JPH0251982B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、蒸発源又はスパツタリング源に対向
して設けられたクーリングローラ面上にフイルム
を連続して走行させ、フイルム面に蒸着又はスパ
ツタリング物質をコーテイングさせたフイルムを
巻取つて行くようにした巻取式真空蒸着又はスパ
ツタリング装置に関し、特に該装置に用いられる
フイルム走行用ローラ装置に関する。

（従来の技術） 従来の巻取式真空蒸着又はスパツタリング装置
においては、第２図に示すように、蒸発源又はス
パツタリング源１に対向して、フイルムを冷却し
ながら送るようにしたクーリングローラ（冷却ド
ラム）２が設けられており、巻出し（巻戻し）ロ
ーラ３から送られて来たフイルム４を、上記クー
リングローラ２の周面上を該ローラ２と同一速度
で進行させ、該フイルム４をローラ２と密着状態
で冷却しながら蒸着又はスパツタリング物質をコ
ーテイングし、巻取りローラ５によつて巻取るよ
うに構成されている。

上記のようにフイルム面を冷却するのは、コー
テイングされるフイルムは蒸発源からの熱輻射及
び蒸発物質の凝縮潜熱を受けて温度上昇し、これ
に伴つてフイルムから内蔵ガスが放出され蒸着面
の付着力が減少し、又はフイルムを変質、変形さ
せることを防ぐためである。

従来、クーリングローラとフイルムとの密着力
は、適当な制動力を与えられた巻出しローラ３の
フイルムを、巻取りローラ５によつて巻取り張力
を与えながら巻取ることによつて生じさせてお
り、また、該フイルム４とクーリングローラ２と
の密着力を向上させるために、巻出しローラ３及
び巻取りローラ５とクーリングローラ２との間に
それぞれ図示しないダンサーローラ（テンシヨン
ローラ）を設けて、フイルムに適当な張力を与え
るようにしたものもあつた。

（発明が解決しようとする問題点） 上記した従来の巻取式真空蒸着又はスパリング
装置にあつては、フイルムの種類等によつてクー
リングローラとフイルム面との密着状態が完全に
行われず、そのため、フイルム面の冷却作用が充
分に行われず、フイルムが受ける熱影響等によつ
て、皺やコーテイングムラ等の種々の問題が発生
した。

また、巻取りローラの巻取り力を強めるなどし
て巻取り張力を高め、フイルムとクーリングロー
ラとの密着力を向上させるようにしたものは、巻
取つた原反硬度がかなり高くなり、ブロツキング
という現象が起こるという問題点もあつた。

本発明は、上記の各問題点を解決することを技
術的課題としている。

（問題点を解決するための手段） 本発明は、上記した従来技術の問題点を解決す
るために巻取式真空蒸着又はスパツタリング装置
におけるクーリングローラのフイルム送入側と同
送出側の少くとも何れか一方の側に、サブローラ
を設け、該サブローラの周速度を可変にすると共
に、該サブローラを可変温度に冷却するようにし
たことを特徴としている。

（作用） 本発明は上記のように構成されているので、ク
ーリングローラの両側にサブローラを設けた場
合、フイルム送出側のサブローラの周速度を同送
入側のサブローラの周速度より大きくし且つそれ
らの速度差を制御することにより、また、クーリ
ングローラの片側にのみサブローラを設けた場
合、クーリングローラ近傍のフイルムに張力を与
えるように該サブローラの周速度を制御すること
により、クーリングローラとフイルムとの密着力
が大きくなり、コーテイング時のフイルムの張力
が変化され、フイルムとクーリングローラとの密
着力が制御される。

また上記サブローラを温度可変に冷却するよう
にしてあるので、上記の作用の外、フイルムの温
度も制御される。

このようにして、フイルムの皺やコーテングム
ラ等が減少する。

（実施例） 次に、本発明の実施例を図面と共に説明する。

第１図は、本発明の一実施例を示す説明図であ
つて、図中、第２図に記載した符号と同一の符号
は同一ないし同類部分を示すものとする。

図において、未コーテイングのフイルムを巻い
た巻出しローラ３とクーリングローラ２との間、
つまりフイルムの送入側に可変温度に冷却された
サブクーリングローラ１１が、また巻取りローラ
５とクーリングローラ２との間、つまりフイルム
の送出側に同じく可変温度に冷却されたサブクー
リングローラ１２がそれぞれ配設されており、こ
れらの両サブクーリングローラ１１，１２は、そ
れぞれ周速度が可変に構成されている。

上記の周速度制御手段としては、直流又は交流
モータによる電気的制御手段と、微少調整可能の
変速機による機械的制御手段とがあり、これらは
何れも従来公知のものでよい。

この実施例によれば、フイルム４が巻出しロー
ラ３から巻取り５へ、クーリングローラ２を経て
矢印方向へ送られているとき、送出側のサブクー
リングローラ１２の周速度を送入側のサブクーリ
ングローラ１１の周速度より大きくすると、クー
リングローラ２を通過するフイルム部分に張力が
加えられるので、クーリングローラ２とフイルム
４との密着力が大きくなる。従つて、両サブクー
リングローラ１１，１２の周速度の違いを変化さ
せることによつて、コーテイング時のフイルム４
の張力及びクーリングローラ２とフイルム４との
密着力が制御（コントロール）される。

また上記サブクーリングローラ１１，１２の冷
却温度を調整することにより、クーリングローラ
２前後のフイルム４の温度を制御することができ
る。

このようにして、フイルム４の皺やコーテイン
グムラ等を減少させることができる。

また、上記サブローラは、クーリングローラの
送入側又は送出側の何れか一方の側にのみ設ける
ことも可能である。この場合、送入側にのみ設け
るときは該サブローラの周速度を巻取りローラ５
の周速度より遅い速度範囲で調整することにより
フイルムの張力及びクーリングローラとの密着力
を制御することができ、また、送出側にのみ設け
るときは、巻取りローラ５の手前でクーリングロ
ーラの近傍のフイルム４の張力や該クーリングロ
ーラとの密着力の制御が確実に行われる効果があ
る。

（発明の効果） 以上説明したように本発明によれば、巻取式真
空装置におけるクーリングローラのフイルム送入
側と送出側の少くとも何れか一方の側にサブロー
ラを設け、該サブローラの周速度を可変とし、温
度を冷却可変としたことにより、コーテング時の
フイルムの張力及びフイルムとクーリングローラ
との密着力を制御することができ、フイルムとク
ーリングローラ間の熱伝達の割合を種々変化させ
ることができる。これにより、フイルムの皺やコ
ーテイングムラ等を減少させることができ、従来
不可能であつたあらゆる種類のフイルムに対して
コーテイングを可能とすることができる。

また、従来の巻取りローラによる巻取り張力と
は関係なく、クーリングローラとフイルムとの密
着力を周速度の変化により制御することができる
ため、従来のようなブロツキングという現象が起
こらない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す巻取式真空蒸
着又はスパツタリング装置の説明図、第２図は従
来の同様装置の説明図である。 １……蒸発源又はスパツタリング源、２……ク
ーリングローラ、３……巻出しローラ、４……フ
イルム、５……巻取りローラ、１１，１２……サ
ブクーリングローラ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 蒸発源又はスパツタリング源に対向して設け
   られたクーリングローラ面上にフイルムを連続し
   て走行させ、コーテイングされた該フイルムを巻
   取りローラにより巻取るようにした巻取式真空装
   置において、上記クーリングローラのフイルム送
   入側と同送出側の少くとも何れか一方の側にサブ
   ローラを設け、該サブローラの周速度を可変とす
   ると共に、該サブローラを可変温度に冷却するよ
   うにしたことを特徴とする巻取式真空装置。