35... Substrate with color filter 36...
...... Substrate holder 37 ... Evaporation source material 38 ... Hearth 39 ... Plasma beam generator 40 ...
...Inert gas introduction device 41...
Plasma beams 42, 43... Magnet 44... Reactive gas introduction device Above Invention 1: Yoro Shio Basei 7E! Figure 1 Cross-sectional view of tipped puller 1 2
Claims (4)
法において、基板上にパターニングされた透明導電膜を
形成し、該透明導電膜上に一色もしくは二色以上の高分
子からなるカラーフィルターを形成した後に、該カラー
フィルター上に再び透明導電膜を形成させ、該カラーフ
ィルターを挟む上下の透明導電膜を導通させることを特
徴とする多色表示装置の製造方法。(1) In a method for manufacturing a multicolor display device using a color filter, a patterned transparent conductive film is formed on a substrate, and a color filter made of a polymer of one color or two or more colors is formed on the transparent conductive film. After that, a transparent conductive film is again formed on the color filter, and the upper and lower transparent conductive films sandwiching the color filter are electrically connected to each other.
エステル樹脂とメラミン樹脂もしくはアクリル樹脂とメ
ラミン樹脂との硬化物からなることを特徴とする第１項
記載の多色表示装置の製造方法。(2) The method for manufacturing a multicolor display device according to item 1, wherein the polymer used in the color filter is made of a cured product of a polyester resin and a melamine resin or an acrylic resin and a melamine resin.
ズマ方式イオンプレーティング法により設けられること
を特徴とする第１項記載の多色表示装置の製造方法。(3) The method for manufacturing a multicolor display device according to item 1, wherein the transparent conductive film on the color filter is provided by a reactive plasma ion plating method.
がプラズマビーム発生装置とガス分圧の制御を行って連
続的に移動する前記基板表面上に透明導電膜を低温で形
成する方法であることを特徴とする第３項記載の多色表
示装置の製造方法。(4) The reactive plasma ion plating method is characterized in that a transparent conductive film is formed at a low temperature on the continuously moving substrate surface using a plasma beam generator and gas partial pressure control. 4. A method for manufacturing a multicolor display device according to claim 3.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1341146A JPH0810301B2 (en) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | Method for manufacturing multicolor display device |
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| JP1341146A JPH0810301B2 (en) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | Method for manufacturing multicolor display device |
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| JPH03200226A true JPH03200226A (en) | 1991-09-02 |
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